JP2014022527A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014022527A5 JP2014022527A5 JP2012159078A JP2012159078A JP2014022527A5 JP 2014022527 A5 JP2014022527 A5 JP 2014022527A5 JP 2012159078 A JP2012159078 A JP 2012159078A JP 2012159078 A JP2012159078 A JP 2012159078A JP 2014022527 A5 JP2014022527 A5 JP 2014022527A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- substrate
- imprint apparatus
- imprint
- controlling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012159078A JP6166516B2 (ja) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012159078A JP6166516B2 (ja) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014022527A JP2014022527A (ja) | 2014-02-03 |
| JP2014022527A5 true JP2014022527A5 (https=) | 2015-09-03 |
| JP6166516B2 JP6166516B2 (ja) | 2017-07-19 |
Family
ID=50197089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012159078A Expired - Fee Related JP6166516B2 (ja) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6166516B2 (https=) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6562795B2 (ja) * | 2015-02-12 | 2019-08-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP6700936B2 (ja) | 2016-04-25 | 2020-05-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP7134055B2 (ja) * | 2018-10-09 | 2022-09-09 | キヤノン株式会社 | 成形装置、および物品の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005101201A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Canon Inc | ナノインプリント装置 |
| JP2007173614A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Ricoh Co Ltd | 微細加工装置 |
| US9573319B2 (en) * | 2007-02-06 | 2017-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprinting method and process for producing a member in which a mold contacts a pattern forming layer |
| US8945444B2 (en) * | 2007-12-04 | 2015-02-03 | Canon Nanotechnologies, Inc. | High throughput imprint based on contact line motion tracking control |
| JP5517423B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2014-06-11 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
-
2012
- 2012-07-17 JP JP2012159078A patent/JP6166516B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8678808B2 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method | |
| JP5824380B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 | |
| JP6304934B2 (ja) | インプリント装置および物品の製造方法 | |
| JP6700936B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
| TWI627050B (zh) | 壓印方法、壓印設備、模具及製造半導體裝置的方法 | |
| CN103048878A (zh) | 压印方法、压印装置和设备制造方法 | |
| JP2013038365A (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
| JP7086711B2 (ja) | インプリント装置、および物品製造方法 | |
| JP5798020B2 (ja) | ワーク設置装置およびワーク設置方法 | |
| JP2015050437A (ja) | インプリント装置および物品の製造方法 | |
| KR20210122107A (ko) | 임프린트 리소그래피에서의 임프린트력 인가의 정확도를 개선하기 위한 장치 및 방법 | |
| JP2014022527A5 (https=) | ||
| JP5822597B2 (ja) | インプリント装置、及びそれを用いた物品の製造方法 | |
| JP2017112230A (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
| WO2018088049A1 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び物品製造方法 | |
| JP5961366B2 (ja) | ワーク設置装置およびワーク設置方法 | |
| JP5744423B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法及びデバイスの製造方法 | |
| JP6166516B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
| JP5852864B2 (ja) | ワーク保持体、ワーク設置装置およびワーク設置方法 | |
| JP2018137360A (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
| JP7712832B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
| KR102030807B1 (ko) | 은 페이스트 충전용 닥터블레이드 | |
| JP2026054982A (ja) | 膜形成装置、膜形成方法、及び物品の製造方法 | |
| JP2016021442A (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
| CN115812179A (zh) | 制造微结构及/或奈米结构之方法及装置 |