KR100801448B1 - 바이오칩 - Google Patents
바이오칩 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100801448B1 KR100801448B1 KR1020070047583A KR20070047583A KR100801448B1 KR 100801448 B1 KR100801448 B1 KR 100801448B1 KR 1020070047583 A KR1020070047583 A KR 1020070047583A KR 20070047583 A KR20070047583 A KR 20070047583A KR 100801448 B1 KR100801448 B1 KR 100801448B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- biochip
- layer
- reaction
- light sensing
- light
- Prior art date
Links
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 title claims abstract description 102
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000005842 biochemical reaction Methods 0.000 claims description 54
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 51
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- IGXWBGJHJZYPQS-SSDOTTSWSA-N D-Luciferin Chemical compound OC(=O)[C@H]1CSC(C=2SC3=CC=C(O)C=C3N=2)=N1 IGXWBGJHJZYPQS-SSDOTTSWSA-N 0.000 abstract description 8
- CYCGRDQQIOGCKX-UHFFFAOYSA-N Dehydro-luciferin Natural products OC(=O)C1=CSC(C=2SC3=CC(O)=CC=C3N=2)=N1 CYCGRDQQIOGCKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- BJGNCJDXODQBOB-UHFFFAOYSA-N Fivefly Luciferin Natural products OC(=O)C1CSC(C=2SC3=CC(O)=CC=C3N=2)=N1 BJGNCJDXODQBOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- DDWFXDSYGUXRAY-UHFFFAOYSA-N Luciferin Natural products CCc1c(C)c(CC2NC(=O)C(=C2C=C)C)[nH]c1Cc3[nH]c4C(=C5/NC(CC(=O)O)C(C)C5CC(=O)O)CC(=O)c4c3C DDWFXDSYGUXRAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 4
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 3
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 3
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 2
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 108060001084 Luciferase Proteins 0.000 description 1
- 239000005089 Luciferase Substances 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- TTWYZDPBDWHJOR-IDIVVRGQSA-L adenosine triphosphate disodium Chemical compound [Na+].[Na+].C1=NC=2C(N)=NC=NC=2N1[C@@H]1O[C@H](COP(O)(=O)OP(O)(=O)OP([O-])([O-])=O)[C@@H](O)[C@H]1O TTWYZDPBDWHJOR-IDIVVRGQSA-L 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
- G01N21/6454—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates using an integrated detector array
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N2021/0325—Cells for testing reactions, e.g. containing reagents
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
- G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
- G01N2021/7769—Measurement method of reaction-produced change in sensor
- G01N2021/7786—Fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
- G01N21/76—Chemiluminescence; Bioluminescence
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Hematology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Urology & Nephrology (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Abstract
본 발명은 고감도의 이미지센서를 포함하는 바이오칩에 관한 것으로, 본 발명에 따른 바이오칩은 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층 및 상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부(Photo Detector)가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하여 이루어진다. 본 발명에 따른 바이오칩은 단일 칩에 바이오칩층과 이미지센서층을 구비함으로써 발광이나 형광 등의 과정에서 광의 손실이 적고, 일반적인 바이오칩 등에서 필요로 하는 별도의 스캐너 등의 부가장치들이 필요하지 않아서 감도가 우수하고, 저렴한 바이오칩을 구현할 수 있다.
바이오칩, 이미지센서
Description
도 1은 종래의 바이오칩을 나타낸다.
도 2는 종래의 바이오칩의 처리 흐름을 나타낸다.
도 3은 도 1에 도시된 바이오칩을 스캐닝하기 위한 장치를 나타낸다.
도 4는 본 발명에 따른 바이오칩의 일실시예를 나타낸다.
도 5는 도 4에 도시된 바이오칩의 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 바이오칩의 다른 일실시예를 나타낸다.
도 7 및 도 8은 도 4 및 도 6에 도시된 바이오칩의 Dark Level 및 White Level의 예들을 도시한 것이다.
도 9는 Dark Level 및 White Level을 통한 반응의 정도의 예를 도시한 것이다.
도 10은 본 발명에 따른 바이오칩의 처리 흐름의 예를 나타낸다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
401 : 기판 410 : 바이오칩층
412 : 반응영역 414a : 기준시료
414b : 표적시료 420 : 이미지센서층
422 : 광감지부 424 : 신호처리부
610 : 필터부
본 발명은 바이오칩에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 고감도의 이미지센서를 포함하는 바이오칩에 관한 것이다.
일반적으로 바이오칩은 유리, 실리콘, 혹은 나일론 등의 재질을 갖는 기판 위에 DNA, 단백질 등의 생물학적 분자들로 구성되는 기준시료가 규칙적으로 배열된 형태로 형성된다. 바이오칩은 배열되는 기준시료의 종류에 따라 DNA 칩이나 단백질 칩 등으로 분류된다. 바이오칩은 기판에 고정된 기준시료와 표적시료의 생화학적인 반응을 기본적으로 이용하며, 이러한 기준시료와 표적시료의 생화학적인 반응의 대표적인 예는 DNA 염기간의 상보적인 결합이나 항원-항체 반응을 들 수 있다.
바이오칩에 의한 진단은 대부분 광학적인 과정을 통하여 생화학적 반응이 일어나는 정도를 검출함으로써 이루어진다. 일반적으로 이용되는 광학적인 과정은 형광 또는 발광을 이용한다.
형광을 이용한 광학적인 과정의 예는 바이오칩 내에 고정된 기준시료에 투여되는 표적시료에 형광물질을 결합하여 기준시료와 표적시료 간의 특정한 생화학적인 반응에서 형광물질이 잔류하게 한다. 이후, 외부의 광원을 통해 형광물질이 광을 발생하게 하여, 발생된 광을 측정하는 것이다.
발광을 이용한 광학적인 과정의 예는 바이오칩 내에 고정된 기준시료에 투여 되는 표적시료에 발광물질을 결합하여 기준시료와 표적시료 간의 특정한 생화학적인 반응에서 발광물질이 잔류하게 한다. 이후, 외부광 없이도 자체적인 발광이 일어나도록 하여, 발생된 광을 측정하는 것이다.
도 1은 종래의 바이오칩의 구조를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 종래의 바이오칩(100)은 유리 등의 기판(110)에 일정한 간격으로 여러 종류의 기준시료들(120)이 배치되어 이루어진다.
종래의 바이오칩(100)에 표적시료를 기준시료(120) 상에 투여하면, 표적시료와 기준시료(120)와의 생화학적 반응이 일어난다. 이때 표적시료 속에 일정한 양의 형광물질 또는 발광물질이 화학적 결합 등으로 포함되어 있을 경우, 생화학적인 반응이 일어난 정도에 따라서 생화학적인 반응 후 잔류하는 형광물질 또는 발광물질의 양도 달라지게 된다.
기준시료와 표적시료 간에 생화학적인 반응이 일어난 바이오칩(100)에 조광(irradiation)하면 형광물질이 특정한 광을 발생하게 된다. 형광물질로부터 발생하는 광의 강도를 높이기 위하여 일반적으로 강한 레이저를 조광으로 사용한다. 이러한 형광으로 발생된 광은 별도의 이미지를 얻기 위한 장치를 통하여 이미지로 나타나게 된다.
도 2는 종래의 바이오칩의 처리 흐름(200)의 예를 도시한 것이다.
바이오칩에 고정된 기준시료들에 형광물질 또는 발광물질이 결합된 표적시료를 투여하면 기준시료와 표적시료 간에 생화학적인 반응이 일어난다(S210). 기준시료와 표적시료 간에 생화학적인 반응이 일어난 후, 형광물질의 경우 조광을 하면 잔류하는 형광물질이 특정한 광을 발생한다. 표적시료에 발광물질이 포함된 경우에는 외부광을 차단함으로써 발광물질이 특정한 광을 발생한다.
이후, 별도의 스캐닝 장치를 사용하여 형광물질 또는 발광물질에서 발생된 광에 대한 이미지를 얻는다(S220). 얻어진 이미지는 의학적 지식을 가진 사람에 의하여 판독 과정(S230)을 거치게 된다.
도 3은 종래의 바이오칩(100)으로부터 발생되는 이미지를 얻기 위한 장치의 예를 도시한 것으로, 종래에는 CCD 이미지센서(310), 대한민국특허공개공보 제10-2005-0050858호(2005.06.01. 공개)에 기재되어 있는 것과 같은 레이저 스캐너, 정밀 현미경 등을 이용하였다.
조광(301)에 의하여 형광물질에서 발생되는 광의 강도는 미약한 것이 일반적이다. 따라서, 형광물질에서 발생되는 광을 감지하여 위하여 일반적인 CCD 이미지센서(310)를 이용할 경우에는 반도체를 사용하는 CCD 이미지센서(310)가 써멀 노이즈(Thermal noise)에 취약하므로, 형광물질에서 발생되는 광의 강도가 미약한 경우 광을 모으기 위하여 오랜 노출 시간이 필요하게 된다. 써멀 노이즈 또한 노출시간에 비례하여 커지므로 감지되는 광에는 노이즈 또한 많이 포함되어 광감지 효율이 떨어질 수 있다. 종래에는 CCD 이미지센서(310)에서의 광감지 효율을 높이기 위하여 CCD 이미지센서(310)에 별도의 처리를 하였다.
이러한 별도의 처리의 대표적인 예는 CCD 이미지센서(310)를 냉각하는 것이다. 이러한 CCD 이미지센서(310)의 냉각은 열전자의 발생을 줄여서 열전자에 의해 발생하는 써멀 노이즈를 줄일 수 있으므로, 광감지 효율을 높일 수 있는 장점이 있 다. 그러나, CCD 이미지센서(310)의 냉각은 냉각을 위한 복잡한 과정과 추가의 장치가 필요하다는 단점이 있다.
또한, CCD 이미지센서(310), 레이저 스캐너, 정밀 현미경 등은 고가의 장치들로서 바이오칩의 상용화에 많은 장애로 작용하고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 단일 칩 내에 바이오칩과 고감도의 이미지센서를 구비하여 고가의 스캐닝 장치 등의 별도의 장치가 필요하지 않고, 이미지센서에 구비된 ISP(Image signal processor)에서 신호를 처리함으로써, 칩 레벨(chip level)에서 바이오칩의 생화학적인 반응 결과가 분석되어 최종적인 판단이 출력될 수 있는 바이오칩을 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 바이오칩은 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및 상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부(Photo Detector)가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하여 이루어진다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 다른 일실시예에 따른 바이오칩은 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및 상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광 감지부가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하고, 상기 복수의 광감지부 상부에는 대역통과필터(Band Pass Filter) 또는 저역통과필터(Low Pass Filter)가 형성되어 있는 것으로 이루어진다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명에 따른 바이오칩의 일실시예를 나타낸 단면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 바이오칩(400)의 평면도이다.
도 4에 도시된 바이오칩(400)은 단일의 기판(401)에 바이오칩층(410) 및 이미지센서층(420)을 구비하여 이루어진다.
바이오칩층(410)은 홈의 형태로 복수의 반응영역(412)이 형성되어 있으며, 반응영역(412)의 하부에는 기준시료(414a)가 구비되어 있으며, 반응영역(412)의 상부에는 표적시료(414b)가 삽입된다. 표적시료(414b)에는 외부광이 차단되었을 때 스스로 광을 발생하는 발광물질이 포함되어 있을 수 있다. 발광물질의 대표적인 예로 루시페린(Luciferin)을 들 수 있다. 루시페린이 ATP(Adenosine Tri-Phosphate)에 의해 활성화되면 활성 루시페린이 되고, 이 활성 루시페린이 루시페라아제의 작용에 의해 산화되어 산화 루시페린이 되면서 화학에너지가 광에너지로 변하면서 광을 발생시키게 된다.
이때, 반응영역(412)이 형성되는 홈의 형태는 반도체 제조 공정에서 식각공정 등에 의해 쉽게 형성될 수 있다.
기준시료(414a)는 어떠한 생화학적인 반응을 목표로 하는 것인가에 따라서 달라진다. 만약, 생화학적인 반응이 항원-항체 반응이라면 기준시료(414a)는 항원이 될 수 있고, 생화학적인 반응이 DNA 염기간의 상보적인 결합이라면 기준시료(414a)는 상보적인 결합이 가능하게 조작된 유전자가 될 수 있다. 이러한 기준시료(414a)와 생화학적인 반응을 하게 되는 표적시료(414b)는 기준시료(414a)에 따라서 결정된다. 예로, 기준시료(414a)가 항원이라면 표적시료(414b)는 혈액 등이 될 수 있고, 기준시료(414a)가 조작된 유전자라면 표적시료(414b)는 사용자의 유전자 등이 될 수 있다.
이미지센서층(420)은 바이오칩층(410) 하부에 형성되며, 복수의 광감지부(Photo Detector, 422)를 구비한다. 바이오칩층(410)의 복수의 반응영역(412) 각각의 하부에는 이미지센서층(420)의 단수 혹은 다수의 광감지부(422)가 형성되어 있을 수 있다.
DNA 염기간의 상보적인 결합이나 항원-항체 반응과 같은 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응의 정도가 반응영역(412)마다 다르게 된다면, 표적시료(414b)에 결합된 루시페린(Luciferin) 등과 같은 발광물질의 잔류량도 반응영역(412)마다 다르게 될 수 있다. 이때, 잔류하는 발광물질의 발광을 위하여 외부 광을 차단하였을 때 발광물질의 잔류량에 따라서 반응영역(412)마다 다른 강도의 광이 발광물질로부터 발생하게 된다. 따라서, 반응영역(412) 각각에 대응하는 광감지부(422)에서 감지되는 광의 강도도 광감지부(422)마다 서로 다르게 된다.
광감지부(422)에 감지된 광은 전기적인 신호로 출력되고, 이러한 전기적인 신호는 ISP(Image Signal Processor)와 같은 신호처리부에 의해 처리되게 된다. 이 때, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 이미지센서층(420) 내부에 신호처리부(424)가 구비될 수 있다.
본 발명에서는 하나의 기판(401)에 바이오칩층(410) 및 이미지센서층(420)이 구비된다. 이때, 바이오칩의 특성상 형광 또는 발광을 이용하게 되므로, 바이오칩 층(410)은 글래스 기판과 같은 투명 기판에 형성되는 것이 바람직하다. 기판(401)에는 광감지부(422) 등을 포함하는 이미지센서층(420)이 먼저 형성되고, 그 후 반응영역(412) 등을 포함하는 바이오칩층(410)이 형성될 수 있다.
도 4에 도시된 바이오칩(400)은 단일의 기판(401)에 바이오칩층(410)과 이미지센서층(420)이 형성된 구조로써, 바이오칩층(410)의 반응영역(412)과 이미지센서층(420)의 광감지부(422) 사이의 간격을 최소한으로 줄일 수 있다. 따라서, 발광의 과정에서 광의 손실을 줄일 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 바이오칩의 다른 일실시예를 나타낸다.
도 4에 도시된 바이오칩(400)이 발광을 이용한 예라면, 도 6에 도시된 바이오칩(600)은 형광을 이용한 예이다. 형광을 이용하기 위해서는 조광에 의해 특정 파장대의 광을 발생시킬 수 있는 형광물질이 요구된다. 이러한 형광물질은 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 반응의 결과로서 반응영역(412) 내에서 생성될 수 있다. 또한 GFP(Green Fluorescence Protein) 등과 같은 임의의 형광물질을 표적시료(414b)에 결합시켜, 기준시료(414a)와 표적시료(414b) 간에 특정한 생화학적인 반응 후에 반응영역(412) 내에 형광물질이 잔류하게 할 수도 있다.
이때, 잔류하는 형광물질의 형광을 위하여 조광을 하였을 때, 반응영역(412) 에서의 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응의 정도에 따라서 잔류하는 형광물질의 양이 달라지고, 따라서 서로 다른 강도의 광을 발생되게 된다. 형광을 이용하는 바이오칩의 경우, 조광(601)으로 효율적인 형광을 얻기 위하여 자외선이나 청색광 등이 사용될 수 있으며, 형광물질은 녹색광이나 특정한 밴드를 갖는 광을 발생시킬 수 있는 물질이 사용될 수 있다.
따라서, 조광(601)으로 사용되는 광은 차단하고, 기준시료(414a) 및 표적시료(414b)의 생화학적인 반응 후에 잔류하는 형광물질로부터 발생하는 광만을 측정하기 위하여, 도 6에 도시된 바이오칩(600)은 복수의 광감지부 상부에 필터부(610)가 더 형성되어 있다. 필터부(610)는 대역통과필터(Band Pass Filter, 이하 BPF라 한다), 저역통과필터(Low Pass Filter) 등이 될 수 있는데, 특정한 밴드에 있는 광을 통과시키기 위하여 BPF가 형성되는 것이 더 바람직하다. BPF는 광학 필터를 이용하거나 포토레지스트(Photo Resist)를 이용할 수 있는데, 후자의 경우 일반적인 반도체 제조 공정에서 포토레지스트에 염료를 추가하는 방법 등으로 BPF가 제조될 수 있다.
필터부(610)로 BPF를 이용할 경우, 조광(601)으로 사용되는 광은 BPF에 의해 차단되고, 특정한 밴드 내에 있는 광만이 필터부(610)를 통과하여 복수의 광감지부(422) 각각에 도달하게 된다. 이때, 필터부(610)는 복수의 광감지부(422) 상에 하나의 층으로 형성되어 있거나, 복수의 광감지부(422) 각각의 상부마다에 형성되어 있을 수 있다.
도 4 및 도 6에 도시된 바이오칩(400,600)을 실제에 이용하기 위하여, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응이 전혀 이루어지지 않은 것이라 가정한 경우(생화학적인 반응이 0% 이루어짐)에 해당되는 광감지부(710,810)로부터 출력되는 전기적인 신호(Dark Level) 및 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응이 완전히 이루어진 것이라 가정한 경우(생화학적인 반응이 100% 이루어짐)에 해당되는 광감지부(720,820)로부터 출력되는 전기적인 신호(White Level)를 임의로 정하여 레퍼런스 신호(Reference Signal)로 이용할 수 있다. 이때, 반응영역(412)에서 생화학적인 반응이 0% 이루어질 경우의 신호를 출력하는 광감지부(710,810)의 상부에는 광차단막(715,815)이 형성되어 있을 수 있다. 광차단막(715,815) 상부에 위치하는 반응영역(412)에서 생화학적인 반응이 일어나서 형광 또는 발광에 이한 광이 발생하더라도 광차단막(715,815)에 의해 차단되므로, 광차단막(715,815) 상부에는 반응영역(412)이 없어도 무방하다.
Dark Level에 해당되는 광감지부(710,810)로부터 출력되는 전기적인 신호를 절대치로 변환한 값 및 White Level에 해당되는 광감지부(720,820)로부터 출력되는 전기적인 신호를 절대치로 변환한 값을 알게 되면, 광감지부로부터 출력되는 전기적인 신호의 절대치로 변환한 값에 따라 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응의 정도를 알 수 있다.
도 9는 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응이 0%로 가정한 경우(Dark Level, DL) 및 생화학적인 반응이 100%로 가정한 경우(White Level, WL)를 통한 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응의 정도의 예를 도시 한 것이다. 도 9를 참조하면, 광감지부(422)로부터 출력되는 전기적인 신호의 크기로부터 기준시료(414a) 및 표적시료(414b)의 생화학적인 반응의 정도를 알 수 있다.
도 10은 본 발명에 따른 바이오칩의 처리 흐름의 예를 나타낸다.
도 10을 참조하면, 도 4 및 도 6에 도시된 바이오칩(400,600) 등의 처리 흐름(1100)은, 반응 단계(S110), 광 감지 단계(S120), 신호처리 단계(S130) 및 출력 단계를 구비한다.
반응 단계(S110)에서는 바이오칩층(410)의 복수의 반응영역(412)에서 기준시료(414a)와 표적시료(414b)가 생화학적인 반응을 한다. 만약, 생화학적인 반응이 항원-항체 반응이라면 기준시료(414a)는 항원이 될 수 있고, 표적시료(414b)는 사람의 혈액 등이 될 수 있다. 표적시료(414b)에는 발광물질 또는 형광물질이 표적시료(414b)와의 화학적 결합 등으로 포함되어 있을 수 있다.
광 감지 단계(S120)에서는 형광을 사용하는 경우 조광하거나, 발광을 사용하는 경우 외부의 광을 차단하는 과정을 통하여 형광 또는 발광에 의하여 발생하는 광이 이미지센서층(420)에 구비된 복수의 광감지부(422)에 감지되어 전기적인 신호로 신호처리부(424)로 전달된다. 이때, 신호처리부(424)는 각각의 광감지부(422)별로 발생되는 전기적인 신호를 처리할 수도 있지만, 복수의 광감지부(422)가 행(Row)과 열(Column)로 구성된 어레이로 형성되어 있을 경우에는 신호처리부(424)는 행단위 또는 열단위로 광감지부(422)들로부터 발생되는 전기적인 신호를 처리할 수 있다.
신호처리 단계(S130)에서는 복수의 광감지부(422)로부터 출력된 전기적인 신호가 ISP와 같은 신호처리부(424)로 전송되어 신호처리부(424)에서 각각의 광감지부(422)에서 감지된 광의 밝기에 대한 계산이 이루어지고, 바이오칩층(410)에서의 기준시료(414a) 및 표적신호(414b)의 생화학적인 반응의 정도가 계산된다.
이때, 광감지부 중의 하나는 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응이 0%로 가정한 경우에 해당되는 광감지부에서 감지되는 광의 강도를 Dark Level(DL)이라 하고, 생화학적인 반응이 100%로 가정한 경우에 해당되는 광감지부에서 감지되는 광의 강도를 White Level(WL)이라 한다면, 바이오칩층(410)의 반응영역(412) 각각으로부터 발생하는 광의 강도는 DL과 WL 사이에 있게 되므로, 이를 이용하여 기준시료(414a)와 표적시료(414b)의 생화학적인 반응의 정도가 계산될 수 있다.
출력 단계(S140)에서는 신호처리부(424)에서 각각의 반응영역(412)에 대한 생화학적인 반응 정도와 의학적 판단결과가 출력된다.
이상에서 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 바이오칩은 바이오칩층의 반응영역과 이 미지센서층의 광감지부 사이의 간격이 거의 없으므로, 발광이나 형광 등의 과정에서 광의 손실이 적고, 대면적의 PD를 사용할 수 있으므로 감도가 우수하며, 규격화된 바이오칩을 사용하고 진단 결과가 ISP에서 처리되어 출력됨으로써 의학적 지식이 없는 일반인들도 쉽게 사용할 수 있으며, 일반적인 바이오칩 등에서 필요로 하는 별도의 스캐너 등의 부가장치들이 필요하지 않아서 저렴한 바이오칩을 구현할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 바이오칩은 이미지센서의 제작공정에서 생화학적 반응이 일어나는 반응영역을 홈의 형태로 쉽게 제작할 수 있으므로 바이오칩용 기판을 저렴한 가격으로 제작할 수 있다.
Claims (15)
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부(Photo Detector)가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하되,상기 표적시료에는,발광물질이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 삭제
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하고,상기 복수의 광감지부 상부에는 대역통과필터(Band Pass Filter, 이하 BPF라 한다) 또는 저역통과필터(Low Pass Filter, 이하 LPF라 한다)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 제3항에 있어서, 상기 표적시료에는,형광물질이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 제1항, 제3항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 복수의 반응영역 각각의 하부에는 상기 광감지부가 적어도 하나가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 제1항, 제3항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 이미지센서층은,상기 복수의 광감지부로부터 얻어지는 신호를 처리하는 신호처리부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 제1항, 제3항 또는 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 바이오칩층 및 상기 이미지센서층은 하나의 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부 및 상기 복수의 광감지부로부터 얻어지는 신호를 처리하는 신호처리부가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부 및 상기 복수의 광감지부로부터 얻어지는 신호를 처리하는 신호처리부가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하고,상기 복수의 광감지부 각각의 상부에는 BPF 또는 LPF가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 일부는 상부에 BPF 또는 LPF가 형성되어 있으며 다른 일부는 상부에 BPF 또는 LPF가 형성되어 있지 않은 복수의 광감지부가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부 에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 일부는 상부에 BPF 또는 LPF가 형성되어 있으며 다른 일부는 상부에 BPF 또는 LPF가 형성되어 있지 않은 복수의 광감지부 및 상기 복수의 광감지부로부터 얻어지는 신호를 처리하는 신호처리부가 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 복수의 광감지부를 구비하여 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하고,상기 복수의 광감지부 중 하나는 상기 반응영역에서 생화학적인 반응이 0% 이루어질 경우의 광을 감지하여 전기적인 신호로 출력하고,상기 복수의 광감지부 중 다른 하나는 상기 반응영역에서 생화학적인 반응이 100% 이루어질 경우의 광을 감지하여 전기적인 신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 제12항에 있어서,상기 반응영역에서 생화학적인 반응이 0% 이루어질 경우의 신호를 출력하는 광감지부는,상부에 광차단막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 생화학적인 반응이 일어나는 복수의 반응영역이 홈의 형태로 형성되어 있으며, 상기 반응영역의 하부에는 기준시료가 구비되어 있으며, 상기 반응영역의 상부에는 표적시료가 삽입되는 바이오칩층; 및상기 바이오칩층 하부에 형성되며, 상부에 BPF 또는 LPF가 형성되어 있는 복수의 광감지부를 구비하여 형성되어 있는 이미지센서층을 구비하고,상기 복수의 광감지부 중 하나는 상기 반응영역에서 생화학적인 반응이 0% 이루어질 경우의 광을 감지하여 전기적인 신호로 출력하고,상기 복수의 광감지부 중 다른 하나는 상기 반응영역에서 생화학적인 반응이 100% 이루어질 경우의 광을 감지하여 전기적인 신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 바이오칩.
- 제7항에 있어서, 상기 기판은,글래스 기판인 것을 특징으로 하는 바이오칩.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070047583A KR100801448B1 (ko) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 바이오칩 |
| PCT/KR2007/005035 WO2008140158A1 (en) | 2007-05-16 | 2007-10-15 | Biochip |
| US12/599,979 US20100239457A1 (en) | 2007-05-16 | 2007-10-15 | Biochip |
| CN200780052992A CN101680839A (zh) | 2007-05-16 | 2007-10-15 | 生物芯片 |
| EP07833344A EP2156167A4 (en) | 2007-05-16 | 2007-10-15 | BIOCHIP |
| JP2010508277A JP2010527022A (ja) | 2007-05-16 | 2007-10-15 | バイオチップ |
| JP2012268164A JP2013068628A (ja) | 2007-05-16 | 2012-12-07 | バイオチップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070047583A KR100801448B1 (ko) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 바이오칩 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR100801448B1 true KR100801448B1 (ko) | 2008-02-11 |
Family
ID=39342516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020070047583A KR100801448B1 (ko) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 바이오칩 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20100239457A1 (ko) |
| EP (1) | EP2156167A4 (ko) |
| JP (2) | JP2010527022A (ko) |
| KR (1) | KR100801448B1 (ko) |
| CN (1) | CN101680839A (ko) |
| WO (1) | WO2008140158A1 (ko) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101062330B1 (ko) | 2010-01-14 | 2011-09-05 | (주)실리콘화일 | 배면광 포토다이오드 구조를 갖는 이미지 센서를 구비한 바이오칩 |
| KR101160668B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2012-06-28 | (주)실리콘화일 | 발광소자가 내장된 바이오칩, 상기 바이오칩을 이용한 바이오 진단장치 및 방법 |
| US8921280B2 (en) | 2009-02-11 | 2014-12-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Integrated bio-chip and method of fabricating the integrated bio-chip |
| KR101569833B1 (ko) | 2009-02-11 | 2015-11-18 | 삼성전자주식회사 | 집적된 바이오칩 및 이의 제조방법 |
| KR20170128812A (ko) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 전자부품연구원 | 바이오센서 및 이를 이용한 바이오센싱방법 |
| KR20220052021A (ko) * | 2020-10-20 | 2022-04-27 | 주식회사 신코 | 형광측정 기준시료 제조방법 및 이를 이용한 형광측정 기준시료 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100822672B1 (ko) * | 2007-06-27 | 2008-04-17 | (주)실리콘화일 | 이미지센서를 이용한 진단장치 및 그 제조방법 |
| JP2013092393A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Sony Corp | ケミカルセンサ、生体分子検出装置及び生体分子検出方法 |
| EP3001182B1 (en) * | 2014-09-25 | 2017-11-29 | Optolane Technologies Inc. | Method for manufacturing biochip having improved fluorescent signal sensing properties and biochip manufactured by the same |
| TWI571626B (zh) * | 2015-07-15 | 2017-02-21 | 力晶科技股份有限公司 | 具有奈米腔的集成生物感測器及其製作方法 |
| JP2019093377A (ja) | 2017-11-22 | 2019-06-20 | 株式会社エンプラス | 流体チップ、流体デバイスおよびそれらの製造方法 |
| JP6964050B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2021-11-10 | オリンパス株式会社 | 光学素子の製造方法 |
| CN112415002B (zh) * | 2020-11-10 | 2023-03-14 | 之江实验室 | 一种基于图像传感器的多模态传感器件 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1164226A (ja) | 1997-08-18 | 1999-03-05 | Casio Comput Co Ltd | バイオセンサ |
| KR20010101642A (ko) * | 1999-11-24 | 2001-11-14 | 추후제출 | 박막 전자발광 장치를 포함하는 광센서 및 어레이 |
| US20050063870A1 (en) | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Seiko Epson Corporation | Biosensor and method of manufacturing biosensor |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07120809B2 (ja) * | 1989-04-04 | 1995-12-20 | 松下電器産業株式会社 | オプティカルバイオセンサ |
| US5846708A (en) | 1991-11-19 | 1998-12-08 | Massachusetts Institiute Of Technology | Optical and electrical methods and apparatus for molecule detection |
| US5608519A (en) * | 1995-03-20 | 1997-03-04 | Gourley; Paul L. | Laser apparatus and method for microscopic and spectroscopic analysis and processing of biological cells |
| AU741076B2 (en) * | 1996-12-12 | 2001-11-22 | Prolume, Ltd. | Apparatus and method for detecting and identifying infectious agents |
| US6060256A (en) * | 1997-12-16 | 2000-05-09 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Optical diffraction biosensor |
| US6743581B1 (en) | 1999-01-25 | 2004-06-01 | Ut-Battelle, Lc | Multifunctional and multispectral biosensor devices and methods of use |
| FR2797053B1 (fr) | 1999-07-13 | 2001-08-31 | Commissariat Energie Atomique | Support d'analyse a transmission de lumiere de fluorescence |
| US7116354B2 (en) * | 2001-06-20 | 2006-10-03 | Xenogen Corporation | Absolute intensity determination for a light source in low level light imaging systems |
| DE10133844B4 (de) * | 2001-07-18 | 2006-08-17 | Micronas Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Analyten |
| JP4606926B2 (ja) * | 2004-04-16 | 2011-01-05 | パナソニック株式会社 | 試料検査装置及びその製造方法 |
| WO2007008864A2 (en) * | 2005-07-12 | 2007-01-18 | Whitehead Institute | Wireless cmos biosensor |
| FR2892196B1 (fr) | 2005-10-18 | 2008-06-20 | Genewave Soc Par Actions Simpl | Procede de fabrication d'un biocapteur a detection integree |
| US20080081332A1 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-03 | Jun Amano | Methods and devices for conducting diagnostic testing |
-
2007
- 2007-05-16 KR KR1020070047583A patent/KR100801448B1/ko active IP Right Grant
- 2007-10-15 WO PCT/KR2007/005035 patent/WO2008140158A1/en active Application Filing
- 2007-10-15 EP EP07833344A patent/EP2156167A4/en not_active Withdrawn
- 2007-10-15 JP JP2010508277A patent/JP2010527022A/ja active Pending
- 2007-10-15 US US12/599,979 patent/US20100239457A1/en not_active Abandoned
- 2007-10-15 CN CN200780052992A patent/CN101680839A/zh active Pending
-
2012
- 2012-12-07 JP JP2012268164A patent/JP2013068628A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1164226A (ja) | 1997-08-18 | 1999-03-05 | Casio Comput Co Ltd | バイオセンサ |
| KR20010101642A (ko) * | 1999-11-24 | 2001-11-14 | 추후제출 | 박막 전자발광 장치를 포함하는 광센서 및 어레이 |
| US20050063870A1 (en) | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Seiko Epson Corporation | Biosensor and method of manufacturing biosensor |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8921280B2 (en) | 2009-02-11 | 2014-12-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Integrated bio-chip and method of fabricating the integrated bio-chip |
| KR101569833B1 (ko) | 2009-02-11 | 2015-11-18 | 삼성전자주식회사 | 집적된 바이오칩 및 이의 제조방법 |
| KR101062330B1 (ko) | 2010-01-14 | 2011-09-05 | (주)실리콘화일 | 배면광 포토다이오드 구조를 갖는 이미지 센서를 구비한 바이오칩 |
| KR101160668B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2012-06-28 | (주)실리콘화일 | 발광소자가 내장된 바이오칩, 상기 바이오칩을 이용한 바이오 진단장치 및 방법 |
| KR20170128812A (ko) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 전자부품연구원 | 바이오센서 및 이를 이용한 바이오센싱방법 |
| KR102258232B1 (ko) | 2016-05-16 | 2021-05-31 | 한국전자기술연구원 | 바이오센서 및 이를 이용한 바이오센싱방법 |
| KR20220052021A (ko) * | 2020-10-20 | 2022-04-27 | 주식회사 신코 | 형광측정 기준시료 제조방법 및 이를 이용한 형광측정 기준시료 |
| KR102452309B1 (ko) | 2020-10-20 | 2022-10-07 | 주식회사 신코 | 형광측정기 검교정용 표준시료의 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101680839A (zh) | 2010-03-24 |
| EP2156167A4 (en) | 2010-06-30 |
| JP2013068628A (ja) | 2013-04-18 |
| EP2156167A1 (en) | 2010-02-24 |
| US20100239457A1 (en) | 2010-09-23 |
| WO2008140158A1 (en) | 2008-11-20 |
| JP2010527022A (ja) | 2010-08-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100801448B1 (ko) | 바이오칩 | |
| KR100822672B1 (ko) | 이미지센서를 이용한 진단장치 및 그 제조방법 | |
| KR101062330B1 (ko) | 배면광 포토다이오드 구조를 갖는 이미지 센서를 구비한 바이오칩 | |
| TWI521205B (zh) | Chemical detectors, biological molecular detection devices and biological molecular detection methods | |
| US20180127818A1 (en) | Method and system for multiplex genetic analysis | |
| US6596483B1 (en) | System and method for detecting molecules using an active pixel sensor | |
| US20100140460A1 (en) | Device for the exalted detection of the emission of a target particle | |
| US20140099732A1 (en) | Optical sensor for analyte detection | |
| JP2005504293A (ja) | 蛍光バイオセンサーチップおよび蛍光バイオセンサーチップアレンジメント | |
| US20160061730A1 (en) | Fluorescence detection apparatus, test substance detection apparatus, and fluorescence detection method | |
| KR101160668B1 (ko) | 발광소자가 내장된 바이오칩, 상기 바이오칩을 이용한 바이오 진단장치 및 방법 | |
| KR101569515B1 (ko) | 측광형 발광소자가 내장된 바이오칩 및 그 제조방법 | |
| CN106404727B (zh) | 感测模块及感测方法 | |
| WO2013140707A1 (ja) | ケミカルセンサ、ケミカルセンサの製造方法、化学物質検出装置 | |
| JP2009222583A (ja) | 撮像装置、生体高分子分析チップ及び分析方法 | |
| US10633734B2 (en) | Optical sensor for analyte detection | |
| US20120202299A1 (en) | Illumination detection system and method | |
| JP2003161699A (ja) | 蛍光検出装置 | |
| WO2023205729A1 (en) | Polarization based sensing | |
| KR20100091840A (ko) | 집적된 바이오칩 및 이의 제조방법 | |
| Iordanov et al. | Integrated sensor arrays for bioluminescence and fluorescence bio-chemical analysis | |
| JP2024509492A (ja) | ピクセルあたり複数の反応部位を有するセンサ | |
| JP2009192368A (ja) | 生体高分子分析チップ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| A302 | Request for accelerated examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| G170 | Publication of correction | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130125 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140129 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141212 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151116 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170125 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180125 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200225 Year of fee payment: 13 |