JP2013152207A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013152207A5
JP2013152207A5 JP2012052755A JP2012052755A JP2013152207A5 JP 2013152207 A5 JP2013152207 A5 JP 2013152207A5 JP 2012052755 A JP2012052755 A JP 2012052755A JP 2012052755 A JP2012052755 A JP 2012052755A JP 2013152207 A5 JP2013152207 A5 JP 2013152207A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light amount
illumination
amount
inspection
target
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2012052755A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013152207A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012052755A priority Critical patent/JP2013152207A/ja
Priority claimed from JP2012052755A external-priority patent/JP2013152207A/ja
Priority to KR1020120128707A priority patent/KR101442346B1/ko
Priority to TW101144466A priority patent/TW201333453A/zh
Priority to CN201210579419.8A priority patent/CN103185727B/zh
Priority to US13/729,441 priority patent/US20130169793A1/en
Publication of JP2013152207A publication Critical patent/JP2013152207A/ja
Publication of JP2013152207A5 publication Critical patent/JP2013152207A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP2012052755A 2011-12-31 2012-03-09 検査装置及び検査方法 Withdrawn JP2013152207A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012052755A JP2013152207A (ja) 2011-12-31 2012-03-09 検査装置及び検査方法
KR1020120128707A KR101442346B1 (ko) 2011-12-31 2012-11-14 검사 장치 및 검사 방법
TW101144466A TW201333453A (zh) 2011-12-31 2012-11-28 檢查裝置及檢查方法
CN201210579419.8A CN103185727B (zh) 2011-12-31 2012-12-27 检查装置及检查方法
US13/729,441 US20130169793A1 (en) 2011-12-31 2012-12-28 Inspection system and inspection method

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011290497 2011-12-31
JP2011290497 2011-12-31
JP2012052755A JP2013152207A (ja) 2011-12-31 2012-03-09 検査装置及び検査方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013152207A JP2013152207A (ja) 2013-08-08
JP2013152207A5 true JP2013152207A5 (https=) 2014-12-04

Family

ID=48677009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012052755A Withdrawn JP2013152207A (ja) 2011-12-31 2012-03-09 検査装置及び検査方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20130169793A1 (https=)
JP (1) JP2013152207A (https=)
KR (1) KR101442346B1 (https=)
CN (1) CN103185727B (https=)
TW (1) TW201333453A (https=)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140240489A1 (en) * 2013-02-26 2014-08-28 Corning Incorporated Optical inspection systems and methods for detecting surface discontinuity defects
US20140279600A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Mitchell Barry Chait Automated monitoring of pest traps in a distributed work environment
US10878551B2 (en) * 2014-01-27 2020-12-29 Baxter International Inc. Visual inspection system for automated detection of particulate matter in flexible medical containers
JP6204416B2 (ja) * 2015-07-17 2017-09-27 住友化学株式会社 フィルム検査装置、フィルム検査方法、およびフィルム製造方法
US10939518B2 (en) 2017-07-18 2021-03-02 Fuji Corporation Component-mounting machine and method for adjusting illumination light amount thereof
US10604514B2 (en) * 2017-10-19 2020-03-31 Samumed, Llc 6-(5-membered heteroaryl)isoquinolin-3-yl carboxamides and preparation and use thereof
CN107976449A (zh) * 2018-01-10 2018-05-01 南京火眼猴信息科技有限公司 用于隧道检测图像捕获装置的补光装置
JP7178541B2 (ja) * 2018-02-07 2022-11-28 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 発光部品実装装置および発光部品実装方法
JP6746744B1 (ja) 2019-03-28 2020-08-26 浜松ホトニクス株式会社 検査装置及び検査方法
CN115265767B (zh) * 2022-07-29 2024-10-01 中国科学院光电技术研究所 照明场非均匀性检测系统的标定和校正方法及装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07121685A (ja) * 1993-10-26 1995-05-12 Oki Electric Ind Co Ltd 照明光量異常検出回路
JP3657028B2 (ja) * 1995-06-29 2005-06-08 ジェネシス・テクノロジー株式会社 外観検査装置
JP2001141662A (ja) * 1999-11-18 2001-05-25 Central Glass Co Ltd 透明板状体の欠点検出方法および検出装置
JP2004150855A (ja) 2002-10-29 2004-05-27 Nikon Corp 測定機の光量補正方法及び光量補正装置
JP4444838B2 (ja) * 2002-11-14 2010-03-31 シーシーエス株式会社 光量調整システム
JP4485904B2 (ja) * 2004-10-18 2010-06-23 株式会社日立ハイテクノロジーズ 検査装置及び検査方法
JP2008102818A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Seiko Epson Corp 撮像手段の出力値補正方法、シェーディング補正方法、欠陥検出方法、欠陥検出プログラムおよび欠陥検出装置
JP4311457B2 (ja) * 2007-02-15 2009-08-12 ソニー株式会社 動き検出装置、動き検出方法、撮像装置および監視システム
JP5088605B2 (ja) 2007-03-14 2012-12-05 岩崎電気株式会社 光量モニタとそれを用いた光源装置
CN101271253A (zh) * 2007-03-20 2008-09-24 精工爱普生株式会社 图像检查方法及图像检查装置
JP4897593B2 (ja) * 2007-07-09 2012-03-14 富士フイルム株式会社 複眼撮影装置及びその調節方法
JP5298638B2 (ja) * 2008-02-14 2013-09-25 株式会社ニコン 画像処理装置、撮像装置、補正係数算出方法及び画像処理プログラム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013152207A5 (https=)
CN103185727B (zh) 检查装置及检查方法
CN113155845A (zh) 一种光源及其设置方法、光学检测方法及系统
CN103185726B (zh) 照明装置、照明方法以及检查装置
CN101060637A (zh) 背投型显示设备和背投型显示设备的控制方法
US8670170B2 (en) Optical scanning projection system
CN111610197B (zh) 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
JP4562411B2 (ja) 投射型映像表示装置
KR102235933B1 (ko) 검사조건 최적화 시스템
CN110021042A (zh) 图像检查装置及照明装置
KR101138221B1 (ko) 쉐이딩 및 칼라 밸랜싱을 테스트하는 카메라 테스트 시스템
TWI455578B (zh) 監控攝影機及其操作方法
JP2005241586A (ja) 光学フィルムの検査装置および光学フィルムの検査方法
KR101058603B1 (ko) 이물 검사 방법
KR101217173B1 (ko) 기판검사장치 및 기판검사방법
JP6731784B2 (ja) 光源装置および映像表示装置
KR20160080730A (ko) Led 휘도 교정 장치 및 그 제어 방법
JP2015102364A (ja) 外観検査装置
KR101865338B1 (ko) 선폭 측정장치 및 이를 이용한 선폭 측정방법
CN1848227A (zh) 图像显示装置
KR101566391B1 (ko) 렌즈 이미지상의 빛튐 검출 방법
JP3214275B2 (ja) 自動外観検査装置の感度補正方法
JP2001255282A (ja) 圧電セラミックスの欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2010243765A5 (https=)
CN117855098A (zh) 晶圆边缘检测装置