JP2015061428A - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
前記磁界発生手段は、前記可動部に磁界を集中させるように前記可動部に最も近接する位置にN極またはS極が形成されるとともに、前記可動部から最も離隔する位置にS極またはN極が形成されるように着磁され、前記可動部を駆動するための駆動コイルに斜め磁場を形成するものであることを特徴とする。
前記磁界発生手段は、前記可動部および前記第2可動部を駆動させるための駆動コイルに磁界を集中させるように着磁されていることを特徴とする。
2 デバイス基板
3 固定部
4 支持梁
5 可動部
6 ヨーク
7 磁界発生手段
8 第2支持梁
9 第2可動部
Claims (4)
- デバイス基板に設置された枠状の固定部と、
前記固定部の内側に支持梁を介して揺動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記デバイス基板の一面側に設置されている一対の磁界発生手段と、
を備えているプレーナ型アクチュエータにおいて、
前記磁界発生手段は、前記可動部に磁界を集中させるように前記可動部に最も近接する位置にN極またはS極が形成されるとともに、前記可動部から最も離隔する位置にS極またはN極が形成されるように着磁され、前記可動部を駆動するための駆動コイルに斜め磁場を形成するものであることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記固定部と前記可動部の間に、前記可動部を前記支持梁を介して揺動自在に支持するとともに、前記固定部に第2支持梁を介して揺動自在に支持された第2可動部を設け、
前記磁界発生手段は、前記可動部および前記第2可動部を駆動させるための駆動コイルに磁界を集中させるように着磁されていることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。 - 前記磁界発生手段は、前記デバイス基板の他面側にも設置されていることを特徴とする請求項1から請求項2のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記駆動コイルは、前記可動部に設置されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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