JP2013102600A - プレーナ型電磁アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】枠部1aと、枠部1aに対してトーションバー1b,1bにより回動可能に軸支された可動板1cと、可動板1cに敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイル1dとを備えたチップ1と、駆動コイル1dにトーションバー1b,1bの軸方向と直交する方向から静磁界を与えるように、チップ1を枠部1aの外方から挟むように配置する一対の第1静磁界発生手段2,2とを備えたプレーナ型電磁アクチュエータ10において、一対の第1静磁界発生手段2,2は、互いに異なる極性の磁極面を対向させて配置する構成とする一方、一対の第1静磁界発生手段間に配置され、一対の第1静磁界発生手段間の静磁界の方向と反対方向の静磁界を発生する第2静磁界発生手段4を備えて構成する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明による光走査装置の第1実施形態を示す斜視図である。
図1において、本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ10は、チップ1と、一対の第1静磁界発生手段2,2と、第1ヨーク3と、第2静磁界発生手段4とを備えている。
1b,1bにより回動可能に軸支された可動板1cと、可動板1cに敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイル1dとを備えて構成された一般的なものである。チップ1は、例えば、半導体基板をエッチングして、枠部1aと、トーションバー1b,1bと、可動板1cとを一体形成されている。チップ1は、図示省略するが、例えば、ベース基板に接着剤等によって固定され、このベース基板を介して第1ヨーク3等に固定されている。前記駆動コイル1d(図の簡略化のために、図中1本線で示す)は、可動板1cの周縁部に敷設されている。駆動コイル1dの両端部は、例えば一対のトーションバー1b,1bの上面を経由して枠部1aの上面に設けられた図示省略の電極端子に接続され、同じく図示省略の外部の駆動回路とワイヤボンディング等の手段で電気的に接続されている。
1b,1bにより回動可能に軸支された可動板1cと、可動板1cに敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイル1dとを備えて構成された一般的なものである。チップ1は、例えば、半導体基板をエッチングして、枠部1aと、トーションバー1b,1bと、可動板1cとを一体形成されている。チップ1は、図示省略するが、例えば、ベース基板に接着剤等によって固定され、このベース基板を介して第3ヨーク8等に固定されている。前記駆動コイル1d(図の簡略化のために、図中1本線で示す)は、可動板1cの周縁部に敷設されている。駆動コイル1dの両端部は、例えば一対のトーションバー1b,1bの上面を経由して枠部1aの上面に設けられた図示省略の電極端子に接続され、同じく図示省略の外部の駆動回路とワイヤボンディング等の手段で電気的に接続されている。
本第3実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ10’’において、チップ1は、2次元駆動可能に形成されている。
1a・・・・・・・・・・枠部
1b・・・・・・・・・・トーションバー
1b1・・・・・・・・・外側トーションバー
1b2・・・・・・・・・内側トーションバー
1c・・・・・・・・・・可動板
1c1・・・・・・・・・外側可動板
1c2・・・・・・・・・内側可動板
1d・・・・・・・・・・駆動コイル
1d1・・・・・・・・・外側駆動コイル
1d2・・・・・・・・・内側駆動コイル
2,2・・・・・・・・・一対の第1静磁界発生手段
4・・・・・・・・・・・第2静磁界発生手段
5,5・・・・・・・・・一対の第3静磁界発生手段
7,7・・・・・・・・・一対の第4静磁界発生手段
9,9・・・・・・・・・一対の第5静磁界発生手段
10,10’,10”・・・プレーナ型電磁アクチュエータ
12,12・・・・・・・一対の第6静磁界発生手段
14,14・・・・・・・一対の第7静磁界発生手段
15,15・・・・・・・一対の第8静磁界発生手段
Claims (7)
- 枠部と、該枠部に対してトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、該可動板に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、前記駆動コイルに前記トーションバーの軸方向と直交する方向から静磁界を与えるように、前記チップを前記枠部の外方から挟むように配置する一対の第1静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記一対の第1静磁界発生手段は、互いに異なる極性の磁極面を対向させて配置する構成とする一方、
前記一対の第1静磁界発生手段間に配置され、該一対の第1静磁界発生手段間の前記静磁界の方向と反対方向の静磁界を発生する第2静磁界発生手段を備えて構成することを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 前記チップに対して前記第2静磁界発生手段とは反対側で、前記チップの枠部の外方から前記一対の第1発生手段間の静磁界の方向と同じ方向の静磁界を発生する一対の第3静磁界発生手段を備えて構成することを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 枠部と、該枠部に対してトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、該可動板に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、前記駆動コイルに前記トーションバーの軸方向と直交する方向から静磁界を与えるように、前記チップを前記枠部の外方から挟むように配置する一対の第4静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記一対の第4静磁界発生手段は、各磁極面をチップ面と略平行に配置し、互いに異なる極性の磁極面を同一側に配置する構成とする一方、
前記チップに対して前記一対の第4静磁界発生手段とは反対側で、前記一対の第4静磁界発生手段と同じ極性の磁極面を、前記一対の第4静磁界発生手段の磁極面と対向させて配置する一対の第5静磁界発生手段を備えて構成することを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 前記チップの前記可動板を、前記枠部に外側トーションバーを介して回動可能に軸支される枠状の外側可動板と、該外側可動板に前記外側トーションバーと軸方向が直交する内側トーションバーを介して回動可能に軸支される内側可動板とで構成し、
前記駆動コイルを、前記外側可動板に敷設された外側駆動コイルと前記内側可動板に敷設された内側駆動コイルとで構成し、
前記一対の第4静磁界発生手段及び前記一対の第5静磁界発生手段を、前記外側駆動コイル用と前記内側駆動コイル用にそれぞれ備えて構成することを特徴とする請求項3に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 前記一対の第4静磁界発生手段は、前記外側駆動コイル用と前記内側駆動コイル用とを兼ねるL字状の一対の第6静磁界発生手段から成り、
前記一対の第5静磁界発生手段は、前記外側駆動コイル用と前記内側駆動コイル用とを兼ねるL字状の一対の第7静磁界発生手段から成ることを特徴とする請求項4に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 前記一対の第4静磁界発生手段の前記チップ側の各磁極面と、前記一対の第5静磁界発生手段の前記チップ側の各磁極面の少なくとも一方は、前記チップ側から前記チップと反対側に向けて、対向する各磁極面に近づくように傾斜して形成することを特徴とする請求項3〜5のいずれか1つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 各静磁界発生手段の前記チップとは反対の側面側から、前記一対の第4静磁界発生手段及び前記一対の第5静磁界発生手段を挟んで、互いに異なる極性の磁極面を対向させて配置される一対の第8静磁界発生手段を備え、前記一対の第8静磁界発生手段は、互いに対向させる磁極面の極性を、隣接して対向配置される前記一対の第4静磁界発生手段及び前記一対の第5静磁界発生手段の磁極面の極性と合わせて配置することを特徴とする請求項3〜6のいずれか1つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
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JP2011244428A JP5806089B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
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JP5806089B2 JP5806089B2 (ja) | 2015-11-10 |
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JP2011244428A Active JP5806089B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015061428A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
CN109660101A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-19 | 信利光电股份有限公司 | 一种线性振动模组 |
-
2011
- 2011-11-08 JP JP2011244428A patent/JP5806089B2/ja active Active
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