JP2013115238A - 部品供給装置および部品位置認識方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品供給装置20は、部品突上げ装置70の第2移動装置71に装着されたウエハ照明装置80で部品供給位置Aに搬送されたウエハUに対し下方から光を広角に照射し、部品装着装置30の第1移動装置31に取付けられたカメラ39でウエハUの円周の一部を撮像する。このため、画像にはウエハUの表面に形成された回路等は写り込まず、ウエハUは影として写ることになる。これにより、ウエハUの円周位置を簡易且つ確実に精度良く検出し、ウエハカット部品Pの位置を高精度に認識することができる。よって、従来の光センサは不要となり、部品供給装置20の低コスト化および小型化を図ることができる。
【選択図】図2
Description
Claims (4)
- 複数のウエハカット部品にカットされたウエハをウエハ形状を保持した状態でウエハ収納位置から部品供給位置に搬送するウエハ搬送装置と、
前記部品供給位置に搬送された前記ウエハに対し上方にて該ウエハの面に対し平行移動可能な第1移動装置と、該第1移動装置に取付けられ、前記部品供給位置に搬送された前記ウエハに対し上方から所定領域を撮像するカメラと、により構成されるウエハ撮像装置と、
前記部品供給位置に搬送された前記ウエハに対し下方にて該ウエハの面に対し平行移動可能な第2移動装置と、該第2移動装置に装着され、上端面を有するピン部材を昇降させる昇降装置とを備え、前記部品供給位置に搬送された前記ウエハの前記ウエハカット部品を前記ピン部材の上端部で下方から突上げる部品突上げ装置と、
前記第2移動装置に装着され、前記部品供給位置に搬送された前記ウエハに対し下方から光を広角に照射するウエハ照明装置と、
前記ウエハの少なくとも円周の一部を照明することが可能な位置に、前記第2移動装置で前記ウエハ照明装置を位置決めし、前記ウエハ照明装置で前記円周の一部を照明する照明制御手段と、
前記円周の一部を撮像することが可能な位置に、前記第1移動装置で前記カメラを位置決めし、前記カメラで前記円周の一部を撮像する撮像制御手段と、
撮像した前記円周の一部の画像に基づいて、前記ウエハの中心位置を演算する中心位置演算手段と、
求めた前記ウエハの中心位置に基づいて、前記ウエハカット部品の位置を演算する部品位置演算手段と、を備える部品供給装置。 - 請求項1に記載の部品供給装置であって、
複数種類の前記ウエハカット部品にそれぞれ対応した複数の前記昇降装置を保持可能で、保持された前記昇降装置を前記第2移動装置に着脱可能に装着されている前記昇降装置と交換可能なステーションを備え、
前記ウエハ照明装置は、前記第2移動装置に着脱可能に、且つ前記ステーションに保持可能に構成されている部品供給装置。 - 請求項1又は2に記載の部品供給装置は、
基台に水平面内で移動可能に支持された移動台と、前記移動台に装着され前記部品供給装置により供給された前記ウエハを吸着ノズルで吸着して前記基台の実装位置に位置決め支持された基板上に実装する部品移載装置と、前記移動台に固定された基板認識用カメラと、を備えた部品実装装置に装備された前記部品供給装置であり、
前記ウエハ撮像装置の前記第1移動装置は、前記部品実装装置の移動台であり、
前記ウエハ撮像装置の前記カメラは、前記基板認識用カメラであり、
前記部品突上げ装置は、前記吸着ノズルに吸着される前記ウエハカット部品を下方から突上げる部品突上げ装置である部品供給装置。 - 複数のウエハカット部品にカットされたウエハをウエハ形状を保持した状態でウエハ収納位置から部品供給位置に搬送するウエハ搬送工程と、
前記部品供給位置に搬送された前記ウエハに対し下方から光を広角に照射するウエハ照明装置を、前記ウエハの面に対し平行移動し、前記ウエハの少なくとも円周の一部を照明することが可能な位置に位置決めし、前記ウエハ照明装置で前記円周の一部を照明するウエハ照明工程と、
前記部品供給位置に搬送された前記ウエハに対し上方から所定領域を撮像するカメラを、前記ウエハに対し平行移動し、前記円周の一部を撮像することが可能な位置に位置決めし、前記カメラで前記円周の一部を撮像するウエハ撮像工程と、
撮像した前記円周の一部の画像に基づいて、前記ウエハの中心位置を演算する中心位置演算工程と、
求めた前記ウエハの中心位置に基づいて、前記ウエハカット部品の位置を演算する部品位置演算工程と、を備える部品位置認識方法。
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