JP2013026585A5

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Info

Publication number: JP2013026585A5
Application number: JP2011162715A
Authority: JP
Filing date: 2011-07-26
Publication date: 2014-02-06
Anticipated expiration: 2031-07-26

Description

以上説明したように、ボンディングヘッド５０が降下中には、その降下速度が変化し、その際にボンディングヘッド５０に上方向或いは下方向の加速度が掛かる。その際のボンディングヘッド５０に取り付けられているシャフト１２、ボンディングツール１１、レバー４０、カウンターウェイト４８には加わる加速度によって上方向或いは下方向に向う慣性力が作用する。図８の時間ｔ_２０から時間ｔ_２１のようにボンディングヘッド５０の降下速度ｖが増加している間は、ボンディングヘッド５０には下向きの加速度が加わる。すると、ボンディングヘッド５０に対してＺ方向に移動可能となるように各平板リンク２０，３０によってボンディングヘッド５０の各アーム５２，５３に取り付けられているシャフト１２、エンドブロック１３及びシャフト１２の先端に取り付けられているボンディングツール１１には、ボンディングヘッド５０に掛かる加速度と大きさが同一で反対方向の加速度αがかかり、この加速度αにより、図３に示す様に、スライダ６１に固定されたボンディングヘッド５０に対して上向きの慣性力Ｇ_１が掛かる（図３において白抜き矢印８２で示す）。

ここで、ボンディングヘッド５０に掛かる加速度と同一で方向が反対の加速度をα、シャフト１２、エンドブロック１３及びシャフト１２の先端に取り付けられているボンディングツール１１の合計質量をｍ_１とすると、Ｇ_１＝ｍ_１×α、である。そして、この慣性力Ｇ_１によって、シャフト１２が連結板４９によって接続されているレバー４０の先端部４１には回転軸４０ｃ周りで時計方向に向かう回転モーメントＭ_１が掛かる。ここで、レバー４０の回転軸４０ｃとシャフト１２の中心との距離をモーメントアームＬ_１とすると、Ｍ_１＝Ｇ_１×Ｌ_１、である。また、図３に示すように、レバー４０の後端部４３に取り付けられているカウンターウェイト４８にもカウンターウェイト４８の質量をｍ_２とすると、Ｇ_２＝ｍ_２×α、のボンディングヘッド５０に対して上向きの慣性力Ｇ_２が掛かる（図３において白抜き矢印８４で示す）。そして、この慣性力Ｇ_２によって、カウンターウェイト４８が取り付けられているレバー４０の後端部４３には回転軸４０ｃ周りで反時計方向に向かう回転モーメントＭ_２が掛かる。ここで、レバー４０の回転軸４０ｃとカウンターウェイト４８の中心との距離をモーメントアームＬ_２とすると、Ｍ_２＝Ｇ_２×Ｌ_２、である。

図８に示す時間ｔ_２４からｔ_２５のように、ボンディングヘッド５０の降下速度が一定の速度ｖ_１から減少する場合、加速度αはゼロから減少するのでマイナスとなり、回転モーメントＭ_１も時間ｔ_２４のゼロから減少してマイナスとなる。そして、時間ｔ_２５からｔ_２６のように加速度αが一定の場合には、回転モーメントＭ_１は一定で、時間ｔ_２６からｔ_２７のようにボンディングヘッド５０の降下速度の減少度合いが低下してくると加速度αは増加し、回転モーメントＭ_１はマイナスからゼロに向って増加してくる。そして、時間ｔ_２７から時間ｔ_２８のように速度が変化せず加速度αがゼロの場合には、回転モーメントＭ_１はゼロとなる。以上は回転モーメントＭ_１の変化について説明したが、図８に破線で示すように、回転モーメントＭ_２は回転モーメントＭ_１と大きさが同一で方向が逆なので、図８では、ゼロの横軸に対して回転モーメントＭ_１と上下対称となるように変化する。

１１ボンディングツール、１２シャフト、１３エンドブロック、１４リング、２０下平板リンク、３０上平板リンク、２１，３１環状板、３１ａ第１の辺、３１ｂ第２の辺、２２，３２渡り板、３３固定点、２４，３４中空部分、４０レバー、４０ｃ回転軸、４１先端部、４２ボルト、４３後端部、４４中央ブロック、４５十字板バネ、４６水平ばね板、４７垂直ばね板、４８カウンターウェイト、４９連結板、５０ボンディングヘッド、５１本体、５２下アーム、５３上アーム、５４ボルト、５５ブッシュ、５６ストッパ、５７穴、５８スプリング、６１スライダ、６２リニアガイド、７１，７２中心線、７３直線、８１ピックアップステージ、８３ダイシングテープ、９０半導体チップ、１００ダイボンディング装置。