JPH11257773A - 蓄冷式冷凍機の運転方法及び蓄冷式冷凍装置 - Google Patents

蓄冷式冷凍機の運転方法及び蓄冷式冷凍装置

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JPH11257773A
JPH11257773A JP6510898A JP6510898A JPH11257773A JP H11257773 A JPH11257773 A JP H11257773A JP 6510898 A JP6510898 A JP 6510898A JP 6510898 A JP6510898 A JP 6510898A JP H11257773 A JPH11257773 A JP H11257773A
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JP
Japan
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compressor
temperature
refrigerator
stage
target temperature
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JP6510898A
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English (en)
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Yasumi Otani
安見 大谷
Hideo Hatakeyama
秀夫 畠山
Hideki Nakagome
秀樹 中込
Takashi Sasaki
高士 佐々木
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】冷凍効率の向上を図れる蓄冷式冷凍機の運転方
法及び蓄冷式冷凍装置を提供する。 【解決手段】多段膨張式の冷凍機コールドヘッド3と該
ヘッドに接続されるコンプレッサ35とを含む蓄冷式冷
凍機1を運転するに当たり、最終段冷却ステージ32の
温度が目標温度に到達するまではコンプレッサ35の入
力電力を大に設定して運転開始させ、最終段冷却ステー
ジ32の温度が目標温度に到達した後は目標温度を維持
し得るレベルまでコンプレッサ35の入力電力を下げて
運転するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、蓄冷式冷凍機の運
転方法及び蓄冷式冷凍装置に係り、特に最終段冷却ステ
ージの目標温度が液体ヘリウム温度近辺に設定される蓄
冷式冷凍機の効率向上を図れるようにして運転技術に関
する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、最近では、小型でしかも
到達温度が5K以下と十分に低い蓄冷式冷凍機が出現し
ている。これには極低温下において大きな比熱を有する
磁性蓄冷材の出現が大きく寄与している。
【0003】このような蓄冷式冷凍機、たとえばギフォ
ード・マクマホン冷凍サイクルを採用したGM冷凍機
は、室温部におかれるコンプレッサと、低温部におかれ
る膨張機と、この膨張機とコンプレッサとの間をつなぐ
蓄冷器との3つの要素で構成される。すなわち、コンプ
レッサで圧縮された冷媒ガスが吸気バルブを介して蓄冷
器に導かれ、ここで予冷された後に膨張機で膨張仕事に
相当した寒冷を発生し、再び蓄冷器を通って次に吸気さ
れる冷媒ガスを冷却するために蓄冷材を冷やしながら温
度上昇して室温に戻った後に排気バルブを介してコンプ
レッサへと返される。この行程を1サイクルとして周期
的に寒冷を発生させている。
【0004】このようなGM冷凍機では、冷却温度を下
げるために、通常、膨張機と蓄冷器とを多段構成、例え
ば2段構成に設けている。2段構成のGM冷凍機を例に
とると、1段冷却ステージは液体窒素温度(77K)レ
ベルに冷却されることが多い。このため、1段蓄冷器に
は銅、ステンレス、鉛等の蓄冷材(網状または球状物)
が用いられている。一方、2段冷却ステージ(最終段)
は20Kレベルに冷却されることが一般的である。その
ため、2段蓄冷器(最終段)の蓄冷材には鉛(球状物)
が用いられている。液体ヘリウム温度(4.2K)レベ
ルの冷却を行う場合には、2段蓄冷器の蓄冷材として鉛
よりも上記温度レベルにおいて比熱の高い磁性体、例え
ばEr3 Ni等が用いられる。そして、この場合には冷
媒としてヘリウムガスが用いられる。
【0005】ところで、このような蓄冷式冷凍機、特に
冷媒としてヘリウムガスを用い、最終段冷却ステージの
目標温度が4Kレベルに設定されるものにおいては、次
のような問題があった。
【0006】すなわち、4Kレベルでは、冷媒であるヘ
リウムガスは理想気体として扱うことができない。例え
ば、同じ等温膨張仕事をしても、その2割弱しか寒冷発
生量として取り出せない。このため、最終段冷却ステー
ジの目標温度が例えば100Kレベルの冷凍機に比べて
冷凍効率が著しく低いという問題があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来の蓄
冷式冷凍機、特に冷媒としてヘリウムガスを用い、最終
段冷却ステージの目標温度が4Kレベルに設定されるも
のにおいては、目標温度の高い冷凍機に比べて冷凍効率
が著しく低いという問題があった。そこで本発明は、冷
凍効率の向上を図れる蓄冷式冷凍機の運転方法及び蓄冷
式冷凍装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に係る運転方法では、多段膨張式の冷凍機
コールドヘッドと該ヘッドに接続されるコンプレッサと
を含む蓄冷式冷凍機を運転するに当たり、最終段冷却ス
テージの温度が目標温度に到達するまでは前記コンプレ
ッサの入力電力を大に設定して運転開始させ、最終段冷
却ステージの温度が目標温度に到達した後は目標温度を
維持し得るレベルまで上記コンプレッサの入力電力を下
げて運転するようにしている。
【0009】また、上記目的を達成するために、請求項
2に係る運転方法では、多段膨張式の冷凍機コールドヘ
ッドと該ヘッドに接続されるコンプレッサとを含む蓄冷
式冷凍機を運転するに当たり、冷凍機以外の冷却手段で
最終段冷却ステージを目標温度まで冷却し、その後に上
記冷却手段を切り離し、続いて上記目標温度を維持し得
るレベルの入力電力で前記コンプレッサを運転開始させ
るようにしている。
【0010】また、上記目的を達成するために、請求項
5に係る装置では、多段膨張式の冷凍機コールドヘッド
と該ヘッドに接続されるコンプレッサとを含む蓄冷式冷
凍機と、この蓄冷式冷凍機の最終段冷却ステージの温度
を検出する温度検出手段と、この温度検出手段によって
検出された最終段冷却ステージの温度が目標温度に到達
するまでは前記コンプレッサの入力電力を大に設定して
運転開始させ、最終段冷却ステージの温度が目標温度に
到達した後は目標温度を維持し得るレベルまで上記コン
プレッサの入力電力を下げて運転するコンプレッサ入力
制御手段とを備えている。
【0011】なお、本発明は、冷媒としてヘリウムガス
を用い、最終段冷却ステージの目標温度が液体ヘリウム
温度近辺である蓄冷式冷凍機を用いる場合に特に有効で
ある。その一例として、ギフォード・マクマホン冷凍機
を挙げることができる。
【0012】請求項1に係る運転方法及び請求項5に係
る装置では、最終段冷却ステージの温度が目標温度に到
達するまで、つまり初期冷却の期間においてはコンプレ
ッサの入力電力を大に設定して運転し、最終段冷却ステ
ージの温度が目標温度に到達した後は目標温度を維持し
得るレベルまでコンプレッサの入力電力を下げて運転す
るようにしている。
【0013】冷媒としてヘリウムガスを用い、最終段冷
却ステージの目標温度が液体ヘリウム温度近辺である蓄
冷式冷凍機の場合、最終段冷却ステージが目標温度に到
達すると、最終段蓄冷器内の無効容積に存在するヘリウ
ムガスも4Kレベルに保たれる。ヘリウムガスは、4K
レベルまで冷却されると、図3に示すように、著しく比
熱が大きくなる。この結果、無効容積に存在するヘリウ
ムガス自身が蓄冷材として機能し、蓄冷効率が大幅に向
上する。その結果、コンプレッサの入力電力(圧縮仕
事)を下げても目標温度を維持することが可能となり、
結局、最終段冷却ステージが目標温度に到達した後は、
冷凍効率の最も高い状態で運転できることになる。すな
わち、コンプレッサの入力電力を固定して運転する場合
に比べて、冷凍効率を大幅に高くすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら発明の
実施形態を説明する。図1には本発明の一実施形態に係
る蓄冷式冷凍装置、ここには2段膨張式で最終段、つま
り第2段冷却ステージの設計冷却温度が5K未満、具体
的には4.2KのGM冷凍機1を用いる装置が示されて
いる。
【0015】このGM冷凍機1は、大部分が真空容器2
の中に配置される冷凍機コールドヘッド3と室温雰囲気
中に配置されるガス供給系4とで構成されている。冷凍
機コールドヘッド3では、閉じられたシリンダ11内に
断熱材で形成されたディスプレーサ12が例えば重力方
向と平行に往復動自在に収納されている。シリンダ11
は、大径の第1シリンダ13と、この第1シリンダ13
に同軸接続された小径の第2シリンダ14とで構成され
ている。なお、第1シリンダ13および第2シリンダ1
4は、通常、薄いステンレス鋼板等で形成される。
【0016】第1シリンダ13内には、この第1シリン
ダ13のヘッド壁との間に第1段膨張室15を形成する
第1ディスプレーサ16が第1シリンダ13の内周面と
の間に所定の隙間を設けて往復動自在に配置されてい
る。同様に、第2シリンダ14内には、この第2シリン
ダ14のヘッド壁との間に第2段(最終段)膨張室17
を形成する第2ディスプレーサ18が往復動自在に配置
されている。
【0017】第1ディスプレーサ16および第2ディス
プレーサ18は、共に例えばベークライト等の断熱性樹
脂で形成されており、第2ディスプレーサ18とほぼ同
径の連結部19で軸方向に連結されている。また、第1
ディスプレーサ16および第2ディスプレーサ18の外
周面にはそれぞれ環状溝が形成されており、これら環状
溝には第1シリンダ13および第2シリンダ14との間
を無潤滑でそれぞれシールするシールリング20,21
が装着されている。
【0018】第1ディスプレーサ16の内部には第1段
の蓄冷器を構成するための流体通路22が軸方向に形成
されており、この流体通路22にはたとえば銅で作られ
たメッシュ構造の蓄冷材23が収容されている。同様
に、第2ディスプレーサ18の内部には第2段(最終
段)の蓄冷器を構成するための流体通路24が形成され
ており、この流体通路24にはEr3 Ni等のような磁
気相転移に伴う異常磁気比熱等を利用した粒状の磁性蓄
冷材からなる蓄冷材25が収容されている。
【0019】第1ディスプレーサ16の図1中上端は、
連結ロッド27およびクランク軸28を介してモータ2
9の回転軸に連結されている。したがって、モータ29
が回転すると、この回転に同期してディスプレーサ12
が図中実線矢印30で示すように、上下方向に往復動す
る。この往復動によって、第1段膨張室15及び第2段
膨張室17の容積が変化する。このことから判るよう
に、この例では第1シリンダ13のヘッド壁によって第
1段冷却ステージ31が構成され、第2シリンダ14の
ヘッド壁によって第2段(最終段)冷却ステージ32が
構成されている。
【0020】第1ディスプレーサ16の図1中上方に存
在する空間は、吸気バブル33および排気バルブ34を
介してガス供給系4に接続されている。ここで吸気バル
ブ33および排気バルブ34は、カム等の仲介のもとに
ディスプレーサ12の往復動に連動して開閉制御され
る。
【0021】ガス供給系4は、排気バルブ34を介して
吸い込んだ冷媒としてのヘリウムガスを所定の圧力に圧
縮して吸気バルブ33に供給するコンプレッサ35によ
って構成されている。
【0022】一方、第2シリンダ14のヘッド壁近傍の
外面には第2段冷却ステージ32の温度を検出するため
の抵抗温度計などからなる温度センサ36が取り付けて
あり、この温度センサ36の出力は室温雰囲気に設けら
れたコントローラ37に導入される。コントローラ37
には、予め第2段冷却ステージ32の目標温度、この例
では4.2Kという温度信号が記憶されている。そし
て、このコントローラ37は、第2段冷却ステージ32
の現実の温度が4.2K以上、具体的には初期冷却の段
階では交流電源38とコンプレッサ35との間に介装さ
れたインバータ装置39出力周波数をある値まで増加さ
せる制御を行い、第2段冷却ステージ32の現実の温度
が4.2Kに達した時点からは第2段冷却ステージ32
を目標温度に維持するようにインバータ装置39の出力
周波数を制御するように構成されている。
【0023】なお、図1中40は第1段冷却ステージ3
1に熱的に接続された熱シールド板を示し、41は第2
段冷却ステージ32に熱的に接続された超電導コイル等
の被冷却物を示し、42はコンプレッサ35で圧縮され
たヘリウムガスを水等で冷却する熱交換器を示してい
る。
【0024】モータ29を回転開始させると、ディスプ
レーサ12が下死点(図1中最上点)と上死点(図1中
最下点)との間を往復動する。この例では、1秒間に
0.3〜2.0回、たとえば1秒間に1回の割合で往復
動する。このため、第2段膨張室17は、1サイクルの
間に容積がほぼ零から最大値まで変化する。
【0025】コントローラ37に運転開始指令を与える
と、コントローラ37はインバータ装置39を制御す
る。この時点では第2段冷却ステージ32の温度が4.
2Kよりはるかに高いレベルにあるのでインバータ装置
39の出力周波数をある値まで増加させる。このような
周波数制御によって、コンプレッサ35の圧縮仕事、つ
まり入力電力は例えば5kWに保持される。
【0026】この例の場合、ディスプレーサ12が上死
点に至ると、吸気バルブ33が開き、例えば2.5MP
aのヘリウムガスが冷凍機コールドヘッド2内に流入す
る。そして、ディスプレーサ12の下死点側への移動に
伴って吸気バルブ33が閉じる。このとき、排気バルブ
34は閉じた状態を維持している。
【0027】ディスプレーサ12が下死点側へと移動を
継続しているので、2.5MPaのヘリウムガスは第1
ディスプレーサ16に形成された流体通路22を通って
第1段膨張室15へ、また第2ディスプレーサ18に形
成された流体通路24を通って第2段膨張室17へと流
れる。すなわち、2.5MPaのヘリウムガスは、蓄冷
材23,25に触れながら第1段膨張室15および第2
段膨張室17へと流れる。
【0028】ここで、ディスプレーサ12が下死点に達
すると、排気バルブ34が開く。このように排気バルブ
34が開くと、第1段膨張室15内および第2段膨張室
17内の圧力は急激に例えば0.5MPaまで低下す
る。この圧力低下でヘリウムガスが断熱膨張して寒冷を
発生する。この寒冷によって第1段冷却ステージ31お
よび第2段冷却ステージ32が徐々に冷却される。
【0029】ディスプレーサ12が再び上死点へと移動
すると、これに伴って第1段膨張室15内および第2段
膨張室17内の容積が小さくなるので、低温のヘリウム
ガスが流体通路22,24内を通過し、この通過の際に
蓄冷材23,25を冷却する。温度の上昇したヘリウム
ガスは、排気バルブ34を介して圧縮機35へと排出さ
れる。上述したサイクルが繰り返されて冷凍運転が実行
される。
【0030】このような冷凍運転が行われると、やがて
第1段冷却ステージ31は30K程度に、また第2段冷
却ステージ32は目標温度である4.2Kに冷却され
る。第2段冷却ステージ32が目標温度である4.2K
に到達すると、コントローラ37は第2段冷却ステージ
32を目標温度に維持するようにインバータ装置39の
出力周波数を制御する。この例では、インバータ装置3
9の出力周波数を減少させる。この減少によってコンプ
レッサ35の入力電力は例えば3kWに減少する。
【0031】このように、コンプレッサ35の入力電力
を減少させても、第2段冷却ステージ32の温度が急激
に上昇するようなことはない。すなわち、流体通路24
及び蓄冷材25によって構成された最終段蓄冷器内に
は、必ず無効容積が存在している。第2段冷却ステージ
32が目標温度である4.2Kに到達すると、上述した
無効容積に存在するヘリウムガスも4Kレベルに保たれ
る。先に説明したように、ヘリウムガスは、4Kレベル
まで冷却されると、図3に示すように、著しく比熱が大
きくなる。この結果、無効容積に存在するヘリウムガス
自身が蓄冷材として機能し、蓄冷効率が大幅に向上す
る。その結果、コンプレッサ35の入力電力(圧縮仕
事)を下げても第2段冷却ステージ32の温度が急激に
上昇するようなことはない。そして、最終的に、コンプ
レッサ35の入力電力は、第2段冷却ステージ32を目
標温度に維持し得る値に抑えられる。勿論、熱負荷の増
加によって第2段冷却ステージ32の温度が上昇しよう
としたときにはコンプレッサ35の入力電力を増加させ
る制御が行われる。したがって、コンプレッサ35の入
力電力を固定して運転する場合に比べて、冷凍効率の最
も高い状態で運転できることになる。
【0032】図2には本発明に係る運転方法を実際に実
施したときの第2段冷却ステージの温度変化およびコン
プレッサの入力電力変化の例が示されている。横軸は冷
凍機を運転開始した時からの時間を示している。
【0033】初期冷却ではコンプレッサに5kWという
大きな入力電力を注入しているので、約3時間で室温か
ら3Kまで温度を下げることができた。3.5時間後に
コンプレッサの入力電力を3kWに下げた。このときの
温度上昇は0.2K程度であつた。以後、コンプレッサ
の入力電力は3kWに維持され、この状態で温度は3.
2Kに維持された。このことからも、無効容積に存在す
るヘリウムガスの大きな比熱が有効に作用していること
が立証された。
【0034】なお、上述した例では、初期冷却時にコン
プレッサ35に過剰な入力電力を注入しているが、例え
ば液体ヘリウム槽と熱伝導部材等を組み合わせた冷凍機
以外の冷却手段によって第2段冷却ステージ32を目標
温度まで冷却し、その後に上記冷却手段を切り離し、続
いて目標温度を維持し得るレベルの入力電力でコンプレ
ッサ35を運転開始させるようにしてもよい。このよう
にすると、目標温度まで冷却するのに要する時間を短縮
することができるばかりか、小型のコンプレッサの使用
が可能となる。
【0035】また、上述した例では、膨張空間を構成す
るディスプレーサが蓄冷材容器を兼ねているが、ディス
プレーサと蓄冷材容器とを分離させたものにも本発明を
適用できることは勿論で、さらにGM冷凍機に限られる
ものでもない。
【0036】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、定常状
態において、最高の冷凍効率で運転することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る蓄冷式冷凍装置の構
成図
【図2】同装置を模擬した実験結果を説明するための図
【図3】ヘリウムガスの温度に対する比熱特性を示す図
【符号の説明】
1…GM冷凍機 2…真空容器 3…冷凍機コールドヘッド 4…ガス供給系 11…シリンダ 12…ディスプレーサ 13…第1シリンダ 14…第2シリンダ 15…第1段膨張室 16…第1ディスプレーサ 17…第2段膨張室 18…第2ディスプレーサ 20,21…シールリング 23,25…蓄冷材 31…第1段冷却ステージ 32…第2段冷却ステージ 35…コンプレッサ 36…温度センサ 37…コントローラ 38…交流電源 39…インバータ装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 高士 神奈川県横浜市鶴見区末広町2丁目4番地 株式会社東芝京浜事業所内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多段膨張式の冷凍機コールドヘッドと該ヘ
    ッドに接続されるコンプレッサとを含む蓄冷式冷凍機を
    運転するに当たり、最終段冷却ステージの温度が目標温
    度に到達するまでは前記コンプレッサの入力電力を大に
    設定して運転開始させ、最終段冷却ステージの温度が目
    標温度に到達した後は目標温度を維持し得るレベルまで
    上記コンプレッサの入力電力を下げて運転することを特
    徴とする蓄冷式冷凍機の運転方法。
  2. 【請求項2】多段膨張式の冷凍機コールドヘッドと該ヘ
    ッドに接続されるコンプレッサとを含む蓄冷式冷凍機を
    運転するに当たり、冷凍機以外の冷却手段で最終段冷却
    ステージを目標温度まで冷却し、その後に上記冷却手段
    を切り離し、続いて上記目標温度を維持し得るレベルの
    入力電力で前記コンプレッサを運転開始させることを特
    徴とする蓄冷式冷凍機の運転方法。
  3. 【請求項3】前記蓄冷式冷凍機は冷媒としてヘリウムガ
    スを用いており、前記最終段冷却ステージの目標温度は
    液体ヘリウム温度近辺であることを特徴とする請求項1
    または2に記載の蓄冷式冷凍機の運転方法。
  4. 【請求項4】前記蓄冷式冷凍機は、ギフォード・マクマ
    ホン冷凍機であることを特徴とする請求項1または2に
    記載の蓄冷式冷凍機の運転方法。
  5. 【請求項5】多段膨張式の冷凍機コールドヘッドと該ヘ
    ッドに接続されるコンプレッサとを含む蓄冷式冷凍機
    と、この蓄冷式冷凍機の最終段冷却ステージの温度を検
    出する温度検出手段と、この温度検出手段によって検出
    された最終段冷却ステージの温度が目標温度に到達する
    までは前記コンプレッサの入力電力を大に設定して運転
    開始させ、最終段冷却ステージの温度が目標温度に到達
    した後は目標温度を維持し得るレベルまで上記コンプレ
    ッサの入力電力を下げて運転するコンプレッサ入力制御
    手段とを具備してなることを特徴とする蓄冷式冷凍装
    置。
  6. 【請求項6】前記蓄冷式冷凍機は冷媒としてヘリウムガ
    スを用いており、前記最終段冷却ステージの目標温度は
    液体ヘリウム温度近辺であることを特徴とする請求項5
    に記載の蓄冷式冷凍装置。
  7. 【請求項7】前記蓄冷式冷凍機は、ギフォード・マクマ
    ホン冷凍機であることを特徴とする請求項5に記載の蓄
    冷式冷凍装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI683079B (zh) * 2016-03-16 2020-01-21 日商住友重機械工業股份有限公司 可動工作台冷卻裝置及可動工作台冷卻系統
CN114459166A (zh) * 2020-11-09 2022-05-10 住友重机械工业株式会社 超低温制冷机及超低温制冷机的启动方法

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TWI683079B (zh) * 2016-03-16 2020-01-21 日商住友重機械工業股份有限公司 可動工作台冷卻裝置及可動工作台冷卻系統
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