JP2013086038A - 水素透過用合金膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の水素透過用合金膜は、酸化性ガスで表面処理されたNb合金膜と、該Nb合金膜の両面に設けられたPd若しくはPd合金層と、を有する。
【選択図】 図1
Description
Nbを40mol%、Tiを30mol%、及びNiを30mol%の割合で配合し、不活性雰囲気下(Ar)でアーク溶解して、Nb−Ti−Ni合金のインゴットを作製した。得られたインゴットをワイヤーカットして、厚さ1mmのディスク状(直径約10mm)のNb合金膜を切り出した。
比較例の水素透過用合金膜について、下記の水素透過試験により水素透過係数を測定した。
(水素透過試験)
水素透過装置の非透過側にガス供給ラインをつなぎ、流量コントローラーを設置した。セラミック管状炉で温度コントロールし、SUS管の繋目のVCR内に水素透過用合金膜を、金属製パッキンを用いて固定した。透過側出口には流量計を設置し、水素透過量を測定した。具体的には、水素透過用合金膜の両側(非透過側及び透過側)を拡散ポンプにより排気して3×10−4Pa以下の真空にした後、試験温度(400℃(673K)、450℃(723K)、500℃(773K)、550℃(823K)、600℃(873K))に加熱した。その後、純水素(99.99999%)を非透過側に0.4MPa、透過側に0.1MPa導入し、流量法により非透過側圧力P1及び透過側圧力P2を測定した。なお、用いた流量計及び試験時の条件は以下のとおりである。
流量計:コフロック製3300型、水素用、フルスケール1cc/分
供給側圧力:0.4MPa
透過側圧力:0.1MPa
透過面積:φ5.6mm(24.6mm2)
水素供給方法:流通式
使用ガス:純水素(99.99999%)
J:水素透過速度(molH2/m2・s)、Q:水素透過量(mol/s)、S:透過面積、P1:非透過側圧力、P2:透過側圧力、d:膜厚、φ:水素透過係数
比較例と同様にして厚さ1mmのディスク状(直径約10mm)のNb合金膜を切り出した。次に、切り出したNb合金膜を電気炉内で、以下の条件で表面処理した。
(1)大気中、300℃で1時間加熱
(2)大気中、400℃で1時間加熱
(3)大気中、500℃で1時間加熱
(4)大気中、600℃で1時間加熱
(5)大気中、700℃で1時間加熱
(6)大気中、300℃で2時間加熱
(7)大気中、400℃で2時間加熱
(8)大気中、500℃で2時間加熱
(9)大気中、600℃で2時間加熱
(10)大気中、700℃で2時間加熱
試験温度を500℃に設定して上記と同様に水素透過試験を行った。得られた結果を表1に示す。
Claims (3)
- 酸化性ガスで表面処理されたNb合金膜と、該Nb合金膜の両面に設けられたPd若しくはPd合金層と、を有する、水素透過用合金膜。
- 前記Nb合金膜が、Nbを30〜50mol%、Tiを20〜40mol%、及び、Niを20〜40mol%含む合金からなり、厚みが1〜10000μmである、請求項1に記載の水素透過用合金膜。
- 前記Pd層若しくはPd合金層の厚みが1〜1000nmである、請求項1又は2に記載の水素透過用合金膜。
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