JP2013124379A - ターゲット装置、スパッタリング装置、ターゲット装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【手段】本発明は、バッキングプレートと、バッキングプレートに金属のろう材で固定されたターゲット板とを有するターゲット装置であって、バッキングプレートの露出部分には、(1 1 1)面の割合が最も大きいTiN薄膜から成る保護膜が形成されており、ガス放出量が少なく、また、ターゲット板を固定する際に付着したろう材の剥離が容易である。
【選択図】図1
Description
それに対応し、例えば、バッキングプレート表面に、バッキングプレートを保護する薄膜を形成する技術が知られている。
また、ろう材によってターゲット板をバッキングプレートに取り付ける際に、はみ出したろう材がバッキングプレートに付着し、除去するのに手間がかかるという問題がある。
本発明はターゲット装置であって、前記バッキングプレートは、純銅又は銅合金から成るターゲット装置である。
本発明はスパッタリング装置であって、上記いずれかのターゲット装置を有するスパッタリング装置である。
本発明はスパッタリング装置であって、前記ターゲット装置が真空槽内に配置されたスパッタリング装置である。
本発明は、バッキングプレートを1気圧よりも低い圧力の窒素ガス雰囲気中に配置し、金属チタンをイオン化させて蒸発させ、負電圧で絶対値が100V以上の電圧を前記バッキングプレートに印加しながら、前記イオンを到達させ、前記バッキングプレートの表面に窒化チタンから成る保護膜を形成した後、前記バッキングプレートにターゲット板を取り付けるターゲット装置の製造方法である。
また、ガス放出量が少なく、高真空雰囲気で使用することが可能である。
このターゲット装置10は、図1(f)に示されており、金属製のバッキングプレート12を有しており、バッキングプレート12上には、金属ろう材15によって、ターゲット板17が取り付けられている。この例では、バッキングプレート12は、純銅又は銅合金から成り、金属ろう材15は添加物を含有するインジウムから成る。
真空槽31の内部は、真空排気系37によって予め真空排気されており、ガス導入系39から真空槽31内にスパッタリングガスを導入し、スパッタ電源34によって、ターゲット装置10に電圧を印加すると、ターゲット板17の表面がスパッタリングされ、基板ホルダ36上の基板35に薄膜が形成される。
真空槽51内では、プレートホルダ56の下方位置に、一台乃至複数台のるつぼ52L,52Rが配置されている。各るつぼ52L,52Rには、保護膜の原材料53L,53Rが配置されている。
このとき、予め、反応性ガスをガス導入管59から真空槽51内に導入させておき、真空槽51の内部は、反応性ガスを含む真空雰囲気にしておく。
次に、図1(e)に示すように、ろう材15上にターゲット板17を配置し、加熱しながら押圧し、ろう材を軟化・溶融させた後、冷却して固化させると、図1(f)に示されるように、ターゲット板17は、バッキングプレート12に取り付けられ、ターゲット装置10が得られる。
次に、保護膜22と、ステンレスとのガス放出量の相違を図5のグラフに示す。TiN群が本発明の保護膜22であり、ガス放出量は、ステンレスよりも一桁以上少なくなっている。図6は、TiN薄膜から放出されるガスの分析結果である。
TiN薄膜については、ホローカソード方法とAIP法のどちらでも形成することができる。
また、摩擦係数が小さい方が再生使用に向いている。
表面処理によって薄膜を形成した場合の、各薄膜の特性を下記表1に示す。
14……バッキングプレートの露出した部分
17……ターゲット板
22……保護膜
31……真空槽
Claims (5)
- バッキングプレートと、
前記バッキングプレートに金属のろう材で固定されたターゲット板とを有するターゲット装置であって、
前記バッキングプレートの露出部分には、TiAlN薄膜か、又は、(1 1 1)面の割合が最も大きいTiN薄膜のいずれか一方の薄膜から成る保護膜が形成されたターゲット装置。 - 前記バッキングプレートは、純銅又は銅合金から成る請求項1記載のターゲット装置。
- 請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のターゲット装置を有するスパッタリング装置。
- 前記ターゲット装置が真空槽内に配置されたスパッタリング装置。
- バッキングプレートを1気圧よりも低い圧力の窒素ガス雰囲気中に配置し、
金属チタンをイオン化させて蒸発させ、負電圧で絶対値が100V以上の電圧を前記バッキングプレートに印加しながら、前記イオンを到達させ、前記バッキングプレートの表面に窒化チタンから成る保護膜を形成した後、前記バッキングプレートにターゲット板を取り付けるターゲット装置の製造方法。
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