JP2013070023A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000008520 organization Effects 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012111419A JP6004738B2 (ja) | 2011-09-07 | 2012-05-15 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| US13/603,575 US9400426B2 (en) | 2011-09-07 | 2012-09-05 | Imprint apparatus |
| US15/191,715 US10095117B2 (en) | 2011-09-07 | 2016-06-24 | Imprint apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011194583 | 2011-09-07 | ||
| JP2011194583 | 2011-09-07 | ||
| JP2012111419A JP6004738B2 (ja) | 2011-09-07 | 2012-05-15 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013070023A JP2013070023A (ja) | 2013-04-18 |
| JP2013070023A5 true JP2013070023A5 (https=) | 2015-07-09 |
| JP6004738B2 JP6004738B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=47752508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012111419A Expired - Fee Related JP6004738B2 (ja) | 2011-09-07 | 2012-05-15 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US9400426B2 (https=) |
| JP (1) | JP6004738B2 (https=) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6069689B2 (ja) * | 2012-07-26 | 2017-02-01 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント用テンプレート |
| JP2014033050A (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-20 | Toshiba Corp | インプリントシステム及びインプリント方法 |
| JP6271875B2 (ja) * | 2013-06-18 | 2018-01-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
| JP6282069B2 (ja) | 2013-09-13 | 2018-02-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、検出方法及びデバイス製造方法 |
| JP6538695B2 (ja) | 2013-12-31 | 2019-07-03 | キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド | パーシャルフィールドインプリントのための非対称的なテンプレート形状の調節 |
| JP6497849B2 (ja) * | 2014-04-15 | 2019-04-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| CN112445064A (zh) * | 2014-04-22 | 2021-03-05 | Ev 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 用于压印纳米结构的方法和装置 |
| JP6472189B2 (ja) * | 2014-08-14 | 2019-02-20 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6659104B2 (ja) * | 2014-11-11 | 2020-03-04 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、型、および物品の製造方法 |
| JP6674218B2 (ja) * | 2014-12-09 | 2020-04-01 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6478635B2 (ja) * | 2015-01-05 | 2019-03-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6553926B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2019-07-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP6647027B2 (ja) * | 2015-12-03 | 2020-02-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| JP6942491B2 (ja) * | 2016-03-15 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| KR101737817B1 (ko) * | 2016-06-15 | 2017-05-19 | 울산과학기술원 | 재료 시험 장치 및 이를 이용한 재료 시험방법 |
| JP6706983B2 (ja) | 2016-07-12 | 2020-06-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP2018041774A (ja) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| JP6762853B2 (ja) * | 2016-11-11 | 2020-09-30 | キヤノン株式会社 | 装置、方法、及び物品製造方法 |
| JP6940944B2 (ja) * | 2016-12-06 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
| US10497667B2 (en) | 2017-09-26 | 2019-12-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus for bond wave propagation control |
| JP7033994B2 (ja) * | 2018-04-11 | 2022-03-11 | キヤノン株式会社 | 成形装置及び物品の製造方法 |
| JP7233174B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2023-03-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品製造方法、平坦化層形成装置、情報処理装置、及び、決定方法 |
| JP7237519B2 (ja) * | 2018-10-25 | 2023-03-13 | キヤノン株式会社 | 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法 |
| US11442359B2 (en) | 2019-03-11 | 2022-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of separating a template from a shaped film on a substrate |
| JP7284639B2 (ja) | 2019-06-07 | 2023-05-31 | キヤノン株式会社 | 成形装置、および物品製造方法 |
| US12600062B2 (en) | 2019-12-02 | 2026-04-14 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Method and device for detaching a stamp |
| JP7414508B2 (ja) * | 2019-12-16 | 2024-01-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
| US11614693B2 (en) | 2021-06-30 | 2023-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of determining the initial contact point for partial fields and method of shaping a surface |
| US12235587B2 (en) | 2023-03-28 | 2025-02-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and system for determining initial contact control values for shaping partial fields and method and system for shaping partial fields |
| JP7675130B2 (ja) * | 2023-05-23 | 2025-05-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
| CN119225114B (zh) * | 2024-12-03 | 2025-02-25 | 江苏快克芯装备科技有限公司 | 一种晶片覆膜装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10172897A (ja) * | 1996-12-05 | 1998-06-26 | Nikon Corp | 基板アダプタ,基板保持装置及び基板保持方法 |
| US7019819B2 (en) * | 2002-11-13 | 2006-03-28 | Molecular Imprints, Inc. | Chucking system for modulating shapes of substrates |
| MY164487A (en) * | 2002-07-11 | 2017-12-29 | Molecular Imprints Inc | Step and repeat imprint lithography processes |
| US6900881B2 (en) * | 2002-07-11 | 2005-05-31 | Molecular Imprints, Inc. | Step and repeat imprint lithography systems |
| ATE438197T1 (de) * | 2002-11-13 | 2009-08-15 | Molecular Imprints Inc | Ein halterungssystem und ein verfahren zum modulieren von substratformen |
| US8166876B2 (en) * | 2005-05-03 | 2012-05-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for transferring a pattern from a stamp to a substrate |
| CN101573659A (zh) | 2005-12-08 | 2009-11-04 | 分子制模股份有限公司 | 排除位于基板和模具之间的气体的方法 |
| US8945444B2 (en) * | 2007-12-04 | 2015-02-03 | Canon Nanotechnologies, Inc. | High throughput imprint based on contact line motion tracking control |
| US8652393B2 (en) * | 2008-10-24 | 2014-02-18 | Molecular Imprints, Inc. | Strain and kinetics control during separation phase of imprint process |
| US8309008B2 (en) * | 2008-10-30 | 2012-11-13 | Molecular Imprints, Inc. | Separation in an imprint lithography process |
| JP4940262B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2012-05-30 | 株式会社東芝 | インプリントパターン形成方法 |
| JP5669377B2 (ja) * | 2009-11-09 | 2015-02-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP5750992B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2015-07-22 | 大日本印刷株式会社 | インプリント方法およびそれを実施するためのインプリント装置 |
| JP5893303B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
-
2012
- 2012-05-15 JP JP2012111419A patent/JP6004738B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-09-05 US US13/603,575 patent/US9400426B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-06-24 US US15/191,715 patent/US10095117B2/en active Active
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| JP2014022527A5 (https=) |