JPH07239222A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH07239222A JPH07239222A JP5332594A JP5332594A JPH07239222A JP H07239222 A JPH07239222 A JP H07239222A JP 5332594 A JP5332594 A JP 5332594A JP 5332594 A JP5332594 A JP 5332594A JP H07239222 A JPH07239222 A JP H07239222A
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- illumination
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Abstract
(57)【要約】
外乱の影響を受けにくく、欠陥の検査精度を向上させ
る。 【目的】 【構成】 被検査面に光を照射する照明装置と、照明装
置の照射により被検査面から反射光を受光し受光画像を
得るカメラとを備え、受光画像に基づいて被検査面の欠
陥を検出する表面欠陥検査装置であって、照明装置１は
色座標上で分離可能な黄色と青色の両照明とからなり、
黄色と青色の照明がそれぞれ交差状に被検査面９を照射
する。通常は被検査面９により反射された黄色の照明光
がカメラ２に入射し、被検査面９に欠陥があるときのみ
青色の照明光がその欠陥部で乱反射され黄色の受光画像
中に青色の受光画像が形成される。これにより、外乱に
強く、複雑な輝度の被検査面に適用でき、小さな欠陥の
検出ができるという効果が得られる。
る。 【目的】 【構成】 被検査面に光を照射する照明装置と、照明装
置の照射により被検査面から反射光を受光し受光画像を
得るカメラとを備え、受光画像に基づいて被検査面の欠
陥を検出する表面欠陥検査装置であって、照明装置１は
色座標上で分離可能な黄色と青色の両照明とからなり、
黄色と青色の照明がそれぞれ交差状に被検査面９を照射
する。通常は被検査面９により反射された黄色の照明光
がカメラ２に入射し、被検査面９に欠陥があるときのみ
青色の照明光がその欠陥部で乱反射され黄色の受光画像
中に青色の受光画像が形成される。これにより、外乱に
強く、複雑な輝度の被検査面に適用でき、小さな欠陥の
検出ができるという効果が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面欠陥検査装置であ
って、とくに被検査面に光を照射し、その被検査面から
の反射光より受光画像を求め、得た画像に基づいて被検
査面内の欠陥を検出する表面欠陥検査装置に関する。
って、とくに被検査面に光を照射し、その被検査面から
の反射光より受光画像を求め、得た画像に基づいて被検
査面内の欠陥を検出する表面欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の検査装置としては、従来白色の
照明または白黒パターンの照明光を用いて、被検査面の
斜め方向より照射し、白黒のテレビカメラにより照射画
像を得て、画像上に生成した黒い部分で欠陥を検出する
という表面欠陥検査装置があった。
照明または白黒パターンの照明光を用いて、被検査面の
斜め方向より照射し、白黒のテレビカメラにより照射画
像を得て、画像上に生成した黒い部分で欠陥を検出する
という表面欠陥検査装置があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査装置においては、照明光は白または白と黒という色
相、彩度の組み合わせが同じものを使って、その輝度レ
ベルで欠陥の有無を判別していたため、太陽光のような
白色光が被検査面に入るとバックグラウンドノイズが高
くなり、黒くなるべき部分も白っぽくなってしまい、欠
陥の識別がしにくいと同時に被検査面に対して均一な輝
度が要求され、または高コントラストの被検査面が必要
とされるほか、照明光の光量の変動、外乱光やカメラの
絞り調整などの影響を受けやすいという問題点があっ
た。従ってこの発明は、上記の問題点に鑑み、外乱光か
らの影響を受けず、また外乱光などに対抗するための高
照度照明が不要で、低コントラストまたは均一輝度のな
い被検査面に対しても十分検査可能な表面欠陥検査装置
を提供することを目的とする。
検査装置においては、照明光は白または白と黒という色
相、彩度の組み合わせが同じものを使って、その輝度レ
ベルで欠陥の有無を判別していたため、太陽光のような
白色光が被検査面に入るとバックグラウンドノイズが高
くなり、黒くなるべき部分も白っぽくなってしまい、欠
陥の識別がしにくいと同時に被検査面に対して均一な輝
度が要求され、または高コントラストの被検査面が必要
とされるほか、照明光の光量の変動、外乱光やカメラの
絞り調整などの影響を受けやすいという問題点があっ
た。従ってこの発明は、上記の問題点に鑑み、外乱光か
らの影響を受けず、また外乱光などに対抗するための高
照度照明が不要で、低コントラストまたは均一輝度のな
い被検査面に対しても十分検査可能な表面欠陥検査装置
を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】被検査面に光を照射する
照明手段と、該照明手段の照射により前記被検査面から
反射光を受光し受光画像を得る撮像手段とを備え、前記
受光画像に基づいて被検査面の欠陥を検出する表面欠陥
検査装置であって、前記照明手段は色座標上で分離可能
なＡ色のＡ照明とＢ色のＢ照明とを併置して形成される
とともに、前記被検査面により反射されたＡ照明の照明
光が前記撮像手段に入射して結像するように配設して構
成され、被検査面に欠陥があるときＡ色の受光画像中の
前記欠陥に対応する部位に欠陥部で乱反射されたＢ色の
照明光によりＢ色画像が生成されるものとした。
照明手段と、該照明手段の照射により前記被検査面から
反射光を受光し受光画像を得る撮像手段とを備え、前記
受光画像に基づいて被検査面の欠陥を検出する表面欠陥
検査装置であって、前記照明手段は色座標上で分離可能
なＡ色のＡ照明とＢ色のＢ照明とを併置して形成される
とともに、前記被検査面により反射されたＡ照明の照明
光が前記撮像手段に入射して結像するように配設して構
成され、被検査面に欠陥があるときＡ色の受光画像中の
前記欠陥に対応する部位に欠陥部で乱反射されたＢ色の
照明光によりＢ色画像が生成されるものとした。
【０００５】
【作用】本発明では、色相と彩度の組み合わせが異なる
色の照明を使い、その色の組み合わせによって欠陥の有
無を判別するようにしたから、撮像手段において、被検
査面の欠陥のない部分はＡ色の画像となって映り、欠陥
部の画像はＢ色となって映るため、欠陥の検出が容易で
ある。従って他の照明の光や太陽光など本装置の照明以
外からの光の影響に強く検査精度が向上する。そして、
被検査面からのＢ色の反射光は通常撮像手段に結像せ
ず、欠陥があるときのみ結像をするようにすると、画像
内Ｂ色の有無を検出するだけで欠陥を検出することがで
きる。さらに、Ａ色のＡ照明とＢ色のＢ照明を交互に繰
り返し隣接して配置された照明手段を用いて、被検査面
を照射し、その反射光をそれぞれ撮像手段に入射するよ
うにすると、様々の角度からのＢ照明の照明光が欠陥部
で乱反射され撮像手段に入射するから、画像上での欠陥
がより大きな面積で抽出することができる。つまり被検
査面上の本来の欠陥部分の面積に近い面積で抽出するこ
とができ、より小さな欠陥の検出が可能である。
色の照明を使い、その色の組み合わせによって欠陥の有
無を判別するようにしたから、撮像手段において、被検
査面の欠陥のない部分はＡ色の画像となって映り、欠陥
部の画像はＢ色となって映るため、欠陥の検出が容易で
ある。従って他の照明の光や太陽光など本装置の照明以
外からの光の影響に強く検査精度が向上する。そして、
被検査面からのＢ色の反射光は通常撮像手段に結像せ
ず、欠陥があるときのみ結像をするようにすると、画像
内Ｂ色の有無を検出するだけで欠陥を検出することがで
きる。さらに、Ａ色のＡ照明とＢ色のＢ照明を交互に繰
り返し隣接して配置された照明手段を用いて、被検査面
を照射し、その反射光をそれぞれ撮像手段に入射するよ
うにすると、様々の角度からのＢ照明の照明光が欠陥部
で乱反射され撮像手段に入射するから、画像上での欠陥
がより大きな面積で抽出することができる。つまり被検
査面上の本来の欠陥部分の面積に近い面積で抽出するこ
とができ、より小さな欠陥の検出が可能である。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明の第１の実施例を示す。 こ
の実施例は自動車製造ラインの塗装検査工程に適用した
ものである。塗装された自動車のボデー９の表面を被検
査面とし、その被検査面より一定の距離を設け、離れて
いる位置に照明装置１とカラーテレビカメラ２が配置さ
れている。照明装置１とカラーテレビカメラ２はロボッ
ト３のアームの先端部に取り付けられており、ロボット
３は自動車のボデー９の表面を走査するようロボット制
御装置５によって制御される。６は画像処理装置であ
り、カラーテレビカメラ２の受光画像に基づいて欠陥を
抽出する。７は本検査装置のホストコンピュータであ
り、欠陥が検出された場合、欠陥が発見された個所に、
図示しないアーム型ロボットにより直接マークをさせて
も良いし、モニタ上に座標などの数値、若しくは被検査
物体を図形で表示したモニタ上で欠陥位置を表示しても
良い。
の実施例は自動車製造ラインの塗装検査工程に適用した
ものである。塗装された自動車のボデー９の表面を被検
査面とし、その被検査面より一定の距離を設け、離れて
いる位置に照明装置１とカラーテレビカメラ２が配置さ
れている。照明装置１とカラーテレビカメラ２はロボッ
ト３のアームの先端部に取り付けられており、ロボット
３は自動車のボデー９の表面を走査するようロボット制
御装置５によって制御される。６は画像処理装置であ
り、カラーテレビカメラ２の受光画像に基づいて欠陥を
抽出する。７は本検査装置のホストコンピュータであ
り、欠陥が検出された場合、欠陥が発見された個所に、
図示しないアーム型ロボットにより直接マークをさせて
も良いし、モニタ上に座標などの数値、若しくは被検査
物体を図形で表示したモニタ上で欠陥位置を表示しても
良い。
【０００７】照明装置１は、図２に示されているように
光源１０と、その光源１０からの光を各方向に拡散する
拡散板１１と、フィルタ１２と、それらを格納するケー
ス１３からなり、フィルタ１２はＡ部分とそれを挟んで
いるＢ部分を有する。Ａ、Ｂの色は、色座標上、色相、
彩度及び輝度ともに大きく離れた色の組み合わせが望ま
しく、本実施例では例えばＡ部分を黄色、Ｂ部分を青色
として説明する。拡散板１１により拡散された光はフィ
ルタ１２でフィルタされ、黄色と青色の各照明光を生成
してボデー９表面を照射する。
光源１０と、その光源１０からの光を各方向に拡散する
拡散板１１と、フィルタ１２と、それらを格納するケー
ス１３からなり、フィルタ１２はＡ部分とそれを挟んで
いるＢ部分を有する。Ａ、Ｂの色は、色座標上、色相、
彩度及び輝度ともに大きく離れた色の組み合わせが望ま
しく、本実施例では例えばＡ部分を黄色、Ｂ部分を青色
として説明する。拡散板１１により拡散された光はフィ
ルタ１２でフィルタされ、黄色と青色の各照明光を生成
してボデー９表面を照射する。
【０００８】照明装置１を用いて自動車のボデー９の表
面に照射すると、図３のように照明光はボデー９の表面
で反射される。カラーテレビカメラ２はその画角で決定
される検査範囲Ｌについては実線で表示する黄色の反射
光を受光するように調整されてあるため、カメラ２の受
光画像上は黄色が映る。ここで、図４のようにボデー９
の表面の被検査範囲Ｌに欠陥があると、欠陥の不規則な
表面によってその部位においての実線の黄色照射光は乱
反射される。一方、欠陥のある部位において破線の青色
照射光のうちカメラ２との間に正反射条件が満たされる
ものが青色反射光としてカラーテレビカメラ２に入射す
る。従って受光画像上ではその部位が青色と映る。
面に照射すると、図３のように照明光はボデー９の表面
で反射される。カラーテレビカメラ２はその画角で決定
される検査範囲Ｌについては実線で表示する黄色の反射
光を受光するように調整されてあるため、カメラ２の受
光画像上は黄色が映る。ここで、図４のようにボデー９
の表面の被検査範囲Ｌに欠陥があると、欠陥の不規則な
表面によってその部位においての実線の黄色照射光は乱
反射される。一方、欠陥のある部位において破線の青色
照射光のうちカメラ２との間に正反射条件が満たされる
ものが青色反射光としてカラーテレビカメラ２に入射す
る。従って受光画像上ではその部位が青色と映る。
【０００９】一般的なカラーテレビカメラの映像信号は
輝度信号Ｙと色差信号（Ｒ−Ｙ）、（Ｂ−Ｙ）の３信号
で構成される。輝度信号Ｙは、白〜灰〜黒や明〜暗とい
った輝度成分であり、すなわち従来の検査方法で用いら
れているものである。色差信号は、色相、彩度の情報が
あり、上記３信号は図５のように３次元直行座標で表わ
すことができる。従って任意の色は、Ｙ、（Ｒ−Ｙ）、
（Ｂ−Ｙ）座標上の点として表わすこともできる。
輝度信号Ｙと色差信号（Ｒ−Ｙ）、（Ｂ−Ｙ）の３信号
で構成される。輝度信号Ｙは、白〜灰〜黒や明〜暗とい
った輝度成分であり、すなわち従来の検査方法で用いら
れているものである。色差信号は、色相、彩度の情報が
あり、上記３信号は図５のように３次元直行座標で表わ
すことができる。従って任意の色は、Ｙ、（Ｒ−Ｙ）、
（Ｂ−Ｙ）座標上の点として表わすこともできる。
【００１０】本実施例は、信号の抽出や２値化などの処
理を簡単にかつ確実に実行するため、図５に示したよう
に座標上で、彩度、色相ともに大きくはなれた青（Ｂ）
と黄（ＹＬ）という組み合わせを用いた。もちろん上記
に加えて、輝度成分Ｙをも用いて検査すると、より確実
な検査が実現できる。
理を簡単にかつ確実に実行するため、図５に示したよう
に座標上で、彩度、色相ともに大きくはなれた青（Ｂ）
と黄（ＹＬ）という組み合わせを用いた。もちろん上記
に加えて、輝度成分Ｙをも用いて検査すると、より確実
な検査が実現できる。
【００１１】図６は、画像処理装置６の構成を示す。カ
ラーテレビカメラ２から得た映像信号は、カメラコント
ローラユニット２１で輝度信号Ｙと色差信号Ｒ−Ｙ、Ｂ
−Ｙに分離復調される。このＹ、Ｒ−Ｙ，Ｂ−Ｙ３信号
は、２値化回路２２に入力され、ＣＰＵ２７より設定さ
れたしきい値によりそれぞれ２値化される。２値化は、
それぞれの信号に対して１つ若しくは上限、下限の２し
きい値によって行なわれ、抽出したい色を分離する。２
値化された各信号は、合成回路２３で原画信号と合成さ
れ、モニタ２４に送られる。作業者はモニタを見ながら
欠陥とそれ以外の部分が正しく２値化されるようにキー
ボード２５からしきい値を予め実験的に設定しておく。
ラーテレビカメラ２から得た映像信号は、カメラコント
ローラユニット２１で輝度信号Ｙと色差信号Ｒ−Ｙ、Ｂ
−Ｙに分離復調される。このＹ、Ｒ−Ｙ，Ｂ−Ｙ３信号
は、２値化回路２２に入力され、ＣＰＵ２７より設定さ
れたしきい値によりそれぞれ２値化される。２値化は、
それぞれの信号に対して１つ若しくは上限、下限の２し
きい値によって行なわれ、抽出したい色を分離する。２
値化された各信号は、合成回路２３で原画信号と合成さ
れ、モニタ２４に送られる。作業者はモニタを見ながら
欠陥とそれ以外の部分が正しく２値化されるようにキー
ボード２５からしきい値を予め実験的に設定しておく。
【００１２】なお照明装置からの照明光の光量の変動や
外乱光などにより輝度成分（輝度信号Ｙ）が変動した
り、または照明のフィルタ１２が変色した場合、色相、
色彩成分（色差信号：Ｒ−Ｙ，Ｂ−Ｙ）が変化してしま
うということが考えられるので、２値化しきい値により
抽出、分離される範囲は極端に狭くしない方が検出率の
低下を招かない。従って実験的に上記の影響を考慮して
最適なしきい値を求めて設定すれば、外乱や経時変化な
どに強く、複雑な信号処理や制御、メンテナンスなどと
いったものを必要としない欠陥検査装置が実現できる。
外乱光などにより輝度成分（輝度信号Ｙ）が変動した
り、または照明のフィルタ１２が変色した場合、色相、
色彩成分（色差信号：Ｒ−Ｙ，Ｂ−Ｙ）が変化してしま
うということが考えられるので、２値化しきい値により
抽出、分離される範囲は極端に狭くしない方が検出率の
低下を招かない。従って実験的に上記の影響を考慮して
最適なしきい値を求めて設定すれば、外乱や経時変化な
どに強く、複雑な信号処理や制御、メンテナンスなどと
いったものを必要としない欠陥検査装置が実現できる。
【００１３】ＣＰＵ２７は合成回路２３より上記のよう
に行なわれた２値化処理の結果を取り込み、欠陥の有無
を判定する。例えば、欠陥が検出されるときに得られる
図７のような黄色と青色の二色受光画像は、２値化の結
果、図８のように黄色は白、青色は黒となるもので、背
景が白の中に欠陥が黒く映るので検出できる。このよう
にＣＰＵ２７で得られた欠陥検出結果はホストコンピュ
ータ７に送られる。ホストコンピュータ７は例えばモニ
タやプリンタといった出力装置２６に欠陥のあった部
位、数量などの検出結果を出力する。作業員はこれに従
って欠陥の修正作業を行なう。また欠陥の数量があるレ
ベル以上あったならば、例えば空調のエアフィルタの清
掃、交換を指示、警告したり、または塗装装置のメンテ
ナンスを指示するといったことに応用してもよい。
に行なわれた２値化処理の結果を取り込み、欠陥の有無
を判定する。例えば、欠陥が検出されるときに得られる
図７のような黄色と青色の二色受光画像は、２値化の結
果、図８のように黄色は白、青色は黒となるもので、背
景が白の中に欠陥が黒く映るので検出できる。このよう
にＣＰＵ２７で得られた欠陥検出結果はホストコンピュ
ータ７に送られる。ホストコンピュータ７は例えばモニ
タやプリンタといった出力装置２６に欠陥のあった部
位、数量などの検出結果を出力する。作業員はこれに従
って欠陥の修正作業を行なう。また欠陥の数量があるレ
ベル以上あったならば、例えば空調のエアフィルタの清
掃、交換を指示、警告したり、または塗装装置のメンテ
ナンスを指示するといったことに応用してもよい。
【００１４】本実施例は、以上のように構成され、検査
用照明として色座標上で色相、彩度及び輝度が大きく離
れた２色例えば黄色と青色の照明光を用い、２値化など
の画像処理を用いたため、欠陥の抽出が容易にできる。
照明光の光量の変動、外乱光の影響やカメラの絞り調整
などの影響を受けにくいという効果があり、精度のよい
検査が実現できる。
用照明として色座標上で色相、彩度及び輝度が大きく離
れた２色例えば黄色と青色の照明光を用い、２値化など
の画像処理を用いたため、欠陥の抽出が容易にできる。
照明光の光量の変動、外乱光の影響やカメラの絞り調整
などの影響を受けにくいという効果があり、精度のよい
検査が実現できる。
【００１５】図９は、本発明の第２の実施例を示す。
この実施例は、図１に示した第１の実施例のフィルタ１
２の代わりに色パターンを換えたフィルタ１２’を用い
たものである。そのほかの構成は、第１の実施例と同じ
である。フィルタ１２’は、黄色のＡ部分と青色のＢ部
分から交互に繰り返され構成される。
この実施例は、図１に示した第１の実施例のフィルタ１
２の代わりに色パターンを換えたフィルタ１２’を用い
たものである。そのほかの構成は、第１の実施例と同じ
である。フィルタ１２’は、黄色のＡ部分と青色のＢ部
分から交互に繰り返され構成される。
【００１６】照明装置１からの光を自動車のボデー９の
表面に照射すると、その照射光は反射され、カメラ２に
入射し、カメラの受光画像上にフィルタ１２’と同様に
黄色と青色が交互に映る。ここで、その黄色光の照射部
位内に欠陥があるときには、その部位においてカメラと
正反射条件を満たした黄色照射光がその欠陥によって乱
反射され、カメラ２に入射しない。一方、欠陥のある部
位において青色の照射光とカメラ２の正反射条件が満た
され、カメラ２に入射する。この結果、受光画像上では
図１０のように欠陥部は青色、その周囲部は黄色が映
る。
表面に照射すると、その照射光は反射され、カメラ２に
入射し、カメラの受光画像上にフィルタ１２’と同様に
黄色と青色が交互に映る。ここで、その黄色光の照射部
位内に欠陥があるときには、その部位においてカメラと
正反射条件を満たした黄色照射光がその欠陥によって乱
反射され、カメラ２に入射しない。一方、欠陥のある部
位において青色の照射光とカメラ２の正反射条件が満た
され、カメラ２に入射する。この結果、受光画像上では
図１０のように欠陥部は青色、その周囲部は黄色が映
る。
【００１７】本実施例は以上のように構成され、照明光
は交互に繰り返される黄と青の照明光を所定の組み合わ
せにしたから、同じ欠陥でも色々な角度からの欠陥面で
の反射が生じるため、第１の実施例に比べ、画像上での
欠陥がより大きな面積で抽出することができる。つまり
被検査面上の本来の欠陥部分の面積に近い面積で抽出す
ることができ、より小さな欠陥の検出が可能となる。ま
た、被検査面が曲面の場合、被検査面での正反射角が大
きくなるため、曲面の被検査面で第１の実施例を適用し
た場合に比べ、本実施例では色々な角度からの欠陥面で
の反射が生じるため、カメラでの受光量の減少は少な
い。従ってこの場合にもより小さな欠陥の検出が可能と
なる。
は交互に繰り返される黄と青の照明光を所定の組み合わ
せにしたから、同じ欠陥でも色々な角度からの欠陥面で
の反射が生じるため、第１の実施例に比べ、画像上での
欠陥がより大きな面積で抽出することができる。つまり
被検査面上の本来の欠陥部分の面積に近い面積で抽出す
ることができ、より小さな欠陥の検出が可能となる。ま
た、被検査面が曲面の場合、被検査面での正反射角が大
きくなるため、曲面の被検査面で第１の実施例を適用し
た場合に比べ、本実施例では色々な角度からの欠陥面で
の反射が生じるため、カメラでの受光量の減少は少な
い。従ってこの場合にもより小さな欠陥の検出が可能と
なる。
【００１８】なお、色パターンとしては上記のほか図１
１のような同心円の色パターンを用いても上記と同様な
効果が得られる。なおまた、上記各実施例では、照明の
色として青と黄を用いたものを示したが、これに限らず
彩度、色相ともに大きく離れた色の組み合わせであれ
ば、それを用いても同様な効果が得られる。もちろん、
上記色を表現する座標系のほかに、ＲＧＢ信号などで表
す座標系を用いてもよい。
１のような同心円の色パターンを用いても上記と同様な
効果が得られる。なおまた、上記各実施例では、照明の
色として青と黄を用いたものを示したが、これに限らず
彩度、色相ともに大きく離れた色の組み合わせであれ
ば、それを用いても同様な効果が得られる。もちろん、
上記色を表現する座標系のほかに、ＲＧＢ信号などで表
す座標系を用いてもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上の通り、この発明は、色座標上で分
離可能なＡ色のＡ照明とＢ色のＢ照明とによりそれぞれ
交差状に被検査面を照射するようにしたから、撮像手段
の受光画像上では欠陥部とその周囲部は異なる色が映
る。このため、欠陥を容易に検出し、外乱などの影響に
強く、検査精度が向上するという効果がある。また、撮
像手段は通常Ａ色の反射光のみを受光し、被検査面の欠
陥による乱反射が発生するときのみＢ色の反射光を受光
するように配置したときには、Ｂ色の受光が顕著に認識
され欠陥の検出が簡単にできる。さらにＡ色のＡ照明と
Ｂ色のＢ照明を交互に繰り返し隣接して配置した照明手
段を用いて、各照明光がそれぞれ被検査面により反射さ
れ撮像手段に入射するようにするとより小さな欠陥の検
出も容易であるという利点がある。
離可能なＡ色のＡ照明とＢ色のＢ照明とによりそれぞれ
交差状に被検査面を照射するようにしたから、撮像手段
の受光画像上では欠陥部とその周囲部は異なる色が映
る。このため、欠陥を容易に検出し、外乱などの影響に
強く、検査精度が向上するという効果がある。また、撮
像手段は通常Ａ色の反射光のみを受光し、被検査面の欠
陥による乱反射が発生するときのみＢ色の反射光を受光
するように配置したときには、Ｂ色の受光が顕著に認識
され欠陥の検出が簡単にできる。さらにＡ色のＡ照明と
Ｂ色のＢ照明を交互に繰り返し隣接して配置した照明手
段を用いて、各照明光がそれぞれ被検査面により反射さ
れ撮像手段に入射するようにするとより小さな欠陥の検
出も容易であるという利点がある。
【図１】この発明の第１の実施例の構成を示す全体図で
ある。
ある。
【図２】照明装置の構成を示す構成図である。
【図３】照明光の反射経路を示す図である。
【図４】欠陥があるとき照明光の反射経路を示す図であ
る。
る。
【図５】三次元直行色座標を示す図である。
【図６】画像処理装置の構成を示す図である。
【図７】２値化処理される前の二色画像を示す図であ
る。
る。
【図８】合成画像を示す図である。
【図９】第２実施例におけるフィルタの色パターンを示
す図である。
す図である。
【図１０】第２実施例の受光画像を示す図である。
【図１１】フィルタの他の色パターンを示す図である。
１ 照明装置 ２ カメラ ３ ロボット ５ ロボット制御装置 ６ 画像処理装置 ７ ホストコンピュータ ９ 自動車のボデー １０ 光源 １１ 拡散板 １２、１２’ フィルタ １３ ケース ２１ カメラコントロールユニット ２２ ２値化回路 ２３ 合成回路 ２４ モニタ ２５ キーボート ２６ 出力装置 ２７ ＣＰＵ
Claims (3)
- 【請求項１】 被検査面に光を照射する照明手段と、該
照明手段の照射により前記被検査面から反射光を受光し
受光画像を得る撮像手段とを備え、前記受光画像に基づ
いて被検査面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置であっ
て、前記照明手段は色座標上で分離可能なＡ色のＡ照明
とＢ色のＢ照明とを併置して形成されるとともに、前記
被検査面により反射されたＡ照明の照明光が前記撮像手
段に入射して結像するように配設して構成され、被検査
面に欠陥があるときＡ色の受光画像中の前記欠陥に対応
する部位に欠陥部で乱反射されたＢ色の照明光によりＢ
色画像が生成されることを特徴とする表面欠陥検査装
置。 - 【請求項２】 前記照明手段は、通常被検査面により反
射されたＡ照明の照明のみが前記撮像手段に入射するよ
うに構成され、前記被検査面に欠陥があるときのみその
欠陥部での乱反射によりＢ色の照明光が前記撮像手段に
入射することを特徴とする請求項１記載の表面欠陥検査
装置。 - 【請求項３】 前記照明手段は、Ａ色のＡ照明とＢ色の
Ｂ照明を交互に繰り返し隣接して配置され、各照明光が
それぞれ被検査面により反射され前記撮像手段に入射す
るように構成されたことを特徴とする請求項１記載の表
面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5332594A JPH07239222A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5332594A JPH07239222A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07239222A true JPH07239222A (ja) | 1995-09-12 |
Family
ID=12939578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5332594A Withdrawn JPH07239222A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07239222A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008046103A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | 表面検査装置 |
| JP2011099726A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
| JP2013108944A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP5332594A patent/JPH07239222A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008046103A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | 表面検査装置 |
| JP2011099726A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
| JP2013108944A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010508 |