JP4781941B2 - レーザによる表面微細構造形成方法 - Google Patents
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Description
を有することを特徴とするものである。
2 ミラー
3 メカニカルシャッタ
4、5 1/2波長板
6 偏光ビームスプリッタ
7 集光レンズ(焦点距離:150mm)
8 加工材料
9 XYθステージ
10 波長変換用非線形光学結晶
11 波長選択用光学素子(波長800nm反射/波長400nm透過)
12 集光レンズ(焦点距離:50mm)
Claims (12)
- 材料表面に加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを集光照射すると共に当該照射部をオーバラップさせながら所定方向にスキャンして、前記材料表面に自己組織的に畝状微細周期構造を形成する第一工程と、
前記畝状微細周期構造が形成された材料表面に対して、先のレーザを当該畝状微細周期構造が形成された材料表面に対する加工閾値近傍の照射強度で前記第一工程の偏光方向と異なる方向の直線偏光で照射すると共に当該照射部をオーバラップさせながら所定方向にスキャンして、前記畝状微細周期構造に前記畝状微細周期構造の方向と異なる方向の畝状微細周期構造を自己組織的に形成する第二工程と、
を有することを特徴とするレーザによる表面微細構造形成方法。 - 前記第二工程のレーザ波長を前記第一工程のレーザ波長よりも短波長にすることを特徴とする請求項1に記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第二工程のレーザ波長を前記第一工程のレーザ波長の1/2にすることを特徴とする請求項1に記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第二工程のレーザ波長を前記第一工程のレーザ波長よりも長波長にすることを特徴とする請求項1に記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第二工程のレーザ波長を前記第一工程のレーザ波長の2倍にすることを特徴とする請求項1に記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第一工程のレーザの偏光方向と第二工程のレーザの偏光方向を直交させることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第一工程と第二工程のレーザの偏光方向のなす角が0°超〜90°未満の任意の角度であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第一工程の後に前記材料をその面方向に45°回転させるとともに前記第二工程のレーザの偏光方向を前記材料の回転方向と逆方向の45°の向きになるように回転させて前記第二工程を実施することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第一工程の後に前記材料をその面方向に任意の角度回転させるとともに前記第二工程のレーザの偏光方向を、前記材料表面の畝状微細周期構造と同じ方向の畝状微細周期構造が形成されないような任意の角度に回転させて前記第二工程を実施することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第一工程の後に前記材料をその面方向に90°回転させて前記第二工程を実施することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 前記第一工程の後に前記材料をその面方向に0°超〜90°未満の任意の角度回転させて前記第二工程を実施することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のレーザによる表面微細構造形成方法。
- 請求項1の第一工程と第二工程を施した材料表面に、前記第一工程あるいは第二工程のレーザの偏光方向と異なる直線偏光の前記表面微細構造に対する加工閾値近傍のレーザを照射すると共に、当該照射部をオーバラップさせながら所定方向にスキャンして前記材料表面に前記畝状微細周期構造の方向と異なる方向の畝状微細周期構造を自己組織的に形成する第三工程と、
を有することを特徴とするレーザによる表面微細構造形成方法。
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