JP2013095564A - 振動式搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置から設置面に流出する振動エネルギーを効率的に抑制する。
【解決手段】本発明の振動式搬送装置１０は、搬送物を搬送する直線状の搬送路を備えた搬送体１１と、該搬送体を搬送方向の前方と後方においてそれぞれ前記搬送方向に撓み変形可能に弾性支持する板状の第１の弾性体１２ａ，１２ｂと、該第１の弾性体を介して前記搬送体の下方に接続された接続部材１３ａ，１３ｂと、該接続部材を前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ下方から弾性支持する第２の弾性体１４ａ，１４ｂと、前記接続部材に対して前記搬送方向の振動を与える加振体１６ａ，１６ｂと、前記接続部材に対して前記搬送方向に撓み変形可能に接続された板状の第３の弾性体２１ａ，２１ｂと、該第３の弾性体を介して前記接続部材に弾性接続され前記搬送方向に移動可能に構成された慣性質量体２２と、を具備し、前記搬送体と前記慣性質量体が逆位相で振動する。
【選択図】図１

Description

本発明は振動式搬送装置に係り、特に、搬送物を搬送するための搬送路を備えた搬送体に振動を与えるとともに、該搬送体と逆位相で振動する慣性質量体を備えた搬送装置の構造に関する。

一般に、振動式搬送装置においては、装置から外部への振動エネルギーの流出を抑制し、装置の周囲に設置された外部機器への影響を低減するために、部品などを搬送する搬送体とは別に慣性質量体（カウンタウェイト）を設けたものが知られている（例えば、以下の特許文献１および２参照）。特許文献１に記載の装置では、慣性質量体２２を加振体２１に対して搬送体２５への振動伝達側とは反対側に接続固定するとともに、加振体取付部材２３と搬送体２５とを接続する振動伝達用板ばね２６の中間部を連結部材支持片２８を介して防振用板ばね２７により弾性支持することにより、搬送体２５からの反力を吸収し、防振用板ばね２７へ伝達される振動を抑制している。

また、特許文献２に記載の装置では、床上に防振用板ばね１５を介して設置された板ばね取付体１４と搬送体のトラフ１１とを、加振体２０ａ，２０ｂを介して弾性接続し、カウンタウェイト１３を板ばね取付体１４に対し搬送体１１とは反対側に加振体２１ａ，２１ｂを介して弾性接続した構造において、センサにより検出される防振用板ばね１５の振動が抑制されるように、上記加振体２０ａ，２０ｂと加振体２１ａ，２１ｂを制御するようにしている。

また、増幅ばね５と防振ばね７で弾性支持された接続部材４に圧電駆動体３を接続するとともに、この圧電駆動体３の反対側に慣性体６を接続した構造としては、以下の特許文献３および４に記載された装置がある。これらの装置では、圧電駆動体３により接続部材４および増幅ばね５を介して搬送体２を振動させるが、圧電駆動体３の反対側に慣性体６が接続されていることで、慣性体６が搬送体２と逆位相で揺動するため、防振ばね７から基台１へ流出する振動エネルギーを抑制することができる。

特開平１１−９１９２８号公報 実公平５−２０４７３号公報 特開２００７−１３７６７４号公報 特開２００８−２７３７１４号公報

しかしながら、上記特許文献１のような従来の振動式搬送装置では、慣性質量体２２が加振体２１に対して加振体取付部材２３とは反対側に直接に接続され、慣性質量体２２と加振体取付部材２３との間に振動を生じさせるので、搬送体２５の慣性力に対抗すべき加振体２１、慣性質量体２２および加振体取付部材２３の全体の振動態様が搬送体２５の振動態様に充分に対応したものになりにくく、搬送体２５の反力を十分に吸収することができずに、振動伝達用板ばね２６の中間部から連結部材支持片２８に伝達される振動エネルギーを大幅に抑制することができないという問題がある。また、この構成では、加振体２１、慣性質量体２２、加振体取付部材２３、搬送体２５および振動伝達用板ばね２６の全体に搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）が生じやすく、この上下動の振動エネルギーは連結部材支持片２８側へ流出しやすいとともに、搬送体２５の搬送方向の搬送速度の不均一性や搬送物の搬送状態の不安定性をもたらすという問題もある。

また、上記特許文献２のような従来の振動式搬送装置では、加振体２０ａ，２０ｂがトラフ１１を直接に駆動するため、その反動を板ばね取付体１４から防振用板ばね１５へ伝達させないようにすることが難しく、また、充分な防振作用を得るには、板ばね取付体１４とカウンタウェイト１３との間に別の加振体２１ａ，２１ｂを介在させるとともに、防振用板ばね１５に設置した反力検出器２２の検出値に応じて上記別の加振体２１ａ，２１ｂを制御しなければならないため、機械的構造および加振体の制御が複雑になるという問題がある。また、この構成でも、一対の加振体間の制御により搬送方向の反動を打ち消すことはできるが、防振用板ばね１５上に配置される全体構造の搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）を抑制することは難しいので、振動エネルギーの流出の充分な抑制および搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を実現することは困難である。

さらに、上記特許文献３および４のような従来の振動式搬送装置では、基台１への振動エネルギーの流出を或る程度抑制できるものの、上記特許文献１と同様に、圧電駆動体３の反対側に慣性体６が接続されていることにより、慣性体６の慣性力による搬送体２の反力の低減効果が不十分な場合がある。また、慣性体６の質量を大きくすると、慣性体６の前後両側において圧電駆動体を介して連結された接続部材４およびこれに増幅ばね５を介して接続された搬送体２に搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）が生じやすくなるため、実際に搬送速度が搬送方向に沿って変動したり軽量な搬送物があばれやすくなったりするなど、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性に関する問題がある。

そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、装置から設置面に流出する振動エネルギーを従来よりも効率的に抑制できる振動式搬送装置を実現することにある。また、搬送方向に沿った上下動を低減することにより、搬送速度の均一化や搬送姿勢の安定化を図ることも目的とする。

斯かる実情に鑑み、本発明の振動式搬送装置は、搬送物を搬送する直線状の搬送路を備えた搬送体（１１、３１）と、該搬送体を搬送方向（Ｆ）の前方と後方においてそれぞれ前記搬送方向に撓み変形可能に弾性支持する板状の第１の弾性体（１２ａ、１２ｂ、３２ａ、３２ｂ）と、該第１の弾性体を介して前記搬送体の下方に接続された接続部材（１３ａ、１３ｂ、１３ａ′、１３ｂ′、３３）と、該接続部材を前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ下方から弾性支持する第２の弾性体（１４ａ、１４ｂ、３４ａ、３４ｂ）と、前記接続部材に対して前記搬送方向の振動を与える加振体（１６ａ、１６ｂ、３６，３７、３７′）と、前記接続部材に対して前記搬送方向に撓み変形可能に接続された板状の第３の弾性体（２１ａ、２１ｂ、４１ａ、４１ｂ）と、該第３の弾性体を介して前記接続部材に弾性接続され前記搬送方向に移動可能に構成された慣性質量体（２２、２２′、４２）と、を具備し、前記搬送体と前記慣性質量体が逆位相で振動することを特徴とする。

本発明によれば、搬送体は、第１の弾性体、接続部材および第２の弾性体により、搬送方向に移動可能となるように下方より弾性支持される。このとき、加振体により搬送方向の振動が接続部材に与えられると当該接続部材を介して第１の弾性体に振動が伝搬して搬送体が搬送方向に振動するが、この振動伝搬経路とは別に、接続部材に第３の弾性体を介して弾性接続された慣性質量体が搬送方向に上記搬送体と逆位相で振動するために、接続部材の振幅が充分に低減されるから、接続部材から第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出を従来よりも効率的に抑制できる。また、設置面へ流出する振動エネルギーが従来よりも低減されると設置面側から搬送体が受ける規制力も低減されるため、搬送体に生ずる不要振動（例えば、幅方向のピッチング動作を生じさせる振動など）の発生を抑制できる。特に、上述の振動伝搬経路に沿った各部材の組立体に搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）についても、振動伝搬経路とは別に設けられた、逆位相で振動する第３の弾性体および慣性質量体により軽減することができるから、従来よりも搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を高めることができる。

本発明において、前記搬送体は前記搬送方向の前方へ向けて水平方向に対し斜め上方へ振動し、前記慣性質量体は前記搬送方向の後方へ向けて水平方向に対し斜め上方に振動することが好ましい。これによれば、搬送体の振動時において搬送体の移動方向や加減速に起因して生ずる上下動（搬送方向に沿ったピッチング動作）による影響を慣性質量体の揺動に伴う逆向きの作用によって減殺することができるため、第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出をさらに低減できるとともに、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性をさらに高めることができる。

本発明において、前記慣性質量体は前記第３の弾性体のみを介して前記搬送方向に揺動可能に支持されていることが好ましい。基本的には慣性質量体が少なくとも搬送方向に移動可能に構成されていれば第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出を抑制できるが、この構成によれば、第３の弾性体のみを介して慣性質量体が揺動可能に支持されていることにより、搬送体の揺動による反動を効率的に吸収することができ、特に上下方向の反動も吸収できる。この場合に、慣性質量体の揺動の向きに関しては、例えば、前記第３の弾性体において、前記接続部材に対する取付位置が前記慣性質量体に対する取付位置よりも前記搬送方向の前方に配置されるように接続されると、慣性質量体を前記搬送方向の後方へ向けて水平方向に対し斜め上方に振動するように構成できる。特に、前記第３の弾性体を前記接続部材に対する取付位置から前記慣性質量体に対する取付位置に向かう傾斜姿勢で取り付けることが望ましい。

本発明において、前記慣性質量体の重心は前記接続部材に対する前記慣性質量体の取付位置よりも下方に配置されることが好ましい。これによれば、接続部材に対して搬送体の重心位置と慣性質量体の重心位置が上下反対側に配置されるため、搬送体から受ける反力（特に上下動）を効率的に吸収でき、慣性質量体の重量を軽減できる。ここで、前記加振体の重心が前記接続部材に対する前記加振体の取付位置よりも上方に配置されるように構成すれば、加振体と慣性質量体を搬送体と設置面の間に効率的に配置できるために装置を高さ方向にコンパクトに構成できる。

本発明において、前記搬送方向の前方にそれぞれ配置された前記第１の弾性体、前記第２の弾性体および前記第３の弾性体に対して、共に接続された第１の前記接続部材と、前記搬送方向の後方にそれぞれ配置された前記第１の弾性体、前記第２の弾性体および前記第３の弾性体に対して、共に接続された第２の前記接続部材とを有し、前記第１の接続部材と前記第２の接続部材は相互に離間して配置されることが好ましい。これによれば、搬送方向の前後にそれぞれ配置された第１の接続部材と第２の接続部材が別体に構成されて、搬送体が第１の接続部材と第２の接続部材によりそれぞれ第１の弾性体を介して搬送方向の前後においてそれぞれ別個に加振されるため、第１の接続部材と第２の接続部材が共通化若しくは一体固定化されている場合に比べて、搬送体の搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）が生じにくくなるので、搬送方向に沿った搬送速度の均一性や搬送状態の安定性をさらに向上できる。

この場合において、前記加振体は、前記第１の接続部材に一端が接続された第１の圧電駆動体と、前記第２の接続部材に一端が接続された第２の圧電駆動体と、前記第１の圧電駆動体と前記第２の圧電駆動体の他端同士を接続固定する連結部材とを有することが望ましい。これによれば、第１の接続部材と第２の接続部材がそれぞれ別個の第１の圧電駆動体と第２の圧電駆動体によりそれぞれ駆動されるため、搬送方向に沿った上下動をさらに抑制できると同時に、両圧電駆動体の他端同士が連結部材により接続固定されるので、振動系の一体性を確保することができ、搬送方向前後の駆動態様のばらつきを抑制できる。また、連結部材が圧電駆動体の他端に接続された慣性体としての役割をも果たすので、駆動効率の向上を図ることもできる。

本発明において、前記加振体は、前記搬送体と前記接続部材の間に振動を生成するように構成してもよく、或いは、前記接続部材と前記慣性質量体の間に振動を生成するように構成してもよい。これらの場合における加振体は圧電駆動体と電磁駆動体のいずれであってもよいが、電磁駆動体であることが好ましい。電磁駆動体であれば、振動を生成する両側の部材を相互に必要以上に拘束しなくてもすむので、搬送体と慣性質量体の間の振動の打ち消し作用を向上させることができる。

本発明によれば、装置の設置面から流出する振動エネルギーを従来よりも効率的に抑制できる振動式搬送装置を実現できるという優れた効果を奏し得る。また、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を高めることもできる。

本発明に係る第１実施形態の構造を示す側面図。 第１実施形態の正面図。 本発明に係る第２実施形態の構造を示す側面図。 第２実施形態の正面図。 本発明に係る第３実施形態の構造を示す側面図。 第３実施形態の正面図。 本発明に係る第４実施形態の構造を示す側面図。 第４実施形態の背面図。 第１実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。 第２実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。 第３実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。 第４実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。

（第１実施形態）次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図１は本発明に係る第１実施形態の振動式搬送装置の側面図、図２は同実施形態の正面図、図９（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。なお、本明細書では、装置の向きに関し、搬送方向Ｆの前方（搬送物の供給先）の側から見た面を正面、搬送方向Ｆの後方（搬送物の供給元）の側から見た面を背面とする。なお、図９乃至図１２に示す各シミュレーション画像は、いずれも装置の機械的構造における共振状態の変位態様を振幅を強調して示す動画において、搬送方向Ｆの前後の最大変位時においてそれぞれ抽出した静止画（ａ）および（ｂ）である。

図１および図２に示すように、振動式搬送装置１０は、トラフ１１ａと、このトラフ１１ａ上に固定される図示点線で示す搬送ブロック１１ｂからなる搬送体１１を備える。搬送体１１は図示のようにトラフ１１ａと搬送ブロック１１ｂが接続固定されたものに限らず、両者が一体に構成されたものであってもよい。搬送ブロック１１ｂの上面には図示しない搬送路が直線状に形成されている。この搬送路では、図示しない電子部品などの搬送物が搬送方向Ｆに沿って図示矢印の向きに搬送される。

トラフ１１ａの前端部（搬送方向Ｆの最も前方にある部位）には、板ばね形状の増幅ばね１２ａ（の上端）が接続固定されている。また、トラフ１１ａの後端部（搬送方向Ｆの後方にある部位）には、板ばね形状の増幅ばね１２ｂ（の上端）が接続固定されている。上記増幅ばね１２ａ（の下端）は搬送方向Ｆの前方に配置された接続部材１３ａに接続固定される。また、増幅ばね１２ｂ（の下端）は搬送方向Ｆの後方に配置された接続部材１３ｂに接続固定される。図示例では、増幅ばね１２ａ，１２ｂの下端は接続部材１３ａ、１３ｂの上部に接続固定されている。また、増幅ばね１２ａ，１２ｂは接続部材１３ａ，１３ｂの搬送方向Ｆの前後の外側面（搬送方向Ｆの前方にある接続部材１３ａの前面、搬送方向Ｆの後方にある接続部材１３ｂの背面）上にそれぞれ固定されている。増幅ばね１２ａ，１２ｂは搬送方向Ｆに撓み変形可能に構成されるものであり、それによって搬送体１１を下方より搬送方向Ｆへ揺動可能に弾性支持する。増幅ばね１２ａ，１２ｂは上記第１の弾性体に相当する。

接続部材１３ａは板ばね形状の防振ばね１４ａ（の上端）に接続固定されている。また、接続部材１３ｂは板ばね形状の防振ばね１４ｂ（の上端）に接続固定されている。図示例では、防振ばね１４ａ、１４ｂの上端は接続部材１３ａ，１３ｂの下部に接続固定されている。また、防振ばね１４ａ，１４ｂは接続部材１３ａ，１３ｂの搬送方向Ｆの前後の外側面（搬送方向Ｆの前方にある接続部材１３ａの前面、搬送方向Ｆの後方にある接続部材１３ｂの背面）上にそれぞれ固定されている。防振ばね１４ａ，１４ｂは上記第２の弾性体に相当する。ここで、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂは、搬送方向Ｆの前方および後方においてそれぞれ搬送方向Ｆの前方へ向けて水平方向に対して斜め上方に向くように傾斜している。換言すると、いずれのばねもその下端よりも上端が搬送方向Ｆの後方に位置するように傾斜している。また、本実施形態では、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂは、下から上に向かうに従って搬送方向Ｆの前方から搬送方向Ｆの後方に向かう態様で傾斜した共通の平面上に沿ってほぼ配置される。ただし、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂとは厳密に同一平面上に設置される必要はなく、相互にずれて配置されていてもよい。ここで、防振ばね１４ａ，１４ｂは搬送方向Ｆに撓み変形可能に構成されるものであり、それによって接続部材１３ａ，１３ｂを搬送方向Ｆへ揺動可能な状態で下方より弾性支持している。

接続部材１３ａには、搬送方向Ｆの前方に配置された圧電駆動体１６ａ（の下端）が接続される。また、接続部材１３ｂには、搬送方向Ｆの後方に配置された圧電駆動体１６ｂ（の下端）が接続される。これらの圧電駆動体１６ａ、１６ｂは、シム板などの弾性金属板（の表裏少なくとも一方の面）上に圧電体を固着した板状体である。ただし、本実施形態では、弾性金属板の表裏両面に共に圧電体を固着した構造、或いは、表裏いずれかの面に複数の圧電層を積層した積層圧電体を固着した構造を用いることが好ましい。図示例の場合、圧電駆動体１６ａ、１６ｂは、上記増幅ばね１２ａ，１２ｂおよび上記防振ばね１４ａ，１４ｂと平行な姿勢で設置されている。また、圧電駆動体１６ａ、１６ｂは、上記圧電体の表裏に電圧を印加することによって長さ方向に撓み変形するように構成され、これによって所定の交流電圧を印加することで撓み振動を生ずるようになっている。ここで、本明細書では、圧電駆動体や板状の各弾性体において、振動の伝搬方向（撓み方向）に沿った寸法および方向を「長さ」および「長さ方向」とし、当該伝搬方向（撓み方向）と直交する方向に沿った寸法および方向を「幅」および「幅方向」ということにする。したがって、本実施形態の場合には、上記増幅ばね１２ａ，１２ｂ、上記防振ばね１４ａ，１４ｂおよび圧電駆動体１６ａ，１６ｂは、それぞれ長さ方向を上下方向に近い斜め方向とし、それぞれ幅方向を左右方向とする姿勢で設置されている。

上記圧電駆動体１６ａ（の上端）と上記圧電駆動体１６ｂ（の上端）は連結部材１７を介して相互に接続固定されている。図示例では、連結部材１７の搬送方向Ｆの前端面と後端面にそれぞれ圧電駆動体１６ａと圧電駆動体１６ｂが接続固定される。本実施形態の場合、連結部材１７は圧電駆動体１６ａ，１６ｂ以外には接続されておらず、トラフ１１ａとは離間している。図示例の場合、連結部材１７は板状体であり、基準姿勢（振動していない静置状態における姿勢）が水平となるように構成されている。

防振ばね１４ａ，１４ｂの下端は基台１５にそれぞれ接続固定されている。図示例の場合、基台１５は、その搬送方向Ｆの中間部が一段高く構成された側面視で凸字形状に構成され、当該中間部の前方の段差面に防振ばね１４ａが接続固定され、後方の段差面に防振ばね１４ｂが接続固定される。以上のような構成により、本実施形態では、搬送体１１は増幅ばね１２ａ，１２ｂ、接続部材１３ａ，１３ｂおよび防振ばね１４ａ，１４ｂにより搬送方向Ｆの前後２箇所においてそれぞれ弾性支持され、搬送方向Ｆに揺動可能とされる。ここで、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂは共に搬送方向Ｆにおいて同一の向きに傾斜しているため、両ばねが撓み変形したとき、搬送体は搬送方向Ｆの前方へ向けて水平方向に対して僅かに（例えば、３〜１２度程度）斜め上方に振動するように構成される。ただし、同様の振動態様を実現する構成としては、上記の板ばね自体が傾斜した態様に限らず、例えば、増幅ばね１２ａ，１２ｂが防振ばね１４ａ，１４ｂに対して搬送方向Ｆの後方に配置されるように、増幅ばね１２ａ，１２ｂの下端の接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置が防振ばね１４ａ，１４ｂの上端の接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置よりも搬送方向Ｆの後方にずらして接続してもよい。このとき、両ばねを垂直姿勢としてもよく、傾斜姿勢としてもよい。

上記接続部材１３ａには板ばね形状の連結ばね２１ａの一端（図示上端）が接続固定され、この連結ばね２１ａの他端（図示下端）は慣性質量体２２に接続固定される。また、上記接続部材１３ｂには板ばね形状の連結ばね２１ｂの一端（図示上端）が接続固定され、この連結ばね２１ａの他端（図示下端）は上記慣性質量体２２に接続固定される。図示例の場合、連結ばね２１ａ，２１ｂは慣性質量体２２の搬送方向Ｆの前後の端面上に固定される。また、慣性質量体２２は上記圧電駆動体１６ａ，１６ｂおよび連結部材１７よりも下方に配置される。図示例では、慣性質量体２２は上記連結ばね２１ａ，２１ｂが接続固定された板状部２２ａ上に、当該板状部２２ａよりも搬送方向Ｆの前後範囲が狭い追加質量部２２ｂを固定することによって側面視で凸状に構成される。これによって、図示例のように追加質量部を厚く設けても、慣性質量体２２が接続部材１３ａ，１３ｂや圧電駆動体１６ａ，１６ｂと干渉しないように構成できるとともに、追加質量部２２ｂを設けることで慣性質量体２２の慣性モーメントを大きくすることができる。もっとも、慣性質量体２２は図示例のように上記板状部２２ａと上記追加質量部２２ｂを固定したものに限らず、両者を一体に構成したものであってもよい。なお、上記連結ばね２１ａ，２１ｂは上記第３の弾性体に相当する。

上記慣性質量体２２は、基本的には搬送方向Ｆに移動可能に構成されていれば、搬送体から受ける搬送方向Ｆの反力を吸収することにより、接続部材１３ａ，１３ｂから防振ばね１４ａ，１４ｂへの振動エネルギーの流出が抑制される。ただし、本実施形態では、慣性質量体２２は、上記連結ばね２１ａ，２１ｂのみを介して他部材（接続部材１３ａ，１３ｂ）と接続され、すなわち、連結ばね２１ａ，２１ｂのみを介して弾性支持されているため、本実施形態の振動系において自由端として動作するように構成される。これによって、連結ばね２１ａ，２１ｂにより慣性質量体２２が揺動することで、搬送体１１から受ける反力をより効率的に吸収できる。ここで、図示例のように、慣性質量体２２の重心が連結ばね２１ａ，２１ｂの接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置よりも下方に配置されることが好ましい。これにより、接続部材１３ａ，１３ｂに対して、搬送体１１が上方に弾性接続される一方、慣性質量体２２が下方に弾性接続されるため、接続部材１３ａ，１３ｂの上下両側にある慣性のバランスで相互に反力を打ち消すように振動系を構成できる。したがって、装置全体の重心を低減して安定性を高めることができるとともに、接続部材１３ａ，１３ｂの振動を低減しやすくなり、防振ばね１４ａ，１４ｂを介した振動の伝搬をさらに抑制できる。なお、このパラグラフで述べた各構成およびその作用効果は、後述する他の実施形態でも同様である。

本実施形態では、図１に示すように、防振ばね１４ａ，１４ｂと連結ばね２１ａ，２１ｂとが搬送方向Ｆに見て近接して、或いは、一致した位置（幅方向に並列する位置）に配置されているため、図２に示すように、防振ばね１４ａ，１４ｂの幅方向中央を開口部１４ｃとし、この開口部１４ｃの開口面内に連結ばね２１ａ，２１ｂを配置することで、両ばねが相互に接触しないように構成している。これにより、慣性質量体２２の重量を増加させやすくなると同時に、装置全体（一般的には搬送ブロック１１ｂを除いた部分）を搬送方向Ｆに見てコンパクトに構成することが可能になる。図示例では、連結ばね２１ａ，２１ｂの上下両端を固定するためのボルト又はナットも上記開口部１４ｃ内に配置されて防振ばね１４ａ，１４ｂと接触しないように構成されている。図示例の連結ばね２１ａ，２１ｂは、搬送方向Ｆの前後において防振ばね１４ａ，１４ｂの内側（連結ばね２１ａは防振ばね１４ａに対し搬送方向Ｆの後方、連結ばね２１ｂは防振ばね１４ｂに対し搬送方向Ｆの前方）に配置され、防振ばね１４ａ，１４ｂとそれぞれ平行に設置されている。

ここで、防振ばね１４ａ，１４ｂの上記開口部１４ｃおよびその左右両側部分は、連結ばね２１ａ，２１ｂ（の中央軸線）を中心として幅方向に左右対称に構成されている。このようにすると、搬送体１１や慣性質量体２２の幅方向の弾性支持特性に偏りが生じにくくなるため、ねじれ振動（幅方向のピッチング動作）による駆動効率の低下や搬送状態の不安定化を防止できる。なお、本実施形態では、連結ばね２１ａ，２１ｂの幅方向両側に防振ばね１４ａ，１４ｂが配置される構成としているため、防振ばね１４ａ，１４ｂによる弾性支持力の幅方向のバランスや安定性を確保しやすくなるとともに、連結ばね２１ａ，２１ｂの弾性率を大きくして慣性質量体２２を揺動しやすくする（結果として揺動振幅が拡大される）ことで搬送体１１の反力を十分に吸収できるように構成する上で好都合である。

本実施形態によれば、加振体（圧電駆動体１６ａ，１６ｂおよび連結部材１７）により生ずる振動が接続部材１３ａ，１３ｂにそれぞれ伝達され、さらに増幅ばね１２ａ，１２ｂを介してそれぞれ搬送体１１に伝達される。一方で、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、共振状態においては、接続部材１３ａ，１３ｂが受ける反力は、搬送体１１とは逆位相（位相差１８０度）で揺動する慣性質量体２２により連結ばね２１ａ，２１ｂを介して吸収されるため、搬送体１１は充分な振幅で振動できると同時に、防振ばね１４ａ，１４ｂから基台１５への振動エネルギーの流出が抑制される。特に、加振体から接続部材１３ａ，１３ｂおよび増幅ばね１２ａ，１２ｂを経て搬送体１１に向かう振動伝達経路とは別に、接続部材１３ａ，１３ｂに接続された連結ばね２１ａ，２１ｂおよび慣性質量体２２が設けられるため、上記振動伝達経路を構成する、搬送体１１、増幅ばね１２ａ，１２ｂ、接続部材１３ａ，１３ｂ、圧電駆動体１６ａ，１６ｂおよび連結部材１７の組立体全体に搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が生じても、当該組立体とは別の連結ばね２１ａ，２１ｂおよび慣性質量体２２による反力吸収作用によって軽減することができるため、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を高めることができる。

実際に、図９（ａ）および（ｂ）に示されるように、搬送体１１を搬送方向Ｆの前後においてそれぞれ弾性支持する増幅ばね１２ａ，１２ｂ、接続部材１３ａ，１３ｂおよび防振ばね１４ａ，１４ｂからなる弾性支持構造の振動の節は、図示のグレースケールで表されるように、接続部材１３ａ，１３ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂとの連結部（接続部材１３ａ，１３ｂの下部若しくは防振ばね１４ａ，１４ｂの上部）にあり、当該連結部はほとんど変位していない。その一方で、上記連結部に接続された連結ばね２１ａ，２１ｂが慣性質量体２２の変位により大きく撓み変形することがわかる。

従来の振動式搬送装置では、基台の重量を大きく設定するか、他の重量物（床など）に固定しないと、振動エネルギーの基台への流出により搬送体の振幅が充分に得られず、搬送物を高速に搬送することができなくなるという問題点があり、そのために基台の重量を大きくしていた。また、設置面への振動エネルギーの流出を低減するために防振ゴムやコイルばね等の防振部材を介して基台の下方に設置台をさらに配置するといったことも行われていた。しかしながら、本実施形態では、上述のように慣性質量体２２による反力の低減により基台１５の重量を軽量化しても充分な搬送力を確保することができた。例えば、全体で３５ｋｇの重量を有する従来装置に対して、これと同重量の搬送体１１を備えた本実施形態では、基台１５の重量を低減することにより２０ｋｇ程度若しくはそれ以下の重量で構成することができることが判明している。これにより、装置の搬入、移動、設置などの各作業が容易化される。

このとき、搬送方向Ｆの前後の接続部材１３ａ，１３ｂからそれぞれ増幅ばね１２ａ，１２ｂを介して搬送体１１が駆動され、これらの駆動箇所は接続部材１３ａと１３ｂが圧電駆動体１６ａ，１６ｂを介して連結部材１７により接続固定されているものの、搬送体１１は圧電駆動体１６ａと１６ｂの振動駆動源により搬送方向Ｆの前後２箇所において個々に加振されるため、増幅ばね１２ａと１２ｂが共通の部材に接続される場合に比べて、搬送方向Ｆに沿ったピッチング動作が生じにくくなる。すなわち、搬送体１１への振動伝搬経路上にある接続部材１３ａと１３ｂが相互に一体化された場合には、振動系全体における搬送方向Ｆの前後の一体性が高まるため、搬送方向Ｆに沿ったピッチング動作が生じやすくなり、搬送方向Ｆの前後２箇所にある増幅ばね１２ａと１２ｂの接続位置で振動方向に差が生じやすくなるので、搬送体１１にも搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が生じやすくなり、これにより搬送位置による搬送速度の差が大きくなったり、搬送状態が不安定になったりする。これに対して、本実施形態では搬送方向Ｆの前後２箇所の接続部材１３ａ，と１３ｂが別体に構成されることにより、特に接続部材１３ａと１３ｂが別々の圧電駆動体１６ａと１６ｂに駆動されることもあり、上記ピッチング動作による振動方向の差が生じにくくなる。したがって、搬送体の搬送方向Ｆ（搬送路）に沿った搬送速度が当該方向に沿った位置に応じて変化することが抑制され、より均一な搬送速度を実現できる。その結果、増幅ばね１２ａと１２ｂの間の搬送方向Ｆの前後間隔を変えなくても、搬送体１１を搬送方向Ｆに沿って長く形成することが可能になるため、当該装置を含む製造ラインなどの設計自由度が向上する。また、搬送体１１の振動時の移動態様が並進移動に近くなるため、搬送物の搬送姿勢が安定するなど、搬送状態の安定性が向上する。

（第２実施形態）次に、本発明に係る第２実施形態について詳細に説明する。図３は、本発明に係る第２実施形態の振動式搬送装置の側面図、図４は同実施形態の正面図、図１０（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。

この第２実施形態では、上記第１実施形態と共通の基本構成を有するので、同一部分には同一符号を付し、共通の構成に関する説明は省略する。本実施形態において、搬送体１１（トラフ１１ａおよび搬送ブロック１１ｂ）、増幅ばね１２ａ，１２ｂ、防振ばね１４ａ，１４ｂ、基台１５、圧電駆動体１６ａ，１６ｂ、連結部材１７、および、連結ばね２１ａ，２１ｂの各々は、基本的に第１実施形態と同一の構造を備えている。

本実施形態においては、上記連結ばね２１ａ，２１ｂに対する接続部材１３ａ′，１３ｂ′の取付位置および取付角度と、上記連結ばね２１ａ，２１ｂに対する慣性質量体２２′の板状部２２ａ′の取付位置および取付角度が第１実施形態とは異なる。そして、上記連結ばね２１ａ，２１ｂが上記防振ばね１４ａ，１４ｂに対して上記搬送方向Ｆの異なる位置（搬送方向Ｆのより後方にある位置）に配置されている。また、上記連結ばね２１ａ，２１ｂは上記増幅ばね１２ａ，１２ｂおよび上記防振ばね１４ａ，１４ｂとは逆向きに傾斜している。

また、本実施形態では、連結ばね２１ａ自体が防振ばね１４ａよりも搬送方向Ｆの後方に配置されているため、防振ばね１４ａと連結ばね２１ａ自体が相互に干渉することがないから、第１実施形態のように、防振ばね１４ａに、連結ばね２１ａを回避するための開口部１４ｃを設けたり両ばねを幅方向にずらして配置したりする必要はない。ただし、連結ばね２１ａを上記接続部材１３ａ′および上記慣性質量体２２′に接続固定するためのボルト又はナットが防振ばね１４ａに干渉しないように、防振ばね１４ａに上記ボルト又はナットを回避するための小開口部１４ｃ′，１４ｄ′を設けている。

一方、連結ばね２１ｂも防振ばね１４ｂに対して搬送方向Ｆの後方に配置されているので、上記と同様に防振ばね１４ｂと連結ばね２１ｂ自体が相互に干渉することはない。しかし、連結ばね２１ｂに対する取付位置をそれぞれ防振ばね１４ｂに対する取付位置よりも搬送方向Ｆの後方に配置しつつ、連結ばね２１ｂと慣性質量体２２′とを連結するために、接続部材１３ｂ′と慣性質量体２２′の少なくとも一部（後端部）に、搬送方向Ｆの後方に突出した連結ばね２１ｂに対する取付部１３ｂ１′および取付部２２ａ１′を設けるとともに、上記防振ばね１４ｂの一部に、上記接続部材１３ｂ′の取付部１３ｂ１′および慣性質量体２２′の取付部２２ａ１′を非接触で通過させるための第１実施形態の開口部１４ｃと同様の図示しない開口部を設けている。

本実施形態でも、基本的には上記第１実施形態と同様の作用効果を奏する。実際に、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、振動の節が接続部材１３ａ′，１３ｂ′にあり、この接続部材１３ａ′，１３ｂ′に接続された二種のばねである防振ばね１４ａ，１４ｂと連結ばね２１ａ，２１ｂのうち、連結ばね２１ａ，２１ｂの下端は慣性質量体２２′とともに大きく変位する一方で、防振ばね１４ａ，１４ｂはほとんど変形しない。

本実施形態では、慣性質量体２２′を接続部材１３ａ′，１３ｂ′に連結するための連結ばね２１ａ，２１ｂが増幅ばね１２ａ，１２ｂとは逆に傾斜していることにより、振動時における上下動については第１実施形態とは異なる作用効果をも生ずる。

上述の第１実施形態では、図１において、搬送体１１が搬送方向Ｆの前方へ向かう過程（以下、単に「搬送体前進時」という。）では、搬送物に前進力を与えるために搬送体は搬送方向Ｆの前方に向けて水平方向に対して斜め上方へ移動する（矢印Ｐ）が、このとき、当該移動方向や加減速に起因して、搬送体１１の搬送方向Ｆの前方にある部分は相対的に一旦上昇し（図示矢印Ｕ）、搬送方向Ｆの後方にある部分は相対的に一旦下降する（図示矢印Ｄ）。一方、この搬送体前進時において慣性質量体２２は搬送方向Ｆの後方に向けて水平方向に対して斜め下方へ移動する（図示矢印Ｑ）が、このとき、慣性質量体２２の搬送方向Ｆの前方にある部分は相対的に一旦上昇し（図示矢印Ｕ）、搬送方向Ｆの後方にある部分は相対的に一旦下降する（図示矢印Ｄ）。したがって、振動式搬送装置１０における搬送方向Ｆの前方部の重心は、上記搬送体前進時において上昇し、一方、搬送体が搬送方向の後方へ向かう段階（以下、単に「搬送体後退時」という。）には下降し、これとは逆に、装置の搬送方向Ｆの後方部の重心は、上記搬送体前進時において下降し、上記搬送体後退時において上昇する。その結果、振動式搬送装置１０では、振動に伴って振動系全体に搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が生じ、これに起因して上記防振ばね１４ａ，１４ｂを介して基台１５に上下振動が伝達されやすくなる。特に、本実施形態では防振ばね１４ａ，１４ｂが板ばねであるため、搬送方向Ｆの前後振動は板ばねの撓み変形によって吸収されやすいが、上下振動は板ばねでは逆に吸収されにくいので、装置の搬送方向Ｆの上下動（ピッチング動作）がそれほど大きくなくても当該上下動成分における振動エネルギーの流出は比較的大きくなる。

これに対して、この第２実施形態では、連結ばね２１ａ，２１ｂが逆側に傾斜していることにより、上記の搬送体前進時においては慣性質量体２２′が搬送方向Ｆの後方に向けて斜め上方へ移動する（図示矢印Ｑ′）ため、慣性質量体２２′の搬送方向Ｆの前方にある部分は相対的に一旦下降し（図示矢印Ｄ）、搬送方向Ｆの後方にある部分は相対的に一旦上昇する（図示矢印Ｕ）。したがって、振動式搬送装置１０′では、搬送体１１と慣性質量体２２′は上下動（ピッチング動作）に関して相互に逆に動作し、振動に伴って生ずる振動系全体の搬送方向Ｆに沿った上下動が相互に減殺し合うため、上下振動（ピッチング動作）そのものが軽減されるから、上記防振ばね１４ａ，１４ｂを介した上下振動の基台１５への伝達も低減され、搬送方向Ｆに沿った搬送速度の均一性や搬送状態の安定性も高められる。

特に、本実施形態では、防振ばね１４ａ，１４ｂが板ばねであるために上下振動を吸収しにくいことから、装置の上下動（ピッチング動作）の抑制は振動エネルギーの流出を低減するのに非常に有効である。実際に、第１実施形態の振動式搬送装置１０よりも第２実施形態の振動式搬送装置１０′の方が設置面に伝達される上下振動を抑制できること、並びに、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性も向上することが確認されている。

なお、上記のように慣性質量体２２′を搬送方向Ｆの後方に向けて水平方向に対して斜め上方に振動するように構成するには、連結ばね２１ａ，２１ｂを傾斜姿勢とする場合に限らず、例えば、連結ばね２１ａ，２１ｂを上半部と下半部に分割し、上半部と下半部を搬送方向Ｆに厚みを有するスペーサで連結してもよい。すなわち、連結ばね２１ａ，２１ｂの上端の接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置が、連結ばね２１ａ，２１ｂの下端の慣性質量体２２′に対する取付位置よりも搬送方向Ｆの後方に配置されるように構成すれば、上述の慣性質量体２２′の振動態様を実現することができる。

また、本実施形態では、連結ばね２１ａが防振ばね１４ａより搬送方向Ｆの後方に配置されるとともに、連結ばね２１ｂも防振ばね１４ｂより搬送方向Ｆの後方に配置される。これは、上述のように搬送体１１を搬送方向Ｆの前方に向けて水平よりも斜め上方に振動させるために、増幅ばね１２ａ、１２ｂの搬送体１１に対する取付位置を防振ばね１４の基台１５に対する取付位置よりもそれぞれ搬送方向Ｆの後方に配置する場合において、装置設計上、装置下部において慣性質量体２２′を搬送方向Ｆの後方寄りに配置させやすくなり、これにより、慣性質量体２２′の重心位置を搬送体１１の重心位置に対して搬送方向Ｆに一致させることが容易になるからである。

なお、以上説明した第１実施形態と第２実施形態の相互に異なる点については、いずれか一方の実施形態において他方の実施形態の各点を任意に選択して採用することが可能である。また、上記のいずれの実施形態においても、接続部材１３ａと圧電駆動体１６ａとからなる組立体と、接続部材１３ｂと圧電駆動体１６ｂとからなる組立体は、圧電駆動体が接続部材に対して搬送方向Ｆの前後のいずれの側に配置されているかという点で相互に逆向きに組み立てられているが、増幅ばね１２ａ又は１２ｂと連結部材１７との干渉を回避するように構成すれば、両組立体を相互に同じ向きに組み立てることも可能である。さらに、搬送方向Ｆの前後の圧電駆動体１６ａと１６ｂの上端は、上記のように共通の連結部材１７で連結するのではなく、個々の慣性体に別々に連結するようにしてもよい。また、連結部材１７に接続される圧電駆動体１６ａと１６ｂのうちいずれか一方を単なる板ばねで構成することも可能である。

（第３実施形態）次に、本発明に係る第３実施形態について詳細に説明する。図５は、本発明に係る第３実施形態の振動式搬送装置の側面図、図６は同実施形態の正面図、図１１（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。

本実施形態の振動式搬送装置３０は、上記の第１および第２実施形態の各部に対応する、トラフ３１ａおよび搬送ブロック３１ｂを含む搬送体３１、増幅ばね３２ａ，３２ａ、防振ばね３４ａ，３４ｂ、基台３５、連結ばね４１ａ，４１ｂ、並びに、慣性質量体４２を備えている。基本的に上記各部材は個々には第１および第２実施形態と同様の構成を有するので、説明を省略する。トラフ３１ａ上には搬送ブロック３１ｂが固定され、この搬送ブロック３１ｂの上面には搬送方向Ｆに沿って伸びる直線状の搬送路（図示せず）が形成されている。トラフ３１ａと搬送ブロック３１ｂは搬送体３１を構成する。

本実施形態では、搬送方向Ｆの前後の増幅ばね３２ａと３２ｂの下端が共通の接続部材３３に接続されている。接続部材３３は、先の実施形態と同様に防振ばね３４ａ，３４ｂおよび連結ばね４１ａ，４１ｂにも接続される。接続部材３３には、搬送方向Ｆの前方の増幅ばね３２ａ、防振ばね３４ａおよび連結ばね４１ａに接続される前方部３３ａと、搬送方向Ｆの後方の増幅ばね３２ｂ、防振ばね３４ｂおよび連結ばね４１ｂに接続される後方部３３ｂと、上記前方部３３ａと後方部３３ｂを接続する板状の連結部３３ｃとが一体に、或いは、相互に固定されて設けられている。接続部材３３（の後方部３３ｂ）には、磁芯３６ａおよびこれを取り巻くコイル３６ｂを備えた電磁ソレノイド３６が取付固定される。磁芯３６ａの先端面は磁極として構成される。一方、搬送体３１（トラフ３１ａ）の下部には下方に伸びて上記磁芯３６ａの先端面と対向配置される対向磁極を構成する対極部材３７が固定されている。ここで、電磁ソレノイド３６と対極部材３７は電磁駆動式の加振体を構成する。

本実施形態においては、電磁ソレノイド３６に交代電圧を印加することによって磁芯３６ａと対極部材３７との間に生ずる磁力により搬送体３１と接続部材３３との間に搬送方向Ｆの振動が発生し、これが増幅ばね３２ａ、３２ｂを通して伝搬し、搬送体が振動する。このとき、上記各実施形態と同様に、慣性質量体４２が揺動して搬送体３１により生ずる反力が打ち消され、基台３５へ流出する振動エネルギーが抑制される。また、上記第２実施形態と同様に、連結ばね４１ａ，４１ｂが増幅ばね３２ａ，３２ｂおよび防振ばね３４ａ，３４ｂに対して逆向きに傾斜しているので、基本的に第２実施形態と同様に振動系全体の搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が低減されるため、基台３５へ流出する振動エネルギーがさらに低減される。

また、本実施形態では、接続部材３３の前方部３３ａには、増幅ばね３２ａの接続箇所から搬送方向Ｆの前方へさらに突出した取付部３３ａ１が設けられ、この取付部３３ａ１に防振ばね３４ａが接続固定される。同様に、接続部材３３の後方部３３ｂには、増幅ばね３２ｂの接続箇所から搬送方向Ｆの後方にさらに突出した取付部３３ｂ１が設けられ、この取付部３３ｂ１に防振ばね３４ｂが接続固定される。このように構成すると、防振ばね３４ａと３４ｂの搬送方向Ｆに沿った間隔を大きく確保できるため、図示のように防振ばね３４ａと３４ｂの間に連結ばね４１ａ，４１ｂおよび慣性質量体４２の全てを配置できるとともに、慣性質量体４２の配置スペースを大きく確保できるため、充分な慣性力を与えることが可能になる。なお、このような接続部材の取付部と防振ばね、並びに、その搬送方向Ｆの前後の内側に配置される連結ばねおよび慣性質量体の構成は、上記第１実施形態や第２実施形態において採用することも可能である。

本実施形態では、搬送方向Ｆの前方に配置された前方部３３ａと同後方に配置された後方部３３ｂが連結部３３ｃを介して接続部材３３として一体に構成されているので、上記第１および第２実施形態のように加振作用を搬送方向Ｆの前後２箇所において独立して与えるものではない。しかし、本実施形態の加振体は一体の接続部材３３と搬送体３１の間に振動を生じさせるものであるため、接続部材３３の搬送方向Ｆの前後２箇所に接続された増幅ばね３２ａと３２ｂを介して共通の接続部材３３から与えられる加振作用が与えられるから、搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）の少ない安定した振動を搬送体に生じさせることができる。なお、上記接続部材３３において、上記連結部３３ｃを撓み変形可能な弾性体として機能する構成としてもよい。

（第４実施形態）次に、本発明に係る第４実施形態について詳細に説明する。図７は、本発明に係る第４実施形態の振動式搬送装置の側面図、図８は同実施形態の背面図、図１２（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。

本実施形態の振動式搬送装置３０′は、上記第３実施形態と同様に、電磁ソレノイド３６を備えた電磁駆動式の装置である。本実施形態では、加振体に関する構成部分を除き、基本的に上記第３実施形態と同様の構成を有するので、同一部分には同一符号を付し、同様の構成については記載を省略する。

本実施形態が第３実施形態と異なるのは、電磁ソレノイド３６との間に磁力を生じさせる対極部材３７′が、搬送体３１ではなく、慣性質量体４２に接続固定されている点である。このため、電磁ソレノイド３６と対極部材３７′により構成される加振体は、直接的には接続部材３３と慣性質量体４２との間に振動を生じさせる。しかしながら、加振体により生じたこの振動が接続部材３３から増幅ばね３２ａ，３２ｂを経て搬送体３１に伝達される点では第３実施形態と同様であり、この振動伝達経路によって搬送体３１を搬送方向Ｆに振動させるため、第３実施形態と同様の搬送作用その他の作用効果を得ることができる。

また、本実施形態では、搬送体３１に直接加振力を与えず、接続部材３３および増幅ばね３２ａ，３２ｂを介して搬送方向Ｆの前後２箇所において振動を伝達しているため、搬送体３１に直接に加振体による振動状態の規制力が働きにくいことから、振動系全体のバランスによって搬送体３１の振動態様が決定される。

尚、本発明の振動式搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記の第１乃至第４の実施形態の装置に採用されている個々の構成は、特にそれを妨げる理由がない限り、任意の組み合わせで相互に置換して用いることができる。

１０，３０…振動式搬送装置、１１，３１…搬送体、１１ａ，３１ａ…トラフ、１１ｂ，３１ｂ…搬送ブロック、１２ａ，１２ｂ，３２ａ，３２ｂ…増幅ばね、１３ａ，１３ｂ，１３ａ′，１３ｂ′，３３ａ，３３ｂ…接続部材、１４ａ，１４ｂ，３４ａ，３４ｂ…防振ばね、１５，３５…基台、１６ａ，１６ｂ…圧電駆動体、１７…連結部材、２２，２２′…慣性質量体、３６…電磁駆動体、３６ａ…磁芯、３６ｂ…コイル、３７、３７′…対極部材

本発明において、前記搬送体は、前記搬送方向の前方へ向けては水平方向に対し斜め上方へ移動するように振動し、前記慣性質量体は、前記搬送方向の後方へ向けては水平方向に対し斜め上方に移動するように振動することが好ましい。これによれば、搬送体の振動時において搬送体の移動方向や加減速に起因して生ずる上下動（搬送方向に沿ったピッチング動作）による影響を慣性質量体の揺動に伴う逆向きの作用によって減殺することができるため、第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出をさらに低減できるとともに、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性をさらに高めることができる。

本実施形態の振動式搬送装置３０は、上記の第１および第２実施形態の各部に対応する、トラフ３１ａおよび搬送ブロック３１ｂを含む搬送体３１、増幅ばね３２ａ，３２ｂ、防振ばね３４ａ，３４ｂ、基台３５、連結ばね４１ａ，４１ｂ、並びに、慣性質量体４２を備えている。基本的に上記各部材は個々には第１および第２実施形態と同様の構成を有するので、説明を省略する。トラフ３１ａ上には搬送ブロック３１ｂが固定され、この搬送ブロック３１ｂの上面には搬送方向Ｆに沿って伸びる直線状の搬送路（図示せず）が形成されている。トラフ３１ａと搬送ブロック３１ｂは搬送体３１を構成する。

本実施形態においては、電磁ソレノイド３６に交番電圧を印加することによって磁芯３６ａと対極部材３７との間に生ずる磁力により搬送体３１と接続部材３３との間に搬送方向Ｆの振動が発生し、これが増幅ばね３２ａ、３２ｂを通して伝搬し、搬送体が振動する。このとき、上記各実施形態と同様に、慣性質量体４２が揺動して搬送体３１により生ずる反力が打ち消され、基台３５へ流出する振動エネルギーが抑制される。また、上記第２実施形態と同様に、連結ばね４１ａ，４１ｂが増幅ばね３２ａ，３２ｂおよび防振ばね３４ａ，３４ｂに対して逆向きに傾斜しているので、基本的に第２実施形態と同様に振動系全体の搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が低減されるため、基台３５へ流出する振動エネルギーがさらに低減される。

本発明は振動式搬送装置に係り、特に、搬送物を搬送するための搬送路を備えた搬送体に振動を与えるとともに、該搬送体と逆位相で振動する慣性質量体を備えた搬送装置の構造に関する。

一般に、振動式搬送装置においては、装置から外部への振動エネルギーの流出を抑制し、装置の周囲に設置された外部機器への影響を低減するために、部品などを搬送する搬送体とは別に慣性質量体（カウンタウェイト）を設けたものが知られている（例えば、以下の特許文献１および２参照）。特許文献１に記載の装置では、慣性質量体２２を加振体２１に対して搬送体２５への振動伝達側とは反対側に接続固定するとともに、加振体取付部材２３と搬送体２５とを接続する振動伝達用板ばね２６の中間部を連結部材支持片２８を介して防振用板ばね２７により弾性支持することにより、搬送体２５からの反力を吸収し、防振用板ばね２７へ伝達される振動を抑制している。

また、特許文献２に記載の装置では、床上に防振用板ばね１５を介して設置された板ばね取付体１４と搬送体のトラフ１１とを、加振体２０ａ，２０ｂを介して弾性接続し、カウンタウェイト１３を板ばね取付体１４に対し搬送体１１とは反対側に加振体２１ａ，２１ｂを介して弾性接続した構造において、センサにより検出される防振用板ばね１５の振動が抑制されるように、上記加振体２０ａ，２０ｂと加振体２１ａ，２１ｂを制御するようにしている。

また、増幅ばね５と防振ばね７で弾性支持された接続部材４に圧電駆動体３を接続するとともに、この圧電駆動体３の反対側に慣性体６を接続した構造としては、以下の特許文献３および４に記載された装置がある。これらの装置では、圧電駆動体３により接続部材４および増幅ばね５を介して搬送体２を振動させるが、圧電駆動体３の反対側に慣性体６が接続されていることで、慣性体６が搬送体２と逆位相で揺動するため、防振ばね７から基台１へ流出する振動エネルギーを抑制することができる。

特開平１１−９１９２８号公報 実公平５−２０４７３号公報 特開２００７−１３７６７４号公報 特開２００８−２７３７１４号公報

しかしながら、上記特許文献１のような従来の振動式搬送装置では、慣性質量体２２が加振体２１に対して加振体取付部材２３とは反対側に直接に接続され、慣性質量体２２と加振体取付部材２３との間に振動を生じさせるので、搬送体２５の慣性力に対抗すべき加振体２１、慣性質量体２２および加振体取付部材２３の全体の振動態様が搬送体２５の振動態様に充分に対応したものになりにくく、搬送体２５の反力を十分に吸収することができずに、振動伝達用板ばね２６の中間部から連結部材支持片２８に伝達される振動エネルギーを大幅に抑制することができないという問題がある。また、この構成では、加振体２１、慣性質量体２２、加振体取付部材２３、搬送体２５および振動伝達用板ばね２６の全体に搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）が生じやすく、この上下動の振動エネルギーは連結部材支持片２８側へ流出しやすいとともに、搬送体２５の搬送方向の搬送速度の不均一性や搬送物の搬送状態の不安定性をもたらすという問題もある。

また、上記特許文献２のような従来の振動式搬送装置では、加振体２０ａ，２０ｂがトラフ１１を直接に駆動するため、その反動を板ばね取付体１４から防振用板ばね１５へ伝達させないようにすることが難しく、また、充分な防振作用を得るには、板ばね取付体１４とカウンタウェイト１３との間に別の加振体２１ａ，２１ｂを介在させるとともに、防振用板ばね１５に設置した反力検出器２２の検出値に応じて上記別の加振体２１ａ，２１ｂを制御しなければならないため、機械的構造および加振体の制御が複雑になるという問題がある。また、この構成でも、一対の加振体間の制御により搬送方向の反動を打ち消すことはできるが、防振用板ばね１５上に配置される全体構造の搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）を抑制することは難しいので、振動エネルギーの流出の充分な抑制および搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を実現することは困難である。

さらに、上記特許文献３および４のような従来の振動式搬送装置では、基台１への振動エネルギーの流出を或る程度抑制できるものの、上記特許文献１と同様に、圧電駆動体３の反対側に慣性体６が接続されていることにより、慣性体６の慣性力による搬送体２の反力の低減効果が不十分な場合がある。また、慣性体６の質量を大きくすると、慣性体６の前後両側において圧電駆動体を介して連結された接続部材４およびこれに増幅ばね５を介して接続された搬送体２に搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）が生じやすくなるため、実際に搬送速度が搬送方向に沿って変動したり軽量な搬送物があばれやすくなったりするなど、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性に関する問題がある。

そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、装置から設置面に流出する振動エネルギーを従来よりも効率的に抑制できる振動式搬送装置を実現することにある。また、搬送方向に沿った上下動を低減することにより、搬送速度の均一化や搬送姿勢の安定化を図ることも目的とする。

斯かる実情に鑑み、第１の発明の振動式搬送装置は、搬送物を搬送する直線状の搬送路を備えた搬送体（１１）と、該搬送体を搬送方向（Ｆ）の前方と後方においてそれぞれ前記搬送方向に撓み変形可能に弾性支持する前後一対の板状の第１の弾性体（１２ａ、１２ｂ）と、前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ対応する前記第１の弾性体を介して前記搬送体の下方に別々に接続された前後一対の接続部材（１３ａ、１３ｂ、１３ａ′、１３ｂ′）と、前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ対応する前記接続部材を下方から弾性支持する前後一対の板状の第２の弾性体（１４ａ、１４ｂ）と、前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ対応する前記接続部材に下端が接続されるとともに、前記対応する接続部材に対して前記搬送方向の振動をそれぞれ与える前後一対の板状の圧電駆動体よりなる加振体（１６ａ、１６ｂ）と、前記前後一対の加振体の上端のみが共に接続された連結部材（１７）と、前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ対応する前記接続部材に対して前記搬送方向に撓み変形可能に接続されて下方へ伸びる前後一対の板状の第３の弾性体（２１ａ、２１ｂ）と、前記前後一対の第３の弾性体のみを介して前記前後一対の接続部材に対して下方に弾性接続され前記搬送方向に揺動可能に構成されるとともに前記加振体及び前記連結部材よりも下方に配置された慣性質量体（２２、２２′）と、を具備し、前後一対の前記加振体を同位相で動作させることにより前記搬送体と前記慣性質量体が逆位相で振動することを特徴とする。

また、第２の発明の振動式搬送装置は、搬送物を搬送する直線状の搬送路を備えた搬送体（３１）と、該搬送体を搬送方向（Ｆ）の前方と後方においてそれぞれ前記搬送方向に撓み変形可能に弾性支持する前後一対の板状の第１の弾性体（３２ａ、３２ｂ）と、前記前後一対の第１の弾性体を介して前記搬送体の下方に接続された一体の接続部材（３３）と、前記接続部材を前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ下方から弾性支持する前後一対の板状の第２の弾性体（３４ａ、３４ｂ）と、前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ前記接続部材に対して前記搬送方向に撓み変形可能に接続されて下方へ伸びる前後一対の板状の第３の弾性体（４１ａ、４１ｂ）と、前記前後一対の第３の弾性体のみを介して前記接続部材に対して下方に弾性接続され前記搬送方向に揺動可能に構成された慣性質量体（４２）と、前記搬送体若しくは前記慣性質量体と前記接続部材との間に前記搬送方向の振動を与える電磁ソレノイドと対極を備えた電磁駆動式の加振体（３６，３７、３７′）と、を具備し、前記加振体を動作させることにより前記搬送体と前記慣性質量体が逆位相で振動することを特徴とする。

本発明によれば、搬送体は、第１の弾性体、接続部材および第２の弾性体により、搬送方向に移動可能となるように下方より弾性支持される。このとき、加振体により搬送方向の振動が接続部材に与えられると当該接続部材を介して第１の弾性体に振動が伝搬して搬送体が搬送方向に振動するが、この振動伝搬経路とは別に、接続部材に第３の弾性体を介して弾性接続された慣性質量体が搬送方向に上記搬送体と逆位相で振動するために、接続部材の振幅が充分に低減されるから、接続部材から第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出を従来よりも効率的に抑制できる。また、設置面へ流出する振動エネルギーが従来よりも低減されると設置面側から搬送体が受ける規制力も低減されるため、搬送体に生ずる不要振動（例えば、幅方向のピッチング動作を生じさせる振動など）の発生を抑制できる。特に、上述の振動伝搬経路に沿った各部材の組立体に搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）についても、振動伝搬経路とは別に設けられた、逆位相で振動する第３の弾性体および慣性質量体により軽減することができるから、従来よりも搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を高めることができる。

本発明において、前記搬送体は前記搬送方向の前方へ向けては水平方向に対し斜め上方へ移動するように振動し、前記慣性質量体は前記搬送方向の後方へ向けては水平方向に対し斜め上方に移動するように振動することが好ましい。これによれば、搬送体の振動時において搬送体の移動方向や加減速に起因して生ずる上下動（搬送方向に沿ったピッチング動作）による影響を慣性質量体の揺動に伴う逆向きの作用によって減殺することができるため、第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出をさらに低減できるとともに、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性をさらに高めることができる。

本発明においては、前記慣性質量体は前記第３の弾性体のみを介して前記搬送方向に揺動可能に支持されている。基本的には慣性質量体が少なくとも搬送方向に移動可能に構成されていれば第２の弾性体を介した振動エネルギーの流出を抑制できるが、この構成によれば、第３の弾性体のみを介して慣性質量体が揺動可能に支持されていることにより、搬送体の揺動による反動を効率的に吸収することができ、特に上下方向の反動も吸収できる。この場合に、慣性質量体の揺動の向きに関しては、例えば、前記第３の弾性体において、前記接続部材に対する取付位置が前記慣性質量体に対する取付位置よりも前記搬送方向の前方に配置されるように接続されると、慣性質量体を前記搬送方向の後方へ向けて水平方向に対し斜め上方に振動するように構成できる。特に、前記第３の弾性体を前記接続部材に対する取付位置から前記慣性質量体に対する取付位置に向かう傾斜姿勢で取り付けることが望ましい。また、本発明においては、前記慣性質量体は前記接続部材に対して下方に弾性接続されることにより、接続部材の上下両側にある搬送体と慣性質量体の慣性のバランスで相互に反力を打ち消すように振動系を構成できる。

第１の発明においては、前記搬送方向の前方にそれぞれ配置された前記第１の弾性体、前記第２の弾性体および前記第３の弾性体に対して、共に接続された前方の前記接続部材と、前記搬送方向の後方にそれぞれ配置された前記第１の弾性体、前記第２の弾性体および前記第３の弾性体に対して、共に接続された後方の前記接続部材とを有し、前記第１の接続部材と前記第２の接続部材は相互に離間して配置される。これによれば、搬送方向の前後にそれぞれ配置された一対の接続部材が別体に構成されて、搬送体が前後一対の接続部材によりそれぞれ第１の弾性体を介して搬送方向の前後においてそれぞれ別個に加振されるため、前後の接続部材が共通化若しくは一体固定化されている場合に比べて、搬送体の搬送方向に沿った上下動（ピッチング動作）が生じにくくなるので、搬送方向に沿った搬送速度の均一性や搬送状態の安定性をさらに向上できる。

この場合において、前記加振体は、前記前方の接続部材に一端が接続された前方の圧電駆動体と、前記後方の接続部材に一端が接続された後方の圧電駆動体と、前記前方の圧電駆動体と前記後方の圧電駆動体の他端同士を接続固定する連結部材とを有するので、前後一対の接続部材がそれぞれ別個の前後の圧電駆動体によりそれぞれ駆動されるため、搬送方向に沿った上下動をさらに抑制できると同時に、両圧電駆動体の他端同士が連結部材により接続固定されるので、振動系の一体性を確保することができ、搬送方向前後の駆動態様のばらつきを抑制できる。また、連結部材が圧電駆動体の他端に接続された慣性体としての役割をも果たすので、駆動効率の向上を図ることもできる。

第２の発明において、前記加振体は、前記搬送体と前記接続部材の間に振動を生成するように構成してもよく、或いは、前記接続部材と前記慣性質量体の間に振動を生成するように構成してもよい。これらの場合における加振体は電磁駆動体であるため、振動を生成する両側の部材を相互に必要以上に拘束しなくてもすむので、搬送体と慣性質量体の間の振動の打ち消し作用を向上させることができる。この場合に、前記接続部材は、それぞれ前方の前記第１の弾性体、前記第２の弾性体及び前記第３の弾性体に接続される前方部と、それぞれ後方の前記第１の弾性体、前記第２の弾性体及び前記第３の弾性体に接続される後方部と、前記前方部と前記後方部を接続する板状の連結部とを有し、前記連結部が撓み変形可能な弾性体として機能することが好ましい。

本発明によれば、装置の設置面から流出する振動エネルギーを従来よりも効率的に抑制できる振動式搬送装置を実現できるという優れた効果を奏し得る。また、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を高めることもできる。

本発明に係る第１実施形態の構造を示す側面図。 第１実施形態の正面図。 本発明に係る第２実施形態の構造を示す側面図。 第２実施形態の正面図。 本発明に係る第３実施形態の構造を示す側面図。 第３実施形態の正面図。 本発明に係る第４実施形態の構造を示す側面図。 第４実施形態の背面図。 第１実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。 第２実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。 第３実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。 第４実施形態の振動状態を強調して示すシミュレーション画像（ａ）および（ｂ）。

（第１実施形態）次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図１は本発明に係る第１実施形態の振動式搬送装置の側面図、図２は同実施形態の正面図、図９（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。なお、本明細書では、装置の向きに関し、搬送方向Ｆの前方（搬送物の供給先）の側から見た面を正面、搬送方向Ｆの後方（搬送物の供給元）の側から見た面を背面とする。なお、図９乃至図１２に示す各シミュレーション画像は、いずれも装置の機械的構造における共振状態の変位態様を振幅を強調して示す動画において、搬送方向Ｆの前後の最大変位時においてそれぞれ抽出した静止画（ａ）および（ｂ）である。

図１および図２に示すように、振動式搬送装置１０は、トラフ１１ａと、このトラフ１１ａ上に固定される図示点線で示す搬送ブロック１１ｂからなる搬送体１１を備える。搬送体１１は図示のようにトラフ１１ａと搬送ブロック１１ｂが接続固定されたものに限らず、両者が一体に構成されたものであってもよい。搬送ブロック１１ｂの上面には図示しない搬送路が直線状に形成されている。この搬送路では、図示しない電子部品などの搬送物が搬送方向Ｆに沿って図示矢印の向きに搬送される。

トラフ１１ａの前端部（搬送方向Ｆの最も前方にある部位）には、板ばね形状の増幅ばね１２ａ（の上端）が接続固定されている。また、トラフ１１ａの後端部（搬送方向Ｆの後方にある部位）には、板ばね形状の増幅ばね１２ｂ（の上端）が接続固定されている。上記増幅ばね１２ａ（の下端）は搬送方向Ｆの前方に配置された接続部材１３ａに接続固定される。また、増幅ばね１２ｂ（の下端）は搬送方向Ｆの後方に配置された接続部材１３ｂに接続固定される。図示例では、増幅ばね１２ａ，１２ｂの下端は接続部材１３ａ、１３ｂの上部に接続固定されている。また、増幅ばね１２ａ，１２ｂは接続部材１３ａ，１３ｂの搬送方向Ｆの前後の外側面（搬送方向Ｆの前方にある接続部材１３ａの前面、搬送方向Ｆの後方にある接続部材１３ｂの背面）上にそれぞれ固定されている。増幅ばね１２ａ，１２ｂは搬送方向Ｆに撓み変形可能に構成されるものであり、それによって搬送体１１を下方より搬送方向Ｆへ揺動可能に弾性支持する。増幅ばね１２ａ，１２ｂは上記第１の弾性体に相当する。

接続部材１３ａは板ばね形状の防振ばね１４ａ（の上端）に接続固定されている。また、接続部材１３ｂは板ばね形状の防振ばね１４ｂ（の上端）に接続固定されている。図示例では、防振ばね１４ａ、１４ｂの上端は接続部材１３ａ，１３ｂの下部に接続固定されている。また、防振ばね１４ａ，１４ｂは接続部材１３ａ，１３ｂの搬送方向Ｆの前後の外側面（搬送方向Ｆの前方にある接続部材１３ａの前面、搬送方向Ｆの後方にある接続部材１３ｂの背面）上にそれぞれ固定されている。防振ばね１４ａ，１４ｂは上記第２の弾性体に相当する。ここで、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂは、搬送方向Ｆの前方および後方においてそれぞれ搬送方向Ｆの前方へ向けて水平方向に対して斜め上方に向くように傾斜している。換言すると、いずれのばねもその下端よりも上端が搬送方向Ｆの後方に位置するように傾斜している。また、本実施形態では、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂは、下から上に向かうに従って搬送方向Ｆの前方から搬送方向Ｆの後方に向かう態様で傾斜した共通の平面上に沿ってほぼ配置される。ただし、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂとは厳密に同一平面上に設置される必要はなく、相互にずれて配置されていてもよい。ここで、防振ばね１４ａ，１４ｂは搬送方向Ｆに撓み変形可能に構成されるものであり、それによって接続部材１３ａ，１３ｂを搬送方向Ｆへ揺動可能な状態で下方より弾性支持している。

接続部材１３ａには、搬送方向Ｆの前方に配置された圧電駆動体１６ａ（の下端）が接続される。また、接続部材１３ｂには、搬送方向Ｆの後方に配置された圧電駆動体１６ｂ（の下端）が接続される。これらの圧電駆動体１６ａ、１６ｂは、シム板などの弾性金属板（の表裏少なくとも一方の面）上に圧電体を固着した板状体である。ただし、本実施形態では、弾性金属板の表裏両面に共に圧電体を固着した構造、或いは、表裏いずれかの面に複数の圧電層を積層した積層圧電体を固着した構造を用いることが好ましい。図示例の場合、圧電駆動体１６ａ、１６ｂは、上記増幅ばね１２ａ，１２ｂおよび上記防振ばね１４ａ，１４ｂと平行な姿勢で設置されている。また、圧電駆動体１６ａ、１６ｂは、上記圧電体の表裏に電圧を印加することによって長さ方向に撓み変形するように構成され、これによって所定の交流電圧を印加することで撓み振動を生ずるようになっている。ここで、本明細書では、圧電駆動体や板状の各弾性体において、振動の伝搬方向（撓み方向）に沿った寸法および方向を「長さ」および「長さ方向」とし、当該伝搬方向（撓み方向）と直交する方向に沿った寸法および方向を「幅」および「幅方向」ということにする。したがって、本実施形態の場合には、上記増幅ばね１２ａ，１２ｂ、上記防振ばね１４ａ，１４ｂおよび圧電駆動体１６ａ，１６ｂは、それぞれ長さ方向を上下方向に近い斜め方向とし、それぞれ幅方向を左右方向とする姿勢で設置されている。

上記圧電駆動体１６ａ（の上端）と上記圧電駆動体１６ｂ（の上端）は連結部材１７を介して相互に接続固定されている。図示例では、連結部材１７の搬送方向Ｆの前端面と後端面にそれぞれ圧電駆動体１６ａと圧電駆動体１６ｂが接続固定される。本実施形態の場合、連結部材１７は圧電駆動体１６ａ，１６ｂ以外には接続されておらず、トラフ１１ａとは離間している。図示例の場合、連結部材１７は板状体であり、基準姿勢（振動していない静置状態における姿勢）が水平となるように構成されている。

防振ばね１４ａ，１４ｂの下端は基台１５にそれぞれ接続固定されている。図示例の場合、基台１５は、その搬送方向Ｆの中間部が一段高く構成された側面視で凸字形状に構成され、当該中間部の前方の段差面に防振ばね１４ａが接続固定され、後方の段差面に防振ばね１４ｂが接続固定される。以上のような構成により、本実施形態では、搬送体１１は増幅ばね１２ａ，１２ｂ、接続部材１３ａ，１３ｂおよび防振ばね１４ａ，１４ｂにより搬送方向Ｆの前後２箇所においてそれぞれ弾性支持され、搬送方向Ｆに揺動可能とされる。ここで、増幅ばね１２ａ，１２ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂは共に搬送方向Ｆにおいて同一の向きに傾斜しているため、両ばねが撓み変形したとき、搬送体は搬送方向Ｆの前方へ向けて水平方向に対して僅かに（例えば、３〜１２度程度）斜め上方に振動するように構成される。ただし、同様の振動態様を実現する構成としては、上記の板ばね自体が傾斜した態様に限らず、例えば、増幅ばね１２ａ，１２ｂが防振ばね１４ａ，１４ｂに対して搬送方向Ｆの後方に配置されるように、増幅ばね１２ａ，１２ｂの下端の接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置が防振ばね１４ａ，１４ｂの上端の接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置よりも搬送方向Ｆの後方にずらして接続してもよい。このとき、両ばねを垂直姿勢としてもよく、傾斜姿勢としてもよい。

上記接続部材１３ａには板ばね形状の連結ばね２１ａの一端（図示上端）が接続固定され、この連結ばね２１ａの他端（図示下端）は慣性質量体２２に接続固定される。また、上記接続部材１３ｂには板ばね形状の連結ばね２１ｂの一端（図示上端）が接続固定され、この連結ばね２１ａの他端（図示下端）は上記慣性質量体２２に接続固定される。図示例の場合、連結ばね２１ａ，２１ｂは慣性質量体２２の搬送方向Ｆの前後の端面上に固定される。また、慣性質量体２２は上記圧電駆動体１６ａ，１６ｂおよび連結部材１７よりも下方に配置される。図示例では、慣性質量体２２は上記連結ばね２１ａ，２１ｂが接続固定された板状部２２ａ上に、当該板状部２２ａよりも搬送方向Ｆの前後範囲が狭い追加質量部２２ｂを固定することによって側面視で凸状に構成される。これによって、図示例のように追加質量部を厚く設けても、慣性質量体２２が接続部材１３ａ，１３ｂや圧電駆動体１６ａ，１６ｂと干渉しないように構成できるとともに、追加質量部２２ｂを設けることで慣性質量体２２の慣性モーメントを大きくすることができる。もっとも、慣性質量体２２は図示例のように上記板状部２２ａと上記追加質量部２２ｂを固定したものに限らず、両者を一体に構成したものであってもよい。なお、上記連結ばね２１ａ，２１ｂは上記第３の弾性体に相当する。

上記慣性質量体２２は、基本的には搬送方向Ｆに移動可能に構成されていれば、搬送体から受ける搬送方向Ｆの反力を吸収することにより、接続部材１３ａ，１３ｂから防振ばね１４ａ，１４ｂへの振動エネルギーの流出が抑制される。ただし、本実施形態では、慣性質量体２２は、上記連結ばね２１ａ，２１ｂのみを介して他部材（接続部材１３ａ，１３ｂ）と接続され、すなわち、連結ばね２１ａ，２１ｂのみを介して弾性支持されているため、本実施形態の振動系において自由端として動作するように構成される。これによって、連結ばね２１ａ，２１ｂにより慣性質量体２２が揺動することで、搬送体１１から受ける反力をより効率的に吸収できる。ここで、図示例のように、慣性質量体２２の重心が連結ばね２１ａ，２１ｂの接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置よりも下方に配置されることが好ましい。これにより、接続部材１３ａ，１３ｂに対して、搬送体１１が上方に弾性接続される一方、慣性質量体２２が下方に弾性接続されるため、接続部材１３ａ，１３ｂの上下両側にある慣性のバランスで相互に反力を打ち消すように振動系を構成できる。したがって、装置全体の重心を低減して安定性を高めることができるとともに、接続部材１３ａ，１３ｂの振動を低減しやすくなり、防振ばね１４ａ，１４ｂを介した振動の伝搬をさらに抑制できる。なお、このパラグラフで述べた各構成およびその作用効果は、後述する他の実施形態でも同様である。

本実施形態では、図１に示すように、防振ばね１４ａ，１４ｂと連結ばね２１ａ，２１ｂとが搬送方向Ｆに見て近接して、或いは、一致した位置（幅方向に並列する位置）に配置されているため、図２に示すように、防振ばね１４ａ，１４ｂの幅方向中央を開口部１４ｃとし、この開口部１４ｃの開口面内に連結ばね２１ａ，２１ｂを配置することで、両ばねが相互に接触しないように構成している。これにより、慣性質量体２２の重量を増加させやすくなると同時に、装置全体（一般的には搬送ブロック１１ｂを除いた部分）を搬送方向Ｆに見てコンパクトに構成することが可能になる。図示例では、連結ばね２１ａ，２１ｂの上下両端を固定するためのボルト又はナットも上記開口部１４ｃ内に配置されて防振ばね１４ａ，１４ｂと接触しないように構成されている。図示例の連結ばね２１ａ，２１ｂは、搬送方向Ｆの前後において防振ばね１４ａ，１４ｂの内側（連結ばね２１ａは防振ばね１４ａに対し搬送方向Ｆの後方、連結ばね２１ｂは防振ばね１４ｂに対し搬送方向Ｆの前方）に配置され、防振ばね１４ａ，１４ｂとそれぞれ平行に設置されている。

ここで、防振ばね１４ａ，１４ｂの上記開口部１４ｃおよびその左右両側部分は、連結ばね２１ａ，２１ｂ（の中央軸線）を中心として幅方向に左右対称に構成されている。このようにすると、搬送体１１や慣性質量体２２の幅方向の弾性支持特性に偏りが生じにくくなるため、ねじれ振動（幅方向のピッチング動作）による駆動効率の低下や搬送状態の不安定化を防止できる。なお、本実施形態では、連結ばね２１ａ，２１ｂの幅方向両側に防振ばね１４ａ，１４ｂが配置される構成としているため、防振ばね１４ａ，１４ｂによる弾性支持力の幅方向のバランスや安定性を確保しやすくなるとともに、連結ばね２１ａ，２１ｂの弾性率を大きくして慣性質量体２２を揺動しやすくする（結果として揺動振幅が拡大される）ことで搬送体１１の反力を十分に吸収できるように構成する上で好都合である。

本実施形態によれば、加振体（圧電駆動体１６ａ，１６ｂおよび連結部材１７）により生ずる振動が接続部材１３ａ，１３ｂにそれぞれ伝達され、さらに増幅ばね１２ａ，１２ｂを介してそれぞれ搬送体１１に伝達される。一方で、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、共振状態においては、接続部材１３ａ，１３ｂが受ける反力は、搬送体１１とは逆位相（位相差１８０度）で揺動する慣性質量体２２により連結ばね２１ａ，２１ｂを介して吸収されるため、搬送体１１は充分な振幅で振動できると同時に、防振ばね１４ａ，１４ｂから基台１５への振動エネルギーの流出が抑制される。特に、加振体から接続部材１３ａ，１３ｂおよび増幅ばね１２ａ，１２ｂを経て搬送体１１に向かう振動伝達経路とは別に、接続部材１３ａ，１３ｂに接続された連結ばね２１ａ，２１ｂおよび慣性質量体２２が設けられるため、上記振動伝達経路を構成する、搬送体１１、増幅ばね１２ａ，１２ｂ、接続部材１３ａ，１３ｂ、圧電駆動体１６ａ，１６ｂおよび連結部材１７の組立体全体に搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が生じても、当該組立体とは別の連結ばね２１ａ，２１ｂおよび慣性質量体２２による反力吸収作用によって軽減することができるため、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性を高めることができる。

実際に、図９（ａ）および（ｂ）に示されるように、搬送体１１を搬送方向Ｆの前後においてそれぞれ弾性支持する増幅ばね１２ａ，１２ｂ、接続部材１３ａ，１３ｂおよび防振ばね１４ａ，１４ｂからなる弾性支持構造の振動の節は、図示のグレースケールで表されるように、接続部材１３ａ，１３ｂと防振ばね１４ａ，１４ｂとの連結部（接続部材１３ａ，１３ｂの下部若しくは防振ばね１４ａ，１４ｂの上部）にあり、当該連結部はほとんど変位していない。その一方で、上記連結部に接続された連結ばね２１ａ，２１ｂが慣性質量体２２の変位により大きく撓み変形することがわかる。

従来の振動式搬送装置では、基台の重量を大きく設定するか、他の重量物（床など）に固定しないと、振動エネルギーの基台への流出により搬送体の振幅が充分に得られず、搬送物を高速に搬送することができなくなるという問題点があり、そのために基台の重量を大きくしていた。また、設置面への振動エネルギーの流出を低減するために防振ゴムやコイルばね等の防振部材を介して基台の下方に設置台をさらに配置するといったことも行われていた。しかしながら、本実施形態では、上述のように慣性質量体２２による反力の低減により基台１５の重量を軽量化しても充分な搬送力を確保することができた。例えば、全体で３５ｋｇの重量を有する従来装置に対して、これと同重量の搬送体１１を備えた本実施形態では、基台１５の重量を低減することにより２０ｋｇ程度若しくはそれ以下の重量で構成することができることが判明している。これにより、装置の搬入、移動、設置などの各作業が容易化される。

このとき、搬送方向Ｆの前後の接続部材１３ａ，１３ｂからそれぞれ増幅ばね１２ａ，１２ｂを介して搬送体１１が駆動され、これらの駆動箇所は接続部材１３ａと１３ｂが圧電駆動体１６ａ，１６ｂを介して連結部材１７により接続固定されているものの、搬送体１１は圧電駆動体１６ａと１６ｂの振動駆動源により搬送方向Ｆの前後２箇所において個々に加振されるため、増幅ばね１２ａと１２ｂが共通の部材に接続される場合に比べて、搬送方向Ｆに沿ったピッチング動作が生じにくくなる。すなわち、搬送体１１への振動伝搬経路上にある接続部材１３ａと１３ｂが相互に一体化された場合には、振動系全体における搬送方向Ｆの前後の一体性が高まるため、搬送方向Ｆに沿ったピッチング動作が生じやすくなり、搬送方向Ｆの前後２箇所にある増幅ばね１２ａと１２ｂの接続位置で振動方向に差が生じやすくなるので、搬送体１１にも搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が生じやすくなり、これにより搬送位置による搬送速度の差が大きくなったり、搬送状態が不安定になったりする。これに対して、本実施形態では搬送方向Ｆの前後２箇所の接続部材１３ａ，と１３ｂが別体に構成されることにより、特に接続部材１３ａと１３ｂが別々の圧電駆動体１６ａと１６ｂに駆動されることもあり、上記ピッチング動作による振動方向の差が生じにくくなる。したがって、搬送体の搬送方向Ｆ（搬送路）に沿った搬送速度が当該方向に沿った位置に応じて変化することが抑制され、より均一な搬送速度を実現できる。その結果、増幅ばね１２ａと１２ｂの間の搬送方向Ｆの前後間隔を変えなくても、搬送体１１を搬送方向Ｆに沿って長く形成することが可能になるため、当該装置を含む製造ラインなどの設計自由度が向上する。また、搬送体１１の振動時の移動態様が並進移動に近くなるため、搬送物の搬送姿勢が安定するなど、搬送状態の安定性が向上する。

（第２実施形態）次に、本発明に係る第２実施形態について詳細に説明する。図３は、本発明に係る第２実施形態の振動式搬送装置の側面図、図４は同実施形態の正面図、図１０（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。

この第２実施形態では、上記第１実施形態と共通の基本構成を有するので、同一部分には同一符号を付し、共通の構成に関する説明は省略する。本実施形態において、搬送体１１（トラフ１１ａおよび搬送ブロック１１ｂ）、増幅ばね１２ａ，１２ｂ、防振ばね１４ａ，１４ｂ、基台１５、圧電駆動体１６ａ，１６ｂ、連結部材１７、および、連結ばね２１ａ，２１ｂの各々は、基本的に第１実施形態と同一の構造を備えている。

本実施形態においては、上記連結ばね２１ａ，２１ｂに対する接続部材１３ａ′，１３ｂ′の取付位置および取付角度と、上記連結ばね２１ａ，２１ｂに対する慣性質量体２２′の板状部２２ａ′の取付位置および取付角度が第１実施形態とは異なる。そして、上記連結ばね２１ａ，２１ｂが上記防振ばね１４ａ，１４ｂに対して上記搬送方向Ｆの異なる位置（搬送方向Ｆのより後方にある位置）に配置されている。また、上記連結ばね２１ａ，２１ｂは上記増幅ばね１２ａ，１２ｂおよび上記防振ばね１４ａ，１４ｂとは逆向きに傾斜している。

また、本実施形態では、連結ばね２１ａ自体が防振ばね１４ａよりも搬送方向Ｆの後方に配置されているため、防振ばね１４ａと連結ばね２１ａ自体が相互に干渉することがないから、第１実施形態のように、防振ばね１４ａに、連結ばね２１ａを回避するための開口部１４ｃを設けたり両ばねを幅方向にずらして配置したりする必要はない。ただし、連結ばね２１ａを上記接続部材１３ａ′および上記慣性質量体２２′に接続固定するためのボルト又はナットが防振ばね１４ａに干渉しないように、防振ばね１４ａに上記ボルト又はナットを回避するための小開口部１４ｃ′，１４ｄ′を設けている。

一方、連結ばね２１ｂも防振ばね１４ｂに対して搬送方向Ｆの後方に配置されているので、上記と同様に防振ばね１４ｂと連結ばね２１ｂ自体が相互に干渉することはない。しかし、連結ばね２１ｂに対する取付位置をそれぞれ防振ばね１４ｂに対する取付位置よりも搬送方向Ｆの後方に配置しつつ、連結ばね２１ｂと慣性質量体２２′とを連結するために、接続部材１３ｂ′と慣性質量体２２′の少なくとも一部（後端部）に、搬送方向Ｆの後方に突出した連結ばね２１ｂに対する取付部１３ｂ１′および取付部２２ａ１′を設けるとともに、上記防振ばね１４ｂの一部に、上記接続部材１３ｂ′の取付部１３ｂ１′および慣性質量体２２′の取付部２２ａ１′を非接触で通過させるための第１実施形態の開口部１４ｃと同様の図示しない開口部を設けている。

本実施形態でも、基本的には上記第１実施形態と同様の作用効果を奏する。実際に、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、振動の節が接続部材１３ａ′，１３ｂ′にあり、この接続部材１３ａ′，１３ｂ′に接続された二種のばねである防振ばね１４ａ，１４ｂと連結ばね２１ａ，２１ｂのうち、連結ばね２１ａ，２１ｂの下端は慣性質量体２２′とともに大きく変位する一方で、防振ばね１４ａ，１４ｂはほとんど変形しない。

本実施形態では、慣性質量体２２′を接続部材１３ａ′，１３ｂ′に連結するための連結ばね２１ａ，２１ｂが増幅ばね１２ａ，１２ｂとは逆に傾斜していることにより、振動時における上下動については第１実施形態とは異なる作用効果をも生ずる。

上述の第１実施形態では、図１において、搬送体１１が搬送方向Ｆの前方へ向かう過程（以下、単に「搬送体前進時」という。）では、搬送物に前進力を与えるために搬送体は搬送方向Ｆの前方に向けて水平方向に対して斜め上方へ移動する（矢印Ｐ）が、このとき、当該移動方向や加減速に起因して、搬送体１１の搬送方向Ｆの前方にある部分は相対的に一旦上昇し（図示矢印Ｕ）、搬送方向Ｆの後方にある部分は相対的に一旦下降する（図示矢印Ｄ）。一方、この搬送体前進時において慣性質量体２２は搬送方向Ｆの後方に向けて水平方向に対して斜め下方へ移動する（図示矢印Ｑ）が、このとき、慣性質量体２２の搬送方向Ｆの前方にある部分は相対的に一旦上昇し（図示矢印Ｕ）、搬送方向Ｆの後方にある部分は相対的に一旦下降する（図示矢印Ｄ）。したがって、振動式搬送装置１０における搬送方向Ｆの前方部の重心は、上記搬送体前進時において上昇し、一方、搬送体が搬送方向の後方へ向かう段階（以下、単に「搬送体後退時」という。）には下降し、これとは逆に、装置の搬送方向Ｆの後方部の重心は、上記搬送体前進時において下降し、上記搬送体後退時において上昇する。その結果、振動式搬送装置１０では、振動に伴って振動系全体に搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が生じ、これに起因して上記防振ばね１４ａ，１４ｂを介して基台１５に上下振動が伝達されやすくなる。特に、本実施形態では防振ばね１４ａ，１４ｂが板ばねであるため、搬送方向Ｆの前後振動は板ばねの撓み変形によって吸収されやすいが、上下振動は板ばねでは逆に吸収されにくいので、装置の搬送方向Ｆの上下動（ピッチング動作）がそれほど大きくなくても当該上下動成分における振動エネルギーの流出は比較的大きくなる。

これに対して、この第２実施形態では、連結ばね２１ａ，２１ｂが逆側に傾斜していることにより、上記の搬送体前進時においては慣性質量体２２′が搬送方向Ｆの後方に向けて斜め上方へ移動する（図示矢印Ｑ′）ため、慣性質量体２２′の搬送方向Ｆの前方にある部分は相対的に一旦下降し（図示矢印Ｄ）、搬送方向Ｆの後方にある部分は相対的に一旦上昇する（図示矢印Ｕ）。したがって、振動式搬送装置１０′では、搬送体１１と慣性質量体２２′は上下動（ピッチング動作）に関して相互に逆に動作し、振動に伴って生ずる振動系全体の搬送方向Ｆに沿った上下動が相互に減殺し合うため、上下振動（ピッチング動作）そのものが軽減されるから、上記防振ばね１４ａ，１４ｂを介した上下振動の基台１５への伝達も低減され、搬送方向Ｆに沿った搬送速度の均一性や搬送状態の安定性も高められる。

特に、本実施形態では、防振ばね１４ａ，１４ｂが板ばねであるために上下振動を吸収しにくいことから、装置の上下動（ピッチング動作）の抑制は振動エネルギーの流出を低減するのに非常に有効である。実際に、第１実施形態の振動式搬送装置１０よりも第２実施形態の振動式搬送装置１０′の方が設置面に伝達される上下振動を抑制できること、並びに、搬送速度の均一性や搬送状態の安定性も向上することが確認されている。

なお、上記のように慣性質量体２２′を搬送方向Ｆの後方に向けて水平方向に対して斜め上方に振動するように構成するには、連結ばね２１ａ，２１ｂを傾斜姿勢とする場合に限らず、例えば、連結ばね２１ａ，２１ｂを上半部と下半部に分割し、上半部と下半部を搬送方向Ｆに厚みを有するスペーサで連結してもよい。すなわち、連結ばね２１ａ，２１ｂの上端の接続部材１３ａ，１３ｂに対する取付位置が、連結ばね２１ａ，２１ｂの下端の慣性質量体２２′に対する取付位置よりも搬送方向Ｆの後方に配置されるように構成すれば、上述の慣性質量体２２′の振動態様を実現することができる。

また、本実施形態では、連結ばね２１ａが防振ばね１４ａより搬送方向Ｆの後方に配置されるとともに、連結ばね２１ｂも防振ばね１４ｂより搬送方向Ｆの後方に配置される。これは、上述のように搬送体１１を搬送方向Ｆの前方に向けて水平よりも斜め上方に振動させるために、増幅ばね１２ａ、１２ｂの搬送体１１に対する取付位置を防振ばね１４の基台１５に対する取付位置よりもそれぞれ搬送方向Ｆの後方に配置する場合において、装置設計上、装置下部において慣性質量体２２′を搬送方向Ｆの後方寄りに配置させやすくなり、これにより、慣性質量体２２′の重心位置を搬送体１１の重心位置に対して搬送方向Ｆに一致させることが容易になるからである。

なお、以上説明した第１実施形態と第２実施形態の相互に異なる点については、いずれか一方の実施形態において他方の実施形態の各点を任意に選択して採用することが可能である。また、上記のいずれの実施形態においても、接続部材１３ａと圧電駆動体１６ａとからなる組立体と、接続部材１３ｂと圧電駆動体１６ｂとからなる組立体は、圧電駆動体が接続部材に対して搬送方向Ｆの前後のいずれの側に配置されているかという点で相互に逆向きに組み立てられているが、増幅ばね１２ａ又は１２ｂと連結部材１７との干渉を回避するように構成すれば、両組立体を相互に同じ向きに組み立てることも可能である。

（第３実施形態）次に、本発明に係る第３実施形態について詳細に説明する。図５は、本発明に係る第３実施形態の振動式搬送装置の側面図、図６は同実施形態の正面図、図１１（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。

本実施形態の振動式搬送装置３０は、上記の第１および第２実施形態の各部に対応する、トラフ３１ａおよび搬送ブロック３１ｂを含む搬送体３１、増幅ばね３２ａ，３２ｂ、防振ばね３４ａ，３４ｂ、基台３５、連結ばね４１ａ，４１ｂ、並びに、慣性質量体４２を備えている。基本的に上記各部材は個々には第１および第２実施形態と同様の構成を有するので、説明を省略する。トラフ３１ａ上には搬送ブロック３１ｂが固定され、この搬送ブロック３１ｂの上面には搬送方向Ｆに沿って伸びる直線状の搬送路（図示せず）が形成されている。トラフ３１ａと搬送ブロック３１ｂは搬送体３１を構成する。

本実施形態では、搬送方向Ｆの前後の増幅ばね３２ａと３２ｂの下端が共通の接続部材３３に接続されている。接続部材３３は、先の実施形態と同様に防振ばね３４ａ，３４ｂおよび連結ばね４１ａ，４１ｂにも接続される。接続部材３３には、搬送方向Ｆの前方の増幅ばね３２ａ、防振ばね３４ａおよび連結ばね４１ａに接続される前方部３３ａと、搬送方向Ｆの後方の増幅ばね３２ｂ、防振ばね３４ｂおよび連結ばね４１ｂに接続される後方部３３ｂと、上記前方部３３ａと後方部３３ｂを接続する板状の連結部３３ｃとが一体に、或いは、相互に固定されて設けられている。接続部材３３（の後方部３３ｂ）には、磁芯３６ａおよびこれを取り巻くコイル３６ｂを備えた電磁ソレノイド３６が取付固定される。磁芯３６ａの先端面は磁極として構成される。一方、搬送体３１（トラフ３１ａ）の下部には下方に伸びて上記磁芯３６ａの先端面と対向配置される対向磁極を構成する対極部材３７が固定されている。ここで、電磁ソレノイド３６と対極部材３７は電磁駆動式の加振体を構成する。

本実施形態においては、電磁ソレノイド３６に交番電圧を印加することによって磁芯３６ａと対極部材３７との間に生ずる磁力により搬送体３１と接続部材３３との間に搬送方向Ｆの振動が発生し、これが増幅ばね３２ａ、３２ｂを通して伝搬し、搬送体が振動する。このとき、上記各実施形態と同様に、慣性質量体４２が揺動して搬送体３１により生ずる反力が打ち消され、基台３５へ流出する振動エネルギーが抑制される。また、上記第２実施形態と同様に、連結ばね４１ａ，４１ｂが増幅ばね３２ａ，３２ｂおよび防振ばね３４ａ，３４ｂに対して逆向きに傾斜しているので、基本的に第２実施形態と同様に振動系全体の搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）が低減されるため、基台３５へ流出する振動エネルギーがさらに低減される。

また、本実施形態では、接続部材３３の前方部３３ａには、増幅ばね３２ａの接続箇所から搬送方向Ｆの前方へさらに突出した取付部３３ａ１が設けられ、この取付部３３ａ１に防振ばね３４ａが接続固定される。同様に、接続部材３３の後方部３３ｂには、増幅ばね３２ｂの接続箇所から搬送方向Ｆの後方にさらに突出した取付部３３ｂ１が設けられ、この取付部３３ｂ１に防振ばね３４ｂが接続固定される。このように構成すると、防振ばね３４ａと３４ｂの搬送方向Ｆに沿った間隔を大きく確保できるため、図示のように防振ばね３４ａと３４ｂの間に連結ばね４１ａ，４１ｂおよび慣性質量体４２の全てを配置できるとともに、慣性質量体４２の配置スペースを大きく確保できるため、充分な慣性力を与えることが可能になる。なお、このような接続部材の取付部と防振ばね、並びに、その搬送方向Ｆの前後の内側に配置される連結ばねおよび慣性質量体の構成は、上記第１実施形態や第２実施形態において採用することも可能である。

本実施形態では、搬送方向Ｆの前方に配置された前方部３３ａと同後方に配置された後方部３３ｂが連結部３３ｃを介して接続部材３３として一体に構成されているので、上記第１および第２実施形態のように加振作用を搬送方向Ｆの前後２箇所において独立して与えるものではない。しかし、本実施形態の加振体は一体の接続部材３３と搬送体３１の間に振動を生じさせるものであるため、接続部材３３の搬送方向Ｆの前後２箇所に接続された増幅ばね３２ａと３２ｂを介して共通の接続部材３３から与えられる加振作用が与えられるから、搬送方向Ｆに沿った上下動（ピッチング動作）の少ない安定した振動を搬送体に生じさせることができる。なお、上記接続部材３３において、上記連結部３３ｃを撓み変形可能な弾性体として機能する構成としてもよい。

（第４実施形態）次に、本発明に係る第４実施形態について詳細に説明する。図７は、本発明に係る第４実施形態の振動式搬送装置の側面図、図８は同実施形態の背面図、図１２（ａ）および（ｂ）はその振動系の共振時における振動態様を構造解析プログラムにより強調して示した動画を作成したときの搬送方向の前後の最大振幅時の変形態様およびその時のグレースケールで段階的に表された各部の変形量を示すシミュレーション画像である。

本実施形態の振動式搬送装置３０′は、上記第３実施形態と同様に、電磁ソレノイド３６を備えた電磁駆動式の装置である。本実施形態では、加振体に関する構成部分を除き、基本的に上記第３実施形態と同様の構成を有するので、同一部分には同一符号を付し、同様の構成については記載を省略する。

本実施形態が第３実施形態と異なるのは、電磁ソレノイド３６との間に磁力を生じさせる対極部材３７′が、搬送体３１ではなく、慣性質量体４２に接続固定されている点である。このため、電磁ソレノイド３６と対極部材３７′により構成される加振体は、直接的には接続部材３３と慣性質量体４２との間に振動を生じさせる。しかしながら、加振体により生じたこの振動が接続部材３３から増幅ばね３２ａ，３２ｂを経て搬送体３１に伝達される点では第３実施形態と同様であり、この振動伝達経路によって搬送体３１を搬送方向Ｆに振動させるため、第３実施形態と同様の搬送作用その他の作用効果を得ることができる。

また、本実施形態では、搬送体３１に直接加振力を与えず、接続部材３３および増幅ばね３２ａ，３２ｂを介して搬送方向Ｆの前後２箇所において振動を伝達しているため、搬送体３１に直接に加振体による振動状態の規制力が働きにくいことから、振動系全体のバランスによって搬送体３１の振動態様が決定される。

尚、本発明の振動式搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記の第１乃至第４の実施形態の装置に採用されている個々の構成は、特にそれを妨げる理由がない限り、任意の組み合わせで相互に置換して用いることができる。

１０，３０…振動式搬送装置、１１，３１…搬送体、１１ａ，３１ａ…トラフ、１１ｂ，３１ｂ…搬送ブロック、１２ａ，１２ｂ，３２ａ，３２ｂ…増幅ばね、１３ａ，１３ｂ，１３ａ′，１３ｂ′，３３ａ，３３ｂ…接続部材、１４ａ，１４ｂ，３４ａ，３４ｂ…防振ばね、１５，３５…基台、１６ａ，１６ｂ…圧電駆動体、１７…連結部材、２２，２２′…慣性質量体、３６…電磁駆動体、３６ａ…磁芯、３６ｂ…コイル、３７、３７′…対極部材

Claims (7)

1. 搬送物を搬送する直線状の搬送路を備えた搬送体と、
   該搬送体を搬送方向の前方と後方においてそれぞれ前記搬送方向に撓み変形可能に弾性支持する板状の第１の弾性体と、
   該第１の弾性体を介して前記搬送体の下方に接続された接続部材と、
   該接続部材を前記搬送方向の前方と後方においてそれぞれ下方から弾性支持する第２の弾性体と、
   前記接続部材に対して前記搬送方向の振動を与える加振体と、
   前記接続部材に対して前記搬送方向に撓み変形可能に接続された板状の第３の弾性体と、
   該第３の弾性体を介して前記接続部材に弾性接続され前記搬送方向に移動可能に構成された慣性質量体と、
   を具備し、
   前記搬送体と前記慣性質量体が逆位相で振動することを特徴とする振動式搬送装置。
2. 前記搬送体は前記搬送方向の前方へ向けて水平方向に対し斜め上方へ振動し、前記慣性質量体は前記搬送方向の後方へ向けて水平方向に対し斜め上方に振動することを特徴とする請求項１に記載の振動式搬送装置。
3. 前記慣性質量体は前記第３の弾性体のみを介して前記搬送方向に揺動可能に支持され、前記第３の弾性体は、前記接続部材に対する取付位置が前記慣性質量体に対する取付位置よりも前記搬送方向の前方に配置されるように接続されることを特徴とする請求項１に記載の振動式搬送装置。
4. 前記第３の弾性体は、前記接続部材に対する取付位置から前記慣性質量体に対する取付位置に向かう傾斜姿勢で取り付けられることを特徴とする請求項３に記載の振動式搬送装置。
5. 前記慣性質量体の重心が前記接続部材に対する前記慣性質量体の取付位置よりも下方に配置されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動式搬送装置。
6. 前記搬送方向の前方にそれぞれ配置された前記第１の弾性体、前記第２の弾性体および前記第３の弾性体に対して、共に接続された第１の前記接続部材と、前記搬送方向の後方にそれぞれ配置された前記第１の弾性体、前記第２の弾性体および前記第３の弾性体に対して、共に接続された第２の前記接続部材とを有し、前記第１の接続部材と前記第２の接続部材は相互に離間して配置されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動式搬送装置。
7. 前記加振体は、前記第１の接続部材に一端が接続された第１の圧電駆動体と、前記第２の接続部材に一端が接続された第２の圧電駆動体と、前記第１の圧電駆動体と前記第２の圧電駆動体の他端同士を接続固定する連結部材とを有することを特徴とする請求項６に記載の振動式搬送装置。