JP2013121188A - 駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動装置100は、可動部50と、可動部50を所定の方向に移動させる複数の圧電モーター11,12,13,14と、圧電モーター11,12,13,14を駆動する駆動回路30と、圧電モーター11,12,13,14のうちの少なくとも一つと駆動回路30とを電気的に接続又は遮断する複数のリレー21,22,23,24と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
<駆動装置>
まず、第1の実施形態に係る駆動装置の概略構成を説明する。図1は、第1の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図1に示すように、第1の実施形態に係る駆動装置100は、3つの駆動ユニット101a,101b,101cで構成される。
次に、圧電モーター11,12,13,14の構成を説明する。図2は、第1の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図3は、第1の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。
次に、第1の実施形態に係る駆動回路の概略構成を説明する。図4は、第1の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。図4に示すように、駆動回路30(30a,30b,30c)は、主制御部40と、副制御部41と、発振器31と、ゲインアンプ32と、PWM部33と、デジタルアンプ34と、インダクターコンデンサー35,36と、リレー37,38と、を備えている。
次に、第1の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する。図5は、第1の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。
<駆動装置>
次に、第2の実施形態に係る駆動装置を説明する。第2の実施形態に係る駆動装置は、第1の実施形態に対して、圧電モーターの振動体に屈曲振動だけでなく縦振動が励起される点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
<電子部品搬送装置及び電子部品検査装置>
次に、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を説明する。第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置は、第1の実施形態に係る駆動装置の基本構成と同様の構成を有する位置決め機構を備えている。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
次に、図13を参照して、位置決め機構110の構成を説明する。図13は、第3の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の概略構成を示すブロック図である。
続いて、図14を参照して、位置決め機構110の駆動制御方法、及び位置決めに関わる電子部品検査装置200の動作を説明する。図14は、第3の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の駆動制御方法を説明する図である。なお、図14は、電子部品検査装置200を上方(Z方向)から見た図である。
図14(a)において、ヘッド80a,80bは位置決め場所P1に配置され、ヘッド80c,80dは検査場所P3に配置されている。ヘッド80a,80bでは、供給トレイ241(図11(b)参照)が位置決め場所P1に移動し、合計8つの可動部81のそれぞれに電子部品70(図示しない)が供給され保持される。供給トレイ241が位置決め場所P1からX方向に移動した後、位置決め場所P1において、ヘッド80a,80bの可動部81に保持された8個の電子部品70に対して、2個ずつ順に位置決めが行われる。
位置決め場所P1でヘッド80a,80bにおいて電子部品70の位置決めを行っている間に、検査場所P3では、ヘッド80c,80dにおいて8個の電子部品70が検査ソケット232(図11(b)参照)に挿入され、8個の電子部品70の電気特性検査が行われる。
ヘッド80c,80dでは、回収トレイ252(図11(b)参照)が位置決め場所P2に移動し、合計8つの可動部81から検査が終了した電子部品70を回収する。回収トレイ252が位置決め場所P2から−X方向に移動した後、供給トレイ242(図11(b)参照)が位置決め場所P2に移動して、ヘッド80c,80dの可動部81に検査前の8個の電子部品70が保持される。供給トレイ242が位置決め場所P2からX方向に移動した後、位置決め場所P2において、8個の電子部品70に対して2個ずつ順に位置決めが行われる。
位置決め場所P2でヘッド80c,80dにおいて電子部品70の位置決めを行っている間に、検査場所P3では、ヘッド80a,80bにおいて8個の電子部品70が検査ソケット232に挿入され、8個の電子部品70の電気特性検査が行われる。
<ロボットハンド及びロボット>
次に、第4の実施形態に係るロボットハンド及びロボットを説明する。第4の実施形態に係るロボットハンド及びロボットは、関節部の駆動装置として、第1の実施形態に係る駆動装置と同様の構成を有する駆動装置を備えている。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
例えば、上述した第1の実施形態では、圧電モーター11,12,13,14のそれぞれに設けられたエンコーダー51,52,53,54から個別にエンコーダー信号が駆動回路30にフィードバックされる構成であったが、これに限定されるものではない。エンコーダー側にも複数のリレーを設け、リレーでエンコーダー51,52,53,54を切り替える構成としてもよい。あるいは、エンコーダー51,52,53,54にて信号をシリアル化又は符号化して駆動回路30にフィードバックし、駆動回路30にてパラレル化又は復号化する構成としてもよい。このような構成にすれば、駆動回路30とエンコーダー51,52,53,54との間の配線の数を低減することができる。
また、上述した第1の実施形態では、駆動回路30にデジタルアンプ34を用いていたが、これに限定されるものではなく、駆動回路30にアナログアンプを用いた構成としてもよい。駆動回路30にアナログアンプを用いる場合、PWM部33及びインダクターコンデンサー35,36は削除される。
また、上述した第3の実施形態では、位置決め機構110のヘッド80a,80bとヘッド80c,80dとで、位置決めと電気特性検査とを交互に実施する構成であったが、これに限定されるものではない。ヘッド80a,80bとヘッド80c,80dとで一緒に位置決めと電気特性検査とを行う構成としてもよい。また、その場合、位置決め場所P1,P2を同一の場所としてもよいし、供給トレイ241,242と回収トレイ251,252とがY方向に動く構成としてもよい。
また、上述した第3の実施形態では、電子部品の一例として基板71に半導体チップ72が実装された電子部品70を説明したが、電子部品はこの構成に限定されるものではない。電子部品は、半導体チップ、LCD等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド等であってもよい。
Claims (10)
- 可動部と、
前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1に記載の駆動装置であって、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を異なる方向に移動させる圧電モーターを含むことを特徴とする駆動装置。 - 請求項1または2に記載の駆動装置であって、
前記複数の切り替え手段は、前記圧電モーター毎に設けられていることを特徴とする駆動装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の駆動装置であって、
前記切り替え手段は、フォトモスリレーで構成されることを特徴とする駆動装置。 - 電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、
前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 請求項5に記載の電子部品搬送装置であって、
前記可動部を第1の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第1の方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記可動部を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の圧電モーターと、を含み、
前記第1の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第2の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、
前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。 - 請求項7に記載の電子部品検査装置であって、
前記可動部を第1の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第1の方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記可動部を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の圧電モーターと、を含み、
前記第1の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第2の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることを特徴とする電子部品検査装置。 - 可動部と、
前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とするロボットハンド。 - 可動部と、
前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とするロボット。
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