JP2013086201A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブルと、加工手段24と、加工液供給手段と、加工室31と、一端が該加工室31に連通すると共に他端がファン45に連通して該加工室31内の雰囲気を排気する排気路44とを備えた加工装置であって、該加工室31から該排気路44に流入した排気に含まれる廃液を気体から分離する分離手段48を更に具備し、該分離手段48は、一端に該加工室31に連通する吸気口54を有する底部50aと、上端部に該ファン45に連通する気体排出口56を有する立ち上がり部50bと、該底部50aと該立ち上がり部50bとを連結する屈曲部50cとから構成される筒状本体50と、該筒状本体50の該底部50aに形成された廃液を排出する廃液排出口58と、該廃液排出口58に連通する廃液排出路60と、を含む。
【選択図】図2
Description
24 切削ユニット
28 切削ブレード
30 筐体
31 加工室
44 排気路
45 ファン
46 排気管
48 分離手段
50 J形状筒状本体
50a 底部
50b 立ち上がり部
50c 屈曲部
54 吸気口
56 気体排出口
58 廃液排出口
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工手段と被加工物とに加工液を供給する加工液供給手段と、該チャックテーブルと該加工手段と該加工液供給手段とを囲繞する加工室と、一端が該加工室に連通すると共に他端がファンに連通して該加工室内の雰囲気を排気する排気路とを備えた加工装置であって、
該加工室と該ファンとの間の該排気路中に配設され、該加工室から該排気路に流入した排気に含まれる廃液を気体から分離する分離手段を更に具備し、
該分離手段は、一端に該加工室に連通する吸気口を有する底部と、上端部に該ファンに連通する気体排出口を有する立ち上がり部と、該底部と該立ち上がり部とを連結する屈曲部とから構成される筒状本体と、
該筒状本体の該底部に形成された廃液を排出する廃液排出口と、
該廃液排出口に連通する廃液排出路と、
を含むことを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011227656A JP5800666B2 (ja) | 2011-10-17 | 2011-10-17 | 加工装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011227656A JP5800666B2 (ja) | 2011-10-17 | 2011-10-17 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013086201A true JP2013086201A (ja) | 2013-05-13 |
JP5800666B2 JP5800666B2 (ja) | 2015-10-28 |
Family
ID=48530664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011227656A Active JP5800666B2 (ja) | 2011-10-17 | 2011-10-17 | 加工装置 |
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JP (1) | JP5800666B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107775497A (zh) * | 2017-11-07 | 2018-03-09 | 李广连 | 一种用于铁路运输设备制造的枕木打磨机 |
CN109664414A (zh) * | 2017-10-13 | 2019-04-23 | 株式会社迪思科 | 刀具切削装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11188568A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 排気装置 |
-
2011
- 2011-10-17 JP JP2011227656A patent/JP5800666B2/ja active Active
Patent Citations (1)
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JPH11188568A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 排気装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109664414A (zh) * | 2017-10-13 | 2019-04-23 | 株式会社迪思科 | 刀具切削装置 |
CN107775497A (zh) * | 2017-11-07 | 2018-03-09 | 李广连 | 一种用于铁路运输设备制造的枕木打磨机 |
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---|---|
JP5800666B2 (ja) | 2015-10-28 |
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