JP2013121195A - 圧電モーターの駆動装置、圧電モーターの駆動方法、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボット - Google Patents

Abstract

【課題】温度が変化にしても圧電モーターを安定したトルクで駆動することができる圧電モーターの駆動装置、圧電モーターの駆動方法、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボットを提供する。
【解決手段】圧電モーターの駆動装置１００は、圧電素子を含む振動体１を有する圧電モーター１０と、圧電モーター１０を駆動する駆動回路３０と、駆動回路３０のインピーダンスと圧電モーター１０のインピーダンスとを整合する整合回路４０と、温度補償キャパシター５０と、を備え、温度補償キャパシター５０は、温度による振動体１（圧電素子）の静電容量の変化を補償することを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電モーターの駆動装置、圧電モーターの駆動方法、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボットに関する。

圧電素子を含む振動体の振動を利用する圧電モーターの駆動装置において、圧電モーターを駆動する駆動回路のインピーダンスと圧電モーターのインピーダンスとの整合（マッチング）をとるための整合回路を備えた駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１０９８８２号公報

圧電素子の静電容量は温度によって変化する。そのため、圧電素子の温度が変動すると、圧電素子の静電容量が変化して、整合回路の周波数にずれが生じてしまう。整合回路の周波数がずれると、整合回路により整合されたインピーダンスが大きくなり、圧電モーターを駆動する電圧が低下して圧電モーターのトルクが低下するという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る圧電モーターの駆動装置は、圧電素子を含む振動体を有する圧電モーターを駆動する駆動部と、前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、静電容量成分を有する補償部と、を備え、前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする。

この構成によれば、圧電モーターの駆動装置は、温度による圧電素子の静電容量の変化を補償する静電容量成分を有する補償部を備えている。そのため、温度が変化しても、補償部の静電容量成分の静電容量の変化によって圧電素子の静電容量の変化を補償して、整合部の周波数のずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーターを安定したトルクで駆動することができる。

［適用例２］上記適用例に係る圧電モーターの駆動装置であって、温度による前記圧電素子の静電容量の変化と、温度による前記静電容量成分の静電容量の変化とは、互いに逆方向であることが好ましい。

この構成によれば、温度による圧電素子の静電容量の変化と静電容量成分の静電容量の変化とが互いに逆方向であるので、温度が変化した場合に、静電容量成分の静電容量の変化により圧電素子の静電容量の変化が相殺される。これにより、温度による圧電素子の静電容量の変化を静電容量成分で補償することができる。

［適用例３］上記適用例に係る圧電モーターの駆動装置であって、前記整合部は、相互インダクタンスを有するインダクターを含むことが好ましい。

この構成によれば、整合部のインダクターが相互インダクタンスを有するので、相互インダクタンスを有していないインダクターに比べて、少ないコイルの巻き数で同じインダクタンスを得ることができる。そのため、インダクターの抵抗値を小さくできるので、インダクターの抵抗値による損失を少なくすることができる。

［適用例４］本適用例に係る圧電モーターの駆動方法は、圧電素子を含む振動体を有する圧電モーターを駆動する駆動部と、前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、静電容量成分を有する補償部と、を備えた圧電モーターの駆動方法であって、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする。

この構成によれば、圧電モーターの駆動方法では、温度による圧電素子の静電容量の変化を補償部の静電容量成分の静電容量の変化によって補償するので、温度が変化しても整合部の周波数のずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーターを安定したトルクで駆動することができる。

［適用例５］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、圧電素子を含む振動体を有し、前記可動部を移動させる圧電モーターと、前記圧電モーターを駆動する駆動部と、前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、静電容量成分を有する補償部と、を備え、前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする。

この構成によれば、電子部品搬送装置は、圧電モーターの圧電素子の温度による静電容量の変化を補償する静電容量成分を有する補償部を備えている。そのため、温度が変化しても、補償部の静電容量成分の静電容量の変化によって圧電素子の静電容量の変化を補償して、整合部の周波数のずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーターを安定したトルクで駆動して可動部を移動させ、電子部品を所定の位置に移動配置させることができる。

［適用例６］本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、圧電素子を含む振動体を有し、前記可動部を移動させる圧電モーターと、前記圧電モーターを駆動する駆動部と、前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、静電容量成分を有する補償部と、を備え、前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする。

この構成によれば、電子部品検査装置は、圧電モーターの圧電素子の温度による静電容量の変化を補償する静電容量成分を有する補償部を備えている。そのため、温度が変化しても、補償部の静電容量成分の静電容量の変化によって圧電素子の静電容量の変化を補償して、整合部の周波数のずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーターを安定したトルクで駆動して可動部を移動させ、電子部品を所定の位置に移動配置させることができる。

［適用例７］本適用例に係るロボットハンドは、関節部と、圧電素子を含む振動体を有し、前記関節部を移動させる圧電モーターと、前記圧電モーターを駆動する駆動部と、前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、静電容量成分を有する補償部と、を備え、前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする。

この構成によれば、ロボットハンドは、圧電モーターの圧電素子の温度による静電容量の変化を補償する静電容量成分を有する補償部を備えている。そのため、温度が変化しても、補償部の静電容量成分の静電容量の変化によって圧電素子の静電容量の変化を補償して、整合部の周波数のずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーターを安定したトルクで駆動して関節部を移動させ、ロボットハンドを動作させることができる。

［適用例８］本適用例に係るロボットは、関節部と、圧電素子を含む振動体を有し、前記関節部を移動させる圧電モーターと、前記圧電モーターを駆動する駆動部と、前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、静電容量成分を有する補償部と、を備え、前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする。

この構成によれば、ロボットは、圧電モーターの圧電素子の温度による静電容量の変化を補償する静電容量成分を有する補償部を備えている。そのため、温度が変化しても、補償部の静電容量成分の静電容量の変化によって圧電素子の静電容量の変化を補償して、整合部の周波数のずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーターを安定したトルクで駆動して可動部を移動させ、ロボットを動作させることができる。

第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の概略構成を示すブロック図。 第１の実施形態に係る圧電モーターの構成を示す模式図。 第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の要部を示すブロック図。 圧電素子及び温度補償キャパシターの静電容量の温度特性を示す図。 整合回路の周波数とインピーダンスとの関係の例を示す図。 第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の概略構成を示すブロック図。 第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の構成を示す概略斜視図。 第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図。 変形例１に係る圧電モーターの構成を示す模式図。 変形例１に係る圧電モーターの駆動装置の要部を示すブロック図。 変形例２に係る圧電モーターの駆動装置の要部を示すブロック図。

以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、参照する各図面において、構成をわかり易く示すため、各構成要素の寸法の比率、角度等が異なる場合がある。

（第１の実施形態）
図を参照して、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の概略構成を説明する。図１は、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図２は、第１の実施形態に係る圧電モーターの構成を示す模式図である。図３は、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の要部を示すブロック図である。

図１に示すように、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００は、圧電モーター１０と、圧電モーター１０を駆動する駆動部としての駆動回路３０と、駆動回路３０を制御する制御部２０と、駆動回路３０のインピーダンスと圧電モーター１０のインピーダンスとを整合する整合部としての整合回路４０と、温度による圧電モーター１０（圧電素子）の静電容量変化を補償する温度補償キャパシター５０と、を備えている。

＜圧電モーター＞
まず、第１の実施形態に係る圧電モーター１０の構成を説明する。図２に示すように、第１の実施形態に係る圧電モーター１０は、振動体１と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。振動体１、被駆動体５、保持部材８、及び付勢バネ６は、基台７に設置されている。なお、ここでは、被駆動体５が回転駆動されるローターである場合を例にとり説明する。

図２に示す平面視で、振動体１は、短辺１ａと長辺１ｂとを有する略矩形形状である。以下の説明では、短辺１ａに沿った方向を短手方向と呼び、長辺１ｂに沿った方向を長手方向と呼ぶ。振動体１は、例えば、板状に形成された圧電素子で構成されるが、圧電素子と振動板とが積層された積層体であってもよい。

圧電素子は、電気機械変換作用を示す圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ₃で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物を材料として形成されている。このような金属酸化物としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃：ＰＺＴ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）等があげられる。

振動体１の表面には、Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ等の導電性金属からなる電極３が設けられている。電極３は、振動体１の短手方向の中央部、及び長手方向の中央部に形成された溝部によって、略４等分されている。これにより、電極３は、個別電極として互いに電気的に隔離された電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの４つの電極部に分割されている。また、振動体１の反対側の表面には、共通電極９（図３参照）が設けられている。

電極３の４つの電極部のうち、互いに対角となるように配置され対を成す電極部３ａ，３ｄは、第１屈曲振動用電極として機能する。また、電極部３ａ，３ｄと交差する対角となるように配置され対を成す電極部３ｂ，３ｃは、第２屈曲振動用電極として機能する。電極部３ａ，３ｄが配置された領域、及び電極部３ｂ，３ｃが配置された領域が、それぞれ振動体１の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域となる。

振動体１は、被駆動体５側に突出するように延設され、被駆動体５の側面（円周面）に当接する摺動部４を有している。また、振動体１は、短手方向両外側に向かって延設された一対の腕部１ｃを有している。腕部１ｃには厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられており、貫通孔を挿通させたネジを介して、腕部１ｃが保持部材８に固定されている。これにより、振動体１は、保持部材８に対して、腕部１ｃを基点として屈曲振動が可能な状態で保持される。

被駆動体５は、円盤形状を有しており、振動体１の摺動部４が設けられた側に配置されている。被駆動体５は、基台７に立設された棒状の軸５ａを回転中心として、回転自在に保持されている。被駆動体５に近い位置には、エンコーダー１１（図１参照）が設けられている。エンコーダー１１は、被駆動体５の位置や回転速度に基づくエンコーダー信号を副制御部２２（図１参照）にフィードバックする。

基台７は、振動体１の短手方向の両外側に、長手方向に沿って延在して配置された一対のスライド部７ａを有している。保持部材８は、基台７に対して、スライド部７ａに沿ってスライド移動可能に支持されている。

保持部材８の被駆動体５とは反対側と基台７との間には、付勢バネ６が設置されている。付勢バネ６は、保持部材８を介して振動体１を被駆動体５に向けて付勢し、この付勢力により、摺動部４が被駆動体５に所定の力で当接する。付勢バネ６の付勢力は、被駆動体５と摺動部４との間で適切な摩擦力が発生するように適宜設定されている。これにより、振動体１の振動が、摺動部４を介して被駆動体５に効率よく伝達される。

駆動回路３０（図１参照）から、共通電極９に対して共通信号が供給され、第１屈曲振動用電極である電極部３ａ，３ｄに対して駆動信号が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に矢印で示すように、反時計回りに回転する。

一方、共通電極９に対して共通信号が供給され、第２屈曲振動用電極である電極部３ｂ，３ｃに対して駆動信号が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、反時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に示す矢印とは反対の、時計回りに回転する。

このように、圧電モーター１０は、駆動回路３０から共通電極９と電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間に駆動信号を供給する際に、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）を選択する場合と、第２屈曲振動用電極（電極部３ｂ，３ｃ）を選択する場合とを切り替えることにより、被駆動体５を反時計回り及び時計回りの双方向に回転させることが可能である。

なお、圧電モーター１０は、被駆動体５の回転を増速又は減速して伝達する増減速機構をさらに備えていてもよい。増減速機構を備えていると、被駆動体５の回転速度を増速又は減速して所望の回転速度を容易に得ることができる。

また、被駆動体５は、上述の回転駆動されるローターに限定されるものではない。被駆動体５は直線駆動されるリニア被駆動体であってもよく、被駆動体５の駆動方向は任意に構成できる。被駆動体５がリニア被駆動体である場合、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）と第２屈曲振動用電極（電極部３ｂ，３ｃ）とを切り替えることにより、被駆動体５の直動方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。

＜制御部及び駆動回路＞
続いて、図１に戻って、制御部２０と駆動回路３０とを説明する。図１に示すように、制御部２０は、主制御部２１と、副制御部２２とを備えている。また、駆動回路３０は、発振器３１と、ゲインアンプ３２と、ＰＷＭ部３３と、デジタルアンプ３４とを備えている。

主制御部２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）で構成される。主制御部２１は、圧電モーターの駆動装置１００を含むシステム全体を制御する制御装置（図示省略）と、ＣＡＮ（Controller Area Network）を介して接続されている。主制御部２１は、例えば、駆動回路３０の出力電圧の指令値を副制御部２２に指示する等の、圧電モーターの駆動装置１００全体の制御を行う。

副制御部２２は、ロジックＩＣやＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等で構成される。副制御部２２は、主制御部２１とＳＰＩ（Serial Peripheral Interface）を介して接続されている。副制御部２２は、主制御部２１の指示に基づいて、発振器３１で生成する信号の周波数、ゲインアンプ３２の出力（増幅率）、スイッチ１２（図３参照）の切り替え等の制御を行う。また、副制御部２２は、エンコーダー１１からフィードバックされたエンコーダー信号に基づいて、圧電モーター１０の被駆動体５の位置や回転速度を検出する。

発振器３１は、ＤＤＳ（Direct Digital Synthesizer）等で構成される。発振器３１は、圧電モーター１０の振動体１に供給する駆動信号のもととなる信号を生成する。発振器３１で生成された信号は、ＤＡコンバーターによりアナログ信号に変換される。また、発振器３１は、副制御部２２の指示に基づいて、駆動信号の周波数を調整する。

ゲインアンプ３２は、例えば、デジタルポテンショメーターとオペアンプとで構成される。ゲインアンプ３２は、発振器３１からのアナログ信号をデジタル制御により増幅する。ゲインアンプ３２の出力レベルは、副制御部２２の指示に基づいて制御（増加又は減少）される。

ＰＷＭ部３３は、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）回路で構成される。ＰＷＭ部３３は、ゲインアンプ３２からの入力信号におけるパルスのデューティー比を変えることにより、等価的なアナログ制御を行なう。

デジタルアンプ３４は、ＭＯＳトランジスターのＨブリッジ回路で構成され（図３参照）、ＰＷＭ部３３との併用により、デジタルアンプとして機能する。デジタルアンプ３４は、ＰＷＭ部３３からの信号の電力を増幅してスイッチングを行う。なお、主制御部２１からの「Ｓｌｅｅｐ」指示があると、電力を増幅してスイッチングを行う機能がＯＦＦ状態となる。

図３に示すように、デジタルアンプ３４は、整合回路４０を介して、圧電モーター１０の第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）、第２屈曲振動用電極（電極部３ｂ，３ｃ）に駆動信号を出力し、共通電極９に共通信号を出力する。圧電モーター１０の第１屈曲振動用電極及び第２屈曲振動用電極の前段にはスイッチ１２が接続されている。

スイッチ１２は、副制御部２２の指示に基づいて動作し、第１屈曲振動用電極及び第２屈曲振動用電極と整合回路４０とを電気的に接続した状態又は電気的に切断した状態に切り替える。第１屈曲振動用電極又は第２屈曲振動用電極を選択することにより、圧電モーター１０の被駆動体５は反時計回り又は時計回りに回転する。スイッチ１２は、電磁リレー等のメカニカルリレーやフォトモスリレー等の電子式リレーで構成される。なお、スイッチ１２に手動のトグルスイッチを用いる構成としてもよい。

＜整合回路及び温度補償キャパシター＞
整合回路４０は、デジタルアンプ３４に接続されている。整合回路４０の後段には、圧電モーター１０と、静電容量成分を有する補償部としての温度補償キャパシター５０とが接続されている。

整合回路４０は、駆動回路３０のインピーダンスと圧電モーター１０のインピーダンスとの整合（マッチング）をとるとともに、圧電モーター１０への出力電圧を昇圧する役割を担う。整合回路４０は、棒状のコアを有するコイル等のインダクター４１，４２と、コンデンサー等のキャパシター４３とで構成されるＬＣ整合回路である。インダクター４１，４２のインダクタンスをともにＬとし、キャパシター４３の静電容量をＣとする。

温度補償キャパシター５０は、整合回路４０の後段に圧電モーター１０と並列に接続されている。温度補償キャパシター５０は、その温度が圧電素子の温度とできるだけ近くなるように、圧電モーター１０（圧電素子）に近い位置に配置されていることが望ましい。温度補償キャパシター５０は、例えば、セラミックコンデンサー等の容量素子からなる。温度補償キャパシター５０は、圧電素子（振動体１）の静電容量の温度特性と逆の温度特性を有している。

圧電素子及び温度補償キャパシター５０の静電容量の温度特性について、図４を参照して説明する。図４は、圧電素子及び温度補償キャパシターの静電容量の温度特性を示す図である。圧電素子の静電容量をＣｄとし、温度補償キャパシター５０の静電容量をＣｘとする。

図４に示すように、温度補償キャパシター５０の温度による静電容量変化は、圧電素子の温度による静電容量変化と逆方向である。すなわち、圧電素子の静電容量Ｃｄは温度上昇に伴って大きくなるが、温度補償キャパシター５０の静電容量Ｃｘは温度上昇に伴って小さくなるため、両者の合成容量（Ｃｄ＋Ｃｘ）はほとんど変化しない。したがって、温度による圧電素子の静電容量Ｃｄの変化が、温度補償キャパシター５０の静電容量Ｃｘの変化により相殺されて補償される。

ところで、整合回路４０の周波数ｆは、インダクター４１，４２のインダクタンス（ともにＬ）、キャパシター４３の静電容量（Ｃ）、圧電素子の静電容量（Ｃｄ）、及び温度補償キャパシター５０の静電容量（Ｃｘ）から、以下の式（１）で表される。

上述の通り、圧電素子の静電容量Ｃｄは、温度によって変化する。圧電モーターの駆動装置１００が温度補償キャパシター５０（静電容量Ｃｘ）を備えていない場合、静電容量Ｃｄが変化すると、式（１）により、整合回路４０の周波数ｆも変化することとなる。例えば、温度が上昇すると、図４に示すように圧電素子の静電容量Ｃｄが増加するので、整合回路４０の周波数ｆは低くなる。

続いて、整合回路４０の周波数ｆとインピーダンスとの関係について、図５を参照して説明する。図５は、整合回路の周波数とインピーダンスとの関係の例を示す図である。ただし、図５は、温度補償キャパシター５０を備えていない場合のものである。

図５に示すように、振動体１（圧電素子）が振動する際、駆動周波数（横軸）に対してインピーダンス（縦軸）が極小となる共振点がある。このような共振点では、振動体１における振動の振幅は極大となり、圧電モーター１０は高効率で安定して駆動する。したがって、圧電モーター１０を駆動する駆動信号の周波数（駆動周波数）は、例えば、実線で示す常温（２５℃）において、共振点に近い周波数となるように設定される。

ここで、常温（２５℃）に対して、２点鎖線で示す４５℃、破線で示す６５℃、１点鎖線で示す８５℃に温度が上昇すると、整合回路４０の周波数ｆは２５℃における共振点からずれてしまう。そして、整合回路４０の周波数ｆがずれると、インピーダンスは大きくなる。

整合回路４０により整合されたインピーダンスが大きくなると、圧電モーター１０を駆動する電圧が低下するため、圧電モーター１０のトルクが低下する。温度変化に対応して駆動周波数を変化させる方法も考えられるが、駆動周波数を変化させると、圧電モーター１０の駆動状態が不安定となることや、駆動状態が不安定となることによって摺動部４の先端が摩耗、又は破損するおそれがある。

これに対して、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００は、整合回路４０の後段に、圧電モーター１０と並列に設けられた温度補償キャパシター５０を備えている。そのため、図４に示すように、温度変化により圧電素子の静電容量Ｃｄが変化しても、温度補償キャパシター５０の静電容量Ｃｘの変化で相殺されるので、両者の合成容量（Ｃｄ＋Ｃｘ）はほとんど変化しない。

したがって、式（１）により、整合回路４０の周波数ｆのずれが抑えられるので、インピーダンスの増大が抑えられて、圧電モーター１０を駆動する出力電圧の低下が抑えられる。これにより、温度が変化しても、圧電モーター１０を安定したトルクで駆動することができる。

以上述べたように、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００の構成、及びその制御方法によれば、以下の効果が得られる。

（１）圧電モーターの駆動装置１００は、温度補償キャパシター５０を備えている。温度による圧電素子（振動体１）の静電容量Ｃｄの変化と温度補償キャパシター５０の静電容量Ｃｘの変化とが互いに逆方向であるので、温度が変化した場合に、温度補償キャパシター５０の静電容量Ｃｘの変化により圧電素子（振動体１）の静電容量Ｃｄの変化が相殺される。これにより、温度による圧電素子（振動体１）の静電容量Ｃｄの温度による変化を温度補償キャパシター５０で補償することができる。

（２）圧電モーターの駆動装置１００では、温度が変化しても、温度補償キャパシター５０によって圧電素子（振動体１）の静電容量Ｃｄの変化が補償されるので、整合回路４０の周波数ｆのずれを抑えることができる。これにより、温度が変化しても、圧電モーター１０を安定したトルクで駆動することができる。

なお、圧電素子（振動体１）の温度による静電容量変化を補償する補償部は、上述の温度補償キャパシター５０のようなコンデンサー等の容量素子に限定されるものではなく、静電容量成分を有しており、かつ、その静電容量成分の静電容量の温度特性が圧電素子（振動体１）の静電容量の温度特性と逆の特性であれば、他の素子や部材等であってもよい。

（第２の実施形態）
＜圧電モーターの駆動装置＞
次に、第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の概略構成を説明する。図６は、第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置の概略構成を示すブロック図である。第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置は、第１の実施形態に対して、整合回路が相互インダクタンスを有するインダクターを含む点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。

図６に示すように、第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１は、圧電モーター１０と、駆動回路３０と、制御部２０（図１参照）と、整合回路４０Ａと、温度補償キャパシター５０と、を備えている。

整合回路４０Ａは、相互インダクタンスを有するインダクター４４，４５と、キャパシター４３とで構成されるＬＣ整合回路である。インダクター４４，４５は、例えば、トロイダルコアを有するトロイダルコイルである。すなわち、共通のトロイダルコアに、インダクター４４のコイルとインダクター４５のコイルとが２重に巻かれた構成となっている。インダクター４４，４５のそれぞれ単独のインダクタンスをともにＬとすると、相互インダクタンスを含むトータルのインダクタンスＬｍは以下の式（２）で表される。なお、ｋは、インダクター４４，４５の構成によって決まる係数である。

式（２）に示すように、相互インダクタンスを有するインダクター４４，４５を用いることにより、トータルのインダクタンスＬｍを第１の実施形態のインダクター４１，４２の２Ｌよりも大きくすることができる。したがって、インダクター４４，４５では、同じインダクタンスを得るためのコイルの巻き数を、インダクター４１，４２よりも少なくすることができる。これにより、コイルに起因する抵抗値を小さくできるので、抵抗による損失を少なく抑えることができる。また、棒状のコアを有するインダクターに比べて、磁界の漏れが少ないので、磁界に起因するノイズを抑えることができる。

整合回路４０Ａの周波数ｆは、インダクター４４，４５の容量分をＣｉとすると、以下の式（３）で表される。

第１の実施形態と同様に、温度により圧電素子の静電容量Ｃｄが変化しても、温度補償キャパシター５０の静電容量Ｃｘの変化で相殺されるので、両者の合成容量（Ｃｄ＋Ｃｘ）はほとんど変化しない。したがって、式（３）により、整合回路４０Ａの周波数ｆのずれが抑えられるので、インピーダンスの増大が抑えられ、圧電モーター１０を駆動する出力電圧の低下が抑えられる。これにより、温度が変化しても、圧電モーター１０を安定したトルクで駆動することができる。

第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１の構成、及びその制御方法によれば、以下の効果が得られる。

（１）温度による圧電素子（振動体１）の静電容量Ｃｄの変化を補償する温度補償キャパシター５０を備えているので、第１の実施形態と同様に、温度が変化しても圧電モーター１０を安定したトルクで駆動することができる。

（２）整合回路４０Ａが相互インダクタンスを有するインダクター４４，４５を含むので、第１の実施形態に比べて、コイルに起因する抵抗値を小さくして抵抗による損失を少なくすることができる。これにより、より効率よく圧電モーター１０を駆動することができる。

（第３の実施形態）
＜電子部品搬送装置及び電子部品検査装置＞
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を説明する。第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置は、第１の実施形態又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置を備えている。第１の実施形態及び第２の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。

図７は、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の構成を示す概略斜視図である。図７に示す電子部品検査装置２００は、電子部品搬送装置２３０と検査装置２４０とを備えている。電子部品搬送装置２３０は、電子部品７０を所定の場所に搬送するとともに、電子部品７０を所定の位置に位置決めする機能を有する。検査装置２４０は、電子部品７０の電気的特性を検査する機能を有する。

なお、電子部品７０は、例えば、基板に半導体チップが実装されたものであるが、半導体チップ、ＬＣＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド等であってもよい。

図７に示すように、電子部品搬送装置２３０は、直方体状の基台２０６を備えている。基台２０６の長手方向をＹ方向とし、水平面においてＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向を−Ｚ方向とする。

基台２０６上において図中左側には、給材装置２０７が設置されている。給材装置２０７の上面には、Ｙ方向に延びる一対の案内レール２０８ａ，２０８ｂが給材装置２０７のＹ方向全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール２０８ａ，２０８ｂの上側には、直動機構を備えたステージ２０９が取付けられている。

ステージ２０９の直動機構は、例えば、案内レール２０８ａ，２０８ｂに沿ってＹ方向に延びるリニアモーターを備えた直動機構である。この直動機構に所定のステップ数に相当する駆動信号がリニアモーターに入力されると、リニアモーターが前進又は後退して、ステージ２０９が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って往動又は復動する。ステージ２０９のＺ方向を向く面は載置面２０９ａであり、載置面２０９ａにはこれから検査される電子部品７０が載置される。ステージ２０９には吸引式の基板チャック機構が設置されている。そして、基板チャック機構が電子部品７０を載置面２０９ａに固定するようになっている。

基台２０６において給材装置２０７のＹ方向側には、撮像部２１０が設置されている。撮像部２１０は、受光する光を電気信号に変換するＣＣＤ（Charge Coupled Devices）素子等を搭載した電気回路基板、ズーム機構を備えた対物レンズ、落射照明装置、自動焦点合わせ機構を備えている。これにより、撮像部２１０と対向する場所に電子部品７０が位置するとき、撮像部２１０は電子部品７０を撮影して位置決めをすることができる。撮像部２１０は、電子部品７０に光を照射してピント合わせをした後撮影することにより、ピンボケの無い画像を撮影することができる。

基台２０６において撮像部２１０のＹ方向側には、検査装置２４０が備える検査台２１１が設置されている。検査台２１１は、電子部品７０を検査するときに電気信号を送受信するための治具である。なお、検査装置２４０は、検査台２１１と、把持部２２５と、制御部（制御装置２２６に含む）とで構成される。検査台２１１及び把持部２２５には、電子部品７０の電気的特性を計測するための複数のプローブが配置されている。

基台２０６上において検査台２１１のＹ方向側には、除材装置２１２が設置されている。除材装置２１２の上面には、Ｙ方向に延びる一対の案内レール２１３ａ，２１３ｂが全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール２１３ａ，２１３ｂの上側には、直動機構を備えたステージ２１４が取付けられている。ステージ２１４の直動機構は、給材装置２０７が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。ステージ２１４は、案内レール２１３ａ，２１３ｂに沿って往動又は復動する。ステージ２１４のＺ方向を向く面は載置面２１４ａであり、載置面２１４ａには検査が終了した電子部品７０が載置される。

基台２０６の−Ｘ方向には、略直方体状の支持台２１５が設置されている。支持台２１５は、基台２０６に比べてＺ方向に高い形状となっている。支持台２１５においてＸ方向を向く面には、Ｙ方向に延びる一対のレール２１６ａ，２１６ｂが、支持台２１５のＹ方向全幅にわたり凸設されている。レール２１６ａ，２１６ｂのＸ方向側には、一対のレール２１６ａ，２１６ｂに沿って移動する直動機構を備えたＹステージ２１７が取付けられている。

Ｙステージ２１７の直動機構は、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を用いて構成されている。レール２１６ａ，２１６ｂの少なくとも一方が、圧電モーター１０の被駆動体５に相当する。ここでは、被駆動体５（レール２１６ａ，２１６ｂ）は、直線駆動されるリニア被駆動体である。振動体１（図示省略）は、レール２１６ａ，２１６ｂの少なくとも一方に当接して、Ｙステージ２１７に備えられている。振動体１が振動することにより、固定されたレール２１６ａ，２１６ｂに対して、相対的にＹステージ２１７がレール２１６ａ，２１６ｂに沿って往動又は復動する。振動体１の近くに、温度補償キャパシター５０が配置されている。

Ｙステージ２１７においてＸ方向を向く面には、Ｘ方向に延在する角柱状の腕部２１８が設置されている。腕部２１８において−Ｙ方向を向く面には、Ｘ方向に延びる一対のレール２１９ａ，２１９ｂが腕部２１８のＸ方向全幅にわたり凸設されている。一対のレール２１９ａ，２１９ｂの−Ｙ方向側には、レール２１９ａ，２１９ｂに沿って移動する直動機構を備えたＸステージ２２０が取付けられている。

Ｘステージ２２０の直動機構は、Ｙステージ２１７の直動機構と同様に、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を用いて構成されている。Ｘステージ２２０に備えられた振動体１が振動することにより、被駆動体５であるレール２１９ａ，２１９ｂに対して、相対的にＸステージ２２０がレール２１９ａ，２１９ｂに沿って往動又は復動する。

Ｘステージ２２０には、撮像部２２１及びＺ移動装置２２２が設置されている。撮像部２２１は、撮像部２１０と同様な構造と機能を備えている。

Ｚ移動装置２２２は、内部に直動機構を備え、直動機構はＺステージを昇降させる。Ｚステージには、回転装置２２３が接続されている。Ｚ移動装置２２２は、回転装置２２３をＺ方向に昇降させることができる。Ｚ移動装置２２２の直動機構も、Ｙステージ２１７及びＸステージ２２０の直動機構と同様に、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を用いて構成されている。

回転装置２２３は回転軸２２３ａを備え、回転軸２２３ａには把持部２２５が接続されている。把持部２２５には、検査対象となる電子部品７０が把持される。回転装置２２３は、Ｚ方向を軸にして、電子部品７０を把持した状態で把持部２２５を回転させることができる。

回転装置２２３は、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を用いて構成され、回転軸２２３ａを所定の角度に回動させる。ここでは、回転駆動される回転軸２２３ａが、圧電モーター１０の被駆動体５に相当する。Ｙステージ２１７、Ｘステージ２２０、Ｚ移動装置２２２、回転装置２２３等により可動部２２４が構成されている。

基台２０６のＸ方向側には、制御装置２２６が設置されている。制御装置２２６は、電子部品７０を検査する検査装置２４０を含む電子部品検査装置２００の動作を制御する機能を備えている。また、制御装置２２６には、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１の制御部２０、駆動回路３０、整合回路４０が含まれている。制御装置２２６は、入力装置２２６ａ及び出力装置２２６ｂを備えている。

入力装置２２６ａは、キーボードや入力コネクター等であり、信号やデータの他に操作者の指示を入力する装置である。出力装置２２６ｂは、表示装置や外部装置に出力する出力コネクター等であり、信号やデータを他装置へ出力する。出力装置２２６ｂは、電子部品検査装置２００の状況を操作者に伝達する装置でもある。

電子部品検査装置２００では、検査対象となる電子部品７０を把持部２２５に把持して、電子部品搬送装置２３０の可動部２２４によりステージ２０９から検査台２１１へ搬送して位置決めした後、検査装置２４０により電気特性の検査を行う。電気特性の検査が終了すると、電子部品搬送装置２３０の可動部２２４により電子部品７０をステージ２１４まで搬送する。

第３の実施形態に係る電子部品検査装置２００（電子部品搬送装置２３０）は、可動部２２４を構成するＹステージ２１７、Ｘステージ２２０、Ｚ移動装置２２２、回転装置２２３に、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を備えている。したがって、電子部品検査装置２００（電子部品搬送装置２３０）が設置された環境における温度が変化しても、圧電素子の静電容量の変化が温度補償キャパシター５０により補償される。これにより、圧電モーター１０を安定したトルクで駆動できるので、可動部２２４を安定した状態で動作させることができる。

なお、電子部品検査装置２００において、上述の電子部品搬送装置２３０の構成部分の一部を検査装置２４０側に備える構成としてもよい。

（第４の実施形態）
＜ロボット＞
次に、第４の実施形態に係るロボットを説明する。第４の実施形態に係るロボットは、ロボットハンドを有し、ロボット及びロボットハンドの関節部の駆動装置として、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を備えている。第１の実施形態及び第２の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。

図８は、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図である。詳しくは、図８（ａ）はロボットが備えるロボットハンドの構造を示す模式図であり、図８（ｂ）はロボットの構造を示す模式図である。

図８（ａ）に示すように、ロボットハンド３００は、ハンド本体部３０１と、２つの指部３０２と、制御装置３０７と、を備えている。２つの指部３０２は、ハンド本体部３０１に設置されている。

２つの指部３０２は、３つの関節部３０４と３つの指部材３０３とが交互に接続されて構成されている。３つの関節部３０４には、それぞれ第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１の圧電モーター１０及び温度補償キャパシター５０が設けられている。

制御装置３０７には、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１の制御部２０、駆動回路３０、整合回路４０が配置されている。関節部３０４に設けられた圧電モーター１０を駆動することにより、関節部３０４を回動させて指部３０２を人間の指のように所望の形態に変形させることが可能になっている。

図８（ｂ）に示すように、ロボット３１０は、ロボット本体部３１１と、２つの腕部３１２と、制御装置３１７と、を備えている。２つの腕部３１２は、ロボット本体部３１１に設置されている。

２つの腕部３１２は、３つの関節部３１４と２つの腕部材３１３とが交互に接続されて構成されている。３つの関節部３１４には、それぞれ第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１の圧電モーター１０及び温度補償キャパシター５０が設けられている。腕部３１２の一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００が設置されている。ロボットハンド３００は、図８（ａ）と同様の構成を有する。

制御装置３１７には、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１の制御部２０、駆動回路３０、整合回路４０，４０Ａが配置されている。関節部３１４に設けられた圧電モーター１０を駆動することにより、関節部３１４を回動させて腕部３１２を人間の腕のように所望の形態に変形させることが可能になっている。

第４の実施形態に係るロボットハンド３００及びロボット３１０は、関節部３０４及び関節部３１４を回動させる装置として、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００、又は第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１を備えている。したがって、ロボットハンド３００及びロボット３１０が設置された環境における温度が変化しても、圧電素子の静電容量の変化が温度補償キャパシター５０により補償される。これにより、圧電モーター１０を安定したトルクで駆動できるので、関節部３０４及び関節部３１４を安定した状態で動作させることができる。

なお、上述した実施の形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形及び応用が可能である。変形例を以下に述べる。

（変形例１）
例えば、上述した第１の実施形態では、圧電モーターの振動体に屈曲振動が励起される構成であったが、これに限定されるものではない。圧電モーターの振動体に屈曲振動だけでなく縦振動も励起される構成であってもよい。

図９は、変形例１に係る圧電モーターの構成を示す模式図である。図１０は、変形例１に係る圧電モーターの駆動装置の要部を示すブロック図である。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。

図９に示すように、変形例１に係る圧電モーター１０Ａは、振動体２と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。

振動体２の電極３の表面は５分割されており、電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに加えて、電極部３ｅが設けられている。電極部３ｅは、電極部３ａ，３ｂと電極部３ｃ，３ｄとの間の短手方向中央部に配置されており、電極部３ａ，３ｂを合わせた面積（電極部３ｃ，３ｄを合わせた面積）とほぼ同じ面積を有している。電極部３ｅは、縦振動用電極として機能する。縦振動とは、振動体２に長手方向に沿って伸縮する振動のことを指す。

図１０に示すように、変形例１に係る圧電モーターの駆動装置１０２は、圧電モーター１０Ａと、駆動回路３０と、制御部２０（図１参照）と、整合回路４０と、温度補償キャパシター５０と、を備えている。圧電モーターの駆動装置１０２では、圧電モーター１０Ａに対して、スイッチ１２の切り替えにより第１屈曲振動用信号又は第２屈曲振動用信号のいずれかが供給されるとともに、いずれの状態においても縦振動用の駆動信号が供給される。

振動体２の電極部３ａ，３ｄに第１屈曲振動用の駆動信号が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号が供給されると、振動体２の短手方向に沿って屈曲する屈曲振動とともに長手方向に沿って伸縮する縦振動が励振される。このような屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は反時計回りに回転する（図９参照）。

一方、振動体２の電極部３ｂ，３ｃに第２屈曲振動用の駆動信号が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号が供給されると、屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は反時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は時計回りに回転する。

このように、変形例１に係る圧電モーターの駆動装置１０２は、振動体２の電極が５分割され屈曲振動用の電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに加えて縦振動用の電極部３ｅを有する圧電モーター１０Ａを備えている。また、第１の実施形態と同様に、整合回路４０の後段に温度による圧電素子の静電容量Ｃｄの変化を補償する温度補償キャパシター５０を備えているので、第１の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１００と同様の効果が得られる。

（変形例２）
また、図１１は、変形例２に係る圧電モーターの駆動装置の要部を示すブロック図である。図１１に示すように、変形例２に係る圧電モーターの駆動装置１０３は、変形例１と同様の圧電モーター１０Ａと、駆動回路３０と、制御部２０（図１参照）と、第２の実施形態と同様の整合回路４０Ａと、温度補償キャパシター５０と、を備えている。

このように、変形例２に係る圧電モーターの駆動装置１０３は、変形例１と同様に、振動体２の電極が５分割された圧電モーター１０Ａを備え、第２の実施形態と同様に、相互インダクタンスを有するインダクター４４，４５を含む整合回路４０Ａを備えている。そして、温度による圧電素子の静電容量Ｃｄの変化を補償する温度補償キャパシター５０を備えているので、第２の実施形態に係る圧電モーターの駆動装置１０１と同様の効果が得られる。

（変形例３）
上述した第２の実施形態では、整合回路４０Ａに、相互インダクタンスを有するインダクターとしてトロイダルコイルのインダクター４４，４５を含む構成であったが、これに限定されるものではない。相互インダクタンスを有するインダクターとして、１つのコアに１次側コイルと２次側コイルとを備えたトランスを用いた構成としてもよい。

（変形例４）
上述した実施形態では、駆動回路３０にデジタルアンプ３４を用いていたが、これに限定されるものではなく、駆動回路３０にアナログアンプを用いた構成としてもよい。駆動回路３０にアナログアンプを用いる場合、ＰＷＭ部３３は削除される。

１，２…振動体、１０，１０Ａ…圧電モーター、３０…駆動部としての駆動回路、４０，４０Ａ…整合部としての整合回路、４１，４２，４４，４５…インダクター、５０…補償部としての温度補償キャパシター、７０…電子部品、１００，１０１，１０２，１０３…圧電モーターの駆動装置、２００…電子部品検査装置、２２４…可動部、２３０…電子部品搬送装置、３００…ロボットハンド、３０４，３１４…関節部、３１０…ロボット。

Claims (8)

1. 圧電素子を含む振動体を有する圧電モーターを駆動する駆動部と、
   前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、
   静電容量成分を有する補償部と、を備え、
   前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする圧電モーターの駆動装置。
2. 請求項１に記載の圧電モーターの駆動装置であって、
   温度による前記圧電素子の静電容量の変化と、温度による前記静電容量成分の静電容量の変化とは、互いに逆方向であることを特徴とする圧電モーターの駆動装置。
3. 請求項１又は２に記載の圧電モーターの駆動装置であって、
   前記整合部は、相互インダクタンスを有するインダクターを含むことを特徴とする圧電モーターの駆動装置。
4. 圧電素子を含む振動体を有する圧電モーターを駆動する駆動部と、
   前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、
   静電容量成分を有する補償部と、を備えた圧電モーターの駆動方法であって、
   温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする圧電モーターの駆動方法。
5. 電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、
   前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、
   圧電素子を含む振動体を有し、前記可動部を移動させる圧電モーターと、
   前記圧電モーターを駆動する駆動部と、
   前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、
   静電容量成分を有する補償部と、を備え、
   前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする電子部品搬送装置。
6. 電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、
   前記電子部品を検査する検査部と、
   前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、
   圧電素子を含む振動体を有し、前記可動部を移動させる圧電モーターと、
   前記圧電モーターを駆動する駆動部と、
   前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、
   静電容量成分を有する補償部と、を備え、
   前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とする電子部品検査装置。
7. 関節部と、
   圧電素子を含む振動体を有し、前記関節部を移動させる圧電モーターと、
   前記圧電モーターを駆動する駆動部と、
   前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、
   静電容量成分を有する補償部と、を備え、
   前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とするロボットハンド。
8. 関節部と、
   圧電素子を含む振動体を有し、前記関節部を移動させる圧電モーターと、
   前記圧電モーターを駆動する駆動部と、
   前記駆動部のインピーダンスと前記圧電モーターのインピーダンスとを整合する整合部と、
   静電容量成分を有する補償部と、を備え、
   前記補償部は、温度による前記圧電素子の静電容量の変化を前記静電容量成分の静電容量の変化により補償することを特徴とするロボット。

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