JP6506784B2 - 検査情報表示装置、検査情報表示方法および検査情報表示プログラム - Google Patents
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Description
(1)基板検査装置の構成:
(2)基板検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は、本実施形態にかかる検査情報表示装置を含む基板検査装置10の概略構成を示している。同図において、基板検査装置10は、制御部20と記録媒体30と表示装置40と入力装置50と撮像部60とを備えている。
検査情報表示プログラム21のソフトウェア構成については後述する。
図7は、基板検査処理のフローチャートである。
まず、影画像取得モジュール21bの機能により制御部20は、基板情報30a(部品情報30a1,撮像領域情報30a2,検査領域情報30a3)を取得する(ステップS100)。次に、影画像取得モジュール21bの機能により制御部20は、照明光情報30bを取得する(ステップS110)。すなわち、制御部20は、プロジェクタ61a,61b,61c,61dから照射される照明光La,Lb,Lc,Ldの焦点位置Zを取得する。
前記実施形態において、制御部20は、計算によって方向別影画像Aa,Ab,Ac,Adを取得したが、方向別影画像Aa,Ab,Ac,Adは実際に視野V内に移動した撮像領域に照明光を照射した影を撮像することにより得られてもよい。この場合、方向別影画像Aa,Ab,Ac,Adが部品M1〜M4の実装位置のばらつきの影響を受けることとなるが、実装位置が正確であることが確認済みの基板Nを使用することにより実装位置のばらつきの影響を抑制してもよい。
Claims (5)
- 複数の部品が実装された基板を、照明光の複数の照射方向のそれぞれにて撮像した撮像画像を用いて前記基板の検査を行う基板検査装置についての情報を表示する検査情報表示装置であって、
前記基板に照明光を照射した場合に形成される前記照射方向ごとの影の分布を示す影画像を取得する影画像取得部と、
前記影画像を表示する表示部と、
を備え、
前記影画像は、前記照射方向ごとの前記影の分布を示す画像を単一画像に合成した画像であり、前記照射方向ごとの前記影が重なっている個数に応じて表示態様が異なる画像である、
検査情報表示装置。 - 前記表示部は、前記照射方向ごとの前記影が重なっている個数が閾値以上である領域の面積が、前記基板上の検査領域の面積に占める面積率である非照射面積率が判定値以上である前記検査領域を表示する、
請求項1に記載の検査情報表示装置。 - 前記表示部は、前記非照射面積率に基づいて、前記基板と前記照明光の光源との位置関係が適切でない旨を表示する、
請求項2に記載の検査情報表示装置。 - 複数の部品が実装された基板を、照明光の複数の照射方向のそれぞれにて撮像した撮像画像を用いて前記基板の検査を行う基板検査装置についての情報を表示する検査情報表示方法であって、
前記基板に照明光を照射した場合に形成される前記照射方向ごとの影の分布を示す影画像を取得する影画像取得工程と、
前記影画像を表示する表示工程と、
を含み、
前記影画像は、前記照射方向ごとの前記影の分布を示す画像を単一画像に合成した画像であり、前記照射方向ごとの前記影が重なっている個数に応じて表示態様が異なる画像である、
検査情報表示方法。 - 複数の部品が実装された基板を、照明光の複数の照射方向のそれぞれにて撮像した撮像画像を用いて前記基板の検査を行う基板検査装置についての情報を表示する機能をコンピュータに実現させる検査情報表示プログラムであって、
前記基板に照明光を照射した場合に形成される前記照射方向ごとの影の分布を示す影画像を取得する影画像取得機能と、
前記影画像を表示する表示機能と、
をコンピュータに実現させ、
前記影画像は、前記照射方向ごとの前記影の分布を示す画像を単一画像に合成した画像であり、前記照射方向ごとの前記影が重なっている個数に応じて表示態様が異なる画像である、
検査情報表示プログラム。
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