JP2013079791A - 極低温冷凍機及びクライオポンプ及びディスプレーサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ディスプレーサ13,14を駆動するモータMを冷却時の回転方向とは逆方向に回転させる逆転昇温可能な二段式のGMタイプの極低温冷凍機であって、第2段目ディスプレーサ14をディスプレーサ筒14Aとその外周面に形成された樹脂膜14Bとにより構成し、樹脂膜14Bの高温側の厚さを低温側に対して薄くなるよう設定する。
【選択図】図1
Description
ディスプレーサを駆動するモータを冷却時の回転方向とは逆方向に回転させる逆転昇温可能な2段式のGMタイプの極低温冷凍機であって、
前記ディスプレーサの外周面に樹脂を配設すると共に、
前記樹脂の厚さを、低温側に対して高温側を薄くしたことを特徴とする極低温冷凍機により解決することができる。
パージガスを供給及び排出可能な構成とされた真空容器と、
該真空容器内に配設されたクライオパネルと、
該クライオパネルを冷却する前記極低温冷凍機と、
を有することを特徴とするクライオポンプにより解決することができる。
極低温冷凍機のシリンダー内に配設されると共に、外周面に樹脂が配設されたディスプレーサであって、
前記樹脂の厚さを、低温側に対して高温側を薄くしたことを特徴とするディスプレーサにより解決することができる。
2 クライオポンプ
10 圧縮機
11 第1段目シリンダー
12 第2段目シリンダー
13 第1段目ディスプレーサ
14,34,35,36 第2段目ディスプレーサ
14A,34A,35A,36A ディスプレーサ筒
14B,34B,35B,36B 樹脂膜
15 クランク機構
16 冷媒ガス流路
17,18 蓄冷材
19 第1段目冷却ステージ
20 第2段目冷却ステージ
21 第1膨張室
22 第2膨張室
23 中空空間
24 中空空間
29 シールド
30 クライオパネル
32 ルーバ
33 真空容器
M モータ
H 高温側
L 低温側
DL 低温側ディスプレーサ厚さ
DH 高温側ディスプレーサ厚さ
RL 低温側樹脂膜厚さ
RH 高温側樹脂膜厚さ
Claims (7)
- ディスプレーサを駆動するモータを冷却時の回転方向とは逆方向に回転させる逆転昇温可能な二段式のGMタイプの極低温冷凍機であって、
前記ディスプレーサの外周面に樹脂を配設すると共に、
前記樹脂の厚さを、低温側に対して高温側を薄くしたことを特徴とする極低温冷凍機。 - 前記樹脂の厚さを、低温側から高温側に向け連続的に薄くしたことを特徴とする請求項1記載の極低温冷凍機。
- 前記樹脂の厚さを、低温側から高温側に向け段階的に薄くしたことを特徴とする請求項1記載の極低温冷凍機。
- パージガスを供給及び排出可能な構成とされた真空容器と、
該真空容器内に配設されたクライオパネルと、
該クライオパネルを冷却する請求項1乃至3のいずれか一項に記載の極低温冷凍機と、
を有することを特徴とするクライオポンプ。 - 極低温冷凍機のシリンダー内に配設されると共に、外周面に樹脂が配設されたディスプレーサであって、
前記樹脂の厚さを、低温側に対して高温側を薄くしたことを特徴とするディスプレーサ。 - 前記樹脂の厚さを、低温側から高温側に向け連続的に薄くしたことを特徴とする請求項5記載のディスプレーサ。
- 前記樹脂の厚さを、低温側から高温側に向け段階的に薄くしたことを特徴とする請求項5記載のディスプレーサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011221265A JP5744692B2 (ja) | 2011-10-05 | 2011-10-05 | 極低温冷凍機及びクライオポンプ及びディスプレーサ |
TW101130256A TWI477725B (zh) | 2011-10-05 | 2012-08-21 | Very low temperature refrigerators, cryopumps and displacers |
CN201210375983.8A CN103032986B (zh) | 2011-10-05 | 2012-09-29 | 超低温制冷机及低温泵以及置换器 |
US13/632,252 US9182156B2 (en) | 2011-10-05 | 2012-10-01 | Cryogenic refrigerator, cryopump and displacer |
KR1020120110362A KR101582923B1 (ko) | 2011-10-05 | 2012-10-05 | 극저온 냉동기 및 크라이오펌프 및 디스플레이서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011221265A JP5744692B2 (ja) | 2011-10-05 | 2011-10-05 | 極低温冷凍機及びクライオポンプ及びディスプレーサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013079791A true JP2013079791A (ja) | 2013-05-02 |
JP5744692B2 JP5744692B2 (ja) | 2015-07-08 |
Family
ID=48020145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011221265A Active JP5744692B2 (ja) | 2011-10-05 | 2011-10-05 | 極低温冷凍機及びクライオポンプ及びディスプレーサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9182156B2 (ja) |
JP (1) | JP5744692B2 (ja) |
KR (1) | KR101582923B1 (ja) |
CN (1) | CN103032986B (ja) |
TW (1) | TWI477725B (ja) |
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2012
- 2012-08-21 TW TW101130256A patent/TWI477725B/zh active
- 2012-09-29 CN CN201210375983.8A patent/CN103032986B/zh active Active
- 2012-10-01 US US13/632,252 patent/US9182156B2/en active Active
- 2012-10-05 KR KR1020120110362A patent/KR101582923B1/ko active IP Right Grant
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CN103032986A (zh) | 2013-04-10 |
TW201337191A (zh) | 2013-09-16 |
KR101582923B1 (ko) | 2016-01-07 |
JP5744692B2 (ja) | 2015-07-08 |
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US9182156B2 (en) | 2015-11-10 |
TWI477725B (zh) | 2015-03-21 |
KR20130037185A (ko) | 2013-04-15 |
US20130086926A1 (en) | 2013-04-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140115 |
|
A977 | Report on retrieval |
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