JP2013205071A - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
外観検査装置及び外観検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013205071A JP2013205071A JP2012071344A JP2012071344A JP2013205071A JP 2013205071 A JP2013205071 A JP 2013205071A JP 2012071344 A JP2012071344 A JP 2012071344A JP 2012071344 A JP2012071344 A JP 2012071344A JP 2013205071 A JP2013205071 A JP 2013205071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- height
- image
- optical image
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】外観検査装置1は、検査対象物であるプリント配線板50の表面の高低を非接触で検出するための距離センサ2と、この距離センサ2の検出した表面の高低データに基づいてプリント配線板50を画像化した高低画像を、表示部6に表示させる高低画像表示手段11とを備えるものである。外観検査装置1は、カメラ3を備えていてもよい。
【選択図】図2
Description
Claims (12)
- 検査対象物の表面の高低を検出するための高低検出手段と、
該高低検出手段の検出した該表面の高低データに基づいて該検査対象物を画像化し、画像化した高低画像を表示部に表示させる高低画像表示手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。 - 前記検査対象物の表面の高低検査用のマスターデータを記憶する第1記憶手段と、
前記高低検出手段の検出した前記表面の高低データを、該高低検査用のマスターデータと比較して該検査対象物を検査する高低検査手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。 - 前記検査対象物を光学的に撮像するための撮像手段と、
該撮像手段の撮像した光学画像を、前記高低画像と共に前記表示部に表示させる光学画像表示手段とを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査装置。 - 前記検査対象物の光学画像検査用のマスターデータを記憶する第2記憶手段と、
前記撮像手段の撮像した光学画像データを、該光学画像検査用のマスターデータと比較して該検査対象物を検査する光学画像検査手段とを備えることを特徴とする請求項3に記載の外観検査装置。 - 前記高低検査手段及び前記光学画像検査手段の両検査結果から前記検査対象物を検査する相互検査手段を備えることを特徴とする請求項4に記載の外観検査装置。
- 前記高低検査手段及び前記光学画像検査手段の少なくとも一方で異常と判定された領域の前記高低画像及び前記光学画像を、共に前記表示部に表示させることを特徴とする請求項4又は5に記載の外観検査装置。
- 検査対象物の表面の高低を検出し、検出した該表面の高低データに基づいて該検査対象物を画像化し、画像化した高低画像を表示部に表示させることを特徴とする外観検査方法。
- 前記表面の高低データを、高低検査用のマスターデータと比較して前記検査対象物を検査することを特徴とする請求項7に記載の外観検査方法。
- 前記検査対象物を光学的に撮像し、撮像した光学画像を前記高低画像と共に前記表示部に表示させることを特徴とする請求項7又は8に記載の外観検査方法。
- 前記検査対象物を撮像した光学画像データを、光学画像検査用のマスターデータと比較して前記検査対象物を検査することを特徴とする請求項9に記載の外観検査方法。
- 前記表面の高低データの検査結果及び前記光学画像の検査結果から前記検査対象物を検査することを特徴とする請求項10に記載の外観検査方法。
- 前記表面の高低データ及び前記光学画像データの少なくとも一方が異常と判定された領域の前記高低画像及び前記光学画像を、共に前記表示部に表示させることを特徴とする請求項10又は11に記載の外観検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012071344A JP2013205071A (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012071344A JP2013205071A (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013205071A true JP2013205071A (ja) | 2013-10-07 |
Family
ID=49524324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012071344A Pending JP2013205071A (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013205071A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015087295A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 株式会社Ihi | 形状検査装置及び形状検査方法 |
CN105066946A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-11-18 | 深圳诚和电子实业有限公司 | 一种印制电路板平整度测试装置及方法 |
JP2017116447A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 大和ハウス工業株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
CN107345789A (zh) * | 2017-07-06 | 2017-11-14 | 深圳市强华科技发展有限公司 | 一种pcb板孔位检测装置及方法 |
CN110221351A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-10 | 韩华新能源(启东)有限公司 | 电池片表面异物检测装置及改善电池片丝印爆版的装置 |
JP2021124402A (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-30 | 住友金属鉱山株式会社 | 基板の検査装置、基板の検査方法 |
JP7191173B1 (ja) | 2021-09-17 | 2022-12-16 | Ckd株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
WO2023276595A1 (ja) * | 2021-06-29 | 2023-01-05 | LeapMind株式会社 | 異常表示装置、異常表示プログラム、異常表示システム及び異常表示方法 |
CN117581529A (zh) * | 2021-11-30 | 2024-02-20 | 三菱电机株式会社 | 异常检测程序、异常检测装置及异常检测方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11351837A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ランド付基板の検査装置 |
JP2005207918A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2006267018A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 検査装置 |
JP2008196974A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 突起物の高さ測定装置及び高さ測定方法 |
JP2012053016A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置及び外観検査方法 |
-
2012
- 2012-03-27 JP JP2012071344A patent/JP2013205071A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11351837A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ランド付基板の検査装置 |
US6278797B1 (en) * | 1998-06-05 | 2001-08-21 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Apparatus for inspecting land-attached circuit board |
JP2005207918A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2006267018A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Ckd Corp | 検査装置 |
JP2008196974A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 突起物の高さ測定装置及び高さ測定方法 |
US20080291468A1 (en) * | 2007-02-13 | 2008-11-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Apparatus and method for measuring height of protuberances |
JP2012053016A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015087295A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 株式会社Ihi | 形状検査装置及び形状検査方法 |
CN105066946A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-11-18 | 深圳诚和电子实业有限公司 | 一种印制电路板平整度测试装置及方法 |
JP2017116447A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 大和ハウス工業株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
CN107345789A (zh) * | 2017-07-06 | 2017-11-14 | 深圳市强华科技发展有限公司 | 一种pcb板孔位检测装置及方法 |
CN110221351A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-10 | 韩华新能源(启东)有限公司 | 电池片表面异物检测装置及改善电池片丝印爆版的装置 |
JP2021124402A (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-30 | 住友金属鉱山株式会社 | 基板の検査装置、基板の検査方法 |
WO2023276595A1 (ja) * | 2021-06-29 | 2023-01-05 | LeapMind株式会社 | 異常表示装置、異常表示プログラム、異常表示システム及び異常表示方法 |
JP7191173B1 (ja) | 2021-09-17 | 2022-12-16 | Ckd株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
WO2023042440A1 (ja) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | Ckd株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2023044159A (ja) * | 2021-09-17 | 2023-03-30 | Ckd株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
CN117581529A (zh) * | 2021-11-30 | 2024-02-20 | 三菱电机株式会社 | 异常检测程序、异常检测装置及异常检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013205071A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP6507653B2 (ja) | 検査装置及び検査装置の制御方法 | |
KR101849962B1 (ko) | 오버레이 계측 방법, 장치, 및 표시 장치 | |
JP6303867B2 (ja) | 基板検査装置及びその制御方法 | |
TWI699525B (zh) | 三維相位移瑕疵檢測方法及系統 | |
KR101794964B1 (ko) | 검사 시스템 및 검사 방법 | |
JP2010117185A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
TWI629665B (zh) | 缺陷檢查方法及缺陷檢測系統 | |
TWI484164B (zh) | Optical re - inspection system and its detection method | |
JP2014002125A (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2013186100A (ja) | 形状検査方法およびその装置 | |
JP3948728B2 (ja) | パターン検査装置 | |
JP2006010392A (ja) | 貫通穴計測システム及び方法並びに貫通穴計測用プログラム | |
CN113281343A (zh) | 一种对多层透明材料进行缺陷检测的系统及方法 | |
JP2009168454A (ja) | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 | |
JP2013088414A (ja) | 形状検査方法およびその装置 | |
JP2009036736A (ja) | 印刷半田検査方法及び装置 | |
KR101757240B1 (ko) | 3차원 형상 측정 장치에서의 기준 패턴 생성 방법 | |
JP4842376B2 (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
Bračun et al. | A method for surface quality assessment of die-castings based on laser triangulation | |
JP5895733B2 (ja) | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 | |
TWI753424B (zh) | 外觀檢查管理系統、外觀檢查管理裝置、外觀檢查管理方法以及程式 | |
JP6864911B2 (ja) | 面形状歪測定装置 | |
JP6695253B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP7459525B2 (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140312 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160621 |