JP2016218436A5 - - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
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Description
本発明の一側面としての回折光学素子は、第１の格子面及び第１の格子壁面を備えた第１の回折格子と、第２の格子面及び第２の格子壁面を備えた第２の回折格子と、前記第１及び第２の格子壁面の両方と接する薄膜とを有し、使用波長帯域における波長λに対する前記薄膜の消衰係数は０．０００５以下であり、前記薄膜、前記第１の回折格子、及び、前記第２の回折格子の夫々の材料の前記波長λに対する屈折率をｎ １ 、ｎ ２ 、及びｎ ３ 、前記薄膜の幅をＷとし、
とするとき、
ｎ １ ＞ｎ ２ ＞ｎ ３
０．００５＜Δ＜０．０４５
０．５≦Ｗ／Ｗ Ｃ ≦２．０
なる条件式を満たす。
とするとき、
ｎ １ ＞ｎ ２ ＞ｎ ３
０．００５＜Δ＜０．０４５
０．５≦Ｗ／Ｗ Ｃ ≦２．０
なる条件式を満たす。
本発明の他の側面としての光学系は、前記回折光学素子と、絞りとを有する。
本発明の他の側面としての光学機器は、前記光学系と、撮像素子とを有する。
Claims (15)
- 第１の格子面及び第１の格子壁面を備えた第１の回折格子と、
第２の格子面及び第２の格子壁面を備えた第２の回折格子と、
前記第１及び第２の格子壁面の両方と接する薄膜とを有し、
使用波長帯域における波長λに対する前記薄膜の消衰係数は０．０００５以下であり、
前記薄膜、前記第１の回折格子、及び前記第２の回折格子の夫々の材料の前記波長λに対する屈折率をｎ １、ｎ２、及びｎ３ 、前記薄膜の幅をＷとし、
とするとき、
ｎ１＞ｎ２＞ｎ３
０．００５＜Δ＜０．０４５
０．５≦Ｗ／ＷＣ≦２．０
なる条件式を満たすことを特徴とする回折光学素子。 - 前記第１及び第２の回折格子の夫々の格子高さをｄ、前記薄膜におけるＴＥ偏光及びＴＭ偏光の伝搬定数を各々β ＴＥ 及びβ ＴＭ とするとき、
により定義される範囲において
なる式を満足し、
とするとき、
０≦（ｎｅｑ−ｎ２）×ｄ／λ＜０．３
なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の回折光学素子。 - 第１の波長に対する前記Δは、該第１の波長よりも長い第２の波長に対する前記Δよりも小さいことを特徴とする請求項１又は２に記載の回折光学素子。
- ０．０１＜Δ／λ＜０．０８
なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の回折光学素子。 - 前記薄膜は、単一の膜から成ることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の回折光学素子。
- 前記薄膜の材料のアッべ数は、前記第２の回折格子の材料のアッべ数よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の回折光学素子。
- １．６４＜ｎ１＜１．７５
なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の回折光学素子。 - 前記第１及び第２の回折格子の材料のアッべ数を各々νｄ２及びνｄ３、設計次数をｍとするとき、
νｄ２＞３５
νｄ３＜２５
０．９６０≦（ｎ２−ｎ３）×ｄ／（ｍ×λ）≦１．０４０
なる条件式を満たすことを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載の回折光学素子。 - 前記第１及び第２の回折格子の夫々の格子高さは、１５μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の回折光学素子。
- 設計次数が＋１次又は−１次であることを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の回折光学素子。
- 前記薄膜は、前記第１及び第２の格子壁面の間から前記第１及び第２の格子面の間まで連続して設けられていることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項に記載の回折光学素子。
- 前記薄膜は、前記波長λに対して透明であることを特徴とする請求項１乃至１１の何れか一項に記載の回折光学素子。
- 請求項１乃至１２の何れか一項に記載の回折光学素子と、絞りとを有することを特徴とする光学系。
- 前記絞りは、前記回折光学素子の光出射側に配置されていることを特徴とする請求項１３に記載の光学系。
- 請求項１３又は１４に記載の光学系と、撮像素子とを有することを特徴とする光学機器。
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|---|---|---|---|
| US15/149,245 US10133084B2 (en) | 2015-05-15 | 2016-05-09 | Diffractive optical element, optical system, and optical apparatus which reduce generation of unnecessary light |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2015099964 | 2015-05-15 |
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Family Applications (1)
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