JP2013105934A - 支持装置及び支持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持装置10は、半導体ウエハWF及びリングフレームRFを含む一体物WRを支持する第1及び第2支持面15、16を有する支持テーブル11と、半導体ウエハWF及びリングフレームRFに帯電した静電気を除去可能な除電手段12とを備えて構成されている。除電手段12は、支持テーブル11に支持された一体物WRに接触する受電部材23A、24Aと、一体物WRにおける第1及び第2支持面15、16からに対する接近又は離間動作に追従して受電部材23A、24Aを所定量移動可能な巻きばね23、24とを備えている。
【選択図】図2
Description
本発明の目的は、静電気のスパークにより被着体の要部が損傷することを防止することができる支持装置及び支持方法を提供することにある。
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備える、という構成を採っている。
前記被着体を含む支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備える、という構成を採っている。
前記支持対象物を搬送するときに、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動させて支持対象物と受電部材との接触を維持す、という方法を採っている。
また、接着シートを貼付したり剥離したり等の所定の処理が行われた支持対象物を支持テーブル等の支持面から取り去るときに、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離となるまで、受電部材が支持対象物に追従するので、支持対象物に帯電した静電気が支持面に対してスパークすることを防止し、このスパークに起因する被着体の損傷を防止することが可能となる。
なお、支持対象物を支持面から取り去るときも、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置で、支持対象物の限られた部位と受電部材とを離間させることができる。これによれば、例えば、支持対象物がウエハや光ディスクの場合、上記と同様の外周領域や内周領域が最後に受電部材と離間するようにしておけば、半導体回路や情報記録層が設けられている要部から支持面にスパークされることはなく、当該半導体回路や情報記録層がスパークによって損傷することを防止することができる。
なお、支持対象物と支持面との間でスパークが発生しない距離とは、支持対象物の帯電量に左右されるが、0mmを超えて50mm程度が例示でき、支持対象物の帯電量が非常に大きい場合や雰囲気の環境条件等によっては、それ以上となる場合も考えられるので、付勢手段の移動量は、支持対象物の帯電量に応じて適宜選定することができる。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「右」、「左」、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
第1実施形態の支持装置10は、図1中二点鎖線で示す位置に設けられるシート貼付装置SDに利用される。このシート貼付装置SDは、支持装置10により支持された被着体としてのウエハWF及びリングフレームRFに対し、接着シートとしてのマウント用シートMSを貼付してそれらを一体化可能に設けられている。なお、シート貼付装置SDは、本出願人によって出願された特開2000−68293号で示した転写テープマウントユニットと実質的に同一のものを採用することができるので、その詳細構造についての説明は省略する。
次いで、図示しない搬送手段により、図2(C)に示されるように、ウエハWFが保護シートPSの貼付側を下向きとして当該ウエハWFを第1支持面15上に載置して吸着保持させる。このときも直動モータ19が駆動して、ウエハWFの角部WF1又は保護シートPSの角部PS1が最初に受電部材23Aに当接するように制御するとよい。
そして図示しない搬送手段により、リングフレームRFが搬送されてくると、図2(D)に示されるように、第2支持面16との間でスパークが発生しない距離を隔てた位置、本実施形態の場合、第2支持面16の上方25mmの位置でリングフレームRFは一旦停止される。その後、図2(E)に示されるように、上記と同様に、直動モータ19が駆動して受電部材23Aを支持対象物としてのリングフレームRFの左側の角部RF1に一旦接近又は当接させてから再度離間させよう制御し、スパーク又は送電が行われる。次いで、図示しない搬送手段により、図2(F)に示されるように、リングフレームRFを第2支持面16上に載置して吸着保持させる。このときも直動モータ19が駆動して、リングフレームRFの角部RF1が最初に受電部材24Aに当接するように制御するとよい。
この載置により、第1、第2支持面15、16から突出していた受電部材23A、24AがウエハWF、リングフレームRFに接触した状態で、巻きばね23、24の付勢力に抗して押し下げられ、受容部15A、16A内に埋没する。この状態で、巻きばね23、24の弾力により、巻きばね23、24の受電部材23A、24AとウエハWF、リングフレームRF下面とが接触した状態が維持される。
そして、巻きばね24が無負荷状態となった後、一体物WRの更なる上昇によって受電部材24AとリングフレームRFとが離脱する。ここで、受電部材24AとリングフレームRFとが離脱するとき、巻きばね24を介した除電効果によって一体物WRの帯電量は減少しているため、一体物WRと受電部材24Aとの間でスパークが発生する可能性は非常に低くなっている。それでもなお、一体物WRの除電が完全に行われていなかった場合、一体物WRが受電部材24Aと離間した瞬間に、一体物WRと受電部材24Aとの間でスパークが発生する可能性がある。しかしながら本実施形態の場合、一体物WRは、各支持面15、16との間でスパークが発生しない距離にまで離間されているので、必然的に一体物WRがスパークできる個所は、リングフレームRFから受電部材24Aとなり、ウエハWFの回路が形成された部位からスパークされることを効果的に防止することができる。つまり、受電部材24Aが避雷針の役割をすることとなり、一体物WRから受電部材24Aにスパークさせる領域を極力限られた狭い領域とすることができる。
なお、受電部材24AをリングフレームRFから一旦離間させてから再度リングフレームRFの所定部位たとえばリングフレームRFの角部RF1を受電部材24Aに接近又は当接させた後、再び一体物WRを搬送するようにしてもよい。これは、先の離間でスパークしきれなかった静電気を誘発的にスパークさせる効果がある。
次に、本発明の第2実施形態について、図3を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、前記第1実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略する。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、除去手段12を設ける数は、1の支持対象物に対して1体でもよいしそれ以上でもよいし、1の除去手段12に対して複数の受電部材を有するように構成してもよい。
更に、支持対象物が光ディスクの場合、情報が記録されることのない外縁から内側に向う約2mm幅の外周領域又は、内縁から外側に向う約5mm幅の内周領域に受電部材が接触するようにすることで、情報記録層が損傷することを防止できる。
また、支持対象物の角部は、ウエハに形成されたVノッチと円弧部とが交差する2つの交点や、オリエンテーションフラットの直線部と円弧部とが交差する2つの交点等が例示できる。
更に、受電部材は、支持対象物の上側から接触するように構成してもよい。
また、付勢手段は、ばね以外に、駆動機器としてのエアシリンダや直動モータ等によって構成してもよい。この場合、駆動機器を積極的に駆動させて受電部材と支持対象物との離間と当接を複数回繰り返すように構成することができる。
更に、支持対象物と支持面15、16との間でスパークが発生しない距離は、支持対象物の帯電量や雰囲気環境条件等によって異なるので、受電部材23A、24Aが支持面15、16から突出する長さは、20mmや25mmに限らずそれ以上でもよいしそれ以下でもよく、適宜変更することができる。
また、移動手段は、ウエハWF、リングフレームRF、一体物WRを搬送する図示しない搬送手段で構成したり、直動モータ19と図示しない搬送手段との両方で構成したりしてもよい。
更に、前記実施形態では、支持対象物を停止させた状態で支持テーブル11を移動させて当該支持対象物と受電部材23A、24Aとを接触させたが、支持テーブル11を停止させた状態で支持対象物を移動させて当該支持対象物と受電部材23A、24Aとを接触させたり、支持テーブル11と支持対象物との両方を移動させて当該支持対象物と受電部材23A、24Aとを接触させたりしてもよい。
また、受電部材23A、24Aの先端は先細り形状でなく、平坦形状、球形状、凹凸形状等の他の形状であってよい。
11 支持テーブル
12 除電手段
15 第1支持面
16 第2支持面
23 巻きばね(付勢手段)
23A 受電部材
24 巻きばね(付勢手段)
24A 受電部材
30 支持面
MS マウント用シート(接着シート)
SD シート貼付装置
PS 保護シート(接着シート)
RD シート剥離装置
RF リングフレーム(被着体)(支持対象物)
WF 半導体ウエハ(被着体)(支持対象物)
WR 一体物(支持対象物)
Claims (6)
- 支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備えていることを特徴とする支持装置。 - 被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置、又は、被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置に利用される支持装置において、
前記被着体を含む支持対象物を支持する支持面を有する支持テーブルと、この支持テーブルに支持された支持対象物に接触して当該被着体に帯電した静電気を除去可能な除電手段とを備え、
前記除電手段は、前記支持対象物に当接可能な受電部材と、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動可能に設けられた付勢手段を備えていることを特徴とする支持装置。 - 前記支持対象物と受電部材とを相対移動可能な移動手段を有し、当該移動手段は、搬送される前記支持対象物の角部が最初又は最後に受電部材に当接可能に制御されることを特徴とする請求項1又は2記載の支持装置。
- 前記移動手段は、外部から支持テーブル上へ搬送される支持対象物の所定部位を前記受電部材に一旦接近又は当接させてから離間させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材に当接させて前記支持テーブル上に載置可能に制御されることを特徴とする請求項3記載の支持装置。
- 前記移動手段は、前記支持テーブル上から外部へ搬送される支持対象物を前記受電部材から一旦離間させてから支持対象物の所定部位を前記受電部材に接近又は当接させた後、再び前記支持対象物を前記受電部材から離間可能に制御されることを特徴とする請求項3又は4記載の支持装置。
- 請求項1ないし5の何れかに記載の支持装置を用いた支持方法であって、
前記支持対象物を搬送するときに、前記支持対象物の前記支持面に対する接近又は離間動作に追従して前記受電部材を所定量移動させて支持対象物と受電部材との接触を維持することを特徴とする搬送方法。
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