JP2013149758A - 固体撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画素領域および周辺回路領域を有する固体撮像装置は、前記画素領域および前記周辺回路領域に配置された配線と、前記周辺回路領域に配置されたダミーパターンとを備える。前記周辺回路領域における前記配線は、複数の導電パターンを含み、前記複数の導電パターンの間に前記ダミーパターンが配置され、前記ダミーパターンは、前記配線に対して電気的に絶縁されている。
【選択図】図2
Description
Claims (12)
- 画素領域および周辺回路領域を有する固体撮像装置であって、
前記画素領域および前記周辺回路領域に配置された配線と、
前記周辺回路領域に配置されたダミーパターンと、を備え、
前記周辺回路領域における前記配線は、複数の導電パターンを含み、前記複数の導電パターンの間に前記ダミーパターンが配置され、前記ダミーパターンは、前記配線に対して電気的に絶縁されている、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記配線は、複数の配線層のうち最上の配線層に配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記最上の配線層を覆う平坦化層を更に備える、
ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記平坦化層は、樹脂を含む、
ことを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。 - 前記画素領域における前記配線と前記周辺回路領域における前記配線とが相互に電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記導電パターンとそれに隣接する前記ダミーパターンとの間隔が30ミクロン以下である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記配線は、電源線および接地線の少なくとも一方を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の配線層のうち最上の配線層の1つ下の配線層に配置された信号線を有し、
前記ダミーパターンは、平面視において前記信号線の上に重なるように配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記ダミーパターンは、電気的に浮遊である、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、を含む、
ことを特徴とするカメラ。 - 画素領域および周辺回路領域を有する固体撮像装置の製造方法であって、
前記画素領域および前記周辺回路領域に配置された配線および前記周辺回路領域に配置されたダミーパターンを形成する工程と、
前記配線および前記ダミーパターンの上に平坦化層を形成する工程と、を含み、
前記周辺回路領域における前記配線は、複数の導電パターンを含み、前記複数の導電パターンの間に前記ダミーパターンが配置され、前記ダミーパターンは、前記配線に対して電気的に絶縁されている、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記平坦化層を形成する工程では、スピンコート法によって前記平坦化層を形成する、
ことを特徴とする請求項11に記載の固体撮像装置の製造方法。
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