KR101442346B1 - 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 설정 광량을 목표 광량으로 전환하였을 때에 조명 광량이 상기 목표 광량에 도달할 때까지 요하는 시간이 긴 조명 장치를 이용하여, 조명 장치의 조명이 목표 광량에 도달하기 전에 검사를 개시하여도, 종래에 비해서 정밀도가 좋은 검사를 행할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다.
조명 장치에 의해 조명되는 피검사체를 촬영하여 얻어지는 화상 데이터가 나타내는 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하는 검사 장치로서, 상기 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 처리 정보를 결정하는 처리 정보 결정 수단(S26, S29)을 가지며, 상기 조명 장치의 상기 설정 광량의 상기 목표 광량으로의 전환 시부터의 경과 시간에 따라 상기 처리 정보 결정 수단에서 결정되는 처리 정보를 이용하여 상기 검사 처리를 행하도록(S27) 구성되어 있다.

Description

검사 장치 및 검사 방법{INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD}
본 발명은 조명된 피검사체를 촬영하고, 그 촬영에 의해 얻어지는 화상에 기초하여 이 피검사체를 검사하는 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
종래, 특허문헌 1에 기재된 투명 판형체의 결함 검출 장치가 알려져 있다. 이 결함 검출 장치(검사 장치)에서는, 피검사체인 투명 판형체의 한쪽 면측에 배치된 조명기에 의해 투명 판형체가 조명된 상태로, 투명 판형체의 다른쪽 면측에 배치된 CCD 카메라에 의해 그 투명 판형체가 촬영된다. 그리고, CCD 카메라에 의한 촬영에 의해 얻어진 화상을 처리함으로써 투명 판형체에 있는 상처 등의 결함이 검출된다.
조명기에는, 할로겐 램프, 크세논 램프, 고압 수은등, 나트륨 램프 등이 광원으로서 이용된다. 그리고, 상처 등의 결함이 판별될 수 있는 화상이 CCD 카메라에서의 촬영에 의해 얻어지도록, 피검사체의 품종 등에 따라, 상기 조명기에 의한 적정한 조명 광량이 결정된다.
일본 특허 공개 제2001-141662호 공보
그런데, 조명 광량이 높으며 수명이 긴 것 등의 이점에 의해, 조명 장치의 광원으로서 공지의 고휘도 LED를 이용하는 것을 생각할 수 있다. 이 고휘도 LED를 광원으로 한 조명 장치는 높은 조명 광량을 유지하기 위해, 일례로서 복수의 LED(발광 소자)가, 형광체의 혼합된 수지로 밀봉된 구조로 되어 있다. 그러나, 당초에 설정된 초기 광량으로 발광하고 있는 상태로부터, 그 설정 광량을 목표 광량으로 전환한 경우, 상기 형광체의 존재, 및 앞서 서술한 구조 등에 기인하여, 실제의 조명 광량이 상기 목표 광량이 될 때까지 비교적 긴 시간을 요하게 된다(예컨대, 20분 정도 걸리는 경우가 있음). 이 때문에, 피검사체의 품종 변경에 따라 조명 광량을 변경할 필요가 있는 경우, 적정한 조명 광량이 될 때까지 시간이 걸려 버려, 품종 전환 후의 검사가 지연되게 된다. 한편, 적정한 조명 광량에 도달하기 전에 검사를 개시한다면 정밀도 좋은 검사가 어렵다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 고휘도 LED 등의 광원을 이용한 조명 장치와 같이, 설정 광량을 목표 광량으로 전환하였을 때에 조명 광량이 상기 목표 광량에 도달할 때까지 요하는 시간이 비교적 긴 조명 장치를 이용하며, 조명 장치의 조명 광량이 목표 광량에 도달하기 전에 검사를 개시하여도, 종래에 비해서 정밀도 좋은 검사를 행할 수 있는 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 검사 장치는, 피검사체를 조명하는 조명 장치와, 이 조명 장치에 의해 조명되는 상기 피검사체를 촬영하여 화상 신호를 출력하는 촬영 유닛과, 이 촬영 유닛으로부터의 화상 신호에 기초하여 상기 피검사체의 화상을 나타내는 화상 데이터를 생성하고, 이 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하는 처리 유닛을 갖는 검사 장치로서, 상기 처리 유닛은, 상기 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 처리 정보를 결정하는 처리 정보 결정 수단을 가지며, 상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따라 상기 처리 정보 결정 수단에서 결정되는 처리 정보를 이용하여 상기 검사 처리를 행하도록 구성된다.
이러한 구성에 의해, 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 촬영 유닛으로부터의 화상 신호에 기초하여 생성되는 화상 데이터가 나타내는 피검사체의 화상에 대한 검사 처리가, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 처리 정보를 이용하여 이루어진다.
본 발명에 따른 검사 장치에 있어서, 상기 처리 유닛은, 상기 처리 정보로서의 화상 검사 기준에 기초하여 상기 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하고, 상기 처리 정보 결정 수단은, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 상기 화상 검사 기준을 결정하도록 구성될 수 있다.
또한, 처리 정보 결정 수단은, 예컨대 상기 조명 장치의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 상기 화상 데이터의 보정 계수를 결정하는 수단을 가지며, 상기 보정 계수를 이용하여, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 화상 데이터를 결정하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 처리 정보 결정 수단은, 예컨대 상기 조명 장치의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 상기 촬영 유닛으로부터의 상기 화상 신호의 게인 정보를 결정하는 수단을 가지며, 상기 게인 정보를 이용하여, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 화상 신호의 레벨을 조정하도록 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 검사 방법은, 조명 장치에 의해 조명되는 피검사체를 촬영 유닛에 의해 촬영하여 얻어지는 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하는 검사 방법으로서, 상기 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 처리 정보를 결정하는 처리 정보 결정 단계와, 상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따라 상기 처리 정보 결정 단계에서 결정되는 처리 정보를 이용하여 상기 검사 처리를 행하는 검사 처리 실행 단계를 포함하도록 구성된다.
본 발명에 따르면, 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 처리 정보를 이용하여 검사 처리가 이루어지기 때문에, 고휘도 LED 등을 광원으로 한 조명 장치와 같이, 그 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환되었을 때에 그 조명 장치의 조명 광량이 상기 목표 광량에 도달할 때까지 요하는 시간이 비교적 긴 조명 장치를 이용하여, 그 조명 장치의 조명 광량이 목표 광량에 도달하기 전에 검사를 개시하여도, 종래에 비해서 정밀도 좋은 검사를 행할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시형태에 따른 검사 장치에 의해 검사되는 센서 패널 어셈블리(접합 판형체)의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 1b는 센서 패널 어셈블리의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 1c는 도 1a 및 도 1b에 나타내는 센서 패널 어셈블리와 액정 패널 어셈블리를 접착제에 의해 접합한 구조의 터치 패널식 액정 패널의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 검사 장치의 기본적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2에 나타내는 검사 장치에 이용되는 조명 장치에 포함되는 광원 장치의 구조를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 검사 장치의 처리 시스템의 기본 구성을 나타내는 도면이다.
도 5a는 조명 장치의 설정 광량을 초기 광량으로부터 그보다 낮은 목표 광량으로 전환하였을 때에, 조명 광량의 변화 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5b는 조명 장치의 설정 광량을 초기 광량으로부터 그보다 높은 목표 광량으로 전환하였을 때에, 조명 광량의 변화 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6은 보정 정보 파일을 생성하기 위한 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 7은 조명 장치의 설정 광량을 전환하였을 때의 레시피(처리 정보) 보정을 위한 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 검사 장치의 기본적인 구성을 나타내는 도면이다.
본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 이용하여 설명한다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 검사 장치의 검사 대상(피검사체)에 대해서 도 1a∼도 1c를 참조하여 설명한다. 이 예는 터치 패널식 액정 표시 패널에 사용되는 센서 패널 어셈블리이다. 또한, 도 1a는 센서 패널 어셈블리(10)의 구조를 나타내는 단면도이며, 도 1b는 센서 패널 어셈블리(10)의 구조를 나타내는 평면도이고, 도 1c는 센서 패널 어셈블리(10)와 액정 패널 어셈블리(20)를 접착제로 접합하여 이루어지는 터치 패널식 액정 표시 패널의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 1a 및 도 1b에 있어서, 이 센서 패널 어셈블리(10)는 센서 소자나 그리드 등의 회로 부품이 배열 형성된 센서 패널(11)과, 커버 유리(12)가, 이 센서 패널(11)의 전체면에 도포된 투광성을 갖는 접착제(13)(레진)에 의해 접합된 구조로 되어 있다. 센서 패널(11)은 유리 기판 상에 회로 부품이 형성된 구조이며, 전체적으로 투광성을 갖는 투광 영역(단, 회로 부품의 부분은 불투광)으로 되어 있다. 또한, 커버 유리(12)는, 주변부가 정해진 폭의 불투광 영역(12b)(흑색 영역)으로 되어 있고, 그 내측 영역은 투광성을 갖는 투광 영역(12a)으로 되어 있다.
이러한 구조의 센서 패널 어셈블리(10)는 도 1c에 나타내는 바와 같이, 액정 패널 어셈블리(20)(액정 패널, 색 필터, 편광판 등으로 구성됨)에 투광성을 갖는 접착제(15)에 의해 접착되어 있다. 이와 같이 형성된 터치 패널식 액정 표시 패널에서는, 액정 패널 어셈블리(20)에 의해 화상 표시가 이루어지고, 손가락으로 터치된 커버 유리(12) 상의 위치에 대응하는 센서 패널(11) 상의 센서 소자로부터 신호가 출력되도록 되어 있다. 그리고, 이 센서 패널(11)의 각 센서 소자로부터 출력되는 신호로써 액정 패널 어셈블리(20)에 의한 화상 표시를 제어할 수 있다.
전술한 바와 같은 구조의 센서 패널 어셈블리(10)를 제조하는 과정에서, 접착제(13) 내에 기포가 발생하거나 접착제(13) 내에 먼지 등의 이물이 혼입하거나 하는 경우가 있다. 또한, 센서 패널(11)과 커버 유리(12)의 사이에서 접착제(13)가 비어져 나오거나, 접착제(13)가 모자라거나 하는 경우가 있다. 이러한 센서 패널 어셈블리(10)의 결함을 검사하기 위한 검사 장치는, 예컨대 도 2에 나타내는 바와 같이 구성된다.
도 2에 있어서, 이 검사 장치는 촬영 유닛을 구성하는 라인 센서 카메라(41), 조명 장치(30), 반사판(42), 및 이동 기구(50)를 갖는다. 이동 기구(50)는, 센서 패널(11)을 상방으로 향하게 하고, 커버 유리(12)를 하방으로 향하게 한 상태로 이동 경로 상에 세팅된 센서 패널 어셈블리(10)를 정해진 속도로 직선 이동시킨다. 라인 센서 카메라(41)는, 예컨대 CCD 소자열로 구성된 라인 센서 및 렌즈군(시야를 넓히기 위한 확대 렌즈를 포함할 수 있음) 등의 광학계를 포함하고, 이동 경로 상의 센서 패널 어셈블리(10)의 센서 패널(11)에 대향하도록 고정 배치되어 있다. 그리고, 라인 센서 카메라(41)의 자세는, 이 라인 센서 카메라(41)가 갖는 라인 센서(CCD 소자열)의 연장 방향이 센서 패널 어셈블리(10)의 이동 방향(A)을 가로지르며[예컨대, 이동 방향(A)과 직교하며], 또한 그 광축(AOPT1)이 센서 패널 어셈블리(10)[센서 패널(11)]의 표면에 직교하도록 조정된다. 반사판(42)은 입사광을 난반사하도록 가공된 반사면을 갖고, 이동 경로 상의 센서 패널 어셈블리(10)의 근방에서, 그 반사면이 센서 패널 어셈블리(10)의 커버 유리(12)에 대향하도록 고정 배치되어 있다. 이와 같이 배치된 반사판(42)에서의 반사광에 의해, 센서 패널 어셈블리(10)의 커버 유리(12)측으로부터 라인 센서 카메라(41)를 향하여 조명이 이루어지게 된다.
조명 장치(30)는 광원 장치(31), 조명 헤드(32), 광원 장치(31)의 출사광을 조명 헤드(32)에 유도하는 라이트 가이드(33), 및 조명 헤드(32)의 광의 출사면에 결합되어 집광 위치의 조정이 가능한 집광기(34)를 갖고 있다. 광원 장치(31)는 예컨대 도 3에 나타내는 바와 같이, 고휘도 LED 유닛(311), 도광 미러(312), 전원 유닛(313) 및 냉각팬(314)을 갖고 있다. 고휘도 LED 유닛(311)은 다수의 LED(발광 소자)(310)가 형광체가 혼합된 수지로 밀봉된 구조로 되어 있다. 고휘도 LED 유닛(311)은 전원 유닛(313)으로부터의 전력을 공급받아, 개개의 LED(310)의 발광, 및 그에 따른 형광체의 발광에 의해 수지제의 밀봉체 전체로부터 광을 조사한다. 고휘도 LED 유닛(311)으로부터 조사되는 광은 도광 미러(312)에 의해 유도되어 라이트 가이드(33)의 단부에 입사하고, 그 광이 라이트 가이드(33)를 전파하여 조명 헤드(32)로부터 출사된다(도 2 참조). 발광하는 다수의 LED(310)를 포함하는 고휘도 LED 유닛(311)은 냉각팬(314)에 의해 냉각되며, 그 동작 온도가 규정 온도 범위 내에 유지되도록 되어 있다.
조명 장치(30)의 조명 헤드(32)는 이동 경로 상의 센서 패널 어셈블리(10)의 이동 방향(A)에 있어서의 라인 센서 카메라(41)의 하류측, 즉 라인 센서 카메라(41)의 주사 방향(B)에 있어서의 이 라인 센서 카메라(41)의 상류측에, 센서 패널(11)에 대향하도록 배치되어 있다. 조명 헤드(32)의 자세는, 센서 패널 어셈블리(10)의 경사진 상방으로부터, 구체적으로는, 센서 패널 어셈블리(10)[센서 패널(11)]의 표면의 법선 방향에 대하여 그 광축(AOPT2)이 정해진 각도(α)가 되는 방향으로부터 라인 센서 카메라(41)의 광축(AOPT1)을 가로지르는 일없이 센서 패널 어셈블리(10)의 표면을 조명하도록 조정된다. 이러한 조정에 의해, 조명 장치(30)의 조명 헤드(32)로부터 출사한 광의 일부는 피검사체인 센서 패널 어셈블리(10)의 표면에서 반사되어 라인 센서 카메라(41)에 입사한다. 또한, 조명 헤드(32)로부터 출사된 광의 다른 일부는 센서 패널 어셈블리(10)를 투과하여 반사판(42)에서 난반사되고, 그 난반사광의 일부가 센서 패널 어셈블리(10)를 투과하여 라인 센서 카메라(41)에 입사한다.
전술한 바와 같은 구조의 검사 장치에서는, 이동 기구(50)에 의해 센서 패널 어셈블리(10)가 이동 경로 상에서 방향(A)으로 이동함으로써, 라인 센서 카메라(41)와 조명 헤드(32)의 상대적인 위치 관계가 유지되면서 라인 센서 카메라(41)가 상기 이동 방향(A)과 반대 방향(B)으로 센서 패널 어셈블리(10)를 광학적으로 주사한다. 그 주사에 의해 라인 센서 카메라(41)에 의한 센서 패널 어셈블리(10)의 촬영이 이루어진다.
검사 장치의 처리 시스템은 도 4에 나타내는 바와 같이 구성된다.
도 4에 있어서, 처리 유닛(60)에, 라인 센서 카메라(41)가 레벨 조정 회로(63)를 통해 접속되며, 표시 유닛(61), 조작 유닛(62) 및 기억부(64), 더욱, 조명 장치(30)[광원 장치(31)]가 접속되어 있다. 처리 유닛(60)은 이동 기구(50)에 의한 센서 패널 어셈블리(10)(피검사체)의 이동에 동기하여 센서 패널 어셈블리(10)를 광학적으로 주사하는 라인 센서 카메라(41)로부터의 화상 신호를 레벨 조정 회로(63)를 통해 입력으로 하고, 레벨 조정된 화상 신호에 기초하여 센서 패널 어셈블리(10)의 화상을 나타내는 검사 화상 데이터를 생성한다. 레벨 조정 회로(63)는 처리 유닛(60)의 제어에 따라 설정된 게인 정보에 의해 라인 센서 카메라(41)로부터 출력되는 화상 신호의 레벨을 조정한다.
처리 유닛(60)은 조명 장치(30)의 조광 제어를 행한다. 이 조광 제어는, 조명 장치(30)의 전원 유닛(313)(도 3 참조)으로부터 고휘도 LED 유닛(311)에 공급되는 전력을 전환함으로써 이루어진다. 그 전력 전환에 의해, 조명 장치(30)의 설정 광량이 현재의 광량(이하, 초기 광량이라고 함)으로부터 목표 광량으로 전환되게 된다.
처리 유닛(60)은 생성한 검사 화상 데이터에 기초하여 표시 유닛(61)에 센서 패널 어셈블리(10)의 화상을 표시시키고, 또한, 그 검사 화상 데이터를 이용하여 검사 처리를 실행한다. 이 검사 처리는, 화상에 있어서의 센서 패널 어셈블리(10)의 에지 등의 판정 기준을 나타내는 각종 임계 레벨, 화상 부분을 기포, 상처 등의 결함으로서 판단하는 판단 기준 등을 포함하는 여러가지 기준을 나타내는 레시피(화상 검사 기준)에 기초하여 검사 화상 데이터가 나타내는 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대해서 이루어진다. 상기 레시피는 검사 대상이 되는 센서 패널 어셈블리(10)의 품종마다 결정되어 있고, 품종에 대응하여 기억부(64)에 기억되어 있다. 또한, 처리 유닛(60)은 조작 유닛(62)의 조작에 따른 각종 지시에 관련된 정보를 취득하며, 상기 검사 처리의 결과, 즉 검사 결과에 관한 정보를 표시 유닛(61)에 표시시킬 수 있다.
고휘도 LED 유닛(311)을 포함하는 조명 장치(30)의 조광 제어에서는, 그 설정 광량을 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환하였을 때에, 조명 장치(30)의 실제의 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달할 때까지 시간이 걸린다. 이는, 전술한 바와 같이, 형광체의 존재, 및 고휘도 LED 유닛(311)에 있어서의 다수의 LED(310)가 형광체가 혼합된 수지로 밀봉되어 있는(도 3 참조) 것에 기인하고 있다. 또한, 조명 장치(30)의 광량(설정 광량, 조명 광량)은, 광원 장치(31)의 발광 광량, 피검사체인 센서 패널 어셈블리(10)의 조명 부위의 밝기, 혹은 라인 센서 카메라(41)의 수광 광량[라인 센서 카메라(41)의 각 화소의 출력 레벨]으로 나타낼 수 있다.
예컨대, 도 5a에 나타내는 바와 같이, 설정 광량을 초기 광량(Iint)으로부터 그보다 낮은 목표 광량(Itgt)으로 전환하면, 실제의 조명 광량(I)은 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따라, 특성(QDWN)과 함께 서서히 저하하여 목표 광량(Itgt)에 도달한다(예컨대, 20분의 시간이 걸림). 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하기 전[예컨대, 상기 전환 시(to)부터 시간(tx-to)이 경과한 후]의 조명 광량(Ix)으로 조명이 이루어지는 상황에서는, 목표 광량(Itgt)보다 많은 조명 광량이 조명되기 때문에, 얻어지는 검사 화상 데이터가 나타내는 화상은 검사 처리에 적정한 화상보다 밝다. 한편, 도 5b에 나타내는 바와 같이, 설정 광량을 초기 광량(Iint)으로부터 그보다 높은 목표 광량(Itgt)으로 전환하면, 실제의 조명 광량(I)은 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따라 특성(QUP)과 함께 서서히 증가하여 목표 광량(Itgt)에 도달한다. 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하기 전[예컨대, 상기 전환 시(to)부터 시간(tx-to)이 경과한 후]의 조명 광량(Ix)으로 조명이 이루어지는 상황에서는, 목표 광량(Itgt)보다 적은 조명 광량이 조명되기 때문에, 얻어지는 검사 화상 데이터가 나타내는 화상은 검사 처리에 적정한 화상보다 어둡다.
조명 장치(30)의 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되고 나서 실제의 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하기까지의 동안에, 얻어지는 검사 화상 데이터가 나타내는 화상이, 검사 처리에 적정한 화상보다 밝거나, 또는 어두운 상태여도, 적정한 검사를 가능하게 하기 위해, 검사 처리에 이용되는 처리 정보로서의 레시피의 보정 정보(F)가 작성된다. 이 보정 정보(F)의 작성은, 도 6에 나타내는 순서에 따라 이루어진다.
우선, 미리 설정되는 검사 스케줄(예컨대, 피검사체의 품종과 그 검사 순서)로부터, 검사 대상이 되는 센서 패널 어셈블리(10)의 품종 전환 시의 설정 광량의 전환 패턴[초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로의 전환 패턴]을 추출한다. 그 모든 패턴의 각각에 대하여 보정 정보(F)의 세트(보정 정보 파일)가 작성된다.
도 6에 있어서, 조명 장치(30)의 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환된다(S11). 그러면, 조명 장치(30)로부터 실제로 조사되는 광의 광량(조명 광량)은 초기 광량(Iint)으로부터 서서히 변화한다(도 5a, 도 5b 참조). 그 과정에서, 정해진 시간(Δt)(예컨대, 5분)이 경과할 때마다(S12에서 YES), 그때의 조명 광량(Ix)에 의해 조명되는 센서 패널 어셈블리(10)를 주사하는 라인 센서 카메라(41)로부터의 화상 신호에 기초해서 얻어지는 검사 화상 데이터[센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대응]에 기초하여, 목표 광량(Itgt) 시에 사용되어야 하는 레시피에 대한 보정 정보(F)가 작성된다(S13). 이와 같이 하여, 조명 장치(30)의 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달할 때까지(S14에서 YES), 반복하여 보정 정보(F)가 작성된다. 그리고, 조명 장치(30)의 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하면(S14에서 YES), 지금까지 얻어진 보정 정보(F)의 각각에, 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되었을 때부터의 경과 시간(n·Δt)을 대응시켜 이루어지는 보정 정보 파일이 작성된다(S15). 경과 시간(복수의 경과 시간대의 각각)에 대응하는 복수의 보정 정보(F)를 포함하는 보정 정보 파일이, 목표 광량(Itgt)에서 결정된 본래의 레시피에 대응하여 기억부(64)(기억 수단)에 저장된다.
검사 장치를 실제로 운용하는 과정에서, 조명 장치(30)의 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되었을 때에는, 처리 유닛(60)의 제어 하, 도 7에 나타내는 순서에 따라 처리가 이루어진다.
도 7에 있어서, 피검사체로서의 센서 패널 어셈블리(10)의 품종이 변경되었는지의 여부가 판정되며(S21), 품종 변경이 없으면(S21에서 NO), 지금까지의 레시피를 이용한 검사 처리가 계속하여 이루어진다. 한편, 피검사체로서의 센서 패널 어셈블리(10)의 품종이 변경되면(S21에서 YES), 지금까지 사용하고 있던 레시피가 변경 후의 센서 패널 어셈블리(10)의 검사에 적합한 레시피로 변경된다(S22). 또한, 이 레시피는 정해진 조명 광량[목표 광량(Itgt)]의 환경 하에서 적합한 것으로 되어 있다. 또한, 새로운 품종에 대한 검사에 있어서, 설정 광량의 전환(조광 제어)이 필요한지의 여부가 판정된다(S23). 특히 설정 광량을 전환할 필요가 없으면(S23에서 NO), 그 새로운 품종의 센서 패널 어셈블리(10)의 검사가 새로운 레시피를 이용하여 계속적으로 이루어진다.
한편, 상기 품종의 전환에 의해, 설정 광량의 전환이 필요한 경우(S23에서 YES), 조명 장치(30)의 설정 광량이 초기 광량(Iint)(지금까지의 조명 광량)으로부터 그 품종의 검사에 적합한 목표 광량(Itgt)으로 전환된다(S24). 그러면, 조명 장치(30)로부터 실제로 조사되는 광의 광량(조명 광량)은 초기 광량(Iint)으로부터 서서히 변화한다(도 5a, 도 5b 참조). 그 과정에서, 그 설정 광량이 전환되었을 때부터의 경과 시간이 제1 시간(t1)에 도달하지 않은 시간대에서는(S25에서 YES), 기억부(64)에 저장된 상기 보정 정보 파일로부터, 전환 시부터 제1 시간(t1)의 시간대에 대응한 보정 정보(F)가 선택되고, 그 선택된 보정 정보(F)를 이용하여 본래의 레시피[목표 광량(Itgt)의 환경 하에서 적합한 레시피]가 보정되어 보정 레시피가 작성된다(결정된다)(S26: 처리 정보 결정 수단에 포함됨). 즉, 기억부(64)에 저장된 상기 보정 파일에 기초하여 본래의 레시피(처리 정보)가 취득된다. 그리고, 그때의 조명 광량(Ix)에 의해 조명되는 센서 패널 어셈블리(10)를 주사하는 라인 센서 카메라(41)로부터의 화상 신호에 기초해서 얻어지는 검사 화상 데이터가 나타내는 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대하여 상기 보정 레시피를 이용하여 검사 처리가 이루어진다(S27: 검사 처리 실행 단계). 설정 광량의 전환 시(S24)부터 제1 시간(t1)의 시간대에서는, 그 시간대에 대응한 보정 정보(F)에 기초하여 보정된 보정 레시피를 이용한 검사 처리가 계속된다.
설정 광량이 전환되었을 때부터의 경과 시간이 제1 시간(t1)을 넘어(S25에서 NO), 그 경과 시간이 제2 시간(t2)에 도달하기까지의 시간대에서는(S28에서 YES), 기억부(64)에 저장된 상기 보정 정보 파일로부터, 설정 광량의 전환 시부터 제1 시간(t1)을 경과한 후의 제2 시간(t2)에 도달하기까지의 시간대에 대응한 보정 정보(F)가 선택되고, 전술한 처리와 마찬가지로, 그 선택된 보정 정보(F)를 이용하여 본래의 레시피가 보정되어 보정 레시피가 작성된다(S29: 처리 정보 결정 수단에 포함됨). 그리고, 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대하여 그 보정 레시피를 이용하여 검사 처리가 이루어질 수 있다(S27: 검사 처리 실행 단계).
또한, 설정 광량이 전환되었을 때부터의 경과 시간이 제2 시간(t2)을 넘으면(S28에서 NO), 조명 장치(30)의 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하였다고 해서, 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대하여 본래의 레시피[목표 광량(Itgt)의 환경 하에서 적합한 레시피]를 이용하여 검사 처리가 이루어진다(S30). 이후, 그 품종에 대해서는, 본래의 레시피를 이용하여 검사 처리가 계속해서 이루어진다.
전술한 바와 같은 검사 장치에 따르면, 조명 장치(30)의 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환될 때에, 조명 장치(30)로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량(Iint)으로부터 상기 목표 광량(Itgt)까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 보정 레시피를 이용하여, 라인 센서 카메라(41)로부터 얻어지는 센서 패널 어셈블리(10)의 화상(검사 화상 데이터)에 대한 검사 처리가 이루어지기 때문에, 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되었을 때에 조명 광량이 상기 목표 광량(Itgt)에 도달할 때까지 요하는 시간이 비교적 긴 고휘도 LED 유닛(311)을 포함하는 조명 장치(30)를 이용하여, 조명 장치(30)의 조명 광량이 목표 광량에 도달하기 전에 검사를 개시하여도, 종래에 비해서 정밀도 좋은 검사를 행할 수 있다.
또한, 전술한 본 발명의 실시형태에서는, 도 6에 나타내는 순서에 따라 보정 정보 파일을 작성하고, 그 보정 정보 파일을 이용하여 보정 레시피를 작성하는 처리(도 7 참조)는, 본원 발명에 있어서, 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 처리 정보를 결정하는 처리 정보 결정 수단(처리 정보 결정 단계)에 대응한다.
전술한 검사 장치에서는, 본래의 레시피를 보정하는 보정 정보(F)를 설정 광량의 전환 시부터의 경과 시간에 대응시켜 기억하도록 하였지만, 본래의 레시피의 상기 보정 정보(F)를 이용한 보정에 의해 얻어진 보정 레시피 자체를 설정 광량의 전환 시부터의 경과 시간에 대응시켜 기억하도록 하여도 좋다. 이 경우, 실제 운용에 있어서, 설정 광량의 전환 경과 시간마다 보정 레시피를 생성하는 일없이, 기억부(64)로부터 판독된 그 시간대에 대응한 보정 레시피를 이용하여 검사 처리가 이루어진다.
또한, 전술한 검사 장치에서는, 본래의 레시피를 보정하는 보정 정보(F)를 설정 광량의 전환 시부터의 경과 시간에 대응시켜 기억하도록 하였지만, 설정 광량의 전환 시부터의 시간 경과와 함께 변화하는 조명 광량에 대응시켜 기억하도록 하여도 좋다. 이 경우, 미리 검사 스케줄로부터, 검사 대상이 되는 센서 패널 어셈블리(10)의 품종 전환 시의 설정 광량의 전환 패턴을 추출한다. 그 모든 패턴의 각각에서의 시간 경과와 함께 변화하는 조명 광량에 대응하는 보정 정보 파일이 작성된다. 또한, 설정 광량의 전환 시부터의 경과 시간에 대응시켜 보정 정보(F)를 기억시킬 때, 보정 정보(F)를 시간대마다 설정하도록 하였지만, 조명 광량에 대응시켜 보정 정보(F)를 기억시키는 경우에도 마찬가지로, 설정 광량의 전환 시부터 변화하는 조사 광량을 복수의 조명 광량대로 나누어, 이 조명 광량대마다 설정하도록 하여도 좋다.
그리고, 실제 운용에서는, 조명 장치(30)로부터의 조명 광량이 목표 광량(Itgt)으로 전환되고, 조명 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 서서히 변화해 간다. 그 과정에서, 예컨대, 도 5a, 도 5b에 나타낸 조명 광량 특성(QDOWN, QUP)에 기초하여, 보정 정보 파일로부터 조명 광량에 대응하는 보정 정보(F)가 순차 선택되어 보정 레시피를 작성하거나, 이동 기구(50)의 일부에 조도계를 설치해 두고, 이 조도계의 출력값에 기초하여 보정 정보 파일로부터 그 출력값에 대응하는 보정 정보(F)가 선택되어 보정 레시피를 작성하거나 하여, 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대하여 그 보정 레시피를 이용하여 검사 처리가 이루어진다.
또한, 전술한 보정 정보로서는, 여러가지 기준(임계값 등을 포함)을 나타내는 레시피의 항목 중에서, 조명 광량의 변동에 따라 기준이 변해 버리는 항목 등을 들 수 있다. 예컨대, 피검사체의 화상 정보에 기초하여 결함으로서 검출된 기포의 직경을 10 ㎛ 이하, 11 ㎛∼20 ㎛, 21 ㎛∼30 ㎛로 분류하여 각각의 개수를 검사하는 검사 장치를 생각한다. 이 경우, 적정한 광량 하에서는, 검출된 전체 기포가 검출된 직경 그 자체에 따라 분류된다.
이에 대하여, 도 5a에 나타내는 바와 같이, 설정 광량을 초기 광량(Iint)으로부터 그보다 낮은 목표 광량(Itgt)으로 전환하였을 때의 변화 도중(tx)에서는, 목표 광량(Itgt)보다 많은 조명 광량이 피검사체에 조명되게 된다. 이 단계에서 촬상한 피검사체의 화상에서는, 기포가 실제 직경보다 크게 검출되는 경향이 있다. 그래서, 예컨대, 15 ㎛ 이하로 검출된 기포를 기포 직경 10 ㎛ 이하로서 카운트하고, 그 이상 28 ㎛ 이하로 검출된 기포를 11 ㎛∼20 ㎛로서 카운트하며, 그 이상 36 ㎛ 이하로 검출된 기포를 기포 직경 21 ㎛∼30 ㎛로서 카운트한다. 이 경우, 15 ㎛, 28 ㎛, 36 ㎛가 tx에 대응하는 보정 정보에 상당한다.
한편, 도 5b에 나타내는 바와 같이, 설정 광량을 초기 광량(Iint)으로부터 그보다 높은 목표 광량(Itgt)으로 전환하였을 때의 변화 도중(tx)에서는, 목표 광량(Itgt)보다 적은 조명 광량이 피검사체에 조명되게 된다. 이 단계에서 촬상한 피검사체의 화상에서는, 기포가 실제 직경보다 작게 검출되는 경향이 있다. 그래서, 예컨대, 8 ㎛ 이하로 검출된 기포를 기포 직경 10 ㎛ 이하로 카운트하고, 그 이상 15 ㎛ 이하로 검출된 기포를 기포 직경 11 ㎛∼20 ㎛로서 카운트하며, 그 이상 20 ㎛ 이하로 검출된 기포를 기포 직경 21 ㎛∼30 ㎛로서 카운트한다. 이 경우, 8 ㎛, 15 ㎛, 20 ㎛가 tx에 대응하는 보정 정보에 상당한다.
또한, 전술한 바와 같은 보정 정보의 각 설정값은, 미리 실측값 등의 값이 기지인 시험체를, 설정 광량의 전환 후에, 경과 시간마다, 혹은 변화하는 조명 광량마다 취득한 화상을 이용하여 계측한 검출값과, 실측값에 기초하여 결정된다.
또한, 전술한 예에서는, 도 6의 처리에 따라, 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 대응한 보정 정보(F)가 작성되었지만, 얻어진 복수의 보정 정보에 기초하여, 경과 시간에 따라 변화하는 레시피의 특성에 대응한 보정 특성 정보(처리 정보의 변화 특성을 나타냄)를 연산할 수도 있다. 이 경우, 각 시간대에 대응한 보정 정보(F)를 기억부(64)에 기억시켜 둘 필요는 없고, 실제 운용에서, 설정 광량의 전환 시간에 대응한 보정 레시피를, 그 보정 특성 정보에 기초하여 연산할(생성할) 수 있다.
전술한 검사 장치에서는, 검사 처리에 이용되는 레시피(화상 검사 기준)를, 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간 변화에 따라 변화하는 처리 정보로 하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 피검사체인 센서 패널 어셈블리(10)의 화상을 나타내는 화상 데이터의 각 화소값에 대한 보정 계수를, 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간 변화에 따라 변화하는 처리 정보로 할 수 있다. 이 경우, 도 6에 나타내는 처리에 있어서, 보정 정보(F) 대신에, 화상 데이터의 각 화소값에 대한 보정 계수가 작성된다(결정된다). 일반적인 경향으로서, 조명 광량(Ix)이 목표 광량(Itgt)보다 낮은 상황(예컨대, 도 5b 참조)에서는, 화상 데이터의 각 화소값의 휘도가 높아지도록, 또한, 조명 광량(Ix)이 목표 광량(Itgt)보다 높은 상황(예컨대, 도 5a 참조)에서는, 화상 데이터의 각 화소의 화소값의 휘도가 낮아지도록, 각각 보정 계수가 결정된다. 그리고, 실제 운용에서는, 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하기까지의 동안, 얻어지는 화상 데이터의 각 화소값의 휘도가 상기 보정 계수를 이용하여 보정되고(결정되고), 그 보정으로 얻어진 보정 화상 데이터가 나타내는 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대한 검사 처리가 본래의 레시피[목표 광량(Itgt)의 환경 하에서 결정된 레시피]를 이용하여 이루어진다.
또한, 예컨대, 검사체인 센서 패널 어셈블리(10)를 촬영하는 라인 센서 카메라(41)로부터 출력되는 화상 신호의 게인 정보를, 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간 변화에 따라 변화하는 처리 정보로 할 수 있다. 이 경우, 도 6에 나타내는 처리에 있어서, 보정 정보(F) 대신에, 레벨 조정 회로(63)에 설정되는 게인 정보가 작성된다(결정된다). 일반적인 경향으로서, 조명 광량(Ix)이 목표 광량(Itgt)보다 낮은 상황(예컨대, 도 5b 참조)에서는, 처리 유닛(60)에 공급되는 화상 신호의 레벨이 높아지도록, 또한, 조명 광량(Ix)이 목표 광량(Itgt)보다 높은 상황(예컨대, 도 5a 참조)에서는, 처리 유닛(60)에 공급되는 화상 신호 레벨이 낮아지도록, 각각 게인 정보가 결정된다. 그리고, 실제 운용에서는, 조명 광량이 목표 광량(Itgt)에 도달하기까지의 동안, 라인 센서 카메라(41)로부터 출력되는 화상 신호의 레벨이 레벨 조정 회로(63)에 설정된 게인 정보에 따라 조정되고, 그 레벨 조정된 화상 신호가 처리 유닛(60)에 공급된다. 그 후, 처리 유닛(60)에서는, 그 레벨 조정된 화상 신호에 기초하여 화상 데이터를 취득해서, 그 화상 데이터가 나타내는 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대한 검사 처리가 본래의 레시피를 이용하여 이루어진다.
전술한 바와 같이 화상 데이터나 화상 신호를 보정이나 조정하는 경우도, 레시피를 보정하는 경우와 마찬가지로, 조명 장치(30)의 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되었을 때에 조명 장치(30)의 조명 광량이 상기 목표 광량(Itgt)에 도달할 때까지 요하는 시간이 비교적 긴 고휘도 LED 유닛(311)을 포함하는 조명 장치(30)를 이용하여, 조명 장치(30)의 조명 광량이 목표 광량에 도달하기 전에 검사를 개시하여도, 종래에 비해서 정밀도 높은 검사를 행할 수 있다.
또한, 전술한 검사 장치에서는, 검사 처리에 이용되는 레시피(화상 검사 기준) 및 보정 계수나 게인 정보를, 조명 광량의 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)까지의 시간 변화에 따라 변화하는 처리 정보로 하였지만, 조명 장치(30)의 조명 불균일(위치적인 조명 불균일)이나 라인 센서 카메라(41)(촬영 유닛)에 배치되어 있는 라인 센서의 각 소자의 감도 불균일(위치적인 감도 불균일)을 보정하는 셰이딩 보정 정보를, 조명 광량의 초기 광량으로부터 목표 광량까지의 시간 변화에 따라 변화하는 처리 정보로 할 수 있다. 통상, 전술한 바와 같은 검사 장치에서는, 장치의 조정 단계에 있어서, 조명 장치(30)의 조명 불균일이나 라인 센서 카메라(41)에 배치되어 있는 라인 센서의 각 소자의 감도 불균일이 최소가 되도록, 라인 센서 카메라(41)에 대하여 소자마다 셰이딩 보정이 행해지고, 조정 후(실제로 운용하는 과정)에는, 전술한 조정 단계에서의 셰이딩 보정 정보가 적용되어, 검사가 행해진다. 그러나, 최적의 셰이딩 보정 정보는 조명 광량에 따라 변하기 때문에, 보다 정밀도 높은 검사를 행하기 위해서는, 실제로 조사되는 조명 광량 하에서의 셰이딩 보정 정보를 이용하는 것이 바람직하다.
이 경우, 예컨대, 도 2에 있어서, 피검사체인 센서 패널 어셈블리(10)를 조명 장치(30)로부터의 조명광이 입사하지 않는 위치까지 후퇴시킨다. 그리고, 그 상태로, 조명 장치(30)에 의한 조명 광량을 제로로부터 최대값까지 가변시켜, 그 사이의 조사 광량을 10등분한 각 점에서의 조명 광량에 따른 셰이딩 보정을 개별로 행하고, 조명 광량에 대응시켜 셰이딩 보정 정보를 작성한다(결정한다). 이 경우, 셰이딩 보정 정보의 갱신은, 예컨대 라인 센서 카메라(41)나 조명 장치(30) 등의 교환 시에 행해진다.
그리고, 전술한 바와 같이, 검사 스케줄로부터, 검사 대상이 되는 센서 패널 어셈블리(10)의 품종 전환 시의 설정 광량의 전환 패턴[초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로의 전환 패턴]을 추출하여, 그 모든 패턴의 전환 경과 시간(t1, t2, …)마다의 조명 광량에 대응한 보정 레시피를 작성하여 기억한다.
실제 운용에서는, 조명 장치(30)로부터의 설정 광량이 목표 광량(Itgt)으로 전환되고, 조명 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 서서히 변화해 간다. 그 과정에서, 그 설정 광량이 전환되었을 때부터의 경과 시간에 대응하는 셰이딩 보정 정보, 혹은 그 경과 시간에 대응한 조명 광량에 가장 가까운 조명 광량 하에 대응하는 셰이딩 보정 정보가, 그 경과 시간에 대응한 보정 레시피에 더해져 검사 처리가 이루어진다. 즉, 설정 광량이 전환되었을 때부터의 경과 시간, 혹은, 그 경과 시간에 대응한 조명 광량에 가장 가까운 조명 광량에 대응하는 셰이딩 보정 정보가 선택되고, 그 셰이딩 보정 정보에 따라 라인 센서 카메라(41)에 배치되어 있는 라인 센서의 각 소자의 감도가 보정된다. 그리고, 라인 센서 카메라(41)로부터는, 이와 같이 하여 셰이딩 보정된 화상 신호가 처리 유닛(60)에 공급된다. 그 후, 처리 유닛(60)에서는, 그 화상 신호에 기초하여 화상 데이터를 생성하고, 그 화상 데이터가 나타내는 센서 패널 어셈블리(10)의 화상에 대한 검사 처리가, 그 경과 시간에 대응한 보정 레시피를 이용하여 이루어진다.
또한, 전술한 검사 장치에서는, 조명 광량의 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)까지의 시간 변화에 따라 변화하는 보정 레시피와 셰이딩 보정 정보를 처리 정보로 하였지만, 이에 한정되지 않고, 전술한 보정 화상 데이터와 셰이딩 보정 정보, 전술한 화상 신호와 셰이딩 보정 정보 등, 다른 처리 정보를 조합한 처리 정보에 의해서도, 고휘도 LED 등을 광원으로 한 조명 장치와 같이 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환되었을 때에 그 조명 장치의 조명 광량이 상기 목표 광량에 도달할 때까지 요하는 시간이 비교적 긴 조명 장치를 이용하여, 그 조명 장치의 설정 광량이 목표 광량에 도달하기 전에 검사를 개시하여도, 종래에 비해 정밀도 좋은 검사를 행할 수 있다.
전술한 검사 장치(도 2 참조)에 있어서, 투과율이 다양하게 변화하는 피검사체인 센서 패널 어셈블리(10)의 품종에 대응하기 위해, 도 8에 나타내는 바와 같이, 조광 제어의 응답성이 좋은 저휘도 LED로 구성되는 투과 전용 조명 장치(43)를 추가할 수 있다. 이 투과 전용 조명 장치(43)는 확산판으로서 기능하는 반사판(42)의 배후로부터 센서 패널 어셈블리(10)를 조명한다. 이 경우라도, 고휘도 LED 유닛(311)을 포함하는 조명 장치(30)에 대해서는, 전술한 바와 마찬가지로, 설정 광량이 초기 광량(Iint)으로부터 목표 광량(Itgt)으로 전환되었을 때에는, 그 전환 시부터의 경과 시간에 따라 결정된 보정 레시피(화상 데이터의 보정 계수, 화상 신호의 게인 정보)를 이용하여 검사 처리가 이루어진다.
10: 센서 패널 어셈블리(피검사체) 11: 센서 패널
12: 커버 유리 13, 15: 접착제
20: 액정 패널 어셈블리 30: 조명 장치
31: 광원 장치 32: 조명 헤드
33: 라이트 가이드 34: 집광기
41: 라인 센서 카메라 42: 반사판(확산판)
43: 투과 전용 조명 장치 50: 이동 기구
60: 처리 유닛 61: 표시 유닛
62: 조작 유닛 63: 레벨 조정 회로
311: 고휘도 LED 유닛 312: 도광 미러
313: 전원 유닛 314: 냉각팬

Claims (10)

  1. 피검사체를 조명하는 조명 장치와, 이 조명 장치에 의해 조명되는 상기 피검사체를 촬영하여 화상 신호를 출력하는 촬영 유닛과, 이 촬영 유닛으로부터의 화상 신호에 기초하여 상기 피검사체의 화상을 나타내는 화상 데이터를 생성하며, 이 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하는 처리 유닛을 갖는 검사 장치에 있어서,
    상기 처리 유닛은,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 처리 정보를 결정하는 처리 정보 결정 수단을 가지며,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따라 상기 처리 정보 결정 수단에서 결정되는 처리 정보를 이용하여 상기 검사 처리를 행하는 것인 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리 유닛은, 상기 처리 정보로서의 화상 검사 기준에 기초하여 상기 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하고,
    상기 처리 정보 결정 수단은, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 상기 화상 검사 기준을 결정하는 것인 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 처리 정보 결정 수단은,
    상기 조명 장치의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 상기 화상 데이터의 보정 계수를 결정하는 수단을 가지며,
    상기 보정 계수를 이용하여, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 화상 데이터를 결정하는 것인 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 처리 정보 결정 수단은,
    상기 조명 장치의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는 상기 촬영 유닛으로부터의 상기 화상 신호의 게인 정보를 결정하는 수단을 가지며,
    상기 게인 정보를 이용하여, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 화상 신호의 레벨을 조정하는 것인 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리 유닛은, 상기 조명 장치의 위치적인 조명 불균일과 상기 촬영 유닛의 입사광에 대한 위치적인 감도 불균일 중 하나 이상을 보정하기 위한 셰이딩 보정 정보를 상기 처리 정보로서 이용하여 상기 화상 데이터를 생성해서, 그 생성된 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하고,
    상기 처리 정보 결정 수단은, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적인 변화에 따라 변화하는 상기 셰이딩 보정 정보를 결정하는 것인 검사 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 처리 정보 결정 수단은,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 있어서의 복수의 시간대의 각각에 대응한 처리 정보를 얻기 위한 정보를 기억하는 기억 수단과,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 대응하는 처리 정보를 상기 기억 수단에 기억된 정보에 기초하여 취득하는 수단을 갖는 것인 검사 장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 처리 정보 결정 수단은,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 있어서의 복수의 타이밍의 각각에 대응한 처리 정보에 기초해서 얻어지며, 상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따른 처리 정보의 변화 특성에 기초하여, 상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 대응하는 처리 정보를 생성하는 수단을 갖는 것인 검사 장치.
  8. 조명 장치에 의해 조명되는 피검사체를 촬영 유닛에 의해 촬영하여 얻어지는 화상 데이터가 나타내는 상기 피검사체의 화상에 대한 검사 처리를 행하는 검사 방법에 있어서,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 초기 광량으로부터 목표 광량으로 전환될 때에, 상기 조명 장치로부터의 조명 광량의 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량까지의 시간적 변화에 따라 변화하는, 상기 검사 처리에 이용되는 처리 정보를 결정하는 처리 정보 결정 단계와,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따라 상기 처리 정보 결정 단계에서 결정되는 처리 정보를 이용하여 상기 검사 처리를 행하는 검사 처리 실행 단계
    를 포함하는 검사 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 처리 정보 결정 단계는,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 있어서의 복수의 시간대의 각각에 대응한 처리 정보를 얻기 위한 정보를 기억 수단에 기억시키는 단계와,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 대응하는 처리 정보를 상기 기억 수단에 기억된 정보에 기초하여 취득하는 단계를 포함하는 것인 검사 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 처리 정보 결정 단계는,
    상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 있어서의 복수의 타이밍의 각각에 대응한 처리 정보에 기초하여 얻어지며, 상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 따른 처리 정보의 변화 특성에 기초하여, 상기 조명 장치의 설정 광량이 상기 초기 광량으로부터 상기 목표 광량으로 전환되었을 때부터의 경과 시간에 대응하는 처리 정보를 생성하는 단계를 포함하는 것인 검사 방법.
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