JP2013140988A - ウエハ張り合わせ装置及びウエハ張り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 加圧システム(71,WHL)は、第1チャンバー(70)と、第1チャンバー内に収納され、第1基板(W1)と第2基板(W2)とを加圧し一体基板に加工する複数の加圧装置(72)と、第1基板及び第2基板を加圧装置に搬入する搬入位置(PL)と一体基板を加圧装置から搬出する搬出位置(PL)とに、複数の加圧装置を順次移動させる駆動装置と、第1チャンバー外に配置され搬入位置に第1基板及び第2基板を搬入し搬出位置から一体基板を搬出する搬送装置(WHL)と、を備える。
【選択図】 図3A
Description
このような構成によれば、搬送装置が第1チャンバー外に配置されることで、第1チャンバーの体積を小さくすることができる。そして第1チャンバー内に複数の加圧装置を配置することで設置面積を小さくできる。
図1はウエハ張り合わせ装置100の全体斜視図であり、図2はウエハ張り合わせ装置100の上面概略図である。
ウエハ張り合わせ装置100は、ウエハローダーWL及びウエハホルダローダーWHLを有している。ウエハローダーWL及びウエハホルダローダーWHLは、多関節ロボットであり六自由度方向(X,Y,Z,θX,θY,θZ)に移動可能である。さらにウエハローダーWLはレールRAに沿ってY方向に長い距離移動可能であり、ウエハホルダローダーWHLはレールRAに沿ってX方向に長い距離移動可能である。
ローダーアンローダーチャンバ60は、重ね合わされた半導体ウエハWを一時的に保管し、加圧ユニット71で接合した半導体ウエハWを一時的に保管するためのチャンバーである。
図3Aはローダーアンローダーチャンバ60から加圧チャンバー70までを示した図であり、図3Bは加圧ユニット71の周囲を示した図である。
次に加圧ユニット71の動作について説明する。図4は加圧ユニット71とロボットチャンバー80とのウエハホルダWHの受け渡しに関するフローチャートである。
ステップS11において、カローセル回転駆動部86はカローセル84を基準位置(0度)又は現在位置から60度回転させ、1台の加圧装置72を加圧チャンバー70内の受け渡し位置LPに移動させる。
ステップS15において、主制御装置90は第2ロードロックゲートLRG2を閉める。
図5は、加圧装置72の詳細構成図である。
第1半導体ウエハW1及び第2半導体ウエハW2は、第1ウエハホルダWH1及び第2ウエハホルダWH2にて挟まれた状態で第2トッププレートTP2に載置される。第2トッププレートTP2は高熱伝導の高い材料で構成された第2ヒートクールモジュールHCM2に支えられている。第2ヒートクールモジュールHCM2は内部にヒーター(不図示)及び冷却配管(不図示)を備えている。さらに第2ヒートクールモジュールHCM2は、プレッシャ・プロファイル・コントロールモジュールPPCM2を介してエレベーションモジュールEMによって支えられている。エレベーションモジュールEMは電動モータ又は液圧で上下動し、第2ヒートクールモジュールHCM2を上下動させることができる。エレベーションモジュールEMはカローセル84に固定されている。
加圧装置72は、第1半導体ウエハW1及び第2半導体ウエハW2が第2トッププレートTP2に載置されると、エレベーションモジュールEMが上昇し第2トッププレートTP2を上昇させる。そして、第1ウエハホルダWH1及び第2ウエハホルダWH2が、第1トッププレートTP1と第2トッププレートTP2とに挟まれ加圧される。その加圧状態になった後、第1及び第2ヒートクールモジュールHCM1、HCM2内のヒーターが加熱し、第1半導体ウエハW1及び第2半導体ウエハW2を加熱する。所定時間だけ加熱加圧されると第1半導体ウエハW1と第2半導体ウエハW2とが接合する。そして冷却配管に冷媒が流れて接合した半導体ウエハが冷却される。最後に、エレベーションモジュールEMが下降して、第1ウエハホルダWH1及び第2ウエハホルダWH2で挟まれ、互いに接合した半導体ウエハWが取り出せる状態となる。
LRG … ロードロックゲート
W … 半導体ウエハ (W1 … 第1半導体ウエハ、W2 … 第2半導体ウエハ)
TP … トッププレート
WH … ウエハホルダ(WH1 … 第1ウエハホルダ、WH2 … 第2ウエハホルダ)
WL … ウエハローダー
WHL … ウエハホルダローダー
10 … ウエハストッカー
20 … ウエハプリアライメント装置
30 … ウエハホルダストッカー
40 … ウエハホルダプリアライメント装置
50 … アライナー
60 … ローダーアンローダーチャンバ
70 … 加圧チャンバー
71 … 加圧ユニット
72 … 加圧装置
73 … 天板
79 … コネクティングロッド
80 … ロボットチャンバー
84 … カローセル
86 … カローセル回転駆動部
90 … 主制御装置
100 … ウエハ張り合わせ装置
Claims (7)
- 第1チャンバーと、
前記第1チャンバー内に収納され、第1基板と第2基板とを加圧し一体基板に加工する複数の加圧装置と、
前記第1基板及び前記第2基板を前記加圧装置に搬入する搬入位置と前記一体基板を前記加圧装置から搬出する搬出位置とに、前記複数の加圧装置を順次移動させる駆動装置と、
前記第1チャンバー外に配置され、前記搬入位置に前記第1基板及び前記第2基板を搬入し前記搬出位置から前記一体基板を搬出する搬送装置と、
を備えることを特徴とする加圧システム。 - 前記搬送装置を収納する第2チャンバーを備えることを特徴とする請求項1に記載の加圧システム。
- 前記搬入位置と前記搬出位置とが同一位置であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加圧システム。
- 前記駆動装置は磁気シールを有する軸受けに接続された回転板を備え、前記回転板は前記複数の加圧装置を載置することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の加圧システム。
- 前記加圧装置は前記第1基板を支持する第1加圧プレートと、前記第2基板を支持する第2加圧プレートと、前記第1加圧プレートを保持するコネクティングロッドとを有し、
前記コネクティングロッド及び前記第2加圧プレートが前記回転板に固定されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の加圧システム。 - 前記第2チャンバーに接続され、前記第1基板、前記第2基板又は前記一体基板を搬入及び搬出する第3チャンバーを備えることを特徴とする請求項2に記載の加圧システム。
- 前記回転板は基準位置から所定角度回転した後、再び基準位置に逆回転することを特徴とする請求項4に記載の加圧システム。
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