JP2013058517A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013058517A5 JP2013058517A5 JP2011194584A JP2011194584A JP2013058517A5 JP 2013058517 A5 JP2013058517 A5 JP 2013058517A5 JP 2011194584 A JP2011194584 A JP 2011194584A JP 2011194584 A JP2011194584 A JP 2011194584A JP 2013058517 A5 JP2013058517 A5 JP 2013058517A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- substrate
- unit
- imprint apparatus
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 18
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 18
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011194584A JP5893303B2 (ja) | 2011-09-07 | 2011-09-07 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| US13/603,523 US9285675B2 (en) | 2011-09-07 | 2012-09-05 | Imprint apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011194584A JP5893303B2 (ja) | 2011-09-07 | 2011-09-07 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013058517A JP2013058517A (ja) | 2013-03-28 |
| JP2013058517A5 true JP2013058517A5 (https=) | 2014-10-23 |
| JP5893303B2 JP5893303B2 (ja) | 2016-03-23 |
Family
ID=47752507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011194584A Active JP5893303B2 (ja) | 2011-09-07 | 2011-09-07 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9285675B2 (https=) |
| JP (1) | JP5893303B2 (https=) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2469339B1 (en) * | 2010-12-21 | 2017-08-30 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| JP6004738B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2016-10-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
| JP6060796B2 (ja) * | 2013-04-22 | 2017-01-18 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド及びダミーパターン設計方法 |
| JP6119474B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2017-04-26 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
| JP6333031B2 (ja) * | 2014-04-09 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
| JP6423641B2 (ja) * | 2014-08-05 | 2018-11-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法及びインプリント方法 |
| US10747106B2 (en) | 2014-12-09 | 2020-08-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus |
| JP6674218B2 (ja) * | 2014-12-09 | 2020-04-01 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6553926B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2019-07-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP6700936B2 (ja) | 2016-04-25 | 2020-05-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP6940944B2 (ja) | 2016-12-06 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
| CA3054965A1 (en) | 2017-03-16 | 2018-09-20 | Molecular Imprints, Inc. | Optical polymer films and methods for casting the same |
| JP2017120930A (ja) * | 2017-03-28 | 2017-07-06 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
| JP6381721B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-08-29 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及びデバイス製造方法 |
| EP4420867B1 (en) | 2017-10-17 | 2026-02-18 | Magic Leap, Inc. | Method of forming a waveguide |
| CN117141017B (zh) | 2018-10-16 | 2024-08-30 | 奇跃公司 | 用于浇铸聚合物产品的方法和装置 |
| IL318821A (en) * | 2018-12-28 | 2025-04-01 | Asml Holding Nv | Method and device for cleaning a support structure in a lithographic system |
| US11442359B2 (en) | 2019-03-11 | 2022-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of separating a template from a shaped film on a substrate |
| JP7397721B2 (ja) * | 2020-03-06 | 2023-12-13 | キヤノン株式会社 | 決定方法、インプリント方法、インプリント装置、物品の製造方法及びプログラム |
| US11728203B2 (en) * | 2020-10-13 | 2023-08-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Chuck assembly, planarization process, apparatus and method of manufacturing an article |
| US11614693B2 (en) | 2021-06-30 | 2023-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of determining the initial contact point for partial fields and method of shaping a surface |
| JP7712832B2 (ja) * | 2021-09-21 | 2025-07-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| US12235587B2 (en) | 2023-03-28 | 2025-02-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and system for determining initial contact control values for shaping partial fields and method and system for shaping partial fields |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10172897A (ja) * | 1996-12-05 | 1998-06-26 | Nikon Corp | 基板アダプタ,基板保持装置及び基板保持方法 |
| US20080160129A1 (en) * | 2006-05-11 | 2008-07-03 | Molecular Imprints, Inc. | Template Having a Varying Thickness to Facilitate Expelling a Gas Positioned Between a Substrate and the Template |
| US6900881B2 (en) * | 2002-07-11 | 2005-05-31 | Molecular Imprints, Inc. | Step and repeat imprint lithography systems |
| US7019819B2 (en) * | 2002-11-13 | 2006-03-28 | Molecular Imprints, Inc. | Chucking system for modulating shapes of substrates |
| JP2006165371A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Canon Inc | 転写装置およびデバイス製造方法 |
| JP5180820B2 (ja) * | 2005-05-03 | 2013-04-10 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | スタンプから基板にパターンを転写する方法及び装置 |
| CN101573659A (zh) | 2005-12-08 | 2009-11-04 | 分子制模股份有限公司 | 排除位于基板和模具之间的气体的方法 |
| JP4667524B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2011-04-13 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | 流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム |
| US8945444B2 (en) * | 2007-12-04 | 2015-02-03 | Canon Nanotechnologies, Inc. | High throughput imprint based on contact line motion tracking control |
| JP4940262B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2012-05-30 | 株式会社東芝 | インプリントパターン形成方法 |
| JP5411557B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2014-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 微細構造転写装置 |
| JP2011051132A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Konica Minolta Opto Inc | 光学部品製造装置及び光学部品の製造方法 |
-
2011
- 2011-09-07 JP JP2011194584A patent/JP5893303B2/ja active Active
-
2012
- 2012-09-05 US US13/603,523 patent/US9285675B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013058517A5 (https=) | ||
| JP2012186390A5 (https=) | ||
| JP2013175631A5 (https=) | ||
| JP2014229883A5 (https=) | ||
| JP2013070023A5 (https=) | ||
| JP2015111657A5 (https=) | ||
| JP2013254938A5 (https=) | ||
| JP2013038365A5 (https=) | ||
| JP2014225637A5 (https=) | ||
| JP2018093122A5 (https=) | ||
| JP2013102132A5 (https=) | ||
| JP2012079969A5 (https=) | ||
| JP2012134466A5 (https=) | ||
| JP2013162045A5 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 | |
| JP2016503589A5 (https=) | ||
| JP2015170815A5 (https=) | ||
| JP2007140460A5 (https=) | ||
| JP2015056589A5 (https=) | ||
| JP2013004744A5 (https=) | ||
| JP2016192543A5 (https=) | ||
| JP2013162046A5 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 | |
| JP2013055327A5 (https=) | ||
| JP2014203935A5 (https=) | ||
| JP2012206206A5 (https=) | ||
| SG10201709841XA (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method |