JP2013043246A - 水晶片の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】面ダレ部分を備えていない水晶片の形成方法であって、外形寸法精度が優れ、水晶板から効率よく複数の水晶片を同時に形成することができる生産性が向上された形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の主面が鏡面状態となっている水晶片の形成方法であって、前記水晶片の主面より大きい主面の水晶板を形成する水晶板形成工程と、前記水晶板の主面をラッピングするラッピング工程と、前記ラッピングされた前記水晶板の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板の主面を前記ラッピングされた前記水晶板の板厚が前記水晶片の板厚と同じとなるまで、ポリシングするポリシング工程と、前記ポリシングされた前記水晶板の主面の大きさが前記水晶片と同じ大きさとなるまで、前記ポリシングされた前記水晶板の側面を研削する研削工程と、を備えていることを特徴とする。
【選択図】 図6
【解決手段】少なくとも一方の主面が鏡面状態となっている水晶片の形成方法であって、前記水晶片の主面より大きい主面の水晶板を形成する水晶板形成工程と、前記水晶板の主面をラッピングするラッピング工程と、前記ラッピングされた前記水晶板の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板の主面を前記ラッピングされた前記水晶板の板厚が前記水晶片の板厚と同じとなるまで、ポリシングするポリシング工程と、前記ポリシングされた前記水晶板の主面の大きさが前記水晶片と同じ大きさとなるまで、前記ポリシングされた前記水晶板の側面を研削する研削工程と、を備えていることを特徴とする。
【選択図】 図6
Description
本発明は、少なくとも一方の主面が鏡面状態となっている水晶片の形成方法に関する。
両主面が鏡面状態となっている水晶片は、光学デバイスに用いられる光学部品素子や電子デバイスの一例である水晶振動素子に多く用いられており、その使用用途に合わせ、主面の大きさ及び板厚が決定されている。
このような水晶片は、一般的に、両主面が水晶片と同じ形状の水晶板の両主面が従来周知のラッピング及びポリシングされ形成されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前述したような水晶片は、従来周知のラッピング及びポリシングされることで水晶板の両主面の縁部が曲面状に形成された状態となり、光学部品素子又は水晶振動素子として用いることができなくなる恐れがある。
ここで、両主面の縁部が曲面状に形成された状態を面ダレとし、両主面の縁部の曲面状に形成されている部分を面ダレ部分とする。
従って、両主面が水晶片と同じ形状の水晶板の両主面がラッピング及びポリシングされ形成された水晶片は、その両主面の縁部に面ダレ部分が生じている。
ここで、両主面の縁部が曲面状に形成された状態を面ダレとし、両主面の縁部の曲面状に形成されている部分を面ダレ部分とする。
従って、両主面が水晶片と同じ形状の水晶板の両主面がラッピング及びポリシングされ形成された水晶片は、その両主面の縁部に面ダレ部分が生じている。
面ダレ部分を有していない水晶片を形成するために、主面が所望する大きさの水晶片の主面より大きい水晶板を形成した後にラッピング及びポリシングし、ラッピング及びポリシングされた水晶板から所望する大きさの水晶片を刳り貫くように切断して形成する方法がある。
このように水晶片を刳り貫くように切断して形成する方法は、例えば、主面が所望する大きさの水晶片の主面より大きい水晶板を形成した後にラッピング及びポリシングし、カップホイールを備えた研削加工ジグを用いて形成している。
この研削加工ジグは、カップホイールを備えており、カップホイールの先端部に研削刃が形成されており、カップホイール内の壁面に砥粒が形成されている構成となっている。このカップホイール内の砥粒は、カップホイールの先端側からカップホイールの終端側に向かう向きに砥粒径が細かくなるように多段に形成されている。
従って、このような水晶片は、カップホイールの先端側がラッピング及びポリシングされた水晶板の水晶片となる部分に接触され、水晶片となる部分の外縁側の縁部に沿った部分が研削されて水晶片となる部分が刳り貫かれるように切断されて形成される(例えば、特許文献2参照)。
この研削加工ジグは、カップホイールを備えており、カップホイールの先端部に研削刃が形成されており、カップホイール内の壁面に砥粒が形成されている構成となっている。このカップホイール内の砥粒は、カップホイールの先端側からカップホイールの終端側に向かう向きに砥粒径が細かくなるように多段に形成されている。
従って、このような水晶片は、カップホイールの先端側がラッピング及びポリシングされた水晶板の水晶片となる部分に接触され、水晶片となる部分の外縁側の縁部に沿った部分が研削されて水晶片となる部分が刳り貫かれるように切断されて形成される(例えば、特許文献2参照)。
また、面ダレ部分を有していない水晶片を形成する水晶片の形成方法の別の一例として、主面が所望する大きさの水晶片の主面より大きい水晶板を形成した後にラッピング及びポリシングし、面ダレ部分を避けて水晶片となる部分を割付し、水晶片となる部分を切断する方法がある。
従って、このような水晶片は、ラッピング及びポリシングされた水晶板がダイシングソーの切断装置で所望する大きさの水晶片となる部分の縁部に沿って切断されて形成される(例えば、特許文献3参照)。
従って、このような水晶片は、ラッピング及びポリシングされた水晶板がダイシングソーの切断装置で所望する大きさの水晶片となる部分の縁部に沿って切断されて形成される(例えば、特許文献3参照)。
しかしながら、従来の水晶片の形成方法では、主面が所望する水晶片の主面より大きい水晶板が形成された後にラッピング及びポリシングされ、研削加工ジグのカップホイールの先端側を接触させて水晶片となる部分の外縁側の縁部に沿った部分を研削し水晶片となる部分を刳り貫くように切断して水晶片を形成しているので、所望する水晶片の主面の大きさに応じたカップホイールを備えた研削加工ジグが必要となる。
このため、従来の水晶片の形成方法では、水晶片が小型化された場合、カップホイールの厚みが磨耗により減少するので、研削加工ジグの加工精度が低下し、その結果、形成される水晶片の外形寸法の精度が低下し生産性が低下する恐れがある。
このため、従来の水晶片の形成方法では、水晶片が小型化された場合、カップホイールの厚みが磨耗により減少するので、研削加工ジグの加工精度が低下し、その結果、形成される水晶片の外形寸法の精度が低下し生産性が低下する恐れがある。
また、従来の水晶片の形成方法では、主面が所望する水晶片の主面より大きい水晶板が形成された後にラッピング及びポリシングされ、研削加工ジグのカップホイールの先端側を接触させて水晶片となる部分の外縁側の縁部に沿った部分を研削し水晶片となる部分を刳り貫くように切断して水晶片を形成しているので、研削加工ジグのカップホイールの先端側を面ダレが生じていない部分に接触させる必要があり、面ダレが生じる部分とカップホイールの先端側を接触させる部分とを合わせた大きさより水晶板の主面の大きさが大きい水晶板を形成しなければならない。
このため、従来の水晶片の形成方法では、カップホイールの先端側が接触する部分の分だけ水晶板を大きくしなければならず、生産性が低下する。
このため、従来の水晶片の形成方法では、カップホイールの先端側が接触する部分の分だけ水晶板を大きくしなければならず、生産性が低下する。
また、従来の水晶片の形成方法では、主面が所望する水晶片の主面より大きい水晶板を形成した後にラッピング及びポリシングし、面ダレ部分を避けて水晶片となる部分を割付し、所望する大きさの水晶片となる部分をダイシングソー等の切断装置によって切断しているので、所望する大きさの水晶片の主面が曲線構造、例えば、円形形状となっている場合、水晶板の面ダレ部分を除去しつつ水晶片を形成するために手間と時間を要し生産性が低減する恐れがある。
また、従来の水晶片の形成方法では、主面が所望する水晶片の主面より大きい水晶板を形成した後にラッピング及びポリシングし、面ダレ部分を避けて水晶片となる部分を割付し、水晶片となる部分をダイシングソー等の切断装置によって切断しているので、水晶板から所望する大きさの水晶片を形成する場合、所望する大きさの水晶片となる部分ごとに切断しなければならない。
このため、従来の水晶片の形成方法では、水晶板から一度に複数枚の所望する大きさの水晶片を形成することができず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。
このため、従来の水晶片の形成方法では、水晶板から一度に複数枚の所望する大きさの水晶片を形成することができず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。
そこで、本発明では、面ダレ部分を備えていない水晶片の形成方法であって、外形寸法精度が優れ、水晶板から効率よく複数の水晶片を同時に形成することができる生産性が向上された形成方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するため、少なくとも一方の主面が鏡面状態となっている水晶片の形成方法であって、所望する前記水晶片の主面より大きい主面の水晶板を形成する水晶板形成工程と、前記水晶板の主面をラッピングするラッピング工程と、前記ラッピングされた前記水晶板の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板の主面を前記ラッピングされた前記水晶板の板厚が前記水晶片の板厚と同じとなるまで、ポリシングするポリシング工程と、前記ポリシングされた前記水晶板の側面を前記ポリシングされた前記水晶板の主面の大きさが所望する前記水晶片と同じ大きさとなるまで研削する研削工程と、を備えていることを特徴とする。
また、前記課題を解決するため、前記研削工程で、前記ポリシングされた前記水晶板の主面同士を対向させ貼り合わせた状態で複数の前記ポリシングされた前記水晶板の側面を同時に研削することを特徴とする。
このような水晶片の形成方法によれば、所望する水晶片の主面より主面の大きさが大きい水晶板を形成し、ラッピング及びポリシングした後、両主面の大きさが水晶片と同じ大きさとなるまで水晶板の側面を研削し水晶片を形成しているので、従来の水晶片の形成方法のような研削加工ジグを用いることなく水晶片を形成することができる。
このため、このような水晶片の形成方法によれば、水晶片が小型化された場合であっても、研削加工ジグの加工精度の低下により水晶片の外形寸法の精度が低下することを防ぐことができ、生産性を向上させることができる。
このため、このような水晶片の形成方法によれば、水晶片が小型化された場合であっても、研削加工ジグの加工精度の低下により水晶片の外形寸法の精度が低下することを防ぐことができ、生産性を向上させることができる。
また、このような水晶片の形成方法によれば、所望する水晶片の主面より主面の大きさが大きい水晶板を形成し、ラッピング及びポリシングした後、両主面の大きさが水晶片と同じ大きさとなるまで水晶板の側面を研削し水晶片を形成しているので、面ダレ部分のみを研削することで水晶片を容易に形成することができる。
このため、このような水晶片の形成方法によれば、従来の水晶片の形成方法のようにカップホイールの先端側が接触する部分が不要となるので、水晶板から効率よく水晶片を形成することができ生産性を向上させることができる。
このため、このような水晶片の形成方法によれば、従来の水晶片の形成方法のようにカップホイールの先端側が接触する部分が不要となるので、水晶板から効率よく水晶片を形成することができ生産性を向上させることができる。
また、このような水晶片の形成方法によれば、所望する水晶片の主面より主面の大きさが大きい水晶板を形成し、ラッピング及びポリシングした後、両主面の大きさが水晶片と同じ大きさとなるまで水晶板の側面を研削し水晶片を形成しているので、水晶片の主面が曲線構造、例えば、円形形状となっている場合であっても、水晶板の面ダレ部分を容易に除去することができ、生産性を向上させることができる。
また、このような水晶片の形成方法によれば、ポリシングされた水晶板の主面同士を対向させ貼り合わせた状態で複数のポリシングされた水晶板の側面を同時に研削しているので、複数の水晶片を同時に形成することができ、生産性を向上させることができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態をわかりやすくするために誇張して図示している。
本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法で形成される水晶片は、例えば、光学部品素子に用いられ、面ダレ部分を有しておらず、両主面が鏡面状態となっている。
ここで、水晶片の両主面とは、互いに平行となっている水晶片の面であって、水晶片の面の中で最も面積が大きい面である。
また、鏡面状態とは、表面の凹凸が小さくあたかも鏡のようになめらかな表面状態とする。
また、面ダレとは、従来周知のラッピング及びポリシングされた被研磨物の両主面の縁部が曲面状に形成された状態である。
また、この被研磨物の両主面の縁部の曲面状に形成された部分を面ダレ部分とする。
また、面ダレとは、従来周知のラッピング及びポリシングされた被研磨物の両主面の縁部が曲面状に形成された状態である。
また、この被研磨物の両主面の縁部の曲面状に形成された部分を面ダレ部分とする。
また、この水晶片100は、例えば、図1(a)及び図1(b)に示すように、両主面が円形形状となっている。このとき、この水晶片100の板厚T0及び主面の直径R0は、使用する光学部品素子に応じた大きさとなっている。
次に、本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法について説明する。
本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法は、水晶板形成工程、ラッピング工程、ポリシング工程、研削工程を備えている。
本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法は、水晶板形成工程、ラッピング工程、ポリシング工程、研削工程を備えている。
(水晶板形成工程)
水晶板形成工程は、図2(a)及び図2(b)に示すように、所望する前記水晶片100の主面より大きい主面の水晶板110を形成する工程である。
水晶板形成工程では、ワイヤソー切断装置によって、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有したランバード人工水晶が切断された後、研削機によって研削され主面が水晶片100の主面より大きくなるように研削される。
水晶板形成工程は、図2(a)及び図2(b)に示すように、所望する前記水晶片100の主面より大きい主面の水晶板110を形成する工程である。
水晶板形成工程では、ワイヤソー切断装置によって、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有したランバード人工水晶が切断された後、研削機によって研削され主面が水晶片100の主面より大きくなるように研削される。
水晶形成工程で形成された水晶板110は、それぞれの結晶軸に対して主面が所定の角度をなしている。
ここで水晶板110の主面とは、水晶板110の面の中で最も面積が大きい面である。
またこの水晶板110は、その厚みT1が水晶片100の厚みT0より厚くなっている。
ここで、水晶板110の厚みとは、水晶板110の一方の主面から他方の主面までの長さである。
ここで、水晶板110の厚みとは、水晶板110の一方の主面から他方の主面までの長さである。
また、水晶板110は、例えば、図2(a)及び図2(b)に示すように、非研削部111と研削部112とから構成される。
非研削部111は、主面の大きさが水晶片100の主面と同じ大きさとなっている。
従って、非研削部111は、図2(a)及び図2(b)に示すように、主面が水晶片100の直径R0と同じ直径の円形形状となっている円柱形状となっている。
従って、非研削部111は、図2(a)及び図2(b)に示すように、主面が水晶片100の直径R0と同じ直径の円形形状となっている円柱形状となっている。
研削部112は、後述する研削工程で研削される部分であって、後述するラッピング工程及びポリシング工程後に面ダレが生じる部分である。
従って、研削部112は、図2(a)及び図2(b)に示すように、非研削部111の外周に沿って、所定の幅Mとなるように設けられている。
従って、研削部112は、図2(a)及び図2(b)に示すように、非研削部111の外周に沿って、所定の幅Mとなるように設けられている。
ここで、研削部112の所定の幅Mは、主面が水晶片100と同じ大きさの水晶からなる予備板を用いて、後述するラッピング工程及びポリシング工程を行い、面ダレが生じている面ダレ部分の幅を測定し決定している値である。
従って、水晶板形成工程で形成される水晶板110は、両主面が水晶片100の主面より大きい円形形状となっている。このとき、両主面の直径R1は、水晶片100の直径R0と研削部112の所定の幅Mの2倍の長さとを加えた長さとなっている。
例えば、水晶片100の主面の直径R0が26mmとなっており、後述するラッピング工程及びポリシング工程後に面ダレ部分の幅、つまり、検索部112の幅Mが2mmより小さい範囲に生じる場合、水晶板形成工程で形成される水晶板110は、水晶片100となる部分の外縁側の縁部からそれぞれ2mm大きくした大きさ、つまり、水晶板110の直径R1が30mmとなっている。
また、水晶板形成工程で形成される水晶板110は、例えば、厚みT1が水晶片100の厚みより100μm厚くなっている。
また、水晶板形成工程で形成される水晶板110は、例えば、厚みT1が水晶片100の厚みより100μm厚くなっている。
(ラッピング工程)
ラッピング工程は、前記水晶板110の主面をラッピングする工程である。
ラッピング工程は、前記水晶板110の主面をラッピングする工程である。
ここで、ラッピングとは、研磨仕上げ法の一種であり、被研磨物の表層を削り、被研磨物の表面仕上げ改善のために行う研磨である。
ここでは、ラッピングが、例えば、ワイヤソー切断装置で切断され形成された水晶板110の表面の平面度を改善させるために行われる。
ここでは、ラッピングが、例えば、ワイヤソー切断装置で切断され形成された水晶板110の表面の平面度を改善させるために行われる。
ラッピング工程では、例えば、遊離砥粒による研磨方式が採用されている両面研磨機が用いられる。
両面研磨機は、例えば、図3に示すように、センターギアCGと下定盤SJと上定盤UJとインターナルギアIGとキャリアCとを主に備えており、センターギアCGと下定盤SJと上定盤UJとインターなるギアIGとが同一回転軸で回転する構成となっている。
また、両面研磨機は、下定盤SJの一方の主面であってインターナルギアIGとセンターギアCGとの間にキャリアCを配置し、キャリアCに設けられている開口部に研磨対象物である水晶板110を挿入し保持し、上定盤UJとした定盤SJとでキャリアCに保持し、上定盤UJと下定盤SJとでキャリアCに保持されている水晶板110を押圧した状態で、センターギアCGとインターナルギアIGと下定盤SJと上定盤UJとが回転される構成となっている。このとき、キャリアCが自転しつつセンターギアCGの回転軸を中心に工程する構成となっている。
また、両面研磨機は、下定盤SJの一方の主面であってインターナルギアIGとセンターギアCGとの間にキャリアCを配置し、キャリアCに設けられている開口部に研磨対象物である水晶板110を挿入し保持し、上定盤UJとした定盤SJとでキャリアCに保持し、上定盤UJと下定盤SJとでキャリアCに保持されている水晶板110を押圧した状態で、センターギアCGとインターナルギアIGと下定盤SJと上定盤UJとが回転される構成となっている。このとき、キャリアCが自転しつつセンターギアCGの回転軸を中心に工程する構成となっている。
遊離砥粒による研磨方式とは、回転する下定盤SJに配置された研磨対象物である水晶板110の両主面に遊離砥粒及び水を含む混合液であるスラリーを供給しながら、回転する上定盤UJを下定盤SJ方向に移動させることにより、水晶板110の両主面をキャリアCの厚みまで研磨する方式である。
従って、ラッピング工程では、スラリーに含まれる遊離砥粒によって水晶板の両主面を研磨しラッピングしている。
ラッピング工程後の水晶板110の厚みは、水晶板形成で形成された水晶板110の板厚T1より薄く、水晶片100の板厚T0より厚くなっている。
ラッピング工程では、例えば、水晶板形成工程で形成された水晶板110の両主面が85μmラッピングされる。このとき、ラッピング工程後の水晶板110の厚みは、水晶片100の板厚T0より15μm厚くなっている。
(ポリシング工程)
ポリシング工程は、前記ラッピングされた前記水晶板110の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板110の主面を前記ラッピングされた前記水晶板110の板厚が前記水晶片100の板厚T0と同じとなるまで、ポリシングする工程である。
ポリシング工程は、前記ラッピングされた前記水晶板110の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板110の主面を前記ラッピングされた前記水晶板110の板厚が前記水晶片100の板厚T0と同じとなるまで、ポリシングする工程である。
ここで、ポリシングとは、研磨仕上げ法の一種であり、脆性破壊を与えることなく弾塑性変形のみで被研磨物の表面を極微少量ずつ除去し、被研磨物の表面の凹凸を小さくし、被研磨物の表面をあたかも鏡のようになめらかな表面にする研磨である。
よって、ポリシング後の被研磨物の表面は、鏡面状態となる。
よって、ポリシング後の被研磨物の表面は、鏡面状態となる。
ポリシング工程では、例えば、遊離砥粒による研磨方式が採用されている両面研磨機が用いられ、ラッピング工程と同様に、スラリーに含まれる遊離砥粒によって水晶板の両主面をポリシングしている。
ここで、ポリシング工程で用いられる遊離砥粒の大きさは、ラッピング工程で用いられる遊離砥粒の大きさより小さくなっている。
ポリシング工程後の水晶板110は、両主面が鏡面状態となっている。
ポリシング工程後の水晶板110は、図5(a)及び図5(b)に示すように、厚みが水晶片100の厚みT0と同じ厚みとなっている。
ポリシング工程後の水晶板110は、図5(a)及び図5(b)に示すように、非研削部111と研削部112とから構成されている。
ポリシング工程後の水晶板110には、図5(b)に示すように、両主面がラッピング及びポリシングされて両主面の縁部に沿って環状に面ダレが生じている。このとき、面ダレ部分は、研削部112にのみ生じている。
ポリシング工程後の水晶板110には、図5(b)に示すように、両主面がラッピング及びポリシングされて両主面の縁部に沿って環状に面ダレが生じている。このとき、面ダレ部分は、研削部112にのみ生じている。
(研削工程)
研削工程は、前記ポリシングされた前記水晶板110の側面を前記ポリシングされた前記水晶板110の主面の大きさが所望する前記水晶片100と同じ大きさとなるまで研削する工程である。
研削工程は、前記ポリシングされた前記水晶板110の側面を前記ポリシングされた前記水晶板110の主面の大きさが所望する前記水晶片100と同じ大きさとなるまで研削する工程である。
ここで、水晶板110の側面とは、水晶板110の一方の主面と水晶板110の他方の主面とに接している面である。
研削工程では、例えば、研削機が用いて、複数の前記ポリシングされた前記水晶板110の主面同士を対向させ貼り合わせた状態で複数の前記ポリシングされた前記水晶板110の側面を同時に研削する。
従って、研削工程では、研削部分112、つまり、水晶板110の側面を研削するので、面ダレ部分を容易に除去することができる。
このとき、非研削部111が水晶片100と同じ形状となっているので、研削工程で研削部112が研削されると、水晶片100が形成されることとなる。
また、例えば、接着剤によって、複数のポリシングされた水晶板110が貼り合わされた状態で複数のポリシングされた水晶板110の側面が同時に研削されるので、研削工程で複数の水晶片100を一度に形成することが可能となる。このとき、特に図示しないが、非研削部111が接着剤によって貼り合わされている状態となっているので、接着剤が溶融されて複数の水晶片100が形成されている。
このとき、非研削部111が水晶片100と同じ形状となっているので、研削工程で研削部112が研削されると、水晶片100が形成されることとなる。
また、例えば、接着剤によって、複数のポリシングされた水晶板110が貼り合わされた状態で複数のポリシングされた水晶板110の側面が同時に研削されるので、研削工程で複数の水晶片100を一度に形成することが可能となる。このとき、特に図示しないが、非研削部111が接着剤によって貼り合わされている状態となっているので、接着剤が溶融されて複数の水晶片100が形成されている。
ここで、水晶板110は、前述したように、水晶板110の両主面がラッピング及びポリシングされ水晶板110の両主面の外縁側の縁部から2mmより小さい範囲に面ダレが生じている場合、水晶板110の研削部112が水晶板110の両主面の外縁側の縁部から2mmの範囲に設けられている。
このため、研削工程では、水晶板110の両主面の外縁側の縁部から2mmの範囲、つまり、研削部112が研削することで、面ダレ部分を容易に除去することができ、水晶片100を形成することが可能となる。
従って、研削工程後の水晶板110、つまり、水晶片100には、面ダレ部分が存在しない。
このため、研削工程では、水晶板110の両主面の外縁側の縁部から2mmの範囲、つまり、研削部112が研削することで、面ダレ部分を容易に除去することができ、水晶片100を形成することが可能となる。
従って、研削工程後の水晶板110、つまり、水晶片100には、面ダレ部分が存在しない。
本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法は、ラッピング及びポリシング後に水晶片100となる非研削部111及びラッピング及びポリシングで生じる面ダレ部分を考慮した研削部112からなる水晶板110を形成し、ラッピング及びポリシング後に面ダレが生じる研削部112を研削し、水晶片100を形成している。
つまり、本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法は、ラッピング及びポリシングで生じる面ダレ部分を含んだ大きさ水晶板110を形成し、水晶片100の大きさになるまで水晶板110の側面を研削して面ダレ部分を含まない水晶片100を形成している。
つまり、本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法は、ラッピング及びポリシングで生じる面ダレ部分を含んだ大きさ水晶板110を形成し、水晶片100の大きさになるまで水晶板110の側面を研削して面ダレ部分を含まない水晶片100を形成している。
このような本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、所望する水晶片100の主面より主面の大きさが大きい水晶板110を形成し、ラッピング及びポリシングした後、両主面の大きさが水晶片110と同じ大きさとなるまで水晶板110の側面を研削し水晶片100を形成しているので、従来の水晶片の形成方法のような研削加工ジグを用いることなく水晶片100を形成することができる。
このため、本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、水晶片100が小型化された場合であっても、研削加工ジグの加工精度の低下により水晶片100の外形寸法精度が低下することを防ぐことができ、生産性を向上させることができる。
このため、本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、水晶片100が小型化された場合であっても、研削加工ジグの加工精度の低下により水晶片100の外形寸法精度が低下することを防ぐことができ、生産性を向上させることができる。
また、このような水晶片の形成方法によれば、所望する水晶片100の主面より主面の大きさが大きい水晶板110を形成し、ラッピング及びポリシングした後、両主面の大きさが水晶片100と同じ大きさとなるまで水晶板110の側面を研削し水晶片100を形成しているので、面ダレ部分のみを研削することで水晶片100を容易に形成することができる。
このため、このような本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、従来の水晶片の形成方法のように、カップホイールの先端側が接触する部分が不要となるので、水晶板110から効率よく水晶片100を形成することができ生産性を向上させることができる。
このため、このような本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、従来の水晶片の形成方法のように、カップホイールの先端側が接触する部分が不要となるので、水晶板110から効率よく水晶片100を形成することができ生産性を向上させることができる。
また、このような本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、所望する水晶片100の主面より主面の大きさが大きい水晶板110を形成し、ラッピング及びポリシングした後、両主面の大きさが水晶片100と同じ大きさとなるまで水晶板110の側面を研削し、水晶片100を形成しているので、水晶片100の主面が曲線構造、例えば、円形形状となっている場合であっても、水晶板110の面ダレ部分を容易に除去することができ、生産性を向上させることができる。
また、このような本発明の実施形態に係る水晶片の形成方法によれば、ポリシングされた水晶板110の主面同士を対向させ貼り合わせた状態で複数のポリシングされた水晶板110の側面を同時に研削しているので、複数の水晶片100を同時に形成することができ、生産性を向上させることができる。
なお、水晶片の両主面が鏡面状態となっている場合について説明しているが、少なくとも一方の主面が鏡面状態となっていれば、例えば、水晶片の一方の主面のみが鏡面状態となっていてもよい。
また、水晶片が光学部品素子に用いられている場合について説明しているが、例えば、水晶振動素子に用いられていてもよい。
また、ポリシングされた水晶板が接着剤によって貼り合わされた状態で側面が研削されている場合について説明しているが、例えば、ポリシングされた水晶板の側面を一枚ずつ研削してもよい。
また、ラッピング及びポリシング後に生じる面ダレが研削部の全面に設けられている場合について説明しているが、面ダレが非研削部に生じていなければ、面ダレが研削部の一部にのみ生じていてもよい。
100 水晶片
110 水晶板
111 非研削部
112 研削部
R0 水晶片の主面の直径の長さ
R1 水晶板の主面の直径の長さ
T0 水晶片の板厚
T1 形成された水晶板の板厚
M 研削部の幅
CG センターギア
IG インターナルギア
SJ 下定盤
UJ 上定盤
C キャリア
110 水晶板
111 非研削部
112 研削部
R0 水晶片の主面の直径の長さ
R1 水晶板の主面の直径の長さ
T0 水晶片の板厚
T1 形成された水晶板の板厚
M 研削部の幅
CG センターギア
IG インターナルギア
SJ 下定盤
UJ 上定盤
C キャリア
Claims (2)
- 少なくとも一方の主面が鏡面状態となっている水晶片の形成方法であって、
所望する前記水晶片の主面より大きい主面の水晶板を形成する水晶板形成工程と、
前記水晶板の主面をラッピングするラッピング工程と、
前記ラッピングされた前記水晶板の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板の主面を前記ラッピングされた前記水晶板の板厚が前記水晶片の板厚と同じとなるまで、ポリシングするポリシング工程と、
前記ポリシングされた前記水晶板の側面を前記ポリシングされた前記水晶板の主面の大きさが所望する前記水晶片と同じ大きさとなるまで研削する研削工程と、
を備えていることを特徴とする水晶片の形成方法。 - 前記請求項1に記載の水晶片の形成方法の前記研削工程で、
前記ポリシングされた前記水晶板の主面同士を対向させ貼り合わせた状態で、複数の前記ポリシングされた前記水晶板の側面を同時に研削する
ことを特徴とする水晶片の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011182690A JP2013043246A (ja) | 2011-08-24 | 2011-08-24 | 水晶片の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011182690A Pending JP2013043246A (ja) | 2011-08-24 | 2011-08-24 | 水晶片の形成方法 |
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-
2011
- 2011-08-24 JP JP2011182690A patent/JP2013043246A/ja active Pending
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