KR101885761B1 - 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법 - Google Patents

크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따르면, 디스플레이서의 세정이 효율적이면서도 단시간에 완벽하게 이루어짐으로 하여 리페어 제품으로의 교체가 요구되지 않도록 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 척킹된 디스플레이서에 에어를 분사하여 이물질 제거 및 약품을 제거하게 되는 제1세정장치와, 상기 제1세정장치로부터 이물질이 1차 제거된 상기 디스플레이서를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨진 수조에 투입하여 초음파 세척이 진행되는 제2세정장치를 포함하는 것을 한다.

Description

크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법{DISPLACER CLEANING DEVICE OF CRYOPUMP AND METHOD THEREOF}
본 발명은 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저온을 이용하여 고진공을 형성하는 크라이오 펌프에서 디스플레이서의 재생 효율의 향상을 도모할 수 있는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(fabrication; 'FAB') 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다. 팹 공정은 반도체 기판 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마 공정과, 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 반도체 기판의 소정 영역에 특정 이온을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 반도체 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 상기 막 또는 패턴이 형성된 반도체 기판의 표면을 검사하기 위한 검사 공정 등을 포함한다.
각각의 단위 공정은 대부분 고진공 상태에서 수행되어 지며, 이들 공정이 수행되는 공정 챔버를 고진공 상태로 형성하기 위하여 크라이오 펌프(Cryopump), 확산 펌프(Diffusion Pump) 또는 터보 분자 펌프(Turbo molecular pump)가 주로 사용되고 있다.
여기서 크라이오 펌프를 간략하게 살펴보면, 크라이오 펌프는 실린더 내에서 디스플레이서가 왕복 운동하는 것에 의해 팽창실에서 한랭을 발생시키는 냉동기와, 진공 용기와, 진공 용기 내에 수용되며 팽창실에서 발생된 한랭에 의해 냉각되는 크라이오 패널과, 진공 용기 내에 수용되어 상기 팽창실에서 발생된 한랭에 의해 냉각됨과 함께, 상기 크라이오 패널을 당해 진공 용기의 복사열로부터 보호하는 컵 형상의 실드와, 실드의 상기 컵 형상의 상부 개구부에 배치되는 루버와, 재생 시에 크라이오 패널 및 실드를 승온시키는 승온 장치를 포함하며, 크라이오 패널 및 실드에 진공 용기 내의 분자를 응고 또는 흡착시키게 되는 구성으로써, 극저온(cryo-)을 이용하여 차가운 표면에 기체 분자들이 응축 또는 흡착 되도록 하여 제거하는 원리를 이용한다. 이때, 극저온을 형성하기 위한 냉매로는 액체 질소 또는 압축된 헬륨을 이용한다.
냉각된 표면이 기체 분자를 제거하는데 있어서 냉온 응축(Cryocondensation)과 냉온 흡착(Cryosorption)의 원리를 이용하게 되며, 냉온 응축의 경우는 증기압이 낮은 기체들이 120K이하에서 액화되어 어는 것을 의미하며, 80K에서 물 분자가 먼저 제거되고, 이어서 질소, 산소 및 아르곤이 제거된다. 냉온 흡착은 15K의 극저온에서 헬륨, 수소 및 네온과 같은 증기압이 높은 기체들의 운동 에너지를 빼앗아 표면에서 움직이지 못하게 함을 의미한다.
이와 같이 크라이오 펌프는 진공을 형성하기 위해 기체 분자를 활성탄에 저장하는 방식을 채택하고 있다. 이로 인하여 일정 기간 사용하게 되면 진공을 형성시키는 능력이 저하될 수 밖에 없으며, 이에 따라서 재생용 가스 예컨대, 질소 가스와 같은 불활성 가스를 펌프 내부에 주입하여 활성탄의 표면에 흡착된 기체 분자를 제거하는 재생 작업(regeneration cycle)이 요구된다.
그런데, 상기 재생 작업을 수행하는 동안, 상기 크라이오 펌프와 연결되어 있는 전체 공정 챔버의 작동이 차단되어 공정 시간이 지연되는 문제가 발생되며, 더욱이 확실한 기체 분자의 제거가 이루어지지 않는 단점이 있었다.
따라서, 근래에는 크라이오 펌프를 챔버로부터 분리하고, 분해 작업을 거쳐 각 부품 세정 작업을 진행하는 방식이 채택되고 있으며, 이 과정에서 디스플레이서의 효율적인 세정 방법이 개발되지 않아서 고비용의 디스플레이서 리페어 제품으로 교체 사용하여야 하는 문제점이 있었다.
대한민국 특허공개번호 제10-2013-0037185(공개일 2013.04.15) 대한민국 특허공개번호 제10-2010-0020038(공개일 2010.02.19)
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 디스플레이서의 세정이 효율적이면서도 단시간에 완벽하게 이루어짐으로 하여 리페어 제품으로의 교체가 요구되지 않도록 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 척킹된 디스플레이서에 에어를 분사하여 이물질 제거 및 약품을 제거하게 되는 제1세정장치와, 상기 제1세정장치로부터 이물질이 1차 제거된 상기 디스플레이서를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨진 수조에 투입하여 초음파 세척이 진행되는 제2세정장치를 포함하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 1세정장치와 상기 제2세정장치가 적어도 일회 이상씩 번갈아 시행되어 세정 공정이 진행되는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 중성세제는 ALT파워클리너이며, 상기 초순수와 2:1 비율로 혼합되는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1세정장치는, 내부에 공간을 형성하는 제1본체와, 상기 제1본체의 상부측에 설치되는 제1프레임과, 상기 제1프레임에 설치되어 상기 디스플레이서를 위치시키는 제 1고정부와, 상기 제1고정부에 위치된 상기 디스플레이서를 밀착 고정시키는 제1푸셔부와, 상기 제1푸셔부와 상기 제1고정부에 위치 고정된 상기 디스플레이서에 상기 제1본체에 설치되는 에어펌프로부터 공급되는 에어가 분사되도록 상기 제1고정부에 연결 설치되는 제1분사노즐과, 상기 제1분사노즐로부터 제거된 이물질이 낙하하는 포집부로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제거되는 이물질이 상기 포집부에 비산되지 않고 쌓이도록 상기 제1프레임에 마주하여 경사지게 제1경사판이 더 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2세정장치는, 내부에 공간을 형성하는 제2본체와, 상기 제2본체의 내부에 설치되어 상기 혼합한 약품이 담겨지고 상기 디스플레이서의 초음파 세정이 이루어지는 수조와, 상기 수조의 하부에 설치되어 상기 약품을 히팅시키는 히팅부와, 상기 제2본체의 상부측에 설치되는 제2프레임과, 상기 제2프레임에 설치되어 상기 디스플레이서를 위치시키는 제2고정부와, 상기 제2고정부에 위치된 상기 디스플레이서를 밀착 고정시키는 제2푸셔부와, 상기 제2푸셔부와 상기 제2고정부에 위치 고정된 상기 디스플레이서에 상기 수조와 연결된 펌프를 통하여 상기 디스플레이서에 상기 약품이 분사되도록 상기 제2고정부에 연결 설치되는 제2분사노즐로 구성되는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2분사노즐로부터 분사되는 상기 약품이 상기 수조에 안내되도록 상기 제2프레임에 마주하여 경사지게 제2경사판이 더 설치될 수 있다.
또한, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 제1세정장치를 통해 척킹된 상기 디스플레이서에 에어를 분사하여 이물질을 제거하는 제1단계와, 상기 이물질이 1차 제거된 상기 디스플레이서를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨진 제2세정장치의 수조에 투입하여 초음파 세척이 진행되는 제2단계를 포함하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 초음파 세척이 이루어지는 제2단계 이후에, 상기 디스플레이서를 상기 제2세정장치 상에 위치 고정시킨 후 상기 약품을 분사하여 세척하는 제3단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2단계에서 상기 수조에 담겨진 상기 약품을 40℃~60℃로 히팅시키는 과정이 더 포함되며, 상기 초음파 세척은 2h~4h 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2단계에서 상기 중성세제는 ALT파워클리너이며, 상기 초순수와 2:1 비율로 혼합되는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1단계와 상기 제2단계가 적어도 일회 이상씩 번갈아 시행되어 세정 공정이 진행될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1단계와 상기 제2단계의 세정 이후에, 상기 디스플레이서의 표면의 남겨진 이물질 및 남은 약품의 제거 후, 베이킹 작업을 24시간 진행될 수 있다.
본 발명에 의한 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법은, 크라이오 펌프의 재생 작업 시 분해된 디스플레이서를 제1, 2세정장치를 통해 세정이 효율적이면서도 단시간에 완벽하게 이루어는 효과가 있다.
또한, 본 발명에서는 디스플레이서의 리페어 제품 사용이 필요치 않게 되어 비용 절감의 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 제1세정장치의 정면도이고,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제1세정장치의 평면도이고,
도 3은 본 발명에서 제1고정부와 제1분사노즐을 보여주는 부분 단면도이고,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 제2세정장치의 정면도이고,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 제2세정장치의 평면도이고,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법을 보여주는 공정도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본 발명 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
여기서 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 제1세정장치의 정면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제1세정장치의 평면도이고, 도 3은 본 발명에서 제1고정부와 제1분사노즐을 보여주는 부분 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 제2세정장치의 정면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 제2세정장치의 평면도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법을 보여주는 공정도이다.
도 1 내지 도 5에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 크라이오 펌프의 디스플레이서(1)의 세정장치는, 크게 제1세정장치(100)와 제2세정장치(200)로 구성되며, 제1세정장치(100)는 세정이 요구되는 디스플레이서(1)에 에어를 직접 분사하여 1차적으로 이물질 제거 및 약품을 제거하게 되고, 제2세정장치(200)에서는 제1세정장치(100)로부터 이물질이 제거된 디스플레이서(1)를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품을 통해 초음파 세척이 진행되는 것이다.
다시 도 1 내지 도 2를 참고하면 제1세정장치(100)는, 제1본체(110)와, 제1본체(110)의 상부측에 설치되는 제1프레임(120)과, 제1프레임(120)에 설치되어 디스플레이서(1)를 위치시키는 제1고정부(130)와, 제1고정부(130)에 위치된 디스플레이서(1)를 밀착 고정시키는 제1푸셔부(140)와, 제1푸셔부(140)와 제1고정부(130)에 위치 고정된 디스플레이서(1)에 에어펌프(160)로부터 공급되는 에어를 직접 분사하는 제1분사노즐(150)과, 제1분사노즐(150)로부터 제거된 이물질이 낙하되는 포집부(170)로 구성될 수 있다.
먼저, 제1본체(110)는 사각의 틀 형상으로 금속재 또는 합성수지재로 제작될 수 있으며, 내부에 공간이 마련되고, 전기적으로 연결된 제어판(112)이 설치되어, 에어펌프(160) 및 제1분사노즐(150) 등을 제어할 수 있다.
그리고 제1본체(110)의 바닥에는 캐스터(114)가 설치되어 이동이 용이할 수 있다
제1본체(110)의 상부측에 설치되는 제1프레임(120)은, 수직바와 수평바가 상호 용접 등으로 연결되어 "П" 형상을 가지며, 이 "П" 형상이 제1본체(110)상에 폭 방향으로 간격 이격되어 마주하도록 설치될 수 있다.
제1프레임(120)의 "П" 형상에 대해서는 한정하지는 않는다.
그리고 제1고정부(130)는, 원통형의 디스플레이서(1)를 맞대어 위치되도록 원판 형태로 제1프레임(120)에 고정 설치될 수 있다.
제1고정부(130)의 단부 면적은 디스플레이서(1)의 크기와 같거나 다소 클 수 있다.
제1고정부(130)와 대향하는 일직선 상에 설치되는 제1푸셔부(140)는, 디스플레이서(1)를 제1고정부(130)에 밀착 고정시키기 위한 것으로서, 디스플레이서(1)를 내부에 일부 길이로 포함할 수 있는 크기의 원통형 하우징(142)과, 하우징(142)의 후단에 전, 후진 레버(144)가 연결 설치되는 구성이며, 레버(144)의 회동 작동으로 하우징(142)의 내부에 디스플레이서(1)를 포함시킴과 동시에 미는 전진 작동으로 제1고정부(130)에 밀착 위치시키게 된다.
여기서 하우징(142)은 아크릴 소재일 수 있으며, 일측이 개방된 원통형으로 내부에 디스플레이서(1)를 일부 포함시킴과 동시에 에어의 분사에 의한 이물질 또는 약품의 비산을 방지할 수 있다.
바람직하게 제1고정부(130)와 제1푸셔부(140)는 제1프레임(120) 상에 적어도 하나 이상 설치되어 여러 개의 디스플레이서(1)의 세정 작업이 동시에 이루어질 수 있다.
그리고 제1고정부(130)에는 도 3에서와 같이, 내부로 제1분사노즐(150)이 설치되어지며, 이 제1분사노즐(150)의 후단으로 밸브(154)를 포함하는 호스(152)가 연결되고, 호스(152)는 제1본체(110)의 내부에 설치되는 에어펌프(160)에 연결되어 에어를 공급받게 된다.
여기서 에어 또는 질소 가스와 같은 불활성 가스가 공급될 수도 있다.
한편, 포집부(170)는 제1본체(110)의 내부에 상방을 향하여 개방된 사각의 틀 형상으로 금속재로 이루어지며, 제1고정부(130)와 제1푸셔부(140)의 하부측에 위치하여 제1분사노즐(150)의 작동으로부터 제거된 이물질이 자연스럽게 낙하하여 모집이 이루어지도록 하였다.
덧붙여, 제거되는 이물질이 포집부(170)에 비산되지 않고 쌓이도록 제1프레임(120)에 고정 설치되되, 제1고정부(130)와 제1푸셔부(140)의 하부측에 서로 마주하여 경사진 제1경사판(172)이 더 설치될 수 있다.
제1경사판(172)의 경사는 중앙을 향하여 하방으로 경사지게 설치될 수 있다.
그리고 도 4 내지 도 5를 참고하면 제2세정장치(200)는, 제2본체(210)와, 제2본체(210)의 내부에 설치되어 디스플레이서(1)의 초음파 세정이 이루어지는 수조(220)와, 수조(220)의 하부에 설치되어 약품을 히팅시키는 히팅부(230)와, 제2본체(210)의 상부측에 설치되는 제2프레임(240)과, 제2프레임(240)에 설치되어 디스플레이서(1)를 위치시키는 제2고정부(250)와, 제2고정부(250)에 위치된 디스플레이서(1)를 밀착 고정시키는 제2푸셔부(260)와, 제2푸셔부(260)와 제2고정부(250)에 위치 고정된 디스플레이서(1)에 약품을 분사하는 제2분사노즐(270)로 구성되는 것이다.
먼저, 제2본체(210)는 사각의 틀 형상으로 금속재 또는 합성수지재로 제작될 수 있으며, 내부에 공간이 마련되고, 전기적으로 연결된 제어판(212)이 설치되어 하기에서 설명하는 펌프(280) 및 제2분사노즐(270) 등을 제어할 수 있다.
그리고 제2본체(210)의 바닥에는 캐스터(214)가 설치되어 이동이 용이할 수 있다
제2본체(210)의 내부로는 혼합한 약품이 담겨지고 디스플레이서(1)의 초음파 세정이 이루어지는 수조(220)가 설치되며, 금속재로 제작되어 일정 내부 공간을 형성하고, 상방이 개방된 수조(220)에는 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨지게 된다.
바람직하게 중성세제는 ALT(오렌지발효 세정제) 파워클리너이며, 초순수와는 2:1 비율로 혼합될 수 있다.
그리고 수조(220)의 하부로는 미도시되었지만 담겨진 약품을 배출시키기 위한 배출구가 형성될 수 있으며, 수조(220)의 내부에 담겨진 약품을 기설정 온도로 상승시키기 위한 히팅부(230)가 설치될 수 있고, 히팅부(230)는 열선 등으로 이루어질 수 있다.
히팅부(230)를 통해 데워지는 약품의 온도는 대략 40℃~60℃로 히팅시키게 되며, 더욱 바람직하게는 50℃가 적당할 수 있다.
여기서 약품의 적당한 50℃온도라는 뜻은 초음파 세정시 세정 효과를 극대화시킬 수 있는 온도를 의미할 수 있다.
또한, 수조(220)의 하부에는 히팅부(230)와 같이 초음파장치(222)가 다수개 설치되어 초음파세정이 가능할 수 있다.
제2본체(210)의 상부측에 설치되는 제2프레임(240)은, 수직바와 수평바가 상호 용접 등으로 연결되어 "П" 형상을 가지며, 이 "П" 형상이 제2본체(240)상에 폭 방향으로 간격 이격되어 마주하도록 설치될 수 있다.
제2프레임(240)의 "П" 형상에 대해서는 한정하지는 않는다.
그리고 제2고정부(250)는, 원통형의 디스플레이서(1)를 맞대어 위치되도록 원판 형태로 제2프레임(240)에 고정 설치될 수 있다.
제2고정부(250)의 단부 면적은 디스플레이서(1)의 크기와 같거나 다소 클 수 있다.
제2고정부(250)와 대향하는 일직선 상에 설치되는 제2푸셔부(260)는, 디스플레이서(1)를 제2고정부(250)에 밀착 고정시키기 위한 것으로서, 디스플레이서(1)를 내부에 일부 길이로 포함할 수 있는 크기의 원통형 하우징(262)과, 하우징(262)의 후단에 전, 후진 레버(264)가 연결 설치되어 레버(264)의 회동으로 하우징(262)의 내부에 포함된 디스플레이서(1)를 밀어서 제2고정부(250)에 밀착 위치시키게 된다.
여기서 하우징(262)은 아크릴 소재일 수 있으며, 일측이 개방된 원통형으로 내부에 디스플레이서(1)를 일부 포함하여 약품 분사에 의한 이물질 또는 약품의 비산을 방지할 수 있다.
바람직하게 제2고정부(250)와 제2푸셔부(260)는 적어도 하나 이상 설치되어 복수개가 동시에 세정 작업이 이루어질 수 있다.
그리고 제2고정부(250)에는 제1세정장치(100)와 같이, 내부로 제2분사노즐(270)이 설치되어지며, 이 제2분사노즐(270)의 후단으로 밸브(274)를 포함하는 호스(272)가 연결되고, 호스(272)는 제2본체(210)의 내부에 설치되는 펌프(280)에 연결되어 수조(220)내의 약품을 공급받게 된다.
덧붙여, 펌프(280)와 수조(220)에는 필터(290)가 더 설치되어 약품의 이물질을 제거하여 공급할 수 있다.
그리고 제거되는 이물질과 약품이 수조(220)에 비산되지 않고 낙하되도록 제2프레임(240)에 고정 설치되되, 제2고정부(250)와 제2푸셔부(260)의 하부측에 서로 마주하여 경사진 제2경사판(222)이 더 설치될 수 있다.
제2경사판(222)의 경사는 중앙을 향하여 하방으로 경사지게 설치될 수 있다.
상기의 제1세정장치(100)와 제2세정장치(200)는 디스플레이서(1)의 세정 공정을 위해 적어도 일회 이상씩 번갈아 시행될 수 있다.
이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법을 도 6을 참고하여 설명한다.
제1세정장치(100)를 통해 척킹된 디스플레이서(1)에 에어를 분사하여 이물질을 제거하는 제1단계(S1)와, 이물질이 1차 제거된 디스플레이서(1)를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨진 제2세정장치(200)의 수조(220)에 투입하여 초음파 세척이 진행되는 제2단계(S2)를 포함하는 것이다.
여기서 제2단계(S2) 이후에, 디스플레이서(1)를 제2세정장치(200) 상에 위치 고정시킨 후, 약품을 분사하여 세척하는 제3단계(S3)를 더 포함할 수 있으며, 마지막으로 세정 작업 완료 후, 디스플레이서(1)의 표면의 남겨진 이물질 및 남은 약품의 제거 후, 베이킹 작업을 24시간 진행될 수 있다.
상기 과정을 좀 더 자세히 설명하면, 크라이오 펌프를 챔버로부터 분리하고, 분해 작업을 거쳐 각 부품마다 세정 작업을 진행하는 방식에서 디스플레이서(1)의 표면에 흡착된 기체 분자 또는 기타 이물질 들을 제거하기 위하여 하기의 세정 공정이 진행된다.
제1단계(S1)는, 디스플레이서(1)를 제1세정장치(100)의 제1고정부(130)에 맞대어 위치시킨 후, 제1푸셔부(140)의 레버(144) 작동으로 하우징(142)을 전진 이동시켜서 디스플레이서(1)를 제1고정부(130)에 밀착 고정시킴과 동시에 하우징(142) 내부에 일부를 포함하게 된다.
이어서 제어판(112)의 온(on)으로 에어펌프(160)를 작동시키면, 에어는 개방된 밸브(154)에 의하여 호스(152)를 따라 공급되어 제1분사노즐(150)를 통해 분사됨으로써, 제1고정부(130)와 제1푸셔부(140)에 고정된 디스플레이서(1)의 내부에 흡착된 이물질을 1차적으로 제거하게 된다.
제거된 이물질은 제1경사판(172)을 따라 낙하하여 포집부(170)에 위치될 수 있다.
제2단계(S2)는 상기와 같이 제1세정장치(100)에서 1차 이물질 제거가 완료된 디스플레이서(1)를 제2세정장치(200)의 수조(220)에 담그고, 초음파장치(222)의 작동으로 수조(220)내 약품을 이용하여 초음파 세척이 실시된다.
여기서 디스플레이서(1)를 수조(220)에 담기 이전에, 약품을 히팅부(230)에 의하여 40℃~60℃로 히팅시키게 되며, 초음파 세척은 2h~4h 이루어질 수 있다.
바람직하게 약품의 히팅 온도는 50℃이고, 초음파 세척은 3h일 수 있다.
그리고 중성세제는 ALT파워클리너이며, 상기 초순수와 2:1 비율로 혼합되는 것일 수 있다.
대략 3시단의 초음파 세척이 완료되면, 디스플레이서(1)를 수조(220)로부터 빼내어 제2고정부(250)와 제2푸셔부(260)에 위치 고정시킨 후, 약품을 분사하여 세척하는 제3단계(S3)를 실시할 수 있다.
디스플레이서(1)를 제2고정부(250)에 맞대어 위치시킨 후, 제2푸셔부(260)의 레버(264) 작동으로 하우징(262)을 전진 이동시켜서 디스플레이서(1)를 제2고정부(250)에 밀착 고정시킴과 동시에 하우징(262) 내부에 일부를 포함하게 된다.
이어서 제어판(212)의 온(on)으로 펌프(280)를 작동시키면, 수조(220)의 약품이 개방된 밸브(274)에 의하여 호스(272)를 따라 공급되어 제2분사노즐(270)로 분사되어 제2고정부(250)와 제2푸셔부(260)에 고정된 디스플레이서(1)의 내부에 약품을 공급하여 세정작업이 실시될 수 있다.
제3단계(S3)까지 완료된 디스플레이서(1)는 다시 제1단계(S1)의 제1세정장치(100)를 통해 디스플레이서(1)에 스며든 약품을 제거하게 되고, 다시 제2세정장치(200)의 수조(220)에 담궈서 다시 초음파 세척을 실시하게 된다.
이때, 초음파 세척은 제2단계(S2) 보다는 시간이 줄어든 대략 30분 정도 실시할 수 있다.
그리고 다시 디스플레이서(1)를 제3단계(S3)의 세정 작업을 거칠 수도 있고, 바로 제1세정장치(100)를 통해 약품을 제거할 수도 있다.
상기와 같이 제1단계(S1)와 제2단계(S2) 및 제3단계(S3)가 적어도 일회 이상씩 번갈아 시행되어 세정이 진행될 수 있다.
그리고 디스플레이서(1)의 세정 이후에, 디스플레이서(1)의 표면의 남겨진 이물질 및 남은 약품을 수작업으로 제거 후, 베이킹 작업을 24시간 진행하여 완료할 수 있다.
따라서 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 크라이오 펌프의 재생 작업 시 분해한 디스플레이서(1)를 제1, 2세정장치(100)(200)를 통해 세정이 효율적이면서도 단시간에 완벽하게 이루어질 수 있으며, 이에 따라 디스플레이서(1)의 리페어 제품 사용이 필요치 않게 되어 비용 절감의 효과가 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하므로 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 안에서 변경 가능한 것이며, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.
1 : 디스플레이서 100, 200 : 제1, 2세정장치
110, 210 : 제1,2본체 112, 212 : 제어판
114, 214 : 캐스터 120, 240 : 제1, 2 프레임
130, 250 : 제1, 2 고정부 140, 260 : 제1, 2 푸셔부
142, 262 : 하우징 144, 264 : 레버
150, 270 : 제1, 2분사노즐 152, 272 : 호스
154, 274 : 밸브 160 : 에어펌프
170 : 포집부 172, 222 : 제1, 2 경사판
220 : 수조 222 : 초음파장치
230 : 히팅부 280 : 펌프
290 : 필터

Claims (13)

  1. 척킹된 디스플레이서에 에어를 분사하여 이물질 제거 및 약품을 제거하게 되는 제1세정장치와,
    상기 제1세정장치로부터 이물질이 1차 제거된 상기 디스플레이서를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨진 수조에 투입하여 초음파 세척이 진행되는 제2세정장치를 포함하며,
    상기 제1세정장치는,
    내부에 공간을 형성하는 제1본체와,
    상기 제1본체의 상부측에 설치되는 제1프레임과,
    상기 제1프레임에 설치되어 상기 디스플레이서를 위치시키는 제 1고정부와,
    상기 제1고정부에 위치된 상기 디스플레이서를 밀착 고정시키는 제1푸셔부와,
    상기 제1푸셔부와 상기 제1고정부에 위치 고정된 상기 디스플레이서에 상기 제1본체에 설치되는 에어펌프로부터 공급되는 에어가 분사되도록 상기 제1고정부에 연결 설치되는 제1분사노즐과,
    상기 제1분사노즐로부터 제거된 이물질이 낙하하는 포집부
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1세정장치와 상기 제2세정장치가 적어도 일회 이상씩 번갈아 시행되어 세정 공정이 진행되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 중성세제는 ALT파워클리너이며, 상기 초순수와 2:1 비율로 혼합되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    제거되는 이물질이 상기 포집부에 비산되지 않고 쌓이도록 상기 제1프레임에 마주하여 경사지게 제1경사판이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2세정장치는,
    내부에 공간을 형성하는 제2본체와,
    상기 제2본체의 내부에 설치되어 상기 혼합한 약품이 담겨지고 상기 디스플레이서의 초음파 세정이 이루어지는 수조와,
    상기 수조의 하부에 설치되어 상기 약품을 히팅시키는 히팅부와,
    상기 제2본체의 상부측에 설치되는 제2프레임과,
    상기 제2프레임에 설치되어 상기 디스플레이서를 위치시키는 제2고정부와,
    상기 제2고정부에 위치된 상기 디스플레이서를 밀착 고정시키는 제2푸셔부와,
    상기 제2푸셔부와 상기 제2고정부에 위치 고정된 상기 디스플레이서에 상기 수조와 연결된 펌프를 통하여 상기 디스플레이서에 상기 약품이 분사되도록 상기 제2고정부에 연결 설치되는 제2분사노즐,
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2분사노즐로부터 분사되는 상기 약품이 상기 수조에 안내되도록 상기 제2프레임에 마주하여 경사지게 제2경사판이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치.
  8. 제1본체와, 상기 제1본체의 상부측에 설치되는 제1프레임과, 상기 제1프레임에 설치되어 디스플레이서를 위치시키는 제 1고정부와, 상기 제1고정부에 위치된 상기 디스플레이서를 밀착 고정시키는 제1푸셔부와, 상기 제1푸셔부와 상기 제1고정부에 위치 고정된 상기 디스플레이서에 상기 제1본체에 설치되는 에어펌프로부터 공급되는 에어가 분사되도록 상기 제1고정부에 연결 설치되는 제1분사노즐과, 상기 제1분사노즐로부터 제거된 이물질이 낙하하는 포집부로 구성되는 제1세정장치를 통해 척킹된 상기 디스플레이서에 에어를 분사하여 이물질을 제거하는 제1단계와,
    상기 이물질이 1차 제거된 상기 디스플레이서를 중성세제와 초순수를 기설정 비율로 혼합된 약품이 담겨진 제2세정장치의 수조에 투입하여 초음파 세척이 진행되는 제2단계,
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 초음파 세척이 이루어지는 제2단계 이후에, 상기 디스플레이서를 상기 제2세정장치 상에 위치 고정시킨 후 상기 약품을 분사하여 세척하는 제3단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제2단계에서 상기 수조에 담겨진 상기 약품을 40℃~60℃로 히팅시키는 과정이 더 포함되며, 상기 초음파 세척은 2h~4h 이루어지는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 제2단계에서 상기 중성세제는 ALT파워클리너이며, 상기 초순수와 2:1 비율로 혼합되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 제1단계와 상기 제2단계가 적어도 일회 이상씩 번갈아 시행되어 세정공정이 진행되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 제1단계와 상기 제2단계의 세정 이후에, 상기 디스플레이서의 표면의 남겨진 이물질 및 남은 약품의 제거 후, 베이킹 작업을 24시간 진행하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정방법.
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