JP2016118372A - 極低温冷凍機および極低温冷凍機の運転方法 - Google Patents
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- ヘリウムを膨張させることによって4[K]以下の寒冷を発生させる極低温冷凍機であって、
高圧のヘリウムを膨張させる膨張器と、
前記膨張器から戻ってきた低圧のヘリウムを圧縮して高圧のヘリウムを生成し、前記膨張器に供給する圧縮機とを備え、
前記膨張器内のヘリウムの温度が2.17[K]以下のとき、前記低圧のヘリウムの圧力は、横軸を温度、縦軸を圧力とするヘリウムの状態図において、ヘリウムの体積熱膨張率が0となる曲線の圧力以上であることを特徴とする極低温冷凍機。 - 前記低圧のヘリウムの圧力は15[bar]以上であることを特徴とする請求項1に記載の極低温冷凍機。
- 前記低圧のヘリウムの圧力は25[bar]以上であることを特徴とする請求項1に記載の極低温冷凍機。
- 前記高圧のヘリウムの圧力は、前記状態図におけるヘリウムの融解曲線以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の極低温冷凍機。
- 前記高圧のヘリウムの圧力は、35[bar]以下であることを特徴とする請求項4に記載の極低温冷凍機。
- 前記ヘリウムは、ヘリウム4であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の極低温冷凍機。
- 前記膨張器は、ヘリウム膨張室と、前記ヘリウム膨張室を外包する熱交換器と、を備え、
前記極低温冷凍機は、
前記極低温冷凍機にヘリウムを供給するよう前記極低温冷凍機に連結されているヘリウムタンク部と、
前記ヘリウム膨張室及び/または前記熱交換器の温度に基づいて前記ヘリウムタンク部から前記極低温冷凍機へのヘリウムの供給を開始するよう前記ヘリウムタンク部を制御するヘリウムタンク制御部と、をさらに備えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の極低温冷凍機。 - 前記極低温冷凍機は、前記ヘリウム膨張室及び/または前記熱交換器の温度を測定するよう前記膨張器に取り付けられ、測定温度を前記ヘリウムタンク制御部に出力するよう前記ヘリウムタンク制御部と通信可能に接続されている温度センサをさらに備え、
前記ヘリウムタンク部は、ヘリウムタンクと、前記ヘリウムタンクを前記極低温冷凍機に連結する連結配管と、前記連結配管に設置されたバルブと、を備え、
前記ヘリウムタンク制御部は、前記測定温度を温度しきい値と比較するよう構成されている温度比較部と、前記測定温度が前記温度しきい値より高いとき前記バルブを閉鎖し前記測定温度が前記温度しきい値以下のとき前記バルブを開放するよう前記温度比較部からの入力に従って前記バルブを制御するよう構成されているバルブ制御部と、を備え、前記温度しきい値は、2.17[K]より高く5[K]以下の範囲から予め定められていることを特徴とする請求項8に記載の極低温冷凍機。 - 前記ヘリウムタンク部は、前記圧縮機の低圧側に連結されていることを特徴とする請求項8または9に記載の極低温冷凍機。
- ヘリウム膨張室を有する第1膨張器と、第1圧縮機と、前記第1膨張器から第1低圧のヘリウムを回収し前記第1圧縮機から第1高圧のヘリウムを供給するよう前記第1膨張器を前記第1圧縮機に連結する第1ヘリウムガスラインと、を備える第1冷却部と、
前記ヘリウム膨張室と熱的に接続されたヘリウム受入室を有する第2膨張器と、第2圧縮機と、前記第1ヘリウムガスラインから分離され、前記第2膨張器から第2低圧のヘリウムを回収し前記第2圧縮機から第2高圧のヘリウムを供給するよう前記第2膨張器を前記第2圧縮機に連結する第2ヘリウムガスラインと、を備える第2冷却部と、を備え、前記第2低圧は、前記第1低圧より高いことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の極低温冷凍機。 - 高圧のヘリウムを膨張させる膨張器と、前記膨張器から戻ってきた低圧のヘリウムを圧縮して高圧のヘリウムを生成して前記膨張器に供給する圧縮機とを備える極低温冷凍機においてヘリウムを膨張させることによって4[K]以下の寒冷を発生させる運転方法であって、
前記膨張器内のヘリウムの温度を検出するステップと、
検出した温度が2.17[K]以下のとき、横軸を温度、縦軸を圧力とするヘリウムの状態図において、ヘリウムの体積熱膨張率が0となる曲線の圧力以上に前記低圧のヘリウムの圧力を設定するステップとを含むことを特徴とする極低温冷凍機の運転方法。
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