JP2013108944A - 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013108944A JP2013108944A JP2011256328A JP2011256328A JP2013108944A JP 2013108944 A JP2013108944 A JP 2013108944A JP 2011256328 A JP2011256328 A JP 2011256328A JP 2011256328 A JP2011256328 A JP 2011256328A JP 2013108944 A JP2013108944 A JP 2013108944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- inspection
- hue
- illumination pattern
- images
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 185
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 165
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 185
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 88
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 52
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 32
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 20
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】 発明の表面欠陥検査装置は、色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、を有するよう構成する。
【選択図】 図9
Description
実施例1は、検査面に照射する照明パターンに、色相または彩度が平面の全方向に対して常に変位する照明パターンを用いるものである。
実施例1では、色相または彩度を全方位に変化させた照明パターンを用い、基準面と検査面とを撮像して両画像の色相、または彩度の差から欠陥画像を抽出することを行なった。実施例2では、実施例1と同様に色相または彩度を全方位に変化させた照明パターンを用いるが、照明パターンを移動させて照射し、欠陥画素の抽出に色相または彩度の色相の振幅の差、または位相差を用いる例である。
実施例2では、色相を全方位に変化させた照明パターンを用いたものであるが、実施例3では色相と彩度とに位相差を持たせ、これらを全方位に変化させ照明パターンを用いる例である。このときの色相Ihue(x,y,t)と彩度Isat(x,y,t)の変調は、例えば(5)式と(6)式で示され、θ(y)は前記の(2)式で示される。
実施例4では、色相をX方向に正弦波状に変調したストライプパターンにX方向と直交するY方向に彩度を正弦波状に変調した照明パターンを用いる例である。この照明パターンは図21(a)に示されるようになる。図21(a)の矢印に示すX方向のRGB強度は図21(b)に示すように正弦波状にはならないが、この図21(b)のRGB強度をHSV変換した色相と彩度は図21(c)のように色相は正弦波状に変化し、彩度は一定となる。また、Y方向のRGB強度は図21(d)に示すように、G強度が一定であるのに対してRとBの強度は正弦波状に変化している。このRGB強度をHSV変換した色相と彩度は図21(e)のように色相は一定で彩度は正弦波状に変化する。
(付記1)
色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
(付記2)
前記照明パターンは、色相が平面の第1の方向に正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化した
ことを特徴とする付記1に記載の表面欠陥検査装置。
(付記3)
前記照明部は、前記照明パターンを前記基準面と前記検査面とにそれぞれ複数回移動して照射し、
前記撮像部は、前記移動の毎に前記基準面と前記検査面とを撮像し、
欠陥検出部は、前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する
ことを特徴とする付記2に記載の表面欠陥検査装置。
(付記4)
彩度が平面の第1の方向に正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とにそれぞれ複数回移動して照射する照明部と、
前記移動の毎に前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から彩度変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から彩度変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
(付記5)
色相と彩度とが平面の第1の方向に所定の位相差を有して正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化した照明パターンを移動して、基準面と検査面とを照明する照明部と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを、前記移動の毎に撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
(付記6)
色相が平面の第1の方向に正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化すると共に彩度を該正弦波状に変調した照明パターンを移動して、基準面と検査面とを照明する照明部と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを、前記移動の毎に撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
(付記7)
色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明手順と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像手順と、
前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出手順と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査方法。
(付記8)
前記複数回移動の移動量は、前記正弦波の周期の1/n(n≧3)であり、移動回数はn回である
ことを特徴とする付記3に記載の表面欠陥検査装置。
(付記9)
前記照明部は、前記第1の方向に異なる位相を持たせた複数の前記照明パターンを有し、前記基準面と前記検査面とにそれぞれ該照明パターンを切り替えて照射し、
前記撮像部は、前記切り替えの毎に前記基準面と前記検査面とを撮像し、
欠陥検出部は、前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する
ことを特徴とする付記2に記載の表面欠陥検査装置。
(付記10)
前記位相は、前記正弦波の周期の1/n(n≧3)であり、
前記照明パターンの切り替えは、n回である
ことを特徴とする付記9に記載の表面欠陥検査装置。
11 ベース層
12 クリア層
20 異物
21 欠陥
22 キズ欠陥
23 キズ欠陥
30 照明部
31 明部
32 暗部
40 撮像部
41 (欠陥のない部分で正反射して撮像部に入射する)光
42 (欠陥の傾斜面で反射して撮像部に入射する)光
50 撮像画像
51 明部
52 暗部
100 表面欠陥検査装置
101 表面欠陥検査装置
200 制御部
201 制御部
210 CPU
220 RAM
230 画像データ記憶部
231 検査プログラム記憶部
232 検査プログラム記憶部
240 撮像制御部(撮像CNT)
250 照明制御部(照明CNT)
260 移動制御部(移動CNT)
270 IO/IF(Input Output/Interface)
271 キーボード(KB)
272 ディスプレイ(DISP)
300 照明部
301 照明部
310 照明パターンパネル
320 移動機構
400 撮像部
Claims (7)
- 色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記照明パターンは、色相が平面の第1の方向に正弦波状に変調し、該第1
の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化した
ことを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。 - 前記照明部は、前記照明パターンを前記基準面と前記検査面とにそれぞれ複数回移動して照射し、
前記撮像部は、前記移動の毎に前記基準面と前記検査面とを撮像し、
欠陥検出部は、前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する
ことを特徴とする請求項2に記載の表面欠陥検査装置。 - 彩度が平面の第1の方向に正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査
面とにそれぞれ複数回移動して照射する照明部と、
前記移動の毎に前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から彩度変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から彩度変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 色相と彩度とが平面の第1の方向に所定の位相差を有して正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化した照明パターンを移動して、基準面と検査面とを照明する照明部と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを、前記移動の毎に撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 色相が平面の第1の方向に正弦波状に変調し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向に該正弦波の位相を周期的に変化すると共に彩度を該正弦波状に変調した照明パターンを移動して、基準面と検査面とを照明する照明部と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを、前記移動の毎に撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記基準面の複数の画像から色相変化に対する第1の評価値を求めると共に前記検査面の複数の画像から色相変化に対する第2の評価値を求め、前記第1の評価値と前記第2の評価値の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 色相が平面において少なくとも2方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明手順と、
前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像手順と、
前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出手順と、
を有することを特徴とする表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256328A JP5857675B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256328A JP5857675B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013108944A true JP2013108944A (ja) | 2013-06-06 |
JP5857675B2 JP5857675B2 (ja) | 2016-02-10 |
Family
ID=48705826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011256328A Expired - Fee Related JP5857675B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5857675B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015143648A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | ダイハツ工業株式会社 | 検査用照明装置及びこの照明装置を用いた検査方法 |
JP2016095160A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | Jfeスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
WO2016147888A1 (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-22 | ソニー株式会社 | 情報処理装置および方法 |
JP2017101976A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | リコーエレメックス株式会社 | 検査システム、及び検査方法 |
JP2017101977A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | リコーエレメックス株式会社 | 検査システムおよび検査方法 |
JP2019053020A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-04-04 | 富士通株式会社 | 検査方法、装置、システム及びプログラム |
JP2019090670A (ja) * | 2017-11-14 | 2019-06-13 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面検査装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102429699B1 (ko) * | 2020-11-25 | 2022-08-05 | (주) 엠엔비젼 | 미래형 자동차 헤드램프 커버 렌즈 비전 검사 장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07239222A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH10509238A (ja) * | 1994-11-17 | 1998-09-08 | サーフェイス インスペクション リミテッド | 表面検査照明装置 |
JP2000018932A (ja) * | 1998-04-27 | 2000-01-21 | Asahi Glass Co Ltd | 被検物の欠点検査方法および検査装置 |
JP2002323454A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Asahi Glass Co Ltd | 被検物の欠点検査方法および検査装置 |
JP2009264800A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 表面検査方法および装置 |
JP2011226814A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
-
2011
- 2011-11-24 JP JP2011256328A patent/JP5857675B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07239222A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH10509238A (ja) * | 1994-11-17 | 1998-09-08 | サーフェイス インスペクション リミテッド | 表面検査照明装置 |
JP2000018932A (ja) * | 1998-04-27 | 2000-01-21 | Asahi Glass Co Ltd | 被検物の欠点検査方法および検査装置 |
JP2002323454A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Asahi Glass Co Ltd | 被検物の欠点検査方法および検査装置 |
JP2009264800A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 表面検査方法および装置 |
JP2011226814A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6015019815; 佐藤辰雄, 北山公也: 'マルチスペクトル光投影レンジファインダによる形状計測' 映像情報メディア学会誌 Vol.51, No.12, 199712, pp.2133-2140 * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015143648A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | ダイハツ工業株式会社 | 検査用照明装置及びこの照明装置を用いた検査方法 |
JP2016095160A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | Jfeスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
WO2016147888A1 (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-22 | ソニー株式会社 | 情報処理装置および方法 |
JPWO2016147888A1 (ja) * | 2015-03-17 | 2017-12-28 | ソニー株式会社 | 情報処理装置および方法 |
US10432902B2 (en) | 2015-03-17 | 2019-10-01 | Sony Corporation | Information processing device and information processing method |
JP2017101976A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | リコーエレメックス株式会社 | 検査システム、及び検査方法 |
JP2017101977A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | リコーエレメックス株式会社 | 検査システムおよび検査方法 |
JP2019053020A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-04-04 | 富士通株式会社 | 検査方法、装置、システム及びプログラム |
JP2019090670A (ja) * | 2017-11-14 | 2019-06-13 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5857675B2 (ja) | 2016-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5857675B2 (ja) | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 | |
JP6433268B2 (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
JP4613086B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
CN1965222B (zh) | 用于控制透明或反射元件的设备 | |
US10887500B2 (en) | Optical inspection system | |
JP5760371B2 (ja) | 塗装表面欠陥検査方法 | |
EP2508871A1 (en) | Inspection apparatus, measurement method for three-dimensional shape, and production method for structure | |
JP5790446B2 (ja) | 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置 | |
JP5741186B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2013205071A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2012127934A (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2016224707A (ja) | 検査システム | |
JP2007078517A (ja) | 表面平滑性測定装置 | |
US7199386B2 (en) | System and method for detecting defects in a light-management film | |
KR20140057210A (ko) | 보틀캔의 구금부 검사 방법 및 검사 장치 | |
TW201231914A (en) | Surface shape evaluating method and surface shape evaluating device | |
WO2010092744A1 (ja) | 外観検査装置及び樹脂成形品の製造方法 | |
TW201741650A (zh) | 偵測光學膜之缺陷的系統與方法 | |
JP7003502B2 (ja) | 検査装置 | |
JP6420180B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2008026147A (ja) | カラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法 | |
JP7124569B2 (ja) | 検査装置 | |
KR102199314B1 (ko) | 디스플레이 패널 검사장치 | |
JP6909378B2 (ja) | 検査システム | |
JP2008292367A (ja) | 感光ドラム用の外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5857675 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |