JP2006267018A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】三次元演算手段による計測値に基づき、クリームハンダの三次元形状を示す三次元モデルデータが、三次元データ格納手段に格納される。一方、上述したように二次元実画像のデータは、二次元データ格納手段に格納される。そして、小ウインドウWS4に、二次元実画像としてのパッド(クリームハンダ)の拡大画像G2を表示し、同時に、小ウインドウWS5に、クリームハンダの三次元形状を示す三次元画像G3を表示する。さらに、右上の小ウインドウWS6に、高さ情報を等高線にて示した三次元平面画像GH3を表示し、三次元平面画像GH3の記号A及びBで示す切断面を、小ウインドウWS7,WS8にそれぞれ表示する。
【選択図】 図5
Description
前記三次元計測用照射手段からの照射光に基づき撮像を行う第1撮像手段と、
前記第1撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う三次元演算手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物を検査する検査手段とを備えた検査装置において、
前記計測対象物に対し、二次元撮像用の光を照射する二次元撮像用照射手段と、
前記二次元撮像用照射手段からの照射光に基づき前記計測対象物の上からの撮像を行う第2撮像手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づく前記計測対象物の三次元形状を示す三次元画像を表示手段の表示画面に表示すると共に、前記第2撮像手段による撮像に基づく前記計測対象物の二次元実画像を前記表示手段の表示画面に表示する表示制御手段と、
を備えていることを特徴とする検査装置。
前記三次元計測用照射手段からの照射光に基づき撮像を行う第1撮像手段と、
前記第1撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う三次元演算手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物を検査する検査手段とを備えた検査装置において、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物の三次元形状を特定可能な三次元データを格納するための三次元データ格納手段と、
前記計測対象物に対し、二次元撮像用の光を照射する二次元撮像用照射手段と、
前記二次元撮像用照射手段からの照射光に基づき前記計測対象物の真上からの撮像を行う第2撮像手段と、
前記第2撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の二次元実画像を、二次元データとして格納するための二次元データ格納手段と、
表示画面を有する表示手段と、
前記三次元データ格納手段に格納された三次元データに基づき、前記計測対象物の三次元形状を示す三次元画像を前記表示手段の表示画面に表示すると共に、前記二次元データ格納手段に格納された二次元データに基づき、前記計測対象物の前記二次元実画像を前記表示手段の表示画面に表示する表示制御手段と
を備えていることを特徴とする検査装置。
前記第1撮像手段及び前記第2撮像手段は、単一の撮像手段で構成されていることを特徴とする検査装置。
前記計測対象物に対し、二次元撮像用の光を照射する二次元撮像用照射手段と、
前記三次元計測用照射手段からの照射光に基づき三次元計測のための撮像を行うと共に、前記二次元撮像用照射手段からの照射光に基づき前記計測対象物の真上からの撮像を行う撮像手段と、
前記三次元計測用照射手段による照射と前記二次元撮像用照射手段による照射とを切り替えると共に、当該照射手段の切り替えに合わせて、前記撮像手段による撮像に基づく処理を切り替える切替手段と、
前記撮像手段による三次元計測のための撮像に基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う三次元演算手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物を検査する検査手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物の三次元形状を特定可能な三次元データを格納するための三次元データ格納手段と、
前記撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の二次元実画像を、二次元データとして格納するための二次元データ格納手段と、
表示画面を有する表示手段と、
前記三次元データ格納手段に格納された三次元データに基づき、前記計測対象物の三次元形状を示す三次元画像を前記表示手段の表示画面に表示すると共に、前記二次元データ格納手段に格納された二次元データに基づき、前記計測対象物の前記二次元実画像を前記表示手段の表示画面に表示する表示制御手段と
を備えていることを特徴とする検査装置。
前記検査手段による検査結果を格納するための検査結果格納手段を備え、
前記表示制御手段は、さらに、前記検査結果格納手段に格納された検査結果を前記表示手段の表示画面に表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
前記表示制御手段は、前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記三次元画像として、任意設定される方向から見た場合の前記計測対象物の立体画像を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
前記表示制御手段は、前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記三次元画像として、高さの情報が示された前記計測対象物の平面画像を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
前記表示制御手段は、前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物における高さ方向の切断面を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
前記検査手段にて不良判定がなされた計測対象物についてのみ、前記二次元データを前記二次元データ格納手段に格納すると共に、前記三次元データを前記三次元データ格納手段に格納するよう構成されており、
前記表示制御手段は、前記検査手段にて不良判定された計測対象物についてのみ、前記三次元画像と共に前記二次元実画像を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
少なくとも前記三次元計測用照射手段、前記第1撮像手段、前記三次元演算手段、及び前記検査手段を備える検査ユニットと、
前記検査ユニットとは別体として構成され、少なくとも前記表示制御手段を備える結果確認ユニットとを具備してなることを特徴とする検査装置。
情報を入力するための入力手段を備え、
前記表示制御手段は、選択対象となる前記計測対象物を特定するための特定情報を前記表示手段に表示可能となっており、前記入力手段を介し前記特定情報により前記計測対象物が選択されると、前記三次元画像と共に、当該三次元画像に対応させ、前記二次元実画像を表示するよう構成されていることを特徴とする検査装置。
前記表示制御手段は、基板上の電極パターンに合わせて設定される設定枠を表示可能となっており、前記入力手段を介して前記設定枠が選択されると、当該設定枠内に存在する前記計測対象物の特定情報を前記表示手段に表示するよう構成されていることを特徴とする検査装置。
Claims (12)
- 計測対象物に対し、三次元計測用の光を照射する三次元計測用照射手段と、
前記三次元計測用照射手段からの照射光に基づき撮像を行う第1撮像手段と、
前記第1撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う三次元演算手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物を検査する検査手段とを備えた検査装置において、
前記計測対象物に対し、二次元撮像用の光を照射する二次元撮像用照射手段と、
前記二次元撮像用照射手段からの照射光に基づき前記計測対象物の上からの撮像を行う第2撮像手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づく前記計測対象物の三次元形状を示す三次元画像を表示手段の表示画面に表示すると共に、前記第2撮像手段による撮像に基づく前記計測対象物の二次元実画像を前記表示手段の表示画面に表示する表示制御手段と、
を備えていることを特徴とする検査装置。 - 計測対象物に対し、三次元計測用の光を照射する三次元計測用照射手段と、
前記三次元計測用照射手段からの照射光に基づき撮像を行う第1撮像手段と、
前記第1撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う三次元演算手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物を検査する検査手段とを備えた検査装置において、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物の三次元形状を特定可能な三次元データを格納するための三次元データ格納手段と、
前記計測対象物に対し、二次元撮像用の光を照射する二次元撮像用照射手段と、
前記二次元撮像用照射手段からの照射光に基づき前記計測対象物の真上からの撮像を行う第2撮像手段と、
前記第2撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の二次元実画像を、二次元データとして格納するための二次元データ格納手段と、
表示画面を有する表示手段と、
前記三次元データ格納手段に格納された三次元データに基づき、前記計測対象物の三次元形状を示す三次元画像を前記表示手段の表示画面に表示すると共に、前記二次元データ格納手段に格納された二次元データに基づき、前記計測対象物の前記二次元実画像を前記表示手段の表示画面に表示する表示制御手段と
を備えていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1又は2に記載の検査装置において、
前記第1撮像手段及び前記第2撮像手段は、単一の撮像手段で構成されていることを特徴とする検査装置。 - 計測対象物に対し、三次元計測用の光を照射する三次元計測用照射手段と、
前記計測対象物に対し、二次元撮像用の光を照射する二次元撮像用照射手段と、
前記三次元計測用照射手段からの照射光に基づき三次元計測のための撮像を行うと共に、前記二次元撮像用照射手段からの照射光に基づき前記計測対象物の真上からの撮像を行う撮像手段と、
前記三次元計測用照射手段による照射と前記二次元撮像用照射手段による照射とを切り替えると共に、当該照射手段の切り替えに合わせて、前記撮像手段による撮像に基づく処理を切り替える切替手段と、
前記撮像手段による三次元計測のための撮像に基づき、前記計測対象物の三次元計測を行う三次元演算手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物を検査する検査手段と、
前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物の三次元形状を特定可能な三次元データを格納するための三次元データ格納手段と、
前記撮像手段による撮像に基づき、前記計測対象物の二次元実画像を、二次元データとして格納するための二次元データ格納手段と、
表示画面を有する表示手段と、
前記三次元データ格納手段に格納された三次元データに基づき、前記計測対象物の三次元形状を示す三次元画像を前記表示手段の表示画面に表示すると共に、前記二次元データ格納手段に格納された二次元データに基づき、前記計測対象物の前記二次元実画像を前記表示手段の表示画面に表示する表示制御手段と
を備えていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査手段による検査結果を格納するための検査結果格納手段を備え、
前記表示制御手段は、さらに、前記検査結果格納手段に格納された検査結果を前記表示手段の表示画面に表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の検査装置において、
前記表示制御手段は、前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記三次元画像として、任意設定される方向から見た場合の前記計測対象物の立体画像を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の検査装置において、
前記表示制御手段は、前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記三次元画像として、高さの情報が示された前記計測対象物の平面画像を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の検査装置において、
前記表示制御手段は、前記三次元演算手段による計測値に基づき、前記計測対象物における高さ方向の切断面を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査手段にて不良判定がなされた計測対象物についてのみ、前記二次元データを前記二次元データ格納手段に格納すると共に、前記三次元データを前記三次元データ格納手段に格納するよう構成されており、
前記表示制御手段は、前記検査手段にて不良判定された計測対象物についてのみ、前記三次元画像と共に前記二次元実画像を表示可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の検査装置において、
少なくとも前記三次元計測用照射手段、前記第1撮像手段、前記三次元演算手段、及び前記検査手段を備える検査ユニットと、
前記検査ユニットとは別体として構成され、少なくとも前記表示制御手段を備える結果確認ユニットとを具備してなることを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の検査装置において、
情報を入力するための入力手段を備え、
前記表示制御手段は、選択対象となる前記計測対象物を特定するための特定情報を前記表示手段に表示可能となっており、前記入力手段を介し前記特定情報により前記計測対象物が選択されると、前記三次元画像と共に、当該三次元画像に対応させ、前記二次元実画像を表示するよう構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項11に記載の検査装置において、
前記表示制御手段は、基板上の電極パターンに合わせて設定される設定枠を表示可能となっており、前記入力手段を介して前記設定枠が選択されると、当該設定枠内に存在する前記計測対象物の特定情報を前記表示手段に表示するよう構成されていることを特徴とする検査装置。
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