JP7237519B2 - 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、成形方法、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照して、平坦化装置100について説明する。平坦化装置100(成形装置)は、型(モールド、テンプレート)9を用いて基板1上の組成物を成形する成形装置で具現化され、本実施形態では、基板1上の組成物を平坦化する。平坦化装置100は、基板1上の組成物と型9とを接触させた状態で組成物を硬化させ、硬化した組成物から型を引き離すことで基板1上に組成物の平坦面を形成する。
次に、前述の平坦化装置又は平坦化方法を利用した物品(半導体IC素子、液晶表示素子、カラーフィルタ、MEMS等)の製造方法を説明する。当該製造方法は、前述の平坦化装置を使用して、基板(ウェハ、ガラス基板等)に配置された組成物と型を接触させて平坦化させ、組成物を硬化させて組成物と型を離す工程とを含む。そして、平坦化された組成物を有する基板に対して、リソグラフィ装置を用いてパターンを形成するなどの処理を行う工程と、処理された基板を他の周知の加工工程で処理することにより、物品が製造される。他の周知の工程には、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等が含まれる。本製造方法によれば、従来よりも高品位の物品を製造することができる。
Claims (14)
- 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置であって、
型を保持して移動する型保持部と、
基板を保持して移動する基板保持部と、
前記型保持部及び前記基板保持部の少なくとも一方を駆動することで、
前記型保持部に保持された型と前記基板保持部に保持された基板上の組成物とが密着した状態から前記型と前記組成物とが離れる方向である第1方向に移動させる第1移動を行い、
当該第1移動を行うことで前記型と前記組成物との剥離が開始された後、かつ前記型と前記組成物との剥離が完了していない状態で、前記型と前記組成物とが近づく方向である第2方向に移動させる第2移動を行うように制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記第2方向への移動の後、所定位置に停止した状態で、前記型と前記組成物との剥離が進行しているかを判断することを特徴とする成形装置。 - 前記制御部は、前記第2移動を行った後、第1位置で停止させるように制御することを特徴とする、請求項1に記載の成形装置。
- 前記第1位置は、前記型と前記組成物との剥離が進行する位置であることを特徴とする、請求項2に記載の成形装置。
- 前記第1位置は、前記型の形状を元に戻そうとする復元力が前記型に作用する位置であることを特徴とする、請求項2又は3に記載の成形装置。
- 前記制御部は、前記第2移動の後、前記型と前記組成物との剥離が進行せず停止した場合、前記第1方向に移動させる第3移動を行うように制御することを特徴とする、請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載の成形装置。
- 前記制御部は、前記第3移動を行った後、前記第1位置よりも前記型と前記組成物とが離れる第2位置で停止させるように制御することを特徴とする、請求項5に記載の成形装置。
- 前記制御部は、前記型保持部を移動するための駆動力に基づいて前記第2移動を行うように制御することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の成形装置。
- 前記制御部は、前記型保持部を制御するための制御信号の電流値に基づいて前記第2移動を行うように制御することを特徴とする、請求項7に記載の成形装置。
- 前記型保持部に保持された前記型は、前記型と前記組成物とが密着した状態から前記型保持部が前記第1方向に移動した場合、凸に変形することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の成形装置。
- 前記型を変形させる型変形部を有し、
前記制御部は、前記型変形部を制御して、前記型と前記組成物との剥離を進行させることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の成形装置。 - 前記成形装置は、型の平面部を組成物に接触させることにより組成物を平坦にすることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の成形装置。
- 前記成形装置は、型のパターンを組成物に接触させることにより組成物のパターンを形成することを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の成形装置。
- 型を用いて基板上の組成物を成形する成形方法であって、
型を保持して移動する型保持部及び基板を保持して移動する基板保持部の少なくとも一方を駆動することで、前記型保持部に保持された型と前記基板保持部に保持された基板上の組成物とが密着した状態から前記型と前記組成物とが離れる方向である第1方向に移動させ前記型と前記組成物とを剥離させる第1移動工程と、
当該第1移動工程を行うことで前記型と前記組成物との剥離が開始された後、かつ前記型と前記組成物との剥離が完了していない状態で、前記型保持部を前記型と前記組成物とが近づく方向である第2方向に移動させる第2移動工程と、
前記第2移動工程の後、所定位置に停止した状態で、前記型と前記組成物との剥離が進行しているかを判断する判断工程と、
を有することを特徴とする成形方法。 - 基板上に型を用いて組成物を成形する成形工程と、
前記組成物が成形された前記基板を処理する処理工程と、
前記処理工程において処理された前記基板から物品を製造する製造工程と、を有し、
前記成形工程は、
型を保持して移動する型保持部及び基板を保持して移動する基板保持部の少なくとも一方を駆動することで、
前記型保持部に保持された型と前記基板保持部に保持された基板上の組成物とが密着した状態から前記型と前記組成物とが離れる方向である第1方向に移動させ前記型と前記組成物とを剥離させる第1移動工程と、
当該第1移動工程を行うことで前記型と前記組成物との剥離が開始された後、かつ前記型と前記組成物との剥離が完了していない状態で、前記型保持部を前記型と前記組成物とが近づく方向である第2方向に移動させる第2移動工程と、
前記第2移動工程の後、所定位置に停止した状態で、前記型と前記組成物との剥離が進行しているかを判断する判断工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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