JP2013149172A - 物流ラインの構成装置、物流ラインの管理装置、物流ライン管理システム、搬送制御プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

物流ラインの構成装置、物流ラインの管理装置、物流ライン管理システム、搬送制御プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 Download PDF

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Abstract

【課題】物流ラインを流れる物品のIDに欠落を発生させない管理技術を提供する。
【解決手段】搬送装置20は、搬送中の物品の識別情報が欠落している場合に、欠落している識別情報に代わる新識別情報を発行するユニークID発行部240を備えている。管理装置10は、搬送装置20から受信した識別情報が発行済みの識別情報と異なる場合、その識別情報を、未発行の識別情報に置き換える識別情報管理部12を備えている。
【選択図】図1

Description

本発明は、生産ラインなどの物流ラインを構成する構成装置および管理装置と、これらの装置を組み合わせた物流ライン管理システムとにおいて実行される物流ラインの管理技術に関するものである。
例えば、生産ラインを有する生産システムでは、原料品を生産ラインに流し、原料品の搬送を行いながら各種の製造工程を実施し、中間製品ないし最終製品を製造する。
このような、生産ラインを有する生産システムでは、何らかの障害が生じて、当該生産ラインを停止する場合がある。その場合、生産ラインが停止している間は、製品の生産が不可能になるため、生産システムの生産性が低下する。従って、生産ラインが停止する事態は好ましくない。
そこで、下掲の特許文献1には、搬送ラインが複数の搬送設備に分割され、複数の搬送設備ごとに設けられた設備コントローラが、搬送される物品のトラッキングデータを共通で記憶できるように構成された搬送システムが開示されている。
具体的には、複数の搬送設備ごとに設備コントローラと記憶手段とが設けられ、複数の設備コントローラ同士は、設備LANによって直接的に接続されている。この設備LANを介して、各設備コントローラからそれぞれの記憶手段にトラッキングデータを共通で記憶することができるようになっている。
上記搬送システムによれば、上位システムからの搬送指示に対して、設備コントローラが対応の搬送設備を制御するための制御内容を、設備コントローラ内で生成させるようになっており、高い自立性を有した搬送システムとすることができる。従って、上記搬送システムは、搬送ラインに障害が発生した場合でも、一定の範囲で搬送を継続できるような柔軟な対応が可能であると説明されている。
特許文献1に開示された搬送システムは、コンピュータを用いて搬送物および搬送ラインの制御・管理を行うCIM(Conputer Integrated Manufacturing:コンピュータ統合生産)システムと呼ばれている(下掲の特許文献4参照)。このようなCIMシステムにおいては、搬送物にIDなどの識別子を付すことにより、生産ライン上を搬送物が正しく流れているかを、コンピュータによって管理することが行われる。
例えば、下掲の特許文献2には、カラーフィルタの製造ラインにおいて、露光機にセットされた上記ガラス基板または上記フォトマスクが正常か異常かを判断するマスク照合方法が開示されている。
具体的には、製造ラインにガラス基板が投入されると、当該ガラス基板に対し仮識別コードを発行し、当該ガラス基板が上記露光機にセットされると、当該ガラス基板の仮識別コードが製造指示書と照合される。照合の結果、正しいガラス基板が露光機にセットされたかどうかが判断される。
さらに、上記ガラス基板の仮識別コードと、ガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管し、保管された識別コードが、上記フォトマスクから読み取った識別コードと照合される。照合の結果、正しいフォトマスクが露光機にセットされたかどうかが判断される。
上記マスク照合方法によれば、露光機にガラス基板がセットされた時点では、当該ガラス基板に識別コードが付与されていなくても、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定できると説明されている。
また、例えば、下掲の特許文献3には、物品の実際の通過順序と予定の通過順序とにずれが生じた場合、そのずれを自動的に補正する物流制御装置が開示されている。
具体的には、上記物流制御装置には、IDコードリーダの前を通過する予定になっている物品のIDコードが用意されている。さらに、付随情報が通過予定順に格納されている通過予定テーブルのエントリの内の1つを指し示すトラッキングポインタおよび仮トラッキングポインタが用意されている。
IDコードリーダの前を通過する物品と、通過する予定の物品とが異なるものになった場合、制御手段は、上記トラッキングポインタはそのままにしておき、仮トラッキングポインタを、予定の物品が抜けた時に次に通過すると予想される物品の上記エントリを指し示すポインタに変更する。そして、トラッキングポインタおよび仮トラッキングポインタが指し示すエントリ中のIDコードと、上記IDコードリーダが読み取った、通過する物品のIDコードとを比較し、それらのIDコードが一定回数連続して一致した方のポインタを有効にする。これにより、物品の実際の通過順序と予定の通過順序とにずれが生じた場合、そのずれを自動的に補正することができると説明されている。
特開2000−344339号公報(2000年12月12日公開) 特開2009−250999号公報(2009年10月29日公開) 特開平9−175639号公報 (1997年 7月 8日公開) 特開平9− 16209号公報 (1997年 1月17日公開)
(検討対象の生産システム)
図8に示す生産システム1000は本発明者らが検討しているモデルであり、2枚の基板51a、51bを同時に搬送しながら、2つの工程(第1工程および第2工程)を順に実施する生産システムである。
基板51a、51bのそれぞれには、[A:B]、[A:C]で表されるロットID(上記カッコ内の“A”)およびセルID(上記カッコ内の“B,C”)が割り当てられる。
上記生産システム1000では、搬送装置501aから搬送装置501bへ、基板51a、51bの受け渡しが行われるとき、同じく搬送装置501aから搬送装置501bへ、基板51a、51bのロットIDおよびセルIDの受け渡しも行われる。また、生産システム1000では、第1工程から第2工程へと、基板51a、51bを搬送するとき、HOST1020と呼称されるコンピュータを介して、搬送装置501bから搬送装置501cへと、基板51a、51bのロットIDおよびセルIDの受け渡しが行われる。
ところが、上記生産システム1000では、搬送装置間での上記ロットIDおよびセルIDの受け渡しにエラーが発生すると、ロットIDおよびセルIDがHOST1020に認識されないまま基板が流れてしまい、物流に支障を来たすという問題がある。
以下、図8を参照してさらに説明する。例えば、搬送装置501aから搬送装置501bへと、基板51a、51bのロットIDおよびセルIDの受け渡しが行われるとき、通信トラブルなどによって、トラッキングを失敗することがある。そうすると、基板51a、51bの一方または両方が、ロットIDおよびセルIDの少なくとも一方をロストし、搬送装置501bがロストしたIDを受け取れなくなる(トラッキングの失敗によるIDのロスト)。その場合、例えば基板51bのみがロットIDおよびセルIDをロストしたとすれば、基板51bのIDは、搬送装置501bにおいて、[Null:Null]で表される空(から)の状態になる。
その場合、第1工程から第2工程へと、すなわち搬送装置501bから搬送装置501cへと、基板51a、51bを搬送するとき、上記HOST1020は、搬送装置501bから基板51bのIDは空であるという報告を受け取る。すると、HOST1020は、基板51bが何らかの理由によって失われたと判断する。そのため、HOST1020は、基板51aのIDについては搬送装置501cに伝えるが、基板51bのIDについては搬送装置501cに伝えない。
従って、搬送装置501cは基板51bのIDを取得できない。このようにして、ロストしたIDの欠落が発生し、基板51bはIDのないまま搬送装置501cに渡されることになる。
さて、基板51a、51bを受け取った搬送装置501cまたはそれ以降の装置が、当該装置内において基板の有無の検査を実施した場合、当該装置内に基板51a、51bが存在することを検知する。すると当該装置は、基板51a、51bのIDを取得しているかどうか確認する。しかし、前述のように、基板51bはIDがない状態であるので、当該装置は基板51bの存在をIDによって認識することができない。その結果、当該装置はエラーを発して、停止する(搬送ストップ・一時停止など)。
このように、装置が停止している間が発生すると、その間は処理工程を行うことができないので、生産システム1000の生産能力が低下するという問題がある。
また、上記装置が搬送システムを停止することなく、基板51a、51bに対してそれ以降の工程がそのまま実行されていったとしても、基板51bにはIDが存在しない(欠落している)ままである。従って、各装置および工程における、基板51bの処理データが記憶部(図示せず)に保存されない。そのため、基板51bの生産履歴を追跡することが困難になるという問題がある。
このようなIDのロストは、CIMシステムにおいては、一般的に起こりうる問題である。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、物流ラインを流れる物品がIDをロストしても、当該物品のIDの欠落が発生することのない物流ラインの管理技術を提供することにある。
本発明に係る物流ラインの構成装置は、
(1)物流ラインの上流側装置から流れてくる物品に割り当てられた識別情報を送受信する第1の識別情報送受部と、
(2)上記第1の識別情報送受部で受信した上記識別情報を記憶する第1の記憶部と、
(3)上記上流側装置から送られた物品の有無を検出し、当該物品の数を認識する物品検出部と、
(4)上記第1の記憶部に記憶された上記識別情報が、上記物品検出部で認識された物品の数に対応せず、欠落している場合に、欠落している識別情報に代わる新識別情報を発行する識別情報発行部とを備えたことを特徴とする。
上記の構成において、物流ラインを流れる物品には、物流ラインの管理装置によって識別情報が発行されている。正常な状態では、上記構成装置は、上流側装置から物品を受けるとともに、その受けた物品の識別情報を、第1の識別情報送受部が上流側装置または管理装置などから受信する。したがって、正常な状態では、第1の識別情報送受部を介して第1の記憶部に記憶された識別情報は、物品検出部で認識された物品の数と対応し、各物品に対して発行された識別情報が、物品検出部で認識された物品の数だけ存在する。
しかし、第1の識別情報送受部における送受信にエラーなどが発生すると、第1の記憶部に記憶された識別情報に欠落が生じる。
上記の構成によれば、物品検出部によって物品が検出されているにもかかわらず、第1の記憶部に記憶された上記識別情報が欠落している場合に、識別情報発行部が、欠落している識別情報に代わる新識別情報を発行する。すなわち、新識別情報は、管理装置によってではなく、物流ラインの構成装置において発行される。
これにより、物流ラインを物品が流れているのに、その物品の識別情報が欠落しているという不正常な状態を是正することができる。
なお、個々の物品に対して発行される識別情報は、管理装置が物流ラインに流れる物品の全体を管理することにより、統一した発行規則に基づいて発行される。しかし、新識別情報は、構成装置において発行されるので、物品が存在していることを少なくとも示すことができる一時的な、言い換えると仮の識別情報であってよい。
新識別情報を複数の物品に対して発行する必要が生じた場合には、識別情報発行部は、互いに異なる新識別情報を発行する。
本発明に係る物流ラインの構成装置は、上記物品検出部で認識された物品の数の情報を含む情報を受け取る第1の照合部であって、上記第1の記憶部を参照して、上記第1の記憶部に記憶された上記識別情報の数と、上記物品検出部で認識された物品の数とを照合し、上記識別情報が欠落しているかどうかを判定する第1の照合部をさらに備えたことを特徴とする。
上記の構成によれば、前記識別情報発行部は、上記識別情報が欠落していることを示す上記第1の照合部の判定結果に基づいて、前記新識別情報を発行することができる。
本発明に係る物流ラインの構成装置における上記第1の識別情報送受部は、上記管理装置と通信を行うとともに、上記識別情報発行部が発行した上記新識別情報を、上記管理装置に送信することを特徴とする。
上記の構成によれば、構成装置において発行された新識別情報を、第1の識別情報送受部を介して管理装置に送信することができる。したがって、管理装置は、識別情報が欠落したエラーが発生したことを認識することができ、上記構成装置の下流側の工程において支障が起きないように、必要な対策処理を実行することができる。
上記必要な対策処理とは、例えば、管理装置が受信した新識別情報を、識別情報の発行規則に基づいて、より適切な識別情報に書き換える処理などを含む。
本発明に係る物流ラインの管理装置は、
(1)第2の記憶部と、
(2)物流ラインを流れる物品に対して、個別に識別情報を発行し、発行した識別情報を上記第2の記憶部に記憶させる識別情報管理部と、
(3)上記物流ラインを構成する構成装置へ、上記識別情報管理部が発行した識別情報を送信する、または、当該構成装置を流れる物品の識別情報を上記構成装置から受信する第2の識別情報送受部と、
(4)上記構成装置から受信した識別情報を、上記第2の記憶部に記憶された上記識別情報と照合する第2の照合部とを備え、
(5)上記第2の照合部における照合の結果が不一致の場合、上記識別情報管理部は、上記構成装置から受信した識別情報を、未発行の識別情報に置き換えることを特徴とする。
上記の構成によれば、物流ラインの管理装置は、上記識別情報管理部を備えているので、物流ラインを流れる物品に対して、個別に識別情報を発行し、発行した識別情報を上記第2の記憶部に記憶させることができる。
物品に対して発行された識別情報は、第2の識別情報送受部を介して構成装置へ送信されるので、構成装置もまた、物流ラインを流れる物品を識別情報によって管理することができる。
また、管理装置は、構成装置を流れる物品の識別情報を、上記第2の識別情報送受部を介して上記構成装置から受信することもできるので、構成装置から受信した識別情報に異常がないかについて、チェックを実行することができる。
そのチェックの実行部として、管理装置は、上記構成装置から受信した識別情報を、上記第2の記憶部に記憶された発行済みの識別情報と照合する第2の照合部を備えている。第2の照合部は、照合の結果が不一致の場合、上記識別情報管理部は、上記構成装置から受け取った識別情報を、未発行の識別情報(予備の識別情報)に置き換える。
したがって、上記構成装置から受け取った識別情報が正常ではない場合に、管理装置が管理できる未発行の識別情報を改めて発行するので、物流ラインが管理装置の正常な管理から逸脱してしまうといった不正常な状態に陥ることを回避することができる。
本発明に係る物流ラインの管理装置において、
(1)上記識別情報は、ひとまとまりの物流を示すロットIDと、上記物流ラインを流れる物品に対して個別に付与する物品IDとを含み、
(2)上記識別情報管理部は、上記ロットIDを発行するとともに、上記物流ラインを流れている物品の現在ロットIDを認識するロットID管理部と、少なくとも上記物品IDを発行する物品ID管理部とを含み、
(3)上記第2の照合部における照合の結果が不一致の場合、上記識別情報管理部は、上記ロットID管理部が認識しているロットIDと、上記物品ID管理部が未発行の物品IDとを、上記未発行の識別情報として生成することを特徴とする。
上記の構成において、物流ラインには、複数の物品が流れているが、物流の途中に休憩時間が入ったり、製造工程の部品または製造条件が適宜変わったりする。このため、ひとまとまりの物流を1つのロットとして管理し、別のひとまとまりの物流と区別できるように、同じロットの物品には、同じロットIDを発行し、異なるロットの物品には、異なるロットIDを発行する。
また、各物品には、物品ID管理部によって物品IDが発行されるので、管理装置は、ロットIDと物品IDとの組み合わせによって、各ロットの物流を管理することができる。
上記構成装置から受け取った識別情報が正常ではない場合に、現在ロットIDを再発行するとともに、未発行の物品IDを発行することによって、物流ラインを管理装置の正常な管理下に置く処理を簡単に行うことができる。
なお、ロットID管理部が現在ロットIDを認識する処理は、上記識別情報管理部から通知される形態でもよいし、構成装置から受信した識別情報に含まれているロットIDを取得する形態でもよい。
本発明に係る物流ラインの管理装置において、上記物品を含む複数の物品が、上記物流ラインを流れている場合、上記ロットID管理部は、上記第2の識別情報送受部が、上記構成装置から受信した識別情報に含まれているロットIDによって、上記現在ロットIDを認識することを特徴とする。
上記の構成によれば、上記構成装置から識別情報を受信することは、管理装置が物流を管理する上で必要なので、その受信した識別情報に含まれているロットIDを利用して、現在ロットIDを認識することは、管理装置の動作の簡素化に役立つ。
本発明に係る物流ライン管理システムは、上記いずれかの物流ラインの構成装置と、上記いずれかの物流ラインの管理装置とを含んでいることを特徴とする。
上記の構成によれば、欠落した識別情報に代えて、構成装置が発行した新識別情報を構成装置から管理装置へ送信することができる。また、管理装置は、構成装置から受信した新識別情報が第2の記憶部に記憶されていないことを検知することによって、新識別情報を未発行の識別情報に置き換える。
これにより、物流ラインを物品が流れているのに、その物品の識別情報が欠落し、その結果、物流ラインが管理装置の正常な管理から逸脱してしまうといった不正常な状態に陥ることを回避することができる。
上記いずれかの物流ラインの構成装置が備えている各部として、コンピュータを機能させる搬送制御プログラム、上記いずれかの物流ラインの管理装置が備えている各部として、コンピュータを機能させる搬送制御プログラム、およびこれらの搬送制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体もまた、本発明の範疇に属する。
以上のように、本発明に係る物流ラインの構成装置は、上流側装置から送られた物品に対して発行された識別情報が欠落している場合に、欠落している識別情報に代わる新識別情報を発行する識別情報発行部を備えているので、物品の識別情報が欠落しているという不正常な状態を是正することができるという効果を奏する。
また、本発明に係る物流ラインの管理装置は、構成装置から受信した識別情報が、発行済みの識別情報と不一致の場合、上記構成装置から受信した識別情報を、未発行の識別情報に置き換える識別情報管理部を備えているので、物品の識別情報が欠落し、その結果、物流ラインが管理装置の正常な管理から逸脱してしまうといった不正常な状態に陥ることを回避することができるという効果を奏する。
さらに、本発明に係る物流ライン管理システムは、上記構成装置および上記管理装置を含んでいるので、物品の識別情報が欠落し、その結果、物流ラインが管理装置の正常な管理から逸脱してしまうといった不正常な状態に陥ることを回避することができるという効果を奏する。
本発明の実施形態に係るCIMシステムの構成を示すブロック図である。 上記CIMシステムによる基板の搬送/処理工程を概略的に示す模式図である。 上記CIMシステムにおいて、物流の途中で基板の識別情報が欠落した場合に、その欠落を修復する動作を説明する模式図である。 構成装置が実行するエラー回復動作の手順を示すフローチャートである。 管理装置が実行するエラー回復動作の手順を示すフローチャートである。 CIMシステムにおけるエラー回復動作に伴った識別情報の流れを示す模式図である。 本発明が改善の対象としているシステムモデルの動作を示す模式図である。 上記システムモデルを概略的に示す模式図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、相対配置などは、特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる例示に過ぎない。
本発明の物流ライン管理システムの実施形態として、CIMシステム1について、図1〜5を参照して説明する。
図2に示すように、本実施形態に係る物流ラインは、複数の工程間で基板2a,2b(物品)を一括搬送しながら、基板2a,2bに対し、各工程ごとに所定の処理を施す生産ラインである。ひとまとまりの物流を表すロットでは、2枚の基板2a,2bを1組として、多数組の基板が生産ラインを連続的に流れる。
一括搬送される基板の数は、2枚に限られず、3枚以上でもよい。また、一括搬送の形態に限定される必要もなく、1枚の基板が生産ラインを連続的に流れる形態でも構わない。
当該生産ラインには、物流ラインの各種構成装置が配置されている。すなわち、第1工程に対応して、搬送装置20a、処理装置30aおよび搬送装置20bがこの順に配置され、第2工程に対応して、搬送装置20cおよび処理装置30bがこの順に配置されている。なお、処理装置30bの下流側にも、他の搬送装置および他の処理装置が配置されている。
上記CIMシステム1は、システム内に搬入された基板2a,2bが、生産ラインのどの位置にあるかを追跡(トラッキング)する。特に、基板2a,2bが搬送装置20a、20b、20cのどの位置にあるかトラッキングする。
(CIMシステムの構成)
まず、CIMシステム1の構成について、CIMシステム1のブロック図である図1を用いて説明する。
CIMシステム1は、生産ラインの管理装置10および搬送装置20を含んで構成されている。上記搬送装置20は、図2に示す上記搬送装置20a、20b、20cのいずれか1つに相当している。
(管理装置の構成)
上記管理装置10は、記憶部11(第2の記憶部)と、識別情報管理部12と、第2の識別情報送受部13と、照合部14(第2の照合部)とを備えている。
上記識別情報管理部12は、生産ラインを流れる基板2a,2bに対して、個別に識別情報を発行し、発行した識別情報を上記記憶部11に記憶させる。
上記識別情報は、ひとまとまりの物流を示すロットIDと、生産ラインを流れる基板2a,2bに対して個別に付与するセルID(物品ID)とを含んでいる。
したがって、上記識別情報管理部12は、上記ロットIDを発行するとともに、生産ラインを流れている基板2a,2bの現在ロットIDを認識するロットID管理部120と、少なくとも上記セルIDを発行するセルID管理部121(物品ID管理部)とを含んでいる。
上記ロットID管理部120は、上記ロットIDを発行するロットID発行部120aと、上記現在ロットIDを認識するロットID認識部120bとを備えている。
上記第2の識別情報送受部13は、生産ラインを構成する上記搬送装置20へ、識別情報管理部12が発行した識別情報を送信する、または、当該搬送装置20を流れる基板2a,2bの識別情報を搬送装置20から受信する。
したがって、第2の識別情報送受部13は、識別情報管理部12が発行した識別情報を受け取るID送受部130と、識別情報を送受信する通信部131とを備えている。なお、ID送受部130は、ロットID管理部120およびセルID管理部121に接続されている。
上記照合部14は、搬送装置20から受信した識別情報を、上記記憶部11に記憶された発行済みの識別情報と照合する。
上記照合部14における照合の結果が不一致の場合、上記識別情報管理部12は、上記搬送装置から受け取った識別情報を、未発行の識別情報(予備の識別情報)に置き換える。この識別情報管理部12が実行する処理については、あとで詳述する。
(搬送装置の構成)
次に、物流ラインの構成装置を代表する上記搬送装置20の構成について説明する。なお、処理装置30aが、以下の構成を備えていてもよい。
搬送装置20は、第1の識別情報送受部21と、記憶部22と、基板検出部23(物品検出部)と、ユニークID発行部240(識別情報発行部)とを基本構成として備えている。ユニークID発行部240は、照合部241(第1の照合部)とともに、識別情報管理部24を構成している。
上記第1の識別情報送受部21は、生産ラインの上流側装置から流れてくる基板2a,2bに割り当てて、上記管理装置10が発行した識別情報を送受信する。より具体的には、上記第1の識別情報送受部21は、記憶部22、ユニークID発行部240および照合部241と識別情報をやり取りするID送受部210と、識別情報を送受信する通信部211とを備えている。上記通信部211は、管理装置10の通信部131または他の搬送装置20または処理装置30aなどに設けられた他の通信部211と通信を行う。
上記記憶部22は、第1の識別情報送受部21で受信した識別情報を記憶する。
上記基板検出部23は、上記上流側装置から送られた基板2a,2bの有無を、光センサなどによって検出し、基板2a,2bの数を認識する。
上記ユニークID発行部240は、上記記憶部22に記憶された識別情報が、上記基板検出部23で認識された基板2a,2bの数に対応せず、欠落している場合に、欠落している識別情報に代わる新識別情報を発行する。このユニークID発行部240が実行する処理については、あとで詳述する。
上記照合部241は、上記基板検出部23で認識された基板2a,2bの数の情報を含む情報を受け取る。さらに、照合部241は、上記記憶部22を参照して、記憶部22に記憶された上記識別情報の数と、基板検出部23で認識された基板2a,2bの数とを照合し、上記識別情報が欠落しているかどうかを判定する。
なお、ロットIDとセルIDとを含む上記識別情報は、管理装置で発行される形態に限定されない。例えば、生産ラインへ基板を最初に投入する時に、管理装置とは異なるコンピュータまたは通信端末などを介して、各基板に上記識別情報を発行する工程を別途実行するようにしてもよい。
(CIMシステム1による搬送/処理工程図)
次に、第1工程および第2工程と称する、2つの処理工程を含むCIMシステム1において、第1工程および第2工程で基板に実施される処理について、図2を参照して説明する。第1工程はここでは印刷処理工程とし、第2工程はここでは洗浄工程として説明する。もちろん、第1工程および第2工程は、それ以外の処理工程であっても構わない。なお、ここでの処理工程とは被処理物である基板に何らかの加工処理を行う工程の他、加工を伴わない検査や測定を行う工程を含んでも構わない。
CIMシステム1に搬入された基板2a、2bに対して、それぞれ、上記ロットIDおよび上記セルIDとして[A:B]、[A:C]が、管理装置10によって発行されている。上記カッコ内において、左のアルファベット(A)がロットIDを表し、右のアルファベット(BまたはC)がセルIDを表す。
第1工程では、基板2a、2bは、搬送装置20aから処理装置30aに渡され、処理装置30aにて印刷処理を施される。印刷処理が終了すると、基板2a、2bは、処理装置30aから搬送装置20bに渡される。
搬送装置20aと搬送装置20bとは、それぞれの上記通信部211を介して、通信を行い、基板2a、2bの識別情報である上記[A:B]および[A:C]が、搬送装置20aから搬送装置20bへ送信される。
なお、識別情報の送受信は、上記の形態に限らず、搬送装置20aと処理装置30aとの間の通信、および処理装置30aと搬送装置20bとの通信による2段階の通信を経て、搬送装置20bが上記[A:B]および[A:C]を受信してもよい。
このようにして第1工程が終了した基板2a、2bは、続いて第2工程に移るために、搬送装置20bから搬送装置20cへと、工程間搬送が行われる。
このとき、基板2a、2bのロットIDおよびセルIDは、搬送装置20bが保持している状態である。搬送装置20bは、基板2a、2bが第1工程を完了したことを管理装置10へ通知する処理として、上記[A:B]および[A:C]を管理装置10へ送信する。
管理装置10は、受信した[A:B]および[A:C]が、基板2a、2bに対して発行済みの識別情報と一致するかどうかを判定し、一致していると判定した場合に、[A:B]および[A:C]を、第2工程の初段の搬送装置20cへ送信する。
搬送装置20cは、搬送装置20bから基板2a、2bを受け取ると、基板検出部23を用いて基板の数を確認し、その数と整合する識別情報を管理装置10から受信したかどうかを判定する。その判定に問題がなければ、基板2a、2bを処理装置30bへ送るとともに、識別情報[A:B]および[A:C]を、処理装置30bの下流に配された搬送装置へ送信する。もし、搬送装置20cの上記判定に異常がある場合には、搬送装置20cから管理装置10へエラー信号が送られる。
こうして、処理装置30bへと移動した基板2a、2bは、洗浄処理を施される。
以上のように、各種の工程を繋げることによって、CIMシステム1は、基板の流れを監視しながら、基板に対して複数の処理工程を連続して実施することができる。
(エラー回復処理の概要)
搬送装置20aおよび搬送装置20b同士の間で、通信エラーが発生した場合、生産ラインを基板2a、2bが流れているにもかかわらず、基板2a、2bの識別情報[A:B]および[A:C]の少なくとも一部を搬送装置20bが受信できないという不具合が発生する。
例えば、図3に示すように、搬送装置20bが識別情報[A:C]を受信できなかったとすると、搬送装置20bは、管理装置10へ識別情報[A:B]を送ることしかできない。この結果、管理装置10は、基板2bを追跡する(トラッキングする)ことが不可能になる。すなわち、管理装置10は、発行したはずの識別情報[A:C]を確認できないことによって、基板2bを見失う。したがって、管理装置10は生産ラインに異常が発生したと判断し、生産ラインをストップさせざるを得なくなる。
このような不具合の発生を回避するために、CIMシステム1では、識別情報のエラー回復動作が実行される。
まず、エラーの発生を検出した搬送装置20bは、以下の回復動作を行う。搬送装置20bは、検出した基板の数(図3では2枚)に整合した識別情報を受信できなかった場合、欠落した識別情報に代わる新識別情報[X:Y]を発行する。新識別情報[X:Y]は、管理装置10等が統一した規則に従って発行した識別情報[A:B]および[A:C]とは異なり、独自の規則に基づいて、重複しないように発行される。
次に、管理装置10は、以下の回復動作を行う。管理装置10は、搬送装置20bから新識別情報[X:Y]を含む識別情報[A:B]および新識別情報[X:Y]を受信すると、識別情報[A:B]および新識別情報[X:Y]を、発行済みの識別情報[A:B]および[A:C]と照合する。これにより、新識別情報[X:Y]は、搬送装置20bの回復動作によって発行されていることを管理装置10は認識する。
そこで、管理装置10は、新識別情報[X:Y]を適正な識別情報[A:D]に置き換える。この置き換え動作については、あとで詳述するが、識別情報[A]は、管理装置10が把握している現在ロットIDであり、識別情報[D]は、発行済みのセルIDとは重複しないように、かつ、管理装置10が掌握している規則に従うように発行された新しいセルIDである。
こうして、欠落した識別情報は、エラーを検出した搬送装置20bで発行された新識別情報[X:Y]を経て、管理装置10によって適正な識別情報[A:D]に置き換えられた後、次の搬送装置20cへ送られる。
この結果、生産ラインを流れる基板の数と、各基板の識別情報とは、常に整合した状態が保たれるので、通信エラーが生産ラインを止めるという不具合の発生を防止することができる。
(搬送装置によるエラー回復動作の詳細)
以下に、図1、図4および図6を参照して、エラーが発生した搬送装置20bが実行するエラー回復動作を詳述する。図4は、搬送装置が実行するエラー回復動作の手順を示すフローチャートである。図6は、CIMシステム1におけるエラー回復動作に伴った識別情報の流れを示す模式図である。
まず、ID送受部210は、通信部211を介して、上流側の装置(例えば搬送装置20a)から識別情報を受信したかどうかを判定する(ステップ1:以下、S1と略記する)。S1における判定結果がNoであれば、ID送受部210は、識別情報の受信を待ち受ける。S1における判定結果がYESの場合、ID送受部210は、受信した識別情報を記憶部22に記憶させる(S2)。
記憶部22には、例えば、受信した識別情報[A:B]および[A:C]が、No.1、No.2などの番号付けを順番にされたテーブル形式で格納される。
次に、基板検出部23が、搬送装置20bに搬入された基板を検出したかどうか、すなわち、光センサなどの検出器から検出信号を受信したかどうかを判定する(S3)。S3における判定結果がNoであれば、基板検出部23は、識別情報の受信を待ち受ける。S3における判定結果がYESの場合、基板検出部23は、検出した基板の数を認識し、その数の情報を含む情報(以下、数の情報と呼ぶ)を照合部241へ送る。
なお、上記S1およびS2の処理とS3の処理とは入れ替えることができる。
続いて、照合部241は、基板検出部23から上記数の情報を受けると、記憶部22を参照し、上記数の情報と整合した数の識別情報が記憶されているかどうかを判定する(S4)。S4における判定結果がYESの場合、搬送装置20bが受信した識別情報には欠落が無く、正常な状態であると照合部241は認識する。したがって、照合部241は、第1の識別情報送受部21を介して、管理装置10へ、受信した識別情報(例えば[A:B]および[A:C])をそのまま送信する(S6)。
一方、S4における判定結果がNoの場合、搬送装置20bが受信した識別情報には欠落があり、不正常な状態であると照合部241は認識する。例えば、図6に示すように、ID送受部210が、識別情報[A:B]だけを受信したにもかかわらず、基板検出部23が2枚の基板を検出した場合、照合部241は、記憶部22のNo.2に対応する記憶領域に、識別情報[Null:Null]を記録する。
この後、照合部241は、ユニークID発行部240に、欠落した識別情報に代わる新識別情報を発行させる。これに応じて、ユニークID発行部240は、独自の発行規則に基づいて、ロットID[X]およびセルID[Y]を組み合わせた新識別情報[X:Y]を発行する(S5)。
なお、照合部241による識別情報[Null:Null]の記録を省略し、ユニークID発行部240が発行した新識別情報[X:Y]を、記憶部22のNo.2に対応する記憶領域に直接記録するようにしてもよい。
最後に、照合部241は、第1の識別情報送受部21を介して、管理装置10へ、受信した識別情報(例えば[A:B])に、新識別情報[X:Y]を加えて送信する(S6)。
このようにして、搬送装置20bは、基板の数に対して識別情報が欠落した不正常な状態を修復することができる。
なお、S1〜S6の動作は、全ての構成装置において実行され得る。ただし、例えば搬送装置20aにとって、上流側装置は管理装置10であり、識別情報を送信する相手装置は、搬送装置20bである。このように、どの構成装置に着目するかによって、上流側装置および識別情報を送信する相手装置は変わる。
(管理装置によるエラー回復動作の詳細)
次に、図1、図5および図6を参照して、管理装置10が実行するエラー回復動作を詳述する。図5は、管理装置10が実行するエラー回復動作の手順を示すフローチャートである。
まず、ID送受部130は、通信部131を介して、例えば搬送装置20bから識別情報を受信したかどうかを判定する(S11)。S11における判定結果がNoであれば、ID送受部130は、識別情報の受信を待ち受ける。S11における判定結果がYESの場合、ID送受部130は、受信した識別情報を照合部14へ送る。
ここで、記憶部11には、ロットID発行部120aによって発行された識別情報が記憶されている。例えば、生産ラインに基板2a,2bが投入された場合には、その投入時点において、図6に示すように、ロットID発行部120aは、識別情報[A:B]および[A:C]を発行済みであり、前記と同様のテーブル形式にて、記憶部11に識別情報[A:B]および[A:C]を記憶させている。
照合部14は、ID送受部130から識別情報を受け取ると、記憶部11を参照し、ID送受部130が受信した識別情報と一致する発行済みの識別情報が、記憶部11に記憶されているかどうかを判定する(S12)。S12における判定結果がYESの場合、搬送装置20bから受信した識別情報には欠落が無く、正常な状態であると照合部14は認識する。したがって、照合部14は、第2の識別情報送受部13を介して、次の搬送装置20cへ、受信した識別情報(例えば[A:B]および[A:C])をそのまま送信する(S16)。
一方、S12における判定結果がNoの場合、例えば、適正な識別情報[A:B]のほかに、搬送装置20bが独自に発行した新識別情報[X:Y]をID送受部130が受信した場合、新識別情報[X:Y]は記憶部11に記憶されていないと照合部14は認識する。
したがって、照合部14は、S12におけるNoの判定結果に応じて、ロットID認識部120bに問い合わせを行い、現在ロットIDを取得する(S13)。現在ロットIDは、適正な識別情報[A:B]が受信されている場合には、ロットID認識部120bは、その適正なロットID[A]を現在ロットIDとして認識する。しかし、全ての基板の識別情報(例えば[A:B]および[A:C])を全く受信できなかった場合には、ID送受部130は、新識別情報のみ(例えば[X:Y]および[V:W])を受信している。このため、ロットID認識部120bは、記憶部11を参照して、適正なロットID[A]を現在ロットIDとして認識する。なお、この取得が確実に行われるように、記憶部11の識別情報の管理テーブルにおいて、現在ロットを示すフラグを立てておくとよい。
続いて、照合部14は、記憶部11に記憶されていない新識別情報[X:Y]について、ロットID[X]を、取得した現在ロットID[A]に書き換える(S14)。
さらに、照合部14は、不適正なセルID[Y]を適正なセルID[D]に書き換える(S15)。その適正なセルID[D]は、照合部14の指示に応じて、セルID管理部121によって発行される。
セルID管理部121は、記憶部11を参照して、発行済みのセルID[B]および[C]と重複しない未発行のセルID[D]を発行する。あるいは、不適正なセルID[Y]を書き換えるダミーIDを発行する規則を定めておき、その規則に従ってセルID[α]を発行してもよい。ダミーIDを発行する規則は、本来の識別情報を発行する規則とは異なる別の規則なので、発行済みのセルIDとは自ずと重複しない結果が得られる。
こうして、記憶部11に記憶されていない新識別情報[X:Y]は、現在ロットID[A]と、管理装置10が管理できる適正なセルID[D](またはセルID[α])とを組み合わせた適正な識別情報[A:D](または[A:α])に修復される。
修復された識別情報[A:D]は、適正な識別情報[A:B]とともに、第2の識別情報送受部13を介して、次の搬送装置20cへ送信される(S16)。
以上のように、搬送装置側で一旦欠落し、搬送装置側で修復されたものの、管理装置10では管理されていない状態になった新識別情報[X:Y]は、管理装置10によって、再び管理装置10が管理できる適正な識別情報に変換される。これにより、生産ラインは、止められることなく、連続して稼動することができる。
(比較例としての生産システム900の動作)
本発明による回復動作のメリットに対する理解を深め、本発明に係るCIMシステム1と比較するために、識別情報の回復動作を行わないCIMシステムのモデルとして、生産システム900について、図7を参照して説明する。
まず、生産システム900の構成について説明する。
生産システム900は、搬送装置901a、901b、901cと、管理装置902と、処理装置903a、903bとから構成される。搬送装置901a、901bおよび処理装置903aは第1工程を形成する。搬送装置901cおよび処理装置903bは第2工程(の一部)を形成する。搬送装置901a、901b、901c、処理装置903a、903bは、それぞれ、2枚の基板2a、2bを同時に搬送、処理する。基板2a、2bは同じロットに属する。
なお、搬送装置901a、901bは、それぞれ、印刷工程においてインローダー、アウトローダーに相当する。また、搬送装置901cは例えば洗浄工程においてはインローダーに相当する。また、その場合、処理装置903aは例えば印刷処理装置であり、処理装置903bは例えば洗浄処理装置である。
以下では、生産システム900による基板の搬送/処理工程について説明する。
生産システム900に搬入された基板2a、2bが、搬送装置901aから、処理装置901aを通って搬送装置901bに渡される。また、基板2a、2bの搬送に伴って、搬送装置901aと搬送装置901bとの間で通信が行われ、基板2a、2bのロットIDおよびセルIDが送受される。
ここで、搬送装置901aと搬送装置901bとの間で、通信トラブルが発生し、基板1bのロットIDおよびセルIDの通信に失敗したとする。その場合、搬送装置901bでは、基板2bを受け取ったにもかかわらず、基板2bのIDを受け取ることができない。このため、基板2bは存在しないと認識され、基板2bのIDは空([Null:Null])に設定されてしまう(IDトラッキングの失敗)。
なお、空を示す識別情報[Null:Null]は、実際に基板が破損するなどによって、基板が生産ラインから取り除かれた場合にも、発行される。したがって、生産ライン900では、通信エラーの場合と、基板が取り除かれた場合と、どちらの事象が発生したのかを、識別情報[Null:Null]によって区別することはできない。
さて、搬送装置901bに到った基板2a、2bは、次の工程に進むために工程間搬送され、搬送装置901cに移動する。そして、基板2a、2bのIDを搬送装置901cに渡すために、一旦、搬送装置901bから管理装置902へ、基板2a、2bのID(それぞれ[A:B]、[Null:Null])が渡される。
このとき、搬送装置901bから管理装置902へは、基板2bのIDとして[Null:Null]というデータが送信される。
管理装置902は、受信した基板2bのIDが空であるので、基板2bは搬送装置901b(あるいは生産システム900)から除去されたものと判断する。識別情報[Null:Null]は、この段階で管理装置902が除去し、第2工程の装置(例えば搬送装置901c)に基板2aの識別情報[A:B]のみを送信するか、あるいは識別情報[A:B]、[Null:Null]をそのまま送信する。
すなわち、生産システム900においては、通信トラブルによって生じた、基板1bの[Null:Null]という不適正な識別情報は修正されることがないので、第1工程から第2工程へ移動するときに、基板2bのIDは失われる。
すると、搬送装置901cまたはそれ以降の工程の装置が、基板の有無を光センサなどで検査したとき、当該装置内に基板2bが存在していることが検知される一方で、IDデータ上は、当該装置内に基板2bが存在しないという矛盾が生じる。そのため、搬送装置901cまたは処理装置903bはエラーを発し、それに応じて生産ライン900は停止する。
このように、装置が停止している間が発生すると、その間は生産物の処理工程が行われないために、生産システム900の生産能力が低下することになる。
また、エラーを出した装置が、停止することなく、基板2a、2bに対して、以降の工程がそのまま実施されていったとする。その場合、基板2bにはIDが存在しないために、各装置および工程において、基板2bの処理データが、記憶部に保存されない。そのため、基板2bの生産履歴を追跡することが困難になる。
(CIMシステム1の効果)
これに対し、本発明に係るCIMシステム1では、第2工程の搬送装置20cまたはそれ以降の装置が、基板の有無を光センサなどで検査したとき、管理装置10には、基板2bが存在していることが報告されているにもかかわらず、IDデータ上は基板2bが存在しないという矛盾が生じない。
すなわち、データ上の基板の存在の有無と、実際の基板の存在の有無とが常に一致するので、生産システム900のようにエラーが発生せず、装置が停止する事態にはならない。
さらに、搬送装置2bにより、新識別情報[X:Y]が基板2bに与えられることにより、基板2bの処理データを搬送装置20bの記憶部22に保存することができる。従って、管理装置10において、受信した新識別情報[X:Y]と、改めて発行した識別情報[A:D]とを対応付けて記憶部11に記録しておけば、管理装置10が基板2bの生産履歴を追跡することが可能になる。
特に、識別情報が一旦欠落した基板2bのロットIDが回復されるので、セルIDが書き換えられる前の基板2bの処理データと、セルIDが書き換えられた後の基板2bの処理データとを容易にリンクさせることができる。従って、基板1aだけでなく、基板1bについても、生産ラインにおけるすべての履歴を遡って検索することができる。
(補足)
上記搬送装置20の各部21,23,24、および管理装置10の各部12〜14は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにCPUを用いてソフトウェアによって実現してもよい。
すなわち、搬送装置20は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するCPU、上記プログラムを格納したROM、上記プログラムを展開するRAM、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等で構成された記憶部22(記録媒体)などを備えている。
同様に、管理装置10は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するCPU、上記プログラムを格納したROM、上記プログラムを展開するRAM、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等で構成された記憶部11(記録媒体)などを備えている。
そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである制御プログラムのプログラムコード(実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム)をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、搬送装置20および管理装置10にそれぞれ供給し、そのコンピュータ(またはCPUやMPU)が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー(登録商標)ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクやCD−ROM/MO/MD/DVD/CD−R等の光ディスクを含むディスク系、ICカード(メモリカードを含む)/光カード等のカード系、あるいはマスクROM/EPROM/EEPROM/フラッシュROM等の半導体メモリ系などを用いることができる。
また、情報表示装置1を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、LAN、ISDN、VAN、CATV通信網、仮想専用網(virtual private network)、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、IEEE1394、USB、電力線搬送、ケーブルTV回線、電話線、ADSL回線等の有線でも、IrDAやリモコンのような赤外線、Bluetooth(登録商標)、802.11無線、HDR、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
本発明は、コンピュータを用いて搬送物および物流ラインを制御および管理するシステムに適用することができる。
1 CIMシステム(物流ライン管理システム)
10 管理装置(物流ラインの管理装置)
11 記憶部(第2の記憶部、記録媒体)
12 識別情報管理部
13 第2の識別情報送受部
14 照合部(第2の照合部)
20a 搬送装置(物流ラインの構成装置、上流側装置)
20b 搬送装置(物流ラインの構成装置)
20c 搬送装置(物流ラインの構成装置)
21 第1の識別情報送受部
22 記憶部(第1の記憶部、記録媒体)
23 基板検出部(物品検出部)
30a 処理装置(物流ラインの構成装置、上流側装置)
30b 処理装置(物流ラインの構成装置)
120 ロットID管理部
121 セルID管理部(物品ID管理部)
240 ユニークID発行部(識別情報発行部)
241 照合部(第1の照合部)

Claims (10)

  1. 物流ラインの上流側装置から流れてくる物品に割り当てられた識別情報を送受信する第1の識別情報送受部と、
    上記第1の識別情報送受部で受信した上記識別情報を記憶する第1の記憶部と、
    上記上流側装置から送られた物品の有無を検出し、当該物品の数を認識する物品検出部と、
    上記第1の記憶部に記憶された上記識別情報が、上記物品検出部で認識された物品の数に対応せず、欠落している場合に、欠落している識別情報に代わる新識別情報を発行する識別情報発行部とを備えたこと
    を特徴とする物流ラインの構成装置。
  2. 上記物品検出部で認識された物品の数の情報を含む情報を受け取る第1の照合部であって、上記第1の記憶部を参照して、上記第1の記憶部に記憶された上記識別情報の数と、上記物品検出部で認識された物品の数とを照合し、上記識別情報が欠落しているかどうかを判定する第1の照合部をさらに備えたこと
    を特徴とする請求項1に記載の物流ラインの構成装置。
  3. 上記第1の識別情報送受部は、上記管理装置と通信を行うとともに、上記識別情報発行部が発行した上記新識別情報を、上記管理装置に送信すること
    を特徴とする請求項1に記載の物流ラインの構成装置。
  4. 第2の記憶部と、
    物流ラインを流れる物品に対して、個別に識別情報を発行し、発行した識別情報を上記第2の記憶部に記憶させる識別情報管理部と、
    上記物流ラインを構成する構成装置へ、上記識別情報管理部が発行した識別情報を送信する、または、当該構成装置を流れる物品の識別情報を上記構成装置から受信する第2の識別情報送受部と、
    上記構成装置から受信した識別情報を、上記第2の記憶部に記憶された上記識別情報と照合する第2の照合部とを備え、
    上記第2の照合部における照合の結果が不一致の場合、上記識別情報管理部は、上記構成装置から受信した識別情報を、未発行の識別情報に置き換えること
    を特徴とする物流ラインの管理装置。
  5. 上記識別情報は、ひとまとまりの物流を示すロットIDと、上記物流ラインを流れる物品に対して個別に付与する物品IDとを含み、
    上記識別情報管理部は、上記ロットIDを発行するとともに、上記物流ラインを流れている物品の現在ロットIDを認識するロットID管理部と、少なくとも上記物品IDを発行する物品ID管理部とを含み、
    上記第2の照合部における照合の結果が不一致の場合、上記識別情報管理部は、上記ロットID管理部が認識しているロットIDと、上記物品ID管理部が未発行の物品IDとを、上記未発行の識別情報として生成すること
    を特徴とする請求項4に記載の物流ラインの管理装置。
  6. 上記物品を含む複数の物品が、上記物流ラインを流れている場合、上記ロットID管理部は、上記第2の識別情報送受部が、上記構成装置から受信した識別情報に含まれているロットIDによって、上記現在ロットIDを認識すること
    を特徴とする請求項5に記載の物流ラインの管理装置。
  7. 請求項1から3のいずれか1項に記載の物流ラインの構成装置と、請求項4から6のいずれか1項に記載の物流ラインの管理装置とを含んでいること
    を特徴とする物流ライン管理システム。
  8. 請求項1から3のいずれか1項に記載の物流ラインの構成装置が備えている各部として、コンピュータを機能させること
    を特徴とする搬送制御プログラム。
  9. 請求項4から6のいずれか1項に記載の物流ラインの管理装置が備えている各部として、コンピュータを機能させること
    を特徴とする搬送制御プログラム。
  10. 請求項8または9に記載の搬送制御プログラムを記録したこと
    を特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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