JP2013115664A - 弾性波デバイス及び多層基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板10と、圧電基板10上に設けられた、弾性波を励振するIDT22と、金属からなり圧電基板10上にIDT22を囲むように設けられたシールリング12及び周縁部15と、IDT22、シールリング12及び周縁部15の上に設けられ、IDT22上に空隙24が形成されるようにIDT22を封止する板部13と、圧電基板10上であってシールリング12及び周縁部15の外側に設けられ、IDT22と電気的に接続された端子16と、を具備する弾性波デバイス、及び弾性波デバイスを内蔵する多層基板である。
【選択図】図2
Description
12 シールリング
13 板部
14 リッド
15 周縁部
16 端子
22 IDT
23 反射器
24 空隙
30、34 Au層
32 半田
38 Cu層
40、42、44、46 絶縁層
50、52、54、56、58 導体層
60 ビア配線
100、110 弾性波デバイス
200、210 多層基板
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に設けられた、弾性波を励振する機能部と、
金属からなり、前記基板上に前記機能部を囲むように設けられた側壁部と、
前記機能部上及び前記側壁部上に設けられ、前記機能部上に空隙が形成されるように前記機能部を封止する金属板と、
前記基板上であって前記側壁部の外側に設けられ、前記機能部と電気的に接続された端子と、を具備することを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記基板の上面を基準とした前記金属板の上面の高さと、前記端子の上面の高さとは等しいことを特徴とする請求項記載の弾性波デバイス。
- 前記側壁部は、前記金属板側の第1側壁部と前記基板側の第2側壁部とからなり、第1側壁部と第2側壁部とは半田により接合されていることを特徴とする請求項1又は2記載の弾性波デバイス。
- 前記側壁部は、前記金属板側の第1側壁部と前記基板側の第2側壁部とからなり、第1側壁部の金層と第2側壁部の金層とが接合されていることを特徴とする請求項1又は2記載の弾性波デバイス。
- 導体層と絶縁層とが積層され、請求項1から4いずれか一項記載の弾性波デバイスが内蔵されていることを特徴とする多層基板。
- 前記絶縁層を貫通し、前記金属板の上面、及び前記端子の上面それぞれに接触するビア配線を具備することを特徴とする請求項5記載の多層基板。
- 前記基板の表面に設けられ、前記金属板の上面と接触するビア配線と電気的に接続された導体層を具備することを特徴とする請求項6記載の多層基板。
- 前記金属板の上面に接触するビア配線と、前記端子の上面に接触するビア配線とは同じ材料からなることを特徴とする請求項6又は7記載の多層基板。
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