JP2013030787A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 支持面を有する基部と、
   前記基部上に位置決めされた反応部材と、
   前記基部と結合したアクチュエータと、
   前記アクチュエータと結合した接触部材であって、前記アクチュエータが、前記接触部材を基板の縁に対して強制押圧するように適合されており、前記縁は前記反応部材によっても支持されている、前記接触部材と、
   ブレーキ部材アセンブリと
   を備える、基板を移送する機器であって、前記ブレーキ部材アセンブリは、
   ブレーキ部材と、
   ブレーキアクチュエータ部材であって、基板移送プロセス中に前記接触部材の動作を概ね禁止する拘束力を作成するために、前記ブレーキ部材を前記接触部材に対して強制押圧するように適合されているブレーキアクチュエータ部材と
   を備える、基板を移送する機器。
2. 前記拘束力が、前記ブレーキ部材と前記接触部材が接触することで作成される、請求項１に記載の機器。
3. 前記拘束力が、前記接触部材の表面と前記ブレーキ部材の間に作成された摩擦力である、請求項１に記載の機器。
4. 前記接触部材に結合し、前記接触部材の位置を感知するように適合されたセンサをさらに備える、請求項１に記載の機器。
5. 基板が前記支持面上の誤った場所に置かれたことを感知するために、前記アクチュエータおよび前記センサと通信する制御装置をさらに備える、請求項４に記載の機器。
6. 支持面を有する基部と、
   前記基部上に位置決めされた反応部材と、
   接触部材アセンブリであって、アクチュエータと、基板接触面と、前記接触面および前記アクチュエータの間に位置決めされた従順な部材とを有する接触部材とを備えており、前記アクチュエータが、前記反応部材の表面に位置決めされた基板に対して前記接触面を強制押圧するように適合されている接触部材アセンブリと、
   ブレーキ部材アセンブリであって、ブレーキ部材と、基板移送プロセス中における前記接触部材の動作を禁止するために、前記ブレーキ部材を前記接触部材に対して強制押圧するように適合されたブレーキアクチュエータ部材とを備えるブレーキ部材アセンブリと、
   前記接触部材に結合したセンサであって、前記接触面の位置を感知するように適合されているセンサと、
   を備える、基板を移送する機器。
7. 前記従順な部材がバネである、請求項６に記載の機器。
8. 前記ブレーキ部材アセンブリがさらに、前記ブレーキアクチュエータ部材に結合した第１端部と、前記ブレーキ部材に結合した第２端部とを有するレバーアームを備えており、前記レバーアームが、１つの旋回点に結合しており、また、前記接触部材の動作を禁止し、前記ブレーキアクチュエータ部材が生成した力よりも大きなブレーキ力を生成するように適合されている、請求項６に記載の機器。
9. 基板を移送する機器であって：
   ロボットアセンブリであって、
   ロボットブレード上に第１方向に位置決めされた基板を移送するように適合された第１ロボット、
   第１動作アセンブリであって、前記第１ロボットを第２方向に位置決めするように適合されたアクチュエータを有する第１動作アセンブリ、
   前記第１動作アセンブリに結合しており、また、前記第１ロボットと前記第１動作アセンブリを前記第２方向に対してほぼ垂直な第３方向に位置決めするように適合されている第２のアクチュエータを有する第２動作アセンブリ、
   を備える、前記ロボットアセンブリと；
   前記ロボットブレードに結合した基板掴持装置と
   を備え、前記基板掴持装置は、基板を支持するように適合され、
   前記ロボットブレード上に位置決めされた反応部材と、
   前記ロボットブレードに結合したアクチュエータと、
   前記アクチュエータに結合した接触部材であって、前記アクチュエータが、前記接触部材を、前記接触部材と前記反応部材の間に位置決めされた基板の縁に対して強制押圧することで、基板を拘束するように適合されている接触部材と、
   前記ブレーキ部材アセンブリと
   を備え、前記ブレーキ部材アセンブリは、
   ブレーキ部材と、
   前記基板移送プロセス中に前記接触部材の動作を禁止するために、前記ブレーキ部材を前記接触部材に対して強制押圧するように適合されたブレーキ作動部材と
   を備える、前記機器。
10. 前記基板掴持装置が、前記接触部材に結合して、また、前記接触部材の位置を感知するように適合されたセンサをさらに備える、請求項９に記載の機器。
11. 前記基板掴持装置が、基板が誤った場所に置かれていることを感知するために、前記アクチュエータおよび前記センサと通信する制御装置をさらに備える、請求項９に記載の機器。
12. 前記基板掴持装置が、前記接触部材とアクチュエータの間に位置決めされ、また、前記アクチュエータが前記接触部材を基板に対して強制押圧する際にエネルギーを蓄積するように適合された従順な部材をさらに備える、請求項９に記載の機器。