JP2014122961A5 - - Google Patents
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- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 26
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
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Description
本発明の光学素子は、基板と、該基板の上に形成された反射防止膜と、を有する光学素子であって、前記反射防止膜は、前記基板の上に形成された中間層と、該中間層の上に形成され、複数の凸部を有する凹凸層と、を有し、前記凹凸層は、空気側から前記基板の側に向かって屈折率が連続的に大きくなる部分を有し、前記中間層は、前記基板に最も近い第１層と、該第１層の上に形成された第２層と、を有し、波長５５０ｎｍの光に対する、前記基板の屈折率をｎｓ、前記第１層の屈折率をｎ１、前記第２層の屈折率をｎ２、とするとき、以下の条件式を満たすことを特徴とする。
Claims (19)
- 基板と、該基板の上に形成された反射防止膜と、を有する光学素子であって、
前記反射防止膜は、前記基板の上に形成された中間層と、該中間層の上に形成され、複数の凸部を有する凹凸層と、を有し、
前記凹凸層は、空気側から前記基板の側に向かって屈折率が連続的に大きくなる部分を有し、
前記中間層は、前記基板に最も近い第１層と、該第１層の上に形成された第２層と、を有し、
波長５５０ｎｍの光に対する、前記基板の屈折率をｎｓ、前記第１層の屈折率をｎ１、前記第２層の屈折率をｎ２、とするとき、以下の条件式を満たすことを特徴とする光学素子。
１．７５≦ｎｓ≦２．２０
ｎ１＜ｎ２
ｎ１＜ｎｓ - 前記凹凸層の物理膜厚は１８０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、前記凹凸層の波長５５０ｎｍの光に対する屈折率の最大値は１．３５〜１．５８の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の光学素子。
- 前記第１層の物理膜厚をｄ１（ｎｍ）、前記第２層の物理膜厚をｄ２（ｎｍ）、とするとき、以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子。
１．３５≦ｎ１≦１．７８
１．７８≦ｎ２≦２．４０
２５≦ｎ１ｄ１≦６５
１８≦ｎ２ｄ２≦６５ - ｎ１とｎ２の差は、０．１以上であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- ｎ２はｎｓよりも大きいことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記第２層の上に形成され、波長５５０ｎｍの光に対する屈折率がｎ３の第３層を更に有し、以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項３に記載の光学素子。
１．３８≦ｎ３≦１．７０ - 前記第３層の物理膜厚をｄ３（ｎｍ）とするとき、以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項６に記載の光学素子。
７５≦ｎ３ｄ３≦１３０ - 前記凹凸層は、前記中間層の側に波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が一定の均質層を有さないことを特徴とする請求項７に記載の光学素子。
- 前記凹凸層は、前記中間層の側に波長５５０ｎｍの光に対する屈折率が一定の均質層を有し、前記第３層の物理膜厚をｄ３（ｎｍ）、前記均質層の屈折率をｎａ、前記均質層の物理膜厚をｄａ（ｎｍ）、とするとき、以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項６に記載の光学素子。
１．３５≦ｎａ≦１．５８
７５≦ｎ３ｄ３＋ｎａｄａ≦１３０ - 以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項９に記載の光学素子。
０≦｜ｎ３−ｎａ｜≦０．１ - 前記凹凸層は、ウェットプロセスにより形成されていることを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記中間層のうち少なくとも１層は、蒸着法もしくはスパッタ法により形成されていることを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記凹凸層は、酸化アルミニウムを主成分とする多孔質層であることを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記凹凸層は、酸化アルミニウムを主成分とする層を成膜した後、温水処理することによって形成されることを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記第１層はＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする請求項１乃至１４のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記第３層はＳｉＯ２を含むことを特徴とする請求項６乃至９のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 前記複数の凸部は、使用波長域のうち最も短い波長よりも小さいピッチを有することを特徴とする請求項１乃至１６のうちいずれか１項に記載の光学素子。
- 複数の光学素子を有し、該複数の光学素子のうち少なくとも１つは請求項１乃至１７のうちいずれか１項に記載の光学素子であることを特徴とする光学系。
- 請求項１８に記載の光学系を有し、該光学系を介して物体の画像を取得することを特徴とする光学機器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012278006A JP5885649B2 (ja) | 2012-12-20 | 2012-12-20 | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 |
| US14/132,083 US9069126B2 (en) | 2012-12-20 | 2013-12-18 | Optical element, optical system and optical apparatus having antireflection coating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012278006A JP5885649B2 (ja) | 2012-12-20 | 2012-12-20 | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014122961A JP2014122961A (ja) | 2014-07-03 |
| JP2014122961A5 true JP2014122961A5 (ja) | 2015-07-23 |
| JP5885649B2 JP5885649B2 (ja) | 2016-03-15 |
Family
ID=50974340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012278006A Active JP5885649B2 (ja) | 2012-12-20 | 2012-12-20 | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9069126B2 (ja) |
| JP (1) | JP5885649B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6492412B2 (ja) * | 2014-04-02 | 2019-04-03 | 凸版印刷株式会社 | 反射防止フィルム、それを用いた偏光板、画像表示装置、液晶表示装置、およびタッチパネル |
| JP6411516B2 (ja) * | 2014-08-27 | 2018-10-24 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止膜を備えた光学部材およびその製造方法 |
| JP6362105B2 (ja) | 2014-08-27 | 2018-07-25 | キヤノン株式会社 | 反射防止膜を有する光学素子、光学系、光学機器 |
| JP6338503B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2018-06-06 | 富士フイルム株式会社 | 光学素子および光学素子の製造方法 |
| CN108135449B (zh) * | 2015-10-14 | 2021-03-19 | 迪睿合株式会社 | 光学薄膜及其制造方法、连接部件及其制造方法、内窥镜装置及相机用帷帘、医疗系统 |
| US20200309995A1 (en) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | Facebook Technologies, Llc | Anti-reflective coatings for transparent electroactive transducers |
| DE102020118959B4 (de) | 2020-07-17 | 2023-06-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Reflexionsminderndes Schichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines reflexionsmindernden Schichtsystems |
| US11714212B1 (en) * | 2020-09-14 | 2023-08-01 | Apple Inc. | Conformal optical coatings for non-planar substrates |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4520418B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2010-08-04 | キヤノン株式会社 | 光学用透明部材及びそれを用いた光学系 |
| JP4639241B2 (ja) | 2007-02-20 | 2011-02-23 | キヤノン株式会社 | 光学用部材、それを用いた光学系及び光学用部材の製造方法 |
| JP2009042472A (ja) | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Canon Inc | 光学素子 |
| JP2010271404A (ja) | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Olympus Corp | 反射防止膜 |
| JP5647924B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-01-07 | 富士フイルム株式会社 | 光学部材の製造方法 |
-
2012
- 2012-12-20 JP JP2012278006A patent/JP5885649B2/ja active Active
-
2013
- 2013-12-18 US US14/132,083 patent/US9069126B2/en active Active
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