JP2013033241A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために本発明の光学フィルタは、光透過性を有する基板と、光吸収性を有する屈折率傾斜薄膜と、反射防止構造体と、を備え、
前記屈折率傾斜薄膜はその膜厚方向に前記基板と反射防止構造体との間に配置され、その膜厚方向において段階的に変化する屈折率変化を有し、
前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の屈折率の変化は、
（１）前記基板側において、前記屈折率変化の前記基板側の終点まで、前記屈折率が前記基板の屈折率に近づくように段階的に変化する部分と、
（２）前記反射防止構造体側において、前記屈折率変化の前記反射防止構造体側の終点まで、前記屈折率が前記反射防止構造体の屈折率に近づくように段階的に変化する部分と、
を有することを特徴とする。
前記屈折率傾斜薄膜はその膜厚方向に前記基板と反射防止構造体との間に配置され、その膜厚方向において段階的に変化する屈折率変化を有し、
前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の屈折率の変化は、
（１）前記基板側において、前記屈折率変化の前記基板側の終点まで、前記屈折率が前記基板の屈折率に近づくように段階的に変化する部分と、
（２）前記反射防止構造体側において、前記屈折率変化の前記反射防止構造体側の終点まで、前記屈折率が前記反射防止構造体の屈折率に近づくように段階的に変化する部分と、
を有することを特徴とする。
Claims (13)
- 光透過性を有する基板と、光吸収性を有する屈折率傾斜薄膜と、反射防止構造体と、を備え、
前記屈折率傾斜薄膜はその膜厚方向に前記基板と反射防止構造体との間に配置され、その膜厚方向において段階的に変化する屈折率変化を有し、
前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の屈折率の変化は、
（１）前記基板側において、前記屈折率変化の前記基板側の終点まで、前記屈折率が前記基板の屈折率に近づくように段階的に変化する部分と、
（２）前記反射防止構造体側において、前記屈折率変化の前記反射防止構造体側の終点まで、前記屈折率が前記反射防止構造体の屈折率に近づくように段階的に変化する部分と、
を有することを特徴とする光学フィルタ。 - 前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の屈折率の変化は、
（３）前記屈折率変化の前記基板側の終点の屈折率と前記屈折率変化の前記反射防止構造体側の終点の屈折率との間の前記屈折率変化において、屈折率が最大値を示す部分を有することを特徴とする光学フィルタ。 - 前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の段階的な屈折率の変化は、
隣接する部分の屈折率差が０．０５〜０．１以内であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学フィルタ。 - 前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向において段階的に変化する屈折率の一定な部分は、
屈折率が実質的に一定である５〜１００ｎｍの膜厚における屈折率の平均値に対して、±０．０１以内であることを特徴とした請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学フィルタ。 - 前記反射防止構造体は、前記基板を透過する可視光の波長よりも短い周期で構成された凹凸構造を持つ、微細周期構造体により形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに一項に記載の光学フィルタ。
- 前記反射防止構造体と前記屈折率傾斜薄膜とが隣接し、前記反射防止構造体側の前記屈折率傾斜薄膜との界面の屈折率と、前記屈折率傾斜薄膜側の前記反射防止構造体との界面の屈折率が光学フィルタにおいて許容される屈折率差が０．０５以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 前記基板と前記屈折率傾斜薄膜とが隣接し、前記基板の前記屈折率傾斜薄膜との界面の屈折率と、前記屈折率傾斜薄膜側の前記基板との界面の屈折率が光学フィルタにおいて許容される屈折率差が０．０５以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 前記屈折率傾斜薄膜が３種類以上の元素から構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 前記基板への入射光に対して、分光透過特性が長波長側になるにつれて高くなる領域と、分光透過特性が長波長側になるにつれて低くなる領域が、前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向に配置されていることにより、前記屈折率傾斜薄膜の分光透過特性の平坦性を得ていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 前記光学フィルタは、ＮＤフィルタであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
- 光学フィルタを撮影光学系に用いた光学装置であって、
前記光学フィルタが、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光学フィルタであることを特徴とする光学装置。 - 光透過性を有する基板と、光吸収性を有する屈折率傾斜薄膜と、反射防止構造体を有して構成される光学フィルタの製造方法であって、
前記屈折率傾斜薄膜を設ける工程は、
前記屈折率傾斜薄膜の前記基板の側での終点の屈折率を段階的に前記基板の屈折率に近づくように成膜する工程と、
３種以上の元素からなる材料を用いた成膜法によりこれら材料の混合比を変化させ段階的に屈折率の異なる混合膜を隣り合う混合膜間の屈折率差を０．０５〜０．１以内で成膜する工程と、
前記屈折率傾斜薄膜の前記反射防止構造体の側での終点の屈折率を段階的に前記反射防止構造体の屈折率に近づけて成膜する工程とからなることを特徴とする光学フィルタの製造方法。 - 前記屈折率傾斜薄膜の前記基板の側での終点の屈折率を段階的に前記基板の屈折率に近づくように成膜する工程または、
前記屈折率傾斜薄膜の前記反射防止構造体の側での終点の屈折率を段階的に前記反射防止構造体の屈折率に近づけて成膜する工程は、
前記隣り合う混合膜間の屈折率差を屈折率が減少するに従って小さくすることを特徴とする請求項１２に記載の光学フィルタの製造方法。
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