JP2013092756A - エシェル型回折格子、エキシマレーザ、エシェル型回折格子の製造方法、ArFエキシマレーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各格子は厚さ2μmから10μmを有する樹脂層11と当該樹脂層の上に形成され、厚さ120nmから500nmを有し、アルミニウムから構成された反射膜層12を有するエシェル型回折格子1はリトロー配置を有し、頂角が85°以上90°未満であり、ブレーズ角は、波長193.3nmの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第1のブレーズ角よりも小さい第2のブレーズ角を初期値として有し、前記第1のブレーズ角をbd、前記第2のブレーズ角をbaとすると0.25°≦bd−ba≦1.2°を満足することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- 複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子であって、
各格子は、光硬化樹脂から構成されて厚さ2μmから10μmを有する樹脂層と、当該樹脂層の上に形成され、厚さ120nmから500nmを有し、アルミニウムから構成された反射膜層と、を有し、
前記エシェル型回折格子は、入射光と回折光の方向が一致するリトロー配置を有し、
各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において前記入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の長辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が85°以上90°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角は、波長193.3nmの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第1のブレーズ角よりも小さい第2のブレーズ角を初期値として有し、
前記第1のブレーズ角をbd、前記第2のブレーズ角をbaとすると、以下の条件式を満足することを特徴とするエシェル型回折格子。
0.25°≦bd−ba≦1.2° - 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1に記載のエシェル型回折格子。
0.5°≦bd−ba≦1.2° - 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項2に記載のエシェル型回折格子。
0.5°≦bd−ba≦0.7° - 前記ブレーズ次数は100次から111次の間で設定されることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のエシェル型回折格子。
- 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のエシェル型回折格子。
2/{(m+2)λ}≦f≦2/(mλ)
ここで、fは前記格子の繰り返しピッチの逆数であり、mは前記設定されたブレーズ次数、λは波長193.3nmである。 - 前記第2のブレーズ角は、波長248.4nmの光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にすることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のエシェル型回折格子。
- 波長248.4nmの入射光に対して前記ブレーズ次数は77次から86次の間で設定されることを特徴とする請求項6に記載のエシェル型回折格子。
- 波長193.3nmの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数と波長248.4nmの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数は、102次と79次、107次と83次、111次と86次のいずれかの組み合わせであることを特徴とする請求項7に記載のエシェル型回折格子。
- 波長193.3nmの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数と波長248.4nmの入射光に対して設定された前記ブレーズ次数は、102次と79次、103次と80次、107次と83次、111次と86次のいずれかの組み合わせであることを特徴とする請求項7に記載のエシェル型回折格子。
- 請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載されたエシェル型回折格子を有することを特徴とするエキシマレーザ。
- 複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子の製造方法であって、
各格子は、光硬化樹脂から構成されて厚さ2μmから10μmを有する樹脂層と、当該樹脂層の上に形成され、厚さ120nmから500nmを有し、アルミニウムから構成された反射膜層と、を有し、
前記エシェル型回折格子は、入射光と回折光の方向が一致するリトロー配置を有し、
各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において前記入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の短辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が85°以上90°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角を有し、
前記エシェル型回折格子の製造方法は、
波長193.3nmをλ、波長193.3nmの入射光と前記格子平面に垂直な格子法線との角度をθ、波長193.3nmの入射光に対して設定されたブレーズ次数をm、前記格子の繰り返しピッチをdとすると、
mλ=2d・sinθ
を満足する前記設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第1のブレーズ角を、コンピュータが、ブレーズ次数毎にブレーズ次数の回折効率のブレーズ角依存特性のデータを格納しているメモリから取得し、
前記コンピュータが、前記第1のブレーズ角をbd、前記第1のブレーズ角よりも小さい第2のブレーズ角をbaとすると、以下の条件式を満足する前記第2のブレーズ角のデータを取得し、前記第2のブレーズ角を前記エシェル型回折格子の前記ブレーズ角の初期値として決定することを特徴とするエシェル型回折格子の製造方法。
0.25°≦bd−ba≦1.2° - 波長193.3nmの光を発する光源と、
複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有するエシェル型回折格子と、
を有するArFエキシマレーザであって、
各格子は、光硬化樹脂から構成されて厚さ2μmから10μmを有する樹脂層と、当該樹脂層の上に形成され、厚さ120nmから500nmを有し、アルミニウムから構成された反射膜層と、
前記エシェル型回折格子は、前記光源からの入射光と回折光の方向が一致するリトロー配置を有し、
各格子は、前記非対称な三角形形状の短辺に対応するブレーズ面において前記入射光を受光および回折し、前記ブレーズ面と前記非対称な三角形形状の短辺に対応するカウンタ面とのなす角である頂角が85°以上90°未満であり、前記ブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角は、波長193.3nmの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第1のブレーズ角よりも小さい第2のブレーズ角を初期値として有し、
前記第1のブレーズ角をbd、前記第2のブレーズ角をbaとすると、以下の条件式を満足し、
0.25°≦bd−ba≦1.2°
波長193.3nmをλ、前記設定されたブレーズ次数をm、前記格子の繰り返しピッチをd、前記入射光と前記格子平面に垂直な格子法線との角度をθとすると以下の条件式を満足することを特徴とするArFエキシマレーザ。
mλ=2d・sinθ
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