JP2013116555A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基板取付け面を提供する下面を持つ主部と、
   前記主部の外縁部から延びる外側環状部と、
   前記フレキシブル膜がキャリアヘッドに固着されたときに、前記主部の上の空間を複数のチャンバに分けるために前記主部に接続された複数の同心環状フラップと、
   を備え、前記複数の同心環状フラップのうちの第１のものが、横方向に延びる部分と、前記横方向に延びる部分を前記主部に接続する垂直方向に延びる部分とを含み、前記複数の同心環状フラップのうちの第２のものが、横方向に延びる部分と、前記横方向に延びる部分を前記主部に接続する対角線上に延びる部分とを含む、フレキシブル膜。
2. 前記複数の同心環状フラップのうちの第１のものが、最も外側のフラップである、請求項１に記載のフレキシブル膜。
3. 前記複数の同心環状フラップのうちの第２のものが、最も内側のフラップである、請求項１に記載のフレキシブル膜。
4. 前記横方向に延びる部分が、前記複数の同心環状フラップのうちの第１のものの前記垂直方向に延びる部分よりも小さい厚みを有する、請求項１に記載のフレキシブル膜。
5. 前記複数の同心環状フラップのうちの第１のものの前記横方向に延びる部分の長さと、前記垂直方向に延びる部分の長さの比が、約１．５〜２．０である、請求項１に記載のフレキシブル膜。
6. 基板取付け面を提供する下面を持つ主部と、
   前記主部の外縁部から実質的に垂直に延びる外側環状部と、
   を備え、前記外側環状部は、前記主部に接続された下部エッジと、前記下部エッジと実質的に横方向に位置合わせされた上部エッジとを備え、前記外側環状部は、前記上部エッジと前記下部エッジとの間に配置された第１の環状凹部と、前記第１の環状凹部と前記上部エッジとの間に配置された第２の環状凹部とを含む外面を備える、フレキシブル膜。
7. 前記外側環状部が、前記第１の環状凹部と前記下部エッジとの間に配置された第３の環状凹部を含む内面を備える、請求項６に記載のフレキシブル膜。
8. 前記下部エッジが、丸みのある内面及び外面を有する、請求項７に記載のフレキシブル膜。
9. 前記外側環状部が、内方に突出する環状段部を含む内面を備える、請求項６に記載のフレキシブル膜。
10. 前記環状段部が、前記第２の凹部と実質的に垂直に位置合わせされている、請求項９に記載のフレキシブル膜。
11. 前記環状段部が、非水平の上面及び下面を有する、請求項９に記載のフレキシブル膜。