JP2021032657A - 撮像領域決定システム、撮像領域決定方法および撮像領域決定プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】検査できない検査不能領域を含む部品を低減する技術の提供。【解決手段】基板上の複数の撮像領域を取得する撮像領域取得部と、前記撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得する検査不能領域取得部と、前記検査不能領域を含む前記撮像領域を、当該撮像領域内の前記検査不能領域が減る位置に変化させる撮像領域調整部と、を備える撮像領域決定システムを構成する。【選択図】図３

Description

本発明は、基板に実装された部品をカメラで撮像する際の撮像領域を決定する撮像領域決定システム、撮像領域決定方法および撮像領域決定プログラムに関する。

基板上に複数の撮像領域を設定し、各撮像領域を撮像し、撮像画像に基づいて基板に実装された部品の検査を行う技術が知られている。例えば、特許文献１には、検査視野を走査して部品を探索することで、検査視野を定める構成が開示されている。

特開平６−１６００４２号公報

従来の技術においては、カメラで撮像された画像による検査のために適切な撮像領域が設定されたか否か考慮されていなかった。すなわち、部品を斜め上から照明すると部品の影が反対側にできるため、他の部品の検査領域に部品の影が重なると、当該検査領域の検査ができなくなる場合がある。

本発明は、前記の問題を解決せんとするもので、検査できない検査不能領域を含む部品を低減する技術を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するため、撮像領域決定システムは、基板上の複数の撮像領域を取得する撮像領域取得部と、撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得する検査不能領域取得部と、検査不能領域を含む撮像領域を、当該撮像領域内の検査不能領域が減る位置に変化させる撮像領域調整部と、を備える。

すなわち、撮像領域決定システムにおいては、部品の影によって検査できない検査不能領域が生じた場合に、当該検査不能領域が減るように撮像領域の位置を変更する。このため、検査が可能か否か考慮することなく撮像領域を取得した場合であっても、撮像領域の取得後に撮像領域が補正され、検査できない検査不能領域を含む部品を低減することができる。

さらに、撮像領域調整部は、検査不能領域に影を形成する部品である原因部品の影が小さくなる位置に撮像領域を変化させる構成であってもよい。この構成によれば、検査できない検査不能領域を含む部品を低減するように効率的に撮像領域を変化させることができる。

さらに、撮像領域調整部は、検査不能領域において重なっている影の数が異なっている場合、相対的に多くの影が重なっている部分の面積または当該部分において重なっている影の数が減る位置に撮像領域を移動させる構成であってもよい。この構成によれば、検査不能領域を含む部品を低減するように効率的に撮像領域を変化させることができる。

さらに、撮像領域調整部は、第１の撮像領域に含まれる検査不能領域が第２の撮像領域に含まれ、かつ、検査が可能な領域である場合、第１の撮像領域の位置を変化させない構成であってもよい。この構成によれば、必要のない撮像領域の位置を変化させることを防止することができ、処理負荷を軽減することができる。

撮像領域決定システムを含む基板検査システムのブロック図である。 撮像部の斜視図である。 図３Ａは基板上に設定された撮像領域の例を示す図であり、図３Ｂは撮像領域の移動を示す図である 影領域の算出手法を説明する模式図である。 図５Ａ〜図５Ｄは方向別影画像である。 合成影画像である。 図７Ａは検査領域対比影画像、図７Ｂは二値化影画像、図７Ｃは検査不能領域画像である。 撮像領域決定処理のフローチャートである。 専用撮像領域設定処理のフローチャートである。 図１０Ａは専用撮像領域の移動を示す図、図１０Ｂは基板上に設定された撮像領域の例を示す図である。

ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。
（１）基板検査システムの構成：
（２）撮像領域決定処理：
（３）専用撮像領域設定処理：
（４）他の実施形態：

（１）基板検査システムの構成：
図１は、本実施形態にかかる撮像領域決定システムを含む基板検査システム１０の概略構成を示している。同図において、基板検査システム１０は、制御部２０と記録媒体３０と表示装置４０と入力装置５０と撮像部６０とを備えている。

撮像部６０は、カメラ６２とプロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄとＸ−Ｙステージ６３とを備えている。図２は、撮像部６０の斜視図である。Ｘ−Ｙステージ６３は、基板Ｎが載置されるステージであり、制御部２０の制御の下で基板Ｎを当該基板Ｎの面方向に移動させる。カメラ６２は、基板Ｎを撮像して撮像画像を生成する撮像装置であり、カメラ６２が撮像する基板Ｎのうち視野Ｖ内となる撮像領域を撮像する。なお、カメラ６２の光軸方向は基板Ｎに対して垂直な方向である。

基板Ｎ上で視野Ｖ内に含まれる撮像領域は、Ｘ−Ｙステージ６３により基板Ｎを移動させることによって可変となる。従って、Ｘ−Ｙステージ６３によって基板Ｎの位置を変化させ、カメラ６２によって基板Ｎ上の異なる位置を撮像することができる。撮像領域は、カメラ６２によって撮像される基板Ｎ上の各位置である。本実施形態において、撮像領域は、基板Ｎのうちカメラ６２によって撮像する図３Ａに示す破線の矩形で囲む領域であり、視野Ｖと同じ形状を有する領域である。

プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄは、制御部２０の制御の下で基板Ｎ上に照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄを照射する光源である。図２は、簡略化のため照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄの中央光軸のみを実線で示している。４個のプロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄが異なる位置に備えられており、プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄのそれぞれが異なる照射方向で照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄを基板Ｎに照射する。プロジェクタ６１ａは視野ＶからＸ軸の正方向に一定距離だけ移動した位置に備えられ、プロジェクタ６１ｂは視野ＶからＸ軸の負方向に一定距離だけ移動した位置に備えられ、プロジェクタ６１ｃは視野ＶからＹ軸の正方向に一定距離だけ移動した位置に備えられ、プロジェクタ６１ｄは視野ＶからＹ軸の負方向に一定距離だけ移動した位置に備えられている。Ｘ軸とＹ軸は、Ｘ−Ｙステージ６３が移動する方向であり、基板Ｎと平行な平面上において互いに直交する座標軸である。

プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄは、照射方向に対し部品ごとの影を生じる光源であればよく、照明光は、光源からの直接の光であっても、スリットや縞パターンを介した基板Ｎの３次元形状を計測する光であってもよい。

図１に示す制御部２０は、図示しないＣＰＵやＲＯＭやＲＡＭで構成されるコンピュータであり、記録媒体３０に記録された各種情報を用いて基板検査に必要な処理を実行する。本実施形態において制御部２０は、基板検査を行うための基板検査プログラム２１を実行する。基板検査プログラム２１のソフトウェア構成については後述する。

記録媒体３０は、基板情報３０ａと照明光情報３０ｂと撮像領域情報３０ｃと影画像（Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）と評価結果（Ｅ）とを記録する。基板情報３０ａは、部品情報３０ａ１と検査領域情報３０ａ２とを含む。部品情報３０ａ１は、基板Ｎ上に実装された部品の位置と形状とを示す。検査領域情報３０ａ２は、基板Ｎ上の検査領域の位置と形状とを示す情報である。本実施形態においては、部品のリードと基板Ｎ上のパッドとを電気的に接続する半田のフィレット等が形成される領域を検査領域とした場合について説明する。（後述する図７Ａ〜図７Ｃに示す検査領域Ｇ１〜Ｇ１０）

照明光情報３０ｂは、プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄから照射される照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄの焦点位置を示す情報である。焦点位置とは、プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄを点光源と考えた場合に、当該点光源が存在する位置である。従って、照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄは、それぞれ焦点位置に存在する点光源から放射状に照射されると見なすことができる。影画像（Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）と評価結果（Ｅ）の詳細については後述する。

表示装置４０は、制御部２０の制御の下で各種画像を表示するディスプレイである。入力装置５０は、ユーザの操作を受け付ける装置であり、マウスやキーボードやタッチパネル等であってもよい。

次に、基板検査プログラム２１のソフトウェア構成について説明する。基板検査プログラム２１は、撮像領域取得部２１ａと、検査不能領域取得部２１ｂと、撮像領域調整部２１ｃと、基板検査部２１ｄとを含む。

撮像領域取得部２１ａは、基板Ｎ上の複数の撮像領域を取得する機能を制御部２０に実行させるプログラムモジュールである。すなわち、制御部２０は、撮像領域取得部２１ａの機能により、撮像領域を示す撮像領域情報３０ｃを生成する。

撮像領域を取得するためのアルゴリズムは種々の手法であってよいが、本実施形態において、撮像領域が取得される段階では照明による影は考慮されない。また、本実施形態においては、基板Ｎ上に撮像領域が複数の部品毎に設定される。例えば、制御部２０は、基板情報３０ａに含まれる部品情報３０ａ１を参照し、カメラ６２の視野Ｖと同じ大きさおよび形状の領域で基板Ｎ上を走査し、撮像領域内に検査対象となる全ての部品が含まれるように撮像領域を決定する。

図３Ａは、基板Ｎを模式的に示す図である。図３Ａにおいては、基板Ｎを部品の実装面に垂直な方向から眺めた状態を示す図であり、基板Ｎ上に設定された部品を実線、撮像領域を破線の矩形で示している。本実施形態において、検査領域は部品のリードと基板Ｎのパッドとを電気的に接続する半田のフィレット等が形成される領域である。従って、検査領域を含む複数の部品が１個の撮像領域に含まれるように撮像領域が取得され、この結果、図３Ａに破線で示されるように複数の撮像領域が得られる。撮像領域が取得されると、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、撮像領域の位置および形状を示す情報（基板平面の位置を示す座標系における撮像領域の対角頂点の座標等）を撮像領域情報３０ｃとして生成し、記録媒体３０に記録させる。

検査不能領域取得部２１ｂは、撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得する機能を制御部２０に実行させるプログラムモジュールである。本実施形態において、制御部２０は、プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの焦点位置と、部品の３次元的な形状および位置と、に基づいて、照明光によって形成される部品の影を算出する処理を撮像領域毎に実行する。

具体的には、制御部２０は、基板Ｎに照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄを照射した場合に形成される照射方向ごとの影の分布を示す影画像を取得する。すなわち、制御部２０は、撮像領域を撮像領域情報３０ｃから取得し、当該撮像領域内に存在する部品の位置と形状とを部品情報３０ａ１から取得する。さらに、制御部２０は、プロジェクタを１つの照明光源として見立てた場合のプロジェクタ６１ａから照射される照明光Ｌａの焦点位置を照明光情報３０ｂから取得する。

そして、制御部２０は、撮像領域内の各部品に照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄが照射された場合に、基板面上に形成される影の領域である影領域を算出する。基板面とは、基板Ｎにおいて部品が実装される面である。図４は、影領域Ｓの算出手法を説明する模式図である。まず、制御部２０は、撮像領域の位置と部品Ｍの位置と照明光Ｌａの焦点位置Ｚとに基づいて、部品Ｍの各頂点Ｔ１〜Ｔ８（黒丸で図示）と照明光Ｌａの焦点位置Ｚとの相対位置を取得する。図４において、部品Ｍの形状は、直方体であり、８個の頂点Ｔ１〜Ｔ８を有する。本実施形態では、各部品Ｍの形状が部品情報３０ａ１に規定されている。

そして、制御部２０は、焦点位置Ｚと部品Ｍの各頂点Ｔ１〜Ｔ８とを接続する各直線（一点鎖線で図示）が基板面と交差する投影点Ｐ１〜Ｐ８を算出する。なお、頂点Ｔ１〜Ｔ８のうち、基板面上の頂点Ｔ５〜Ｔ８の投影点Ｐ５〜Ｐ８は、頂点Ｔ５〜Ｔ８と一致する。制御部２０は、投影点Ｐ１〜Ｐ８同士を接続する線分によって囲まれた領域を影領域Ｓ（グレーで図示）として算出する。制御部２０は、照明光Ｌａを照射した場合の影領域Ｓを示す方向別影画像Ａａを生成する（図５Ａ参照）。方向別影画像Ａａは、視野Ｖ内の各位置に対応する各画素で構成され、当該各画素が影領域Ｓ内であるかを示す情報が対応付けられた画像である。本実施形態において、各画素に濃度（０〜最大濃度）が対応付けられており、影領域Ｓ外の画素には濃度として０が対応付けられ、影領域Ｓ内の画素には最大濃度の２５％（１００×（１／プロジェクタの数））の濃度が対応付けられている。

ここでは図４によってプロジェクタ６１ａについての方向別影画像Ａａを得る手法を説明したが、制御部２０は、他のプロジェクタ６１ｂ，６１ｃ，６１ｄについても同様の算出手法により方向別影画像Ａｂ，Ａｃ，Ａｄを生成する。方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄが生成されると、制御部２０は、方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄを影画像として記録媒体３０に記録する。

図５Ａ〜図５Ｄは、方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄを示す。同図に示すように、方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄにおいては影領域Ｓの分布が示される。すなわち、制御部２０は、基板Ｎに照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄを照射した場合に形成される照射方向ごとの影の分布（影領域Ｓ）を示す影画像として方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄを取得する。

図５Ａ〜図５Ｄにおいては、基板面からの高さＨがそれぞれ２ｈ，３ｈ，５ｈ，ｈとなる直方体状の部品Ｍ１〜Ｍ４が撮像領域（視野Ｖ内）に存在する例が示されている。これらの例においては、部品Ｍ１〜Ｍ４のそれぞれよって照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄが遮蔽され、この結果形成された影領域Ｓが存在している。なお、図の簡略化のため、図５Ａ〜図５Ｄでは照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄが平行光であることとして影領域Ｓを示している。影領域Ｓは、部品Ｍ１〜Ｍ４の高さＨが高いほど大きくなる。

本実施形態において、制御部２０は、照射方向ごとの影の分布（影領域Ｓ）を示す方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄを単一画像に合成した合成影画像Ｂを生成する。具体的には、制御部２０は、方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄにおいて同一位置の画素の濃度同士を合計することにより、合成影画像Ｂを生成する。合成影画像Ｂが生成されると、制御部２０は、合成影画像Ｂを影画像として記録媒体３０に記録する。

図６は、合成影画像Ｂを示す。方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄのうち、１個も影領域Ｓが存在していない画素は０％の濃度を示すこととなり、１個のみにて影領域Ｓが存在している画素は最大濃度の２５％の濃度を示すこととなり、２個にて影領域Ｓが存在している画素は最大濃度の５０％の濃度を示すこととなり、３個にて影領域Ｓが存在している画素は最大濃度の７５％の濃度を示すこととなり、４個すべてにて影領域Ｓが存在している画素は最大濃度の１００％の濃度を示すこととなる。このように、合成影画像Ｂは、照射方向ごとの影領域Ｓが重なっている個数に応じて表示態様が異なる画像となる。

さらに、検査不能領域を取得するため、制御部２０は、合成影画像Ｂ上に、検査領域を重畳した検査領域対比影画像を生成する。図７Ａは、図６の合成影画像Ｂのうち、部品Ｍ２の周辺領域（破線枠）の拡大図であり、当該拡大図においてハッチングを施した部品Ｍ２の各リードに対して検査領域である基板上のパッドＧ１〜Ｇ１０の輪郭を重畳した検査領域対比影画像Ｃを示す。図７Ａにおいて、部品Ｍ２の周辺に１０個の検査領域Ｇ１〜Ｇ１０が示されている。検査領域Ｇ１〜Ｇ１０は、部品Ｍ２のリード（ハッチングで図示）と、基板Ｎとを電気的に接続するための半田のフィレットが形成されるパッドの領域である。制御部２０は、検査領域対比影画像Ｃを影画像として記録媒体３０に記録する。

さらに、制御部２０は、検査領域に重なった影の濃度と大きさに基づいて、各検査領域が検査不能領域であるか否か判定する。具体的には、制御部２０は、照射方向ごとの影領域Ｓが重なっている数または面積が閾値以上である領域が、検査が不能な検査不能領域であるとみなす。

このため、制御部２０は、検査領域Ｇ１〜Ｇ１０のうち、照射方向ごとの影領域Ｓが重なっている個数が第１閾値（本実施形態において３個）以上となっている検査不能領域を特定する。具体的には、検査不能領域の面積を基準とする場合、制御部２０は、検査領域Ｇ１〜Ｇ１０内の画素の濃度が判定濃度（最大濃度の７５％）以上となっているか否かによって画像を二値化し、検査不能領域であるか否かを示す二値化影画像を生成する。

図７Ｂは、二値化影画像Ｄを示す。二値化影画像Ｄにおいて、濃度が判定濃度以上の画素で構成される検査不能領域Ｑ（黒色で図示）と、濃度が判定濃度未満の画素で構成される領域Ｗ（白色で図示）とによって検査領域Ｇ１〜Ｇ１０内が色分けされている。制御部２０は、二値化影画像Ｄを影画像として記録媒体３０に記録する。

さらに、制御部２０は、検査領域Ｇ１〜Ｇ１０のそれぞれについて、各検査領域Ｇ１〜Ｇ１０の面積と、検査不能領域Ｑの面積とを取得し、検査不能領域の面積を各検査領域の面積で除算することにより、検査不能領域面積率を算出する。そして、制御部２０は、検査領域Ｇ１〜Ｇ１０における検査不能領域面積率が判定値（例えば３０％）以上である場合、その検査領域自体を検査不能領域として特定する。図７Ｂの例では、検査領域Ｇ３における検査不能領域面積率が５０％であり、検査領域Ｇ４における検査不能領域面積率が１００％である。従って、検査領域Ｇ３，Ｇ４が検査不能領域となる。他の検査領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ５〜Ｇ１０は、検査が可能な領域である。なお、上記のように面積を基準とする場合には、検査領域Ｇ４が検査不能領域となる正確な判定が可能であるが、数を基準とする場合（例えば、図６の左に示す３個（７５％）を基準とした場合）には検査領域Ｇ４は検査不能領域面積率が仮に１０％であっても３個の条件が満たされることによって検査不能領域と判定されることになる。

さらに、制御部２０は、検査不能領域を示す検査不能領域画像を生成する。すなわち、制御部２０は、検査不能領域と検査可能な領域とを示す二値化画像を生成する。図７Ｃは、検査不能領域を含む撮像画像Ｅを示す。同図において、検査不能領域としての検査領域Ｇ３，Ｇ４が黒色で図示され、検査不能領域ではない検査領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ５〜Ｇ１０が白色で図示されている。制御部２０は、検査不能領域を含む撮像画像Ｅを影画像の評価結果として記録媒体３０に記録する。
なお、図７Ａ〜図７Ｃの拡大図は、検査不能領域算出の説明を分かり易くするために図示したものであって、検査不能領域を特定するためには検査領域Ｇ１〜Ｇ１０の情報と影に関する情報があればよい。

制御部２０は、撮像領域情報３０ｃが示す各撮像領域について、図７Ｃで示した検査不能領域を含む撮像画像Ｅを取得する処理を行う。各撮像領域について、検査不能領域を含む撮像画像Ｅが取得されると、制御部２０は、撮像領域を補正するための処理を行う。撮像領域調整部２１ｃは、検査不能領域を含む撮像画像を、当該撮像領域内の検査不能領域が減る位置に変化させる機能を制御部２０に実行させるプログラムモジュールである。

具体的には、図３Ａにおいて、撮像領域Ｒ₁が図６に例示された検査不能領域を含む撮像領域である。図３Ｂは、図７Ｃで示した検査不能領域を含む撮像画像Ｅを含めた撮像領域Ｒ_１,Ｒ_２を示す図である。本実施形態においては、このように、検査領域が二値化されることによって検査不能領域の有無が示されているため、制御部２０は、撮像領域内に黒で示された検査不能領域が存在する場合、当該撮像領域に検査不能領域が含まれると判定する。

撮像領域に検査不能領域が含まれる場合、制御部２０は、撮像領域内に含まれる検査不能領域の数または面積が少なくとも減るように撮像領域を変化させる。撮像領域の移動は、撮像領域内に含まれる検査不能領域が少なくとも減るように実施されればよく、本実施形態において制御部２０は、複数回の試行の結果、最善の位置を取得し、変更後の撮像領域の位置とする。例えば、図７Ｃの検査不能領域Ｇ３，Ｇ４の内、少なくとも一方が検査可能領域となるように撮像領域を移動させればよい。

このために、制御部２０は、予め決められた可動範囲内で撮像領域を微小移動させる処理を移動回数の上限に達するまで繰り返す。そして、制御部２０は、移動後の各位置について、検査不能領域を含む撮像画像Ｅを取得する。さらに、制御部２０は、移動後の各位置について取得された検査不能領域を含む撮像画像Ｅの中から、最も検査不能領域の数または面積が小さいものを、変更後の撮像領域の位置とする。なお、撮像領域の可動範囲は予め決められていればよく、例えば、変化前の撮像領域内に含まれていた部品の検査領域の全てが、移動後に含まれるような範囲を移動可能範囲とする構成等を採用可能である。

以上の処理により、移動前に検査不能領域が含まれていた撮像領域で検査不能領域が減った場合、制御部２０は、移動後の撮像領域の位置を特定し、撮像領域情報３０ｃに含まれる移動前の撮像領域を移動後の撮像領域に更新する。

本実施形態で、検査不能領域を減らすことができない場合、制御部２０は、移動前の撮像領域を変化させず、代わりに、検査不能領域に専用の撮像領域を新設する手法も採用可能である（詳細は後述する）。

以上の処理によって撮像領域情報３０ｃが確定すると、制御部２０は、基板に実装された部品の半田フィレット等の検査を行う。基板検査部２１ｄは、基板Ｎの検査を行う機能を制御部２０に実行させるプログラムモジュールである。以下、基板Ｎの検査手順について説明する。まず、制御部２０は、撮像領域情報３０ｃに規定された撮像領域となるように、Ｘ−Ｙステージ６３を移動させる。そして、制御部２０は、各プロジェクタから３次元計測のための縞パターンによる照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄを基板Ｎに照射させた状態においてカメラ６２が撮像した撮像画像を、順次取得する。このとき、制御部２０は、照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄの縞パターンの位相をシフトさせ、シフトさせた位相ごとに撮像された撮像画像を取得する。

次に、制御部２０は、プロジェクタから照明光の縞パターンの位相をシフトさせながら撮像した複数の撮像画像に基づいて撮像領域の位置（画素）ごとの高さを算出する。具体的には、制御部２０は、縞パターンの位相がシフトした複数の撮像画像を比較することにより、撮像領域の位置ごとに縞パターンの位相値を算出し、当該位相値を高さに変換することにより撮像領域の位置ごとの高さを算出する。

さらに、制御部２０は、撮像領域の位置毎の高さに基づいて検査対象の平均高さを取得し、各検査対象としてのフィレットの形状の良否を判定する。フィレットの形状の良否を判定する手法はどのような手法であってもよい。例えば、制御部２０は、理想的なフィレットの形状（高さや幅等の物理量）と検査対象としてのフィレットの形状（高さや幅等の物理量）との差分が閾値以上となる検査領域を不良であると判定してもよい。以上の構成によれば、初期設定された撮像領域に検査不能領域が含まれる場合に、検査不能領域が減るように撮像領域を補正した上で検査を行うことができる。従って、検査できない検査不能領域を含む部品を低減することができる。

（２）撮像領域決定処理：
図８は、撮像領域決定処理のフローチャートである。撮像領域決定処理において、制御部２０は、撮像領域取得部２１ａの機能により、撮像領域情報３０ｃを取得する（ステップＳ１００）。すなわち、制御部２０は、基板Ｎ上に複数の撮像領域を設定し、各撮像領域の位置および形状を取得する。次に、制御部２０は、検査不能領域取得部２１ｂの機能により、基板情報３０ａ（部品情報３０ａ１，検査領域情報３０ａ２）を取得する（ステップＳ１０５）。すなわち、制御部２０は、検査対象の基板Ｎに実装された部品の位置および形状、検査領域の位置および形状を取得する。さらに、制御部２０は、検査不能領域取得部２１ｂの機能により、照明光情報３０ｂを取得する（ステップＳ１１０）。すなわち、制御部２０は、プロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄから照射される照明光Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄの焦点位置Ｚ（図４参照）を取得する。

次に、制御部２０は、検査不能領域取得部２１ｂの機能により、影画像を取得する（ステップＳ１１５）。具体的には、制御部２０は、図５Ａ〜図５Ｄの方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄと、図６の合成影画像Ｂと、図７Ａの検査領域対比影画像Ｃと、図７Ｂの二値化影画像Ｄとを取得する。次に、制御部２０は、検査不能領域取得部２１ｂの機能により、影画像を評価する（ステップＳ１２０）。具体的には、制御部２０は、図７Ｂの二値化影画像Ｄに基づいて、図７Ｃの検査不能領域を含む撮像画像Ｅを取得する。なお、ステップＳ１１５，Ｓ１２０において、制御部２０は、ステップＳ１００で取得された各撮像領域について影画像の取得と影画像の評価を実行する。

次に、制御部２０は、検査不能領域取得部２１ｂの機能により、検査不能領域を含む撮像領域が存在するか否か判定する（ステップＳ１２５）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１００において取得された各撮像領域について、ステップＳ１２０で得られた評価、すなわち、検査不能領域を含む撮像画像Ｅを参照し、画像の黒部分の有無に基づいて検査不能領域の有無を判定する。例えば、図３Ａ，図３Ｂに示す例であれば、撮像領域Ｒ₁に検査不能領域が含まれると判定する。ステップＳ１２５において、検査不能領域を含む撮像領域が存在すると判定されない場合、制御部２０は、ステップＳ１３０以降の処理をスキップし、撮像領域決定処理を終了する。この場合ステップＳ１００で取得された撮像領域情報３０ｃが検査に利用される。

一方、ステップＳ１２５において、検査不能領域を含む撮像領域が存在すると判定された場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、処理対象の撮像領域を決定する（ステップＳ１３０）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１２５において、検査不能領域を含むと判定された撮像領域の中から、ステップＳ１４０〜Ｓ１７５の処理対象となる領域を選択する。

次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、原因部品が処理対象の撮像領域内に存在するか否かを判定する（ステップＳ１３５）。ここで、原因部品は、検査不能領域に影を形成する部品である。例えば、図６，図７に示す例であれば、検査不能領域Ｇ３，Ｇ４に影を形成する部品Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３が原因部品である。当該原因部品を特定するため、制御部２０は、図５に示す方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄに基づいて、検査不能領域を含む撮像画像Ｅが示す検査不能領域に影を形成している部品を特定する。具体的には、検査不能領域Ｇ３，Ｇ４の座標位置に方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄのそれぞれの影Ｓが重なっているかを判定して特定する。

ステップＳ１３５において、原因部品が処理対象の撮像領域内に存在すると判定されない場合、制御部２０は、後述する専用撮像領域設定処理（ステップＳ１６５）を実行する。

一方、ステップＳ１３５において、原因部品が処理対象の撮像領域内に存在すると判定された場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、撮像領域の位置を既定方向へ既定量変化させて影画像を取得する（ステップＳ１４０）。すなわち、本実施形態においては、既定方向へ既定量変化させることによって撮像領域の位置の変化の試行を行い、最善の位置を探索する構成が採用されている。既定方向および既定量は、撮像領域の位置の変化を効率的に試行することができるように決められていればよい。

本実施形態において、既定方向は、Ｘ−Ｙステージ６３の移動可能方向に平行（すなわち、Ｘ方向、Ｙ方向に平行）であり、試行回数毎に方向が決められている。例えば、１回目の試行回数における方向がＸ＋方向、２回目の試行回数における方向がＹ＋方向などのように決められている。また既定量も試行回数毎に決められている。既定量は固定であってもよいし、可変であってもよいし、正負の値になり得る構成であってもよい。

図３Ｂにおいては、撮像領域Ｒ₁を移動させた後の撮像領域Ｒ₂を一点鎖線によって示している。また、１回の移動方向および移動量を実線の矢印によって示している。すなわち、図３Ｂに示す撮像領域Ｒ₂は、撮像領域Ｒ₁をＸ−Ｙステージ６３の移動可能方向におけるＸ軸の負方向に移動させ、続いて、Ｙ軸の負方向に移動させ、さらに、もう一度、Ｘ軸の負方向に移動させた後の撮像領域の位置である。むろん、移動方向および移動量の大きさおよび順序は図３Ｂに示す例に限定されない。

制御部２０は、ステップＳ１４０において処理対象の撮像領域を１回分移動させ、移動後の撮像領域においてステップＳ１１５と同様の処理を行って影画像を取得する。すなわち、図３Ｂに一点鎖線で示すように撮像領域を移動させると、移動前と比較して検査不能領域とプロジェクタ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの焦点位置との相対位置が変化する。この結果、影の大きさ、位置が変化するため、制御部２０は、変化後の影の画像を取得する。

次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、影画像を評価する（ステップＳ１４５）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１４０によって取得された影画像について、ステップＳ１２０と同様の処理を行って影画像を評価する。この結果、移動後の撮像領域について、検査不能領域を含む撮像画像Ｅが取得される。制御部２０は、移動後の撮像領域の位置と取得された検査不能領域を含む撮像画像Ｅとを対応づけて、記録媒体３０に記録する。

次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、試行回数上限に達したか否か判定する（ステップＳ１５０）。すなわち、本実施形態においては、撮像領域の１回の移動を１回の試行とみなし、試行回数の上限数が予め決められている。そこで、制御部２０は、試行回数が上限数に達したか否かを判定する。ステップＳ１５０において、試行回数上限に達したと判定されない場合、制御部２０は、処理対象の撮像領域についてステップＳ１４０以降の処理を繰り返す。

一方、ステップＳ１５０において、試行回数上限に達したと判定された場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域が減少したか否かを判定する（ステップＳ１５５）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１４０〜Ｓ１５０のループ処理によって試行された各撮像領域の評価（検査不能領域を含む撮像画像Ｅ）を互いに比較し、評価が最善（検査不能領域の数または面積が最小）である撮像領域を取得する。そして、取得された撮像領域における検査不能領域の数または面積と、移動前の撮像領域の評価とを比較し、検査不能領域が減少したか否かを判定する。なお、検査不能領域が減少したか否かの判定は、種々の手法で行われてよく、単に検査不能領域の数が減少したことを判定の基準としたり、検査不能領域が既定面積以上小さくなった場合に検査可能範囲が増えることから検査不能領域が減少したと判定しても良い。

ステップＳ１５５において、検査不能領域が減少したと判定されない場合、撮像領域の移動が効果的でないとみなし、制御部２０は、ステップＳ１３５において、原因部品が処理対象の撮像領域内に存在すると判定されない場合と同様に、処理対象の撮像領域を移動させないこととする。この場合、制御部２０は、ステップＳ１６５において専用撮像領域設定処理を実行し、処理対象の撮像領域に含まれる検査不能領域について検査を可能にするための処理を実行する。専用撮像領域設定処理については、後述する。

ステップＳ１５５において、検査不能領域が減少したと判定された場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域の数または面積が最小の撮像領域を採用する（ステップＳ１６０）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１４０〜Ｓ１５０のループ処理によって試行された各撮像領域の中から、ステップＳ１４５の評価に基づいて検査不能領域の数または面積が最小である撮像領域を取得する。そして、制御部２０は、当該検査不能領域の数または面積が最小である撮像領域の座標が、処理対象の撮像領域の座標となるように、撮像領域情報３０ｃを更新する。

ステップＳ１６０またはＳ１６５が実行されると、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、更新した撮像領域の周辺に存在する撮像領域の位置を調整する（ステップＳ１７０）。すなわち、ステップＳ１６０，Ｓ１６５において処理対象とされた撮像領域の位置が調整された結果、処理対象を移動させる前の撮像領域に含まれていた部品の一部が検査対象から外れる場合がある。このような場合に、制御部２０は、ステップＳ１３０〜Ｓ１７５のループ処理の処理対象になっていない撮像領域の初期位置を変更し、検査対象から外れた部品が当該撮像領域に含まれるように位置を変化させる。以上の構成によれば、ステップＳ１６０，Ｓ１６５の処理によって検査対象から外れた部品があっても、その部品が他の撮像領域に含まれる状態でループ処理を継続することができる。

ステップＳ１７０が実行されると、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域を含む撮像領域の全てについて処理が終了したか否か判定する（ステップＳ１７５）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１００で取得された全ての撮像領域について、各撮像領域を処理対象としたステップＳ１４０〜Ｓ１７５のループ処理が終了したか否かを判定する。ステップＳ１７５において、検査不能領域を含む撮像領域の全てについて処理が終了したと判定されない場合、制御部２０は、ステップＳ１３０以降の処理を繰り返す。ステップＳ１７５において、検査不能領域を含む撮像領域の全てについて処理が終了したと判定された場合、制御部２０は、撮像領域決定処理を終了する。

（３）専用撮像領域設定処理：
次に、ステップＳ１６５における専用撮像領域設定処理を説明する。図９は、専用撮像領域設定処理を示すフローチャートである。制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域を中心とした専用撮像領域を追加する（ステップＳ２００）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１３０で決定された処理対象の撮像領域と別に新たな専用撮像領域を生成する。専用撮像領域は、ステップＳ１２５で撮像領域に含まれると判定された検査不能領域の検査が可能になるように設定される領域であり、専用撮像領域においても初期位置の時点で影画像を取得し、検査可能にならない場合は、位置を変化させる試行が行われることによって検査が可能になる位置が探索される。

本実施形態においては、検査不能領域が専用撮像領域の中央になるように、探索の際の初期位置が決定される。図１０Ａにおいては、図３Ｂに示す撮像領域Ｒ₁に含まれる検査不能領域Ｇ３，Ｇ４（図７Ｃ参照）が中央に配置された専用撮像領域Ｒ₃を破線によって示している。なお、専用撮像領域内に検査不能領域が複数個含まれる場合、例えば、その重心位置が専用撮像領域の中心に位置するように初期位置を決定する構成等を採用可能である。

次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、探索の際の初期位置における影画像を取得する（ステップ２０５）。その後、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、影画像を評価する（ステップ２１０）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ２０５で取得された影画像に対してステップＳ１４５と同様の処理を行って評価を行う。この結果、検査不能領域を含む撮像画像Ｅが取得され、制御部２０は、専用撮像領域の初期位置と取得された検査不能領域を含む撮像画像Ｅとを対応づけて、記録媒体３０に記録する。

次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域が減少したか否か判定する（ステップＳ２１５）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１３０において処理対象とされた撮像領域についてステップＳ１２０で得られていた検査不能領域を含む撮像画像Ｅと、ステップＳ２１０における評価によって得られた検査不能領域を含む撮像画像Ｅと、を比較する。そして、ステップＳ２１０における評価によって得られた検査不能領域を含む撮像画像Ｅの方が検査不能領域の数または面積が小さい場合に、検査不能領域が減少したと判定する。検査不能領域が減少した場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域が減少した後の専用撮像領域を撮像領域として採用する（ステップＳ２３５）。すなわち、制御部２０は、検査不能領域が減少した後の専用撮像領域の座標を撮像領域情報３０ｃに追加し、カメラ６２によって撮像される撮像領域とみなす。

ステップＳ２１５で検査不能領域が減少したと判定されない場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、専用撮像領域の位置を既定方向へ既定量変化させて影画像を取得する（ステップＳ２２０）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１４０と同様の処理を実行する。なお、既定方向および既定量は、ステップＳ１４０と同一であってもよいし、異なっていてもよい。次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、影画像を評価する（ステップＳ２２５）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１４５と同様の処理を行って評価を行う。この結果、検査不能領域を含む撮像画像Ｅが取得され、制御部２０は、移動後の専用撮像領域の位置と取得された検査不能領域を含む撮像画像Ｅとを対応づけて、記録媒体３０に記録する。

次に、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査不能領域が減少したか否か判定する（ステップＳ２３０）。すなわち、制御部２０は、ステップＳ１３０において処理対象とされた撮像領域についてステップＳ１２０で得られていた検査不能領域を含む撮像画像Ｅと、ステップＳ２２５における評価によって得られた検査不能領域を含む撮像画像Ｅと、を比較する。そして、ステップＳ２２５における評価によって得られた検査不能領域を含む撮像画像Ｅの方が検査不能領域の数または面積が小さい場合に、検査不能領域が減少したと判定する。ステップＳ２３０で検査不能領域が減少したと判定された場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、検査可能になった専用撮像領域を採用する（ステップＳ２３５）。すなわち、制御部２０は、検査可能になった専用撮像領域の座標を撮像領域情報３０ｃに追加し、カメラ６２によって撮像される撮像領域とみなす。

ステップＳ２３０で検査可能になったと判定されない場合、制御部２０は、撮像領域調整部２１ｃの機能により、試行回数上限に達したか否か判定する（ステップＳ２４０）。すなわち、本実施形態においては、専用撮像領域の１回の移動を１回の試行とみなし、試行回数の上限数が予め決められている。そこで、制御部２０は、試行回数が上限数に達したか否かを判定する。ステップＳ２４０において、試行回数上限に達したと判定されない場合、制御部２０は、ステップＳ２２０以降の処理を繰り返す。

一方、ステップＳ２４０において、試行回数上限に達したと判定された場合、専用撮像領域設定処理を終了する。すなわち、ステップＳ２４０において、試行回数上限に達したと判定された場合、制御部２０は、専用撮像領域を設定しても検査可能にならないとみなし、専用撮像領域を設定することなく、図８に示す撮像領域決定処理のステップＳ１７０に復帰する。

（４）他の実施形態：
前記実施形態において、制御部２０は、計算によって方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄを取得したが、方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄは実際に撮像領域に照明光を照射した影を撮像することにより得られてもよい。この場合、方向別影画像Ａａ，Ａｂ，Ａｃ，Ａｄが部品Ｍ１〜Ｍ４の実装位置のばらつきの影響を受けることとなるが、実装位置が正確であることが確認済みの基板Ｎを使用することにより実装位置のばらつきの影響を抑制してもよい。

さらに、基板検査システム１０の装置構成は図１に示す構成に限定されない。例えば、基板検査システム１０は、複数の装置（サーバとクライアント等）によって構成されても良いし、基板検査を行う装置と、撮像領域を決定する装置が異なっていてもよい。さらに、基板検査システム１０の構成要素が上述の構成と異なっていてもよい。例えば、プロジェクタの照明光の照射方向は４方向に限定されず、３方向以下、または５方向以上であってもよい。また、基板を移動させるための装置もＸ−Ｙステージに限定されない。例えば、ステージは基板を上下移動させることが可能であってもよいし、回転移動させることが可能であってもよい。この場合、検査不能領域を減らすために基板を上下移動まだは回転移動させてもよい。さらに、専用撮像領域設定処理のステップＳ２１５，Ｓ２３０においては、検査不能領域が減少したか否か判定していたが、この構成に限定されず、例えば、検査可能になった（検査不能領域がなくなった）か否か判定してもよい。

撮像領域取得部は、基板上の複数の撮像領域を取得することができればよい。すなわち、撮像領域取得部は、検査領域を撮像するための視野割りを行うことができればよい。その際、撮像領域取得部は、撮像領域に含まれる検査領域が検査可能になるか否か考慮することなく、複数の撮像領域を取得すれば良い。撮像領域を取得するためのアルゴリズムは、種々の態様であってよい。ただし、撮像領域の取得は、検査が可能か否か考慮されることなく実行される。この範囲において、例えば、基板上に存在する複数の検査領域を網羅する最小数の撮像領域が取得されてもよく、種々の構成を採用可能である。

基板には複数の部品が実装されていればよい。検査は、上述の実施形態のような、半田のフィレットにおける接合の良否に限定されず、各種の検査が行われてよい。例えば、部品の形状判定、実装状態の判定、未実装の有無が検査されてもよい。

検査不能領域取得部は、撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、カメラの撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得することができればよい。すなわち、基板に部品が実装されると、基板の高さ方向に立体的に部品が存在する状態になるため、照明によって部品の影が形成される。影が半田のフィレット等の検査領域に重なると、その部分は撮像画像で黒く撮像され、検査困難になる。複数の照射方向から照明された場合、ある照射方向からの照明で影が形成される領域は、他の照射方向からの照明によって影にならない可能性があるものの、部品の密度が増加すると、複数の照射方向から照明したとしても特定の領域に影が形成されてしまう場合がある。

そして、このような影によって検査できない領域が存在する場合に、当該領域が検査不能領域となる。検査不能領域は、撮像画像による検査が不可能な領域であり、照明と部品との関係から決定される。すなわち、照明の位置と部品の位置とが既知であれば、基板上の影の位置を特定可能であり、複数の照明のそれぞれについて影を特定すれば、複数の照射方向のそれぞれから照明した場合に部品により形成される影によって検査不可能になっているか否か評価することができる。検査不可能であるか否かの指標は、影が重なる数や面積以外の要素が考慮されてもよく、例えば、影の大きさや影が重なる部品の種類や形状等が評価されても良い。

なお、検査不能領域は、撮像画像による検査が不可能な領域であり、基板上に実装された部品の一部位を含む領域であってもよいし、基板上の一部位を含む領域であってもよいし、基板上に存在する任意の物（例えば、リード周囲の半田フィレット等）を含む領域であってもよい。すなわち、検査領域に影が重なっている場合には、検査不能領域となり得る。

また、検査不能領域が減るように撮像領域を移動させる構成としては、検査不能領域の面積が減るように撮像領域が移動されてもよいし、検査不能領域の数が減るように撮像領域が移動されてもよいし、これらの双方であってもよい。また、検査不能領域を含む撮像領域において、検査不能領域がなくなるように位置が変化すると好ましいが、検査不能領域をなくすように位置を変化させることができないならば、位置変化前よりも検査不能領域が少しでも減るように位置を変化させることができればよい。

さらに、検査不能領域が減るように撮像領域の位置を変化させるための構成としては、種々の構成を採用可能である。例えば、撮像領域調整部は、検査不能領域に影を形成する部品である原因部品の位置に基づいて、撮像領域を移動させてもよい。このための構成例としては、撮像領域調整部が、原因部品の影が小さくなる位置に撮像領域を変化させる構成を採用可能である。

この構成は、例えば、図１に示す構成において、図８に示す処理を実行し、ステップＳ１４０において撮像領域の移動を実行する際に、原因部品の位置に基づいて移動方向を決定することで実現可能である。原因部品は、ステップＳ１３５で取得され、通常は複数個存在する。そこで、制御部２０は、その中の少なくとも一つに着目し、当該原因部品の影が小さくなる方向を撮像領域の移動方向とする。例えば、図４に示す部品Ｍが原因部品である場合、制御部２０は撮像領域の移動方向をＸ軸の負方向とし、撮像領域内の検査不能領域をＸ軸の正方向に移動させる。当該方向に撮像領域を移動させることにより、検査不能領域が減り、または解消する撮像領域の位置を効率的に探索することができる。

むろん、本構成の場合であっても、移動量を既定量とし、試行回数を重ねるにつれて移動方向を変化させるように試行されてもよい。また、原因部品の高さに基づいて移動量を決定してもよい。すなわち、原因部品の高さが高いほど一回の試行における移動量を大きくしてもよい。さらに、着目する原因部品は、種々の手法で決定されてよい。例えば、原因部品の中で最も高さが高い部品が着目されてもよいし、原因部品の中で最も影が大きい部品が着目されてもよい。これらの構成によれば、検査不能領域を形成している影が大きく変化するように撮像領域を変化させることができる。

さらに、着目する原因部品は一つでなくてもよい。例えば、２以上の原因部品のそれぞれについて影が小さくなる位置に撮像領域を変化させるように試行してもよい。

さらに、検査不能領域において重なっている影の数が異なっている場合、撮像領域調整部が、相対的に多くの影が重なっている部分の面積または当該部分において重なっている影の数が減る位置に撮像領域を移動させる構成であってもよい。この構成は、例えば、図１に示す構成において、図８に示す処理を実行し、ステップＳ１４０において撮像領域の移動を実行する際に、相対的に多くの影が重なっている部分の面積または当該部分において重なっている影の数が減る位置に撮像領域を移動させることで実現可能である。

例えば、図７Ａ，図７Ｂに示す例において、検査領域Ｇ３の右半分は影が３個重なっており検査不能領域であるが、左半分は影が２個重なっているため検査不能領域ではない。この場合、制御部２０は、相対的に多くの影が重なっている部分である検査領域Ｇ３の右半分を減らし、相対的に少ない影が重なっている部分である検査領域Ｇ３の左半分を増やす方向に撮像領域を移動させる。すなわち、この場合において、制御部２０は撮像領域の移動方向を図の左側に向けた方向とし、撮像領域内の影を図７Ａ，図７Ｂの右方向に縮小させる。この構成によれば、検査不能領域が減る（または無くなる）ような撮像領域の位置を効率的に探索することができる。むろん、本構成の場合であっても、移動量を既定量とし、試行回数を重ねるにつれて移動方向を変化させるように試行されてもよい。

さらに、図１０Ｂに示す第１の撮像領域Ｒ₅と第２の撮像領域Ｒ₆において、図１０Ｂのハッチング部分のように２つの撮像領域にまたがる領域（以下、ハッチング領域）が存在し得る。そして、このハッチング領域が第１の撮像領域Ｒ₅に含まれた場合には検査不能領域が存在するが、第２の撮像領域Ｒ₆に含まれた場合には検査不能領域が含まれないというような状況が発生し得る。この場合、ハッチング領域は第２の撮像領域Ｒ₆が３次元検査の対象となった際に、ハッチング領域内に含まれる部品の良否判定等の検査を行えばよい。よって、撮像領域調整部は、第１の撮像領域Ｒ₅の位置を変化させない構成であってもよい。この構成は、例えば、図１に示す構成において、図８に示す処理を変更することによって実現可能である。すなわち、ステップＳ１２５において検査不能領域を含む撮像領域が存在すると判定された場合に、さらに、当該検査不能領域が他の撮像領域で検査可能な領域であるか否か判定する。そして、当該検査不能領域が他の撮像領域で検査可能な領域である場合、制御部２０は、当該検査不能領域が含まれる撮像領域を、ステップＳ１３０〜Ｓ１７５の処理対象としない。この構成によれば、不必要な処理が実行されることを防止することができる。

１０…基板検査システム、２０…制御部、２１…基板検査プログラム、２１ａ…撮像領域取得部、２１ｂ…検査不能領域取得部、２１ｃ…撮像領域調整部、２１ｄ…基板検査部、３０…記録媒体、３０ａ…基板情報、３０ａ１…部品情報、３０ａ２…検査領域情報、３０ｂ…照明光情報、３０ｃ…撮像領域情報、４０…表示装置、５０…入力装置、６０…撮像部、６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ…プロジェクタ、６２…カメラ、６３…Ｘ−Ｙステージ

Claims (6)

1. 基板上の複数の撮像領域を取得する撮像領域取得部と、
   前記撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得する検査不能領域取得部と、
   前記検査不能領域を含む前記撮像領域を、当該撮像領域内の前記検査不能領域が減る位置に変化させる撮像領域調整部と、
   を備える撮像領域決定システム。
2. 前記撮像領域調整部は、
   前記検査不能領域に影を形成する部品である原因部品の影が小さくなる位置に前記撮像領域を変化させる、
   請求項１に記載の撮像領域決定システム。
3. 前記撮像領域調整部は、
   前記検査不能領域において重なっている影の数が異なっている場合、相対的に多くの影が重なっている部分の面積または当該部分において重なっている影の数が減る位置に前記撮像領域を移動させる、
   請求項２に記載の撮像領域決定システム。
4. 前記撮像領域調整部は、
   第１の前記撮像領域に含まれる前記検査不能領域が第２の前記撮像領域に含まれ、かつ、検査が可能な領域である場合、第１の前記撮像領域の位置を変化させない、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の撮像領域決定システム。
5. 基板上の複数の撮像領域を取得する撮像領域取得工程と、
   前記撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得する検査不能領域取得工程と、
   前記検査不能領域を含む前記撮像領域を、当該撮像領域内の前記検査不能領域が減る位置に変化させる撮像領域調整工程と、
   を備える撮像領域決定方法。
6. コンピュータを、
   基板上の複数の撮像領域を取得する撮像領域取得部、
   前記撮像領域のそれぞれを複数の照射方向から照明した場合に部品により形成される影によって、撮像画像による検査が不可能になる検査不能領域を取得する検査不能領域取得部、
   前記検査不能領域を含む前記撮像領域を、当該撮像領域内の前記検査不能領域が減る位置に変化させる撮像領域調整部、
   として機能させる撮像領域決定プログラム。