JP2013092756A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面としてのエシェル型回折格子は、複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有し、各格子は、光硬化性の樹脂層と、当該樹脂層の上に形成された反射膜層と、を有し、各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の長辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が８５°以上９０°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角は、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角を有し、前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第２のブレーズ角をｂａとすると、０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°の条件式を満足することを特徴とする。

Claims (13)

1. 複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子であって、
   各格子は、光硬化性の樹脂層と、当該樹脂層の上に形成された反射膜層と、を有し、
   各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の長辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が８５°以上９０°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角は、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角を有し、
   前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第２のブレーズ角をｂａとすると、以下の条件式を満足することを特徴とするエシェル型回折格子。
   ０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°
2. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載のエシェル型回折格子。
   ０．５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°
3. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２に記載のエシェル型回折格子。
   ０．５°≦ｂｄ−ｂａ≦０．７°
4. 前記ブレーズ次数は１００次から１１１次の間で設定されることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のエシェル型回折格子。
5. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のエシェル型回折格子。
   ２／｛（ｍ＋２）λ｝≦ｆ≦２／（ｍλ）
   ここで、ｆは前記格子の繰り返しピッチの逆数であり、ｍは前記設定されたブレーズ次数、λは波長１９３．３ｎｍである。
6. 前記第２のブレーズ角は、波長２４８．４ｎｍの光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にすることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のエシェル型回折格子。
7. 波長２４８．４ｎｍの入射光に対して前記ブレーズ次数は７７次から８６次の間で設定されることを特徴とする請求項６に記載のエシェル型回折格子。
8. 波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数と波長２４８．４ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数は、１０２次と７９次、１０７次と８３次、１１１次と８６次のいずれかの組み合わせであることを特徴とする請求項７に記載のエシェル型回折格子。
9. 波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数と波長２４８．４ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数は、１０２次と７９次、１０３次と８０次、１０７次と８３次、１１１次と８６次のいずれかの組み合わせであることを特徴とする請求項７に記載のエシェル型回折格子。
10. 複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子であって、
    各格子は、光硬化性の樹脂層と、当該樹脂層の上に形成された反射膜層と、を有し、
    各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の長辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が８５°以上９０°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角は、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角を有し、
    前記第２のブレーズ角は、波長２４８．４ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にし、
    前記波長２４８．４ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数は、７７次から８６次の間で設定され、
    前記波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数と波長２４８．４ｎｍの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数は、１０２次と７９次、１０７次と８３次、１１１次と８６次のいずれかの組み合わせであり、
    前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第２のブレーズ角をｂａとすると、以下の条件式を満足することを特徴とするエシェル型回折格子。
    ０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°
11. レーザ光源と、
    請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載されたエシェル型回折格子と、
    を有することを特徴とするエキシマレーザ。
12. 複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子の製造方法であって、
    各格子は、光硬化性の樹脂層と、当該樹脂層の上に形成された反射膜層と、を有し、
    各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の長辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が８５°以上９０°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角を有し、
    前記エシェル型回折格子の製造方法は、
    波長１９３．３ｎｍをλ、波長１９３．３ｎｍの入射光と前記格子平面に垂直な格子法線との角度をθ、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数をｍ、前記格子の繰り返しピッチをｄとすると、
    ｍλ＝２ｄ・ｓｉｎθ
    を満足する前記設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角を、コンピュータが、ブレーズ次数毎にブレーズ次数の回折効率のブレーズ角依存特性のデータを格納しているメモリから取得し、
    前記コンピュータが、前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角をｂａとすると、以下の条件式を満足する前記第２のブレーズ角のデータを取得し、
    前記第２のブレーズ角を有する前記エシェル型回折格子を製造することを特徴とするエシェル型回折格子の製造方法。
    ０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°
13. 波長１９３．３ｎｍの光を発する光源と、
    複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子と、
    を有するＡｒＦエキシマレーザであって、
    各格子は、光硬化性の樹脂層と、当該樹脂層の上に形成された反射膜層と、を有し、
    各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の長辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が８５°以上９０°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角は、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角を有し、
    前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第２のブレーズ角をｂａとすると、以下の条件式を満足し、
    ０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°
    波長１９３．３ｎｍをλ、前記設定されたブレーズ次数をｍ、前記格子の繰り返しピッチをｄ、前記入射光と前記格子平面に垂直な格子法線との角度をθとすると以下の条件式を満足することを特徴とするＡｒＦエキシマレーザ。
    ｍλ＝２ｄ・ｓｉｎθ