JP2013071148A - 周期構造の作成方法および周期構造の作成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主走査を行う主走査用偏向器5と副走査を行う副走査用偏向器6とを同時に連続的に動作させながら、パルスレーザ光源1の繰返し周波数と主走査用偏向器5の主走査周波数の関係が、整数比の関係か、整数比の関係から一定数を加減した関係になるように保って、レーザ照射スポットをレーザ照射済みスポットの一部を含むようにオーバーラップ位置を制御して二次元的に走査する。
【選択図】図1
Description
周期構造の形成幅や間欠比や方向性などのパターニングの自由度は小さくなる。加工対象物の寸法や用途に応じて、求められる周期構造の形成幅や間欠比などのパターニングは様々であるため、パターニングの自由度は大きいことが望まれる。
2 ビームエキスパンダ
3 ミラー
4 偏向器
5 主走査用偏向器
6 副走査用偏向器
7 集光レンズ
8 加工対象物
9 レーザ照射スポット
10 周期構造
20 制御手段
Claims (8)
- 加工対象物に一軸のパルスレーザをオーバーラップさせながら照射して、そのレーザ波長程度に微細な凹凸溝を方向性をもたせて周期的に形成する、周期構造の作成方法であって、主走査を行う主走査用偏向器と副走査を行う副走査用偏向器とを、連続的に動作させながら、パルスレーザ光源の繰返し周波数と主走査用偏向器の走査周波数の関係を一定に保つことで、レーザ照射スポットがレーザ照射済みスポットの一部を含むようにオーバーラップ位置を制御して、二次元的に走査することを特徴とする周期構造の作成方法。
- パルスレーザ光源の繰返し周波数と主走査用偏向器の走査周波数の関係が、整数比の関係になるように、パルスレーザ光源の繰返し周波数又は主走査用偏向器の走査周波数を定めることを特徴とする、請求項1に記載の周期構造の作成方法。
- パルスレーザ光源の繰返し周波数と主走査用偏向器の走査周波数の関係が、整数比の関係から一定数を加減した関係になるように、パルスレーザ光源の繰返し周波数又は主走査用偏向器の走査周波数を定めることを特徴とする、請求項1に記載の周期構造の作成方法。
- 複数系列のレーザ照射スポットに主走査方向のうねりを与えながら、複数系列のレーザ照射スポットの軌跡が重なる位置にだけ周期構造が形成されるように、レーザエネルギを調整して、離散的な複数の領域に間欠な周期構造を作成することを特徴とする、請求項3に記載の周期構造の作成方法。
- パルスレーザ光源の繰返し周波数か主走査用偏向器の走査周波数のいずれか、又は両方を、副走査の途中で変更することを特徴とする、請求項1に記載の周期構造の作成方法。
- パルスレーザ光源の繰返し周波数と主走査周波数の周波数比を保ったまま、両者の位相差を制御することで、レーザ照射スポットを主走査方向にシフトさせることをことを特徴とする、請求項1に記載の周期構造の作成方法。
- 前記請求項2〜請求項6のいずれか1項に記載の周期構造の作成方法における走査方法を、副走査の途中で変更して組み合わせ、又は、レーザ照射のON/OFF制御と併用することを特徴とする周期構造の作成方法。
- 加工対象物に一軸のパルスレーザをオーバーラップさせながら照射して、そのレーザ波長程度に微細な凹凸溝を方向性をもたせて周期的に形成する、周期構造の作成装置であって、パルスレーザ光源と、主走査を行う主走査用偏向器と、副走査を行う副走査用偏向器と、パルスレーザ光源と主走査用偏向器との同期動作を制御する制御手段とを備え、主走査を行う主走査用偏向器と副走査を行う副走査用偏向器とを、連続的に動作させながら、パルスレーザ光源の繰返し周波数と主走査用偏向器の走査周波数の関係を一定に保つことで、レーザ照射スポットがレーザ照射済みスポットの一部を含むようにオーバーラップ位置を制御して、二次元的に走査することを特徴とする周期構造の作成装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016093826A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | キヤノンマシナリー株式会社 | 微細周期構造の形成方法および形成装置 |
JP2017035710A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | キヤノンマシナリー株式会社 | 間欠周期構造作成装置および間欠周期構造作成方法 |
CN106471141A (zh) * | 2014-07-03 | 2017-03-01 | 新日铁住金株式会社 | 激光加工装置 |
EP3165615A4 (en) * | 2014-07-03 | 2018-01-24 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Laser machining device |
JP2020087664A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | キヤノンマシナリー株式会社 | 流路及び燃料電池 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04262886A (ja) * | 1991-02-18 | 1992-09-18 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 光ビーム偏向装置用制御信号発生装置 |
WO2004035255A1 (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-29 | Nec Machinery Corporation | 周期構造作成方法および表面処理方法 |
-
2011
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04262886A (ja) * | 1991-02-18 | 1992-09-18 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 光ビーム偏向装置用制御信号発生装置 |
WO2004035255A1 (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-29 | Nec Machinery Corporation | 周期構造作成方法および表面処理方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106471141A (zh) * | 2014-07-03 | 2017-03-01 | 新日铁住金株式会社 | 激光加工装置 |
US20170157706A1 (en) * | 2014-07-03 | 2017-06-08 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Laser processing apparatus |
EP3165614A4 (en) * | 2014-07-03 | 2018-01-24 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Laser machining device |
EP3165615A4 (en) * | 2014-07-03 | 2018-01-24 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Laser machining device |
US10773338B2 (en) | 2014-07-03 | 2020-09-15 | Nippon Steel Corporation | Laser processing apparatus |
US11498156B2 (en) | 2014-07-03 | 2022-11-15 | Nippon Steel Corporation | Laser processing apparatus |
JP2016093826A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | キヤノンマシナリー株式会社 | 微細周期構造の形成方法および形成装置 |
JP2017035710A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | キヤノンマシナリー株式会社 | 間欠周期構造作成装置および間欠周期構造作成方法 |
JP2020087664A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | キヤノンマシナリー株式会社 | 流路及び燃料電池 |
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