JP2013068628A - バイオチップ - Google Patents
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Abstract
【課題】高感度のイメージセンサを含むバイオチップを提供する。
【解決手段】バイオチップ６００は、生化学的反応が起きる複数の反応領域４１２が凹部の形態で形成され、前記反応領域４１２の下部には基準試料４１４ａが設けられ、前記反応領域４１２の上部にはターゲット試料４１４ｂが挿入されるバイオチップ層と、前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器４２２を含むイメージセンサ層とを備える。
【選択図】図６
【解決手段】バイオチップ６００は、生化学的反応が起きる複数の反応領域４１２が凹部の形態で形成され、前記反応領域４１２の下部には基準試料４１４ａが設けられ、前記反応領域４１２の上部にはターゲット試料４１４ｂが挿入されるバイオチップ層と、前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器４２２を含むイメージセンサ層とを備える。
【選択図】図６
Description
本発明は、バイオチップに関し、より詳細には、高感度のイメージセンサを含むバイオチップに関するものである。
一般に、バイオチップは、ガラス、シリコン、あるいはナイロンなどの材質で形成された基板上に、ＤＮＡ、タンパク質などの生体分子を含む基準試料が規則的に配列された形態に形成される。バイオチップは、配列される基準試料の種類によってＤＮＡチップやタンパク質チップなどに分類される。バイオチップは、基板に固定された基準試料とターゲット試料の生化学的反応を基本的に利用している。このような基準試料とターゲット試料の生化学的反応の代表的な例は、ＤＮＡ塩基間の相補結合や抗原−抗体反応などである。
バイオチップによる診断は、光学プロセスを通じて生化学的反応が起きる程度を検出することで行われる。一般的な光学プロセスは蛍光または発光を利用する。
蛍光(fluorescence)を利用した光学プロセスの例は、バイオチップ内に固定された基準試料に投与されたターゲット試料が蛍光物質と結合して、基準試料とターゲット試料との間の特定の生化学的反応が生じた場合、蛍光物質が残留するようにする。以後、外部光源により、残留した蛍光物質が発光して、この発光を測定するものである。
発光(luminescence)を利用した光学プロセスの例は、バイオチップ内に固定された基準試料に投与されたターゲット試料が発光物質とを結合して、基準試料とターゲット試料との間の特定の生化学的な反応が生じた場合、発光物質が残留するようにする。以後、外部光源がなくても残留した発光物質が発光して、この発光を測定するものである。
図１は、従来のバイオチップの構造を示したものである。
図１を参照して、従来のバイオチップ１００は、ガラスなどの基板１１０に一定な間隔で配置された多くの種類の基準試料１２０を含む。
ターゲット試料を従来のバイオチップ１００の基準試料１２０に投与すると、ターゲット試料と基準試料１２０との間で生化学的反応が起きる。このとき、ターゲット試料内に一定量の蛍光物質または発光物質が化学結合などによって含まれている場合、生化学的反応の程度に応じて、生化学反応後に残留する蛍光物質または発光物質の量も変わるようになる。
基準試料とターゲット試料との間に生化学的反応が起きたバイオチップ１００を照射すると、蛍光物質が特定の光を発生するようになる。蛍光物質から発生する光の強度を高めるために、一般に、強いレーザを用いて照射する。蛍光物質から発生した光は、画像取得装置によって画像として表示される。
図２は、従来のバイオチップのフローチャート２００の一例を示したものである。
バイオチップに固定された基準試料に、蛍光物質または発光物質と結合したターゲット試料を投与すると、基準試料とターゲット試料との間に生化学的反応が起きる（Ｓ２１０）。基準試料とターゲット試料との間に生化学的反応が起きて、蛍光物質を照射すると、残留した蛍光物質が特定の光を発生する。ターゲット試料に発光物質が含まれた場合には、外部光を遮断することで発光物質が特定の光を発生する。
次に、別途の走査装置を使って、蛍光物質または発光物質から発生した光の画像を得る（Ｓ２２０）。得られた画像は、医学知識を備えた人間によって判読される（Ｓ２３０）。
図３は、従来のバイオチップ１００から発生した画像を取得するための装置の一例を示す。従来、ＣＣＤイメージセンサ３１０および、大韓民国特許公開公報第１０−２００５−００５０８５８号（２００５年６月１日公開）に記載したようなレーザスキャナ、顕微鏡などが用いられる。
照射３０１によって蛍光物質で発生した光の強度は、一般に微弱である。従って、蛍光物質で発生した光を検出するために、一般的なＣＣＤイメージセンサ３１０を用いた場合、半導体を使用するＣＣＤイメージセンサ３１０が熱雑音に弱いため、ＣＣＤイメージセンサ３１０は、光を集めるために長い露出時間が必要になる。熱雑音も露出時間に比例して大きくなるので、検出される光に多くのノイズが含まれて、光検出効率が落ちることがある。従来、ＣＣＤイメージセンサ３１０での光検出効率を高めるために、ＣＣＤイメージセンサ３１０に追加の処理を行っている。
追加の処理の代表的な例は、ＣＣＤイメージセンサ３１０を冷却するものである。ＣＣＤイメージセンサ３１０の冷却は、熱電子の発生を減少させて、熱電子によって発生する熱雑音を低減している。その結果、光検出効率を高めることができる長所がある。しかし、ＣＣＤイメージセンサ３１０の冷却は、冷却のための複雑な動作と追加の装置が必要であるという短所がある。
また、ＣＣＤイメージセンサ３１０、レーザスキャナ、顕微鏡などは高価であり、バイオチップの商用化に多くの障害となる。
本発明は、単一チップ内にバイオチップおよび高感度のイメージセンサを具備して、高価の走査装置などの追加の装置が不要であり、イメージセンサに具備されたＩＳＰ（Image signal processor: 画像信号プロセッサ）が画像信号を処理することにより、チップレベルでバイオチップの生化学的反応結果を分析し、最終的な判断を出力できるバイオチップを提供することにある。
本発明の一態様によれば、バイオチップは、生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部(concave)の形態で形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備える。
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備える。
本発明の他の態様によれば、バイオチップは、生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部(concave)の形態で形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光検出器の上部には、帯域通過フィルタ(Band Pass Filter)または低域通過フィルタ(Low Pass Filter)が形成されている。
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光検出器の上部には、帯域通過フィルタ(Band Pass Filter)または低域通過フィルタ(Low Pass Filter)が形成されている。
以下、本発明の具体的な実施例について図面を参照して詳しく説明する。
図４は、本発明の一実施例に係るバイオチップを示す断面図であり、図５は図４に示したバイオチップ４００の平面図である。
図４に示したバイオチップ４００は、単一の基板４０１に形成され、バイオチップ層４１０及びイメージセンサ層４２０を備える。
バイオチップ層４１０は、複数の反応領域４１２が凹部(concave)の形態で形成されている。反応領域４１２の下部には、基準試料４１４ａが設けられる。反応領域４１２の上部には、ターゲット試料４１４ｂが挿入される。ターゲット試料４１４ｂは、外部光が遮られた場合、自ら発光する発光物質が含んでもよい。発光物質の代表的な例として、ルシフェリン(Luciferin)を挙げることができる。ルシフェリンが、ＡＴＰ(Adenosine Tri-Phosphate)によって活性化されると活性ルシフェリンになって、この活性ルシフェリンがルシフェラーゼの作用によって酸化されて酸化ルシフェリンになり、化学エネルギーが光エネルギーに変換されて光を発生する。
このとき、反応領域４１２が形成される凹部の形態は、半導体製造プロセスでのエッチング工程などによって容易に形成できる。
基準試料４１４ａは、どのような生化学的反応を目標とするかによって変更される。もし生化学的反応が抗原−抗体反応であれば、基準試料４１４ａは抗原でもよい。生化学的反応がＤＮＡ塩基間の相補結合であれば、基準試料４１４ａは相補結合が可能なように操作された遺伝子でもよい。基準試料４１４ａと生化学的反応を行うターゲット試料４１４ｂは、基準試料４１４ａに応じて決定される。例えば、基準試料４１４ａが抗原である場合、ターゲット試料４１４ｂは血液などでもよい。基準試料４１４ａが、操作された遺伝子である場合、ターゲット試料４１４ｂは使用者の遺伝子などでもよい。
イメージセンサ層４２０は、バイオチップ層４１０の下部に形成され、複数の光検出器４２２を備える。バイオチップ層４１０の複数の反応領域４１２のそれぞれの下部には、イメージセンサ層４２０の単一あるいは複数の光検出器４２２を形成してもよい。
ＤＮＡ塩基間の相補結合や抗原−抗体反応など、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂの生化学的反応の程度が、反応領域４１２ごとに異なる場合、ターゲット試料４１４ｂと結合した、ルシフェリンなどの発光物質の残留量も反応領域４１２ごとに異なることがある。このとき外部光を遮断して、残留する発光物質が発光する場合、発光物質の残留量に応じて反応領域４１２ごとに異なる強度の光が発光物質から発生するようになる。従って、反応領域４１２のそれぞれに対応する光検出器４２２で検出される光の強度も光検出器４２２ごとに互いに異なるようになる。
光検出器４２２で検出された光は電気信号として出力され、この電気信号は、ＩＳＰ（Image Signal Processor: 画像信号プロセッサ）などの信号処理部によって処理される。このとき、図４及び図５に示すように、イメージセンサ層４２０の内部に信号処理部４２４を設けてもよい。
本発明では、単一の基板４０１に、バイオチップ層４１０及びイメージセンサ層４２０が設けられる。このときバイオチップの特性に起因した蛍光または発光を利用するため、バイオチップ層４１０は、ガラスなどの透明材料が望ましい。基板４０１には、光検出器４２２などを含むイメージセンサ層４２０が先に形成され、その後、反応領域４１２などを含むバイオチップ層４１０が形成される。例えば、イメージセンサ層４２０は、シリコン基板に、光検出器形成プロセスを含む一般的なイメージセンサ製造プロセス工程によって容易に形成できる。バイオチップ層４１０は、イメージセンサ層４２０の上部にＳｉＯ２などの透明材料を蒸着した後、エッチング工程によって反応領域４１２のための複数の凹部を形成することによって製造できる。
図４に示したバイオチップ４００は、単一の基板４０１にバイオチップ層４１０およびイメージセンサ層４２０が形成された構造を有し、バイオチップ層４１０の反応領域４１２とイメージセンサ層４２０の光検出器４２２との間の間隔を最小化できる。従って、発光プロセスでの光損失を低減できる。
図６は、本発明の他の実施例に係るバイオチップを示す。
図４に示したバイオチップ４００は発光を利用しており、一方、図６に示したバイオチップ６００は蛍光を利用している。蛍光を利用するためには、照射によって所定波長帯の光を発生できる蛍光物質が必要になる。このような蛍光物質は、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの反応の結果として、反応領域４１２内に生成してもよい。また、ＧＦＰ(Green Fluorescence Protein)などの任意の蛍光物質をターゲット試料４１４ｂと結合させ、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの間の特定の生化学的反応が生じた後に、反応領域４１２内に蛍光物質が残留するようにしてもよい。
このとき、残留する蛍光物質を照射した場合、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応の程度に応じて蛍光物質の残留量が変化し、蛍光物質は異なる強度の光を発生する。蛍光を利用するバイオチップの場合、照射６０１によって効率的な蛍光を得るために、紫外光や青色光などを使用してもよい。蛍光物質は、特定の波長帯を有する光を発生できる物質を使用してもよい。
従って、照射６０１として用いられる光は遮断して、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応後に残留する蛍光物質から発生する光のみを測定するために、図６に示したバイオチップ６００では、複数の光検出器の上部にフィルタ部６１０がさらに形成されている。フィルタ部６１０は、帯域通過フィルタ(Band Pass Filter: ＢＰＦ)または低域通過フィルタ(Low Pass Filter)などでもよい。所定の波長帯にある光を通過させるために、ＢＰＦを使用することが望ましい。ＢＰＦは、光学フィルタまたはフォトレジスト(Photo Resist)を利用できる。後者の場合、一般的な半導体製造プロセスにおいてフォトレジストに色素を追加する方法などによってＢＰＦが製造できる。
フィルタ部６１０としてＢＰＦを利用する場合、照射６０１として用いられる光はＢＰＦによって阻止され、所定の波長帯にある光だけがフィルタ部６１０を通過して、複数の光検出器４２２にそれぞれ到逹するようになる。このとき、フィルタ部６１０は複数の光検出器４２２の上に単一層として形成してもよく、あるいは、複数の光検出器４２２のそれぞれの上部ごとに形成してもよい。
図４及び図６に示したバイオチップ４００，６００を実際に利用するために、図７及び図８に示したように、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応が生じていない（生化学的反応の程度が０％）と仮定した場合に対応して、光検出器７１０，８１０から電気信号（暗レベル）が出力される。基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応が完全に生じた（生化学的反応の程度が１００％）と仮定した場合に対応して、光検出器７２０，８２０から電気信号（白レベル）が出力される。これらの電気信号はレファレンス信号として設定され利用される。このとき、反応領域４１２で生化学的反応が生じていない場合に対応した信号を出力する光検出器７１０，８１０の上部に、光遮断膜７１５、８１５を形成してもよい。光遮断膜７１５，８１５の上部に位置する反応領域４１２で生化学的反応が起きて蛍光または発光が発生しても、光が光遮断膜７１５，８１５によって遮られるので、光遮断膜７１５，８１５の上部には反応領域４１２がなくても関係ない。
暗レベルに対応した、光検出器７１０，８１０から出力される電気信号の絶対値、及び白レベルに対応した、光検出器７２０，８２０から出力される電気信号の絶対値が得られた場合、光検出器から出力される電気信号の絶対値に応じて、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂの生化学的反応の程度が分かる。
図９は、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応が０％であると仮定した場合（暗レベルＤＬと称する）及び生化学的反応が１００％であると仮定した場合（白レベルＷＬと称する）での基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂの生化学的反応の程度の一例を示す。図９を参照して、光検出器４２２から出力される電気信号の強度から基準試料４１４ａ及びターゲット試料４１４ｂの生化学的反応の程度が分かる。
図１０は、本発明によるバイオチップの動作例を示すフローチャートである。
図１０を参照して、図４及び図６に示したバイオチップ４００または６００の動作１１００は、反応動作（Ｓ１１０）、光検出動作（Ｓ１２０）、信号処理動作（Ｓ１３０）及び出力動作（Ｓ１４０）を含む。
反応動作（Ｓ１１０）では、バイオチップ層４１０の複数の反応領域４１２において基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応が起こる。もし生化学的反応が抗原−抗体反応である場合、基準試料４１４ａは抗原でもよく、ターゲット試料４１４ｂは人の血液などでもよい。ターゲット試料４１４ｂは、化学結合によって発光物質または蛍光物質と結合していてもよい。
光検出動作（Ｓ１２０）では、蛍光を用いた場合には照射動作の際、発光を用いた場合には外部光を遮断する動作の際、蛍光または発光によって発生した光が、イメージセンサ層４２０に設けられた複数の光検出器４２２によって検出され、電気信号として信号処理部４２４に伝送される。このとき、信号処理部４２４は、光検出器４２２の各々で発生した電気信号を処理してもよく、複数の光検出器４２２が行(Row)と列(Column)で構成されたアレイ状に形成されている場合は、信号処理部４２４は、行単位または列単位で光検出器４２２で発生した電気信号を処理してもよい。
信号処理動作（Ｓ１３０）では、複数の光検出器４２２から出力された電気信号がＩＳＰなどの信号処理部４２４に伝送され、信号処理部４２４は、各光検出器４２２で検出された光の強度を計算し、バイオチップ層４１０での基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応の程度が計算される。
このとき、基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応が０％である場合に対応して、光検出器で検出される光の強度が暗レベル（ＤＬ）であり、生化学的反応が１００％である場合に対応して、光検出器で検出される光の強度が白レベルＷＬであると仮定すると、バイオチップ層４１０の反応領域４１２の各々から発生する光の強度は、ＤＬとＷＬの範囲内になり、これを利用して基準試料４１４ａとターゲット試料４１４ｂとの生化学的反応の程度を計算することができる。
出力動作（Ｓ１４０）では、信号処理部４２４は、各反応領域４１２での生化学的反応の程度および医学的判断結果を出力する。
以上、本発明の技術思想を添付図面と共に説明したが、これは本発明の望ましい実施例を例示的に説明したものであって、本発明を限定するものではない。また、当業者なら誰も本発明の技術的思想の範疇を離脱しない範囲内で多様な変形及び模倣が可能であることは明白な事実である。
前述したように、本発明によるバイオチップは、バイオチップ層の反応領域とイメージセンサ層の光検出器との間の間隔が最小化されるため、発光や蛍光などの過程で光の損失が減少し、大面積の光検出器が使用できるため、感度が向上する。
また、本発明によるバイオチップは、診断結果がＩＳＰによって処理され出力されるため、医学的知識がない人もバイオチップを容易に使用できる。また、一般的なバイオチップなどで必要なスキャナなどの付加装置が不要になるという長所がある。
また、本発明によるバイオチップは、イメージセンサの製造プロセスにおいて、生化学的反応が起きる反応領域を凹部の形態に製作することが容易であるという長所がある。
本発明の一態様によれば、バイオチップは、生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部(concave)の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光感知部が形成されているイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光感知部の上部には、帯域通過フィルタ(Band Pass Filter)または低域通過フィルタ(Low Pass Filter)が形成され、
前記複数の光感知部は、前記バイオチップ層から発生する光に応答して電気的信号を生成し、
前記バイオチップ層から発生する光は、外部光源の助けなく前記複数の反応領域で起きる生化学的反応によって発生する。
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光感知部が形成されているイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光感知部の上部には、帯域通過フィルタ(Band Pass Filter)または低域通過フィルタ(Low Pass Filter)が形成され、
前記複数の光感知部は、前記バイオチップ層から発生する光に応答して電気的信号を生成し、
前記バイオチップ層から発生する光は、外部光源の助けなく前記複数の反応領域で起きる生化学的反応によって発生する。
Claims (15)
- 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態で形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備えることを特徴とするバイオチップ。 - 前記ターゲット試料は、発光物質を含むことを特徴とする請求項１に記載のバイオチップ。
- 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光検出器の上部には、帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成されていることを特徴とするバイオチップ。 - 前記ターゲット試料は、蛍光物質を含むことを特徴とする請求項３に記載のバイオチップ。
- 前記複数の反応領域の各々の下部には、前記光検出器が少なくとも１つ形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバイオチップ。
- 前記イメージセンサ層は、前記複数の光検出器から得られる信号を処理する信号処理部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバイオチップ。
- 前記バイオチップ層及び前記イメージセンサ層は、単一の基板に形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバイオチップ。
- 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器及び前記複数の光検出器から得られる信号を処理する信号処理部を含むイメージセンサ層とを備えることを特徴とするバイオチップ。 - 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器及び前記複数の光検出器から得られる信号を処理する信号処理部を含むイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光検出器の各々の上部には、帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成されていることを特徴とするバイオチップ。 - 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層であって、複数の光検出器の一部の上部に帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成され、他の部分の上部に帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成されていないイメージセンサ層とを備えることを特徴とするバイオチップ。 - 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器及び前記複数の光検出器から得られる信号を処理する信号処理部を含むイメージセンサ層であって、複数の光検出器の一部の上部に帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成され、他の部分の上部に帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成されていないイメージセンサ層とを備えることを特徴とするバイオチップ。 - 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光検出器のうちの１つは、前記反応領域における生化学的反応の程度が０％である場合に対応して、光を検出して電気信号として出力し、
前記複数の光検出器のうちの１つは、前記反応領域における生化学的反応の程度が１００％である場合に対応して、光を検出して電気信号として出力することを特徴とするバイオチップ。 - 前記反応領域における生化学的反応の程度が０％である場合に電気信号を出力する光検出器の上部には、光遮断膜が形成されていることを特徴とする請求項１２に記載のバイオチップ。
- 生化学的反応が起きる複数の反応領域が凹部の形態に形成され、前記反応領域の下部には基準試料が設けられ、前記反応領域の上部にはターゲット試料が挿入されるバイオチップ層と、
前記バイオチップ層の下部に形成され、上部に帯域通過フィルタまたは低域通過フィルタが形成されている複数の光検出器を含むイメージセンサ層とを備え、
前記複数の光検出器のうちの１つは、前記反応領域における生化学的反応の程度が０％である場合に対応して、光を検出して電気信号として出力し、
前記複数の光検出器のうちの１つは、前記反応領域における生化学的反応の程度が１００％である場合に対応して、光を検出して電気信号として出力することを特徴とするバイオチップ。 - 前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項７に記載のバイオチップ。
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