JP2013001592A - 導電性酸化物およびその製造方法、ならびに酸化物半導体膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と、結晶質Ga2ZnO4とを含む、導電性酸化物である。
【選択図】なし
Description
また、本発明は、上記導電性酸化物を製造するための方法であって、結晶質Ga2ZnO4からなる第1粒子を準備する工程と、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる第2粒子を準備する工程と、第1粒子と第2粒子とを混合して焼成するする工程と、を含む、導電性酸化物の製造方法である。
以下、本発明の導電性酸化物の一実施形態について詳細に説明する。
以下、本発明の導電性酸化物の製造方法の一実施形態について詳細に説明する。
導電性酸化物の原料粉末の1つとして、結晶質Ga2ZnO4からなる第1粒子を準備する。
導電性酸化物の原料粉末の1つとして、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる第2粒子を準備する。
次に、準備された第1粒子と第2粒子とを混合して焼成する。これにより、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と結晶質Ga2ZnO4とを含む導電性酸化物が作製する。
実施例1〜6において、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と結晶質Ga2ZnO4とからなる導電性酸化物を作製した。
ステップ1:結晶質Ga2ZnO4からなる粉末の作製
Ga2O3粉末(純度:99.99%、BET比表面積:11m2/g)およびZnO粉末(純度:99.99%、BET比表面積:4m2/g)を、ビーズミル装置を用いて30分間粉砕混合し、第1混合物としてのGa2O3−ZnO混合物を作製した。Ga2O3−ZnO混合物におけるmol混合比率は、Ga2O3:ZnO=1:1とした。なお、粉砕混合の際の分散溶媒として水が用いられ、第1混合物はスプレードライヤで乾燥された。
In2O3粉末(純度:99.99%、BET:比表面積5m2/g)、Ga2O3粉末(純度:99.99%、BET比表面積:11m2/g)およびZnO粉末(純度:99.99%、BET比表面積:4m2/g)を、ビーズミル装置を用いて30分間粉砕混合し、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。各実施例についての、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を表1に示す。なお、粉砕混合の際の分散溶媒として水が用いられ、第2混合物はスプレードライヤで乾燥された。
ステップ1およびステップ2で得られた各仮焼粉末のそれぞれを、ビーズミル装置を用いて30分間粉砕し、粉砕された各仮焼粉末を混合して第3混合物を作製した。このとき、第3混合物におけるIn、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:1:1となるように、各仮焼粉末を混合した。第3混合物の粒径を光散乱法により測定したところ、平均粒径は0.8μmであった。なお、混合の際の分散溶媒として水が用いられ、第3混合物はスプレードライヤで乾燥された。
得られた焼結体の一部からサンプルを採取して、X線回折法によって結晶解析を行なった。X線としてはCuのKα線が用いられ、回折角2θと回折強度Iが測定された。このようなX線測定の結果として、実施例1〜6の焼結体に含まれる結晶質成分が表2にまとめて示されている。また、回折角2θが34°以上35°以下の範囲にあるピークのうち回折強度が最大のピークをaピークとし、回折角2θが37°以上38°以下の範囲にあるピークのうち回折強度が最大のピークをbピークとした場合の、aピークのbピークに対する回折強度比Ia/Ibを算出した結果も表2にまとめて示されている。
得られた焼結体を、直径3インチ(76.2mm)、厚さ5mmの円板状に加工し、これをスパッタリング用のターゲットとした。
得られたターゲットを用いたスパッタリング法によって酸化物半導体膜を成膜した。
得られたIn−Ga−Zn−O膜が所定のチャネル幅、チャネル長さを得るように、In−Ga−Zn−O膜上へのレジストの塗布、露光、現像を行い、In−Ga−Zn−O膜上に所定の形状のレジストを形成した。そして、リン酸:酢酸:水=4:1:100のエッチング水溶液を調製し、所定の形状のレジストが作成された基板をエッチング水溶液に浸漬させて、露出するIn−Ga−Zn−O膜をエッチングした。これにより、In−Ga−Zn−O膜からなる半導体層が形成された。
得られた半導体層上にソース電極およびドレイン電極を形成するために、半導体層上の電極形成部のみが露出するように、半導体層が形成された基板へのレジストの塗布、露光、現像を行い、所定の形状のレジストを形成した。なお、電極形成部とは、半導体層上であってソース電極およびドレイン電極が形成されるための表面をいう。そして、スパッタリング法によって半導体層の露出している電極形成部上に、Ti、Al、Moをこの順で析出させ、その後レジストを剥離することによって、半導体層の電極形成部にTi/Al/Moからなるソース電極およびドレイン電極が形成された。以上のステップ6〜8により、In−Ga−Zn−O膜をチャネル層として備えるTFTが作製された。
得られたTFTにおいて、ソース電極とドレイン電極との間に5Vの電圧を印加し、Siウエハからなるゲート電極とソース電極との間に印加する電圧を−10Vから20Vにまで変化させて、TFTの伝達特性を得た。得られたTFTの伝達特性に基づいて、各TFTのS値(mV/dec)を算出した。具体的には、各TFTのゲート電極とソース電極との間に印加した電圧(Vgs)と、そのときのドレイン電流(Ids)とを下記式(1)に代入し、最も小さい値となった数値をそのTFTのS値とした。その結果を表2に示す。
S=ln(10)・dVgs/{d[ln(Ids)]}・・・式(1)
また、各TFTのゲート電極とソース電極との間に15Vの電圧を印加し、そのときのドレイン電流をオン電流(Ion)とした。その結果を表2に示す。
比較例1においては、上述のステップ1〜3を変更した以外は、実施例1と同様の方法により、導電性酸化物およびTFTを作製した。すなわち、比較例1では、上述のステップ1〜3の代わりに以下のステップ1b〜2bが行なわれる点で、実施例1と異なっている。
Ga2O3粉末(純度:99.99%、BET比表面積:11m2/g)、ZnO粉末(純度:99.99%、BET比表面積:4m2/g)およびIn2O3粉末(純度:99.99%、BET:比表面積5m2/g)を、ビーズミル装置を用いて30分間粉砕混合し、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。In2O3−Ga2O3−ZnO混合物におけるmol混合比率は、In2O3:Ga2O3:ZnO=0.5:0.5:1とした。なお、粉砕混合の際の分散溶媒として水が用いられ、当該混合物はスプレードライヤで乾燥された。
ステップ1bで得られた仮焼粉末を一軸加圧成形によって成形して、直径100mm、厚さ9mmの円板状の成形体を作製した。そして、作製された成形体を大気雰囲気中にて1500℃で5時間焼成し、導電性酸化物としての焼結体を作製した。
比較例2においては、実施例1のステップ1と同様の方法で、結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末を作製し、比較例1のステップ1bと同様の方法で、結晶質InGaZnO4からなる仮焼粉末を作製した。そして、In、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:1.4:1.2となるように、得られた各仮焼粉末を混合し、さらに、この混合物の焼結温度を1300℃とした以外は、実施例1のステップ3と同様の方法で、導電性酸化物を作製した。なお、得られた混合物の粒径を光散乱法により測定したところ、平均粒径は0.8μmであった。そして、比較例2においても、実施例1と同様の方法により、ステップ4〜9を実施した。
比較例3においては、In、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:1.3:1.15となるように、各仮焼粉末を混合し、この混合物の焼結温度を1340℃とした以外は、比較例2と同様の方法で、導電性酸化物を作製した。
実施例7〜20において、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と結晶質Ga2ZnO4とからなり、さらに、添加元素を含む導電性酸化物を作製した。
実施例7においては、上述のステップ3を変更した以外は、実施例2と同様の方法により導電性酸化物を作製し、この導電性酸化物をターゲットとして用いることによりチャネル層が形成されたTFTを作製した。すなわち、実施例7では、上述のステップ3の代わりに以下のステップ3aが行なわれる点で、実施例1と異なっている。
ステップ1で得られた結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末と、ステップ2で得られた結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる仮焼粉末と、さらにGaN粉末(純度:99.99%、BET比表面積:2m2/g)とを、ボールミル装置を用いて6時間粉砕混合して、第3混合物を作製した。なお、混合の際の分散溶媒として水が用いられ、第3混合物はスプレードライヤで乾燥された。
実施例8〜20においては、上述のステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:0.7:1.7として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。また、上述のステップ3aにおいて、GaN粉末の代わりに、添加元素を含む酸化物粉体(Al2O3、SiO2、TiO2、V2O5、Cr2O3、ZrO2、Nb2O3、MoO2、HfO2、Ta2O3、WO3、SnO2、Bi2O3)を用いて粉砕混合を行なった。作製された成形体を1気圧の大気圧雰囲気下にて各所定温度で5時間焼成した。なお、上記ステップ2および3a以外は、実施例7と同様の方法によりTFTを作製した。
実施例21〜25において、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と結晶質Ga2ZnO4とからなる導電性酸化物であって、Znの原子濃度比を1とした場合のGaの原子濃度比がそれぞれ異なる導電性酸化物を作製した。
実施例1のステップ1および2と同様の方法で、結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末、およびInGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)で表されるIn−Ga−Zn−Oの結晶質からなる仮焼粉末を作製した。ただし、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:0.8:1.8として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。さらに、結晶質In2Zn4O7からなる仮焼粉末を作製した。そして、In、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:0.5:1となるように、これらの3種の仮焼粉末をそれぞれ混合し、さらに、この混合物の焼結温度を1310℃とした以外は、実施例1と同様の方法で、導電性酸化物を作製した。なお、結晶質In2Zn4O7からなる仮焼粉末の作製方法は、以下の通りである。
混合物におけるIn、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:0.8:1となるように、3種の仮焼粉末(結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる仮焼粉末、および結晶質In2Zn4O7からなる仮焼粉末)とをそれぞれ混合した以外は、実施例21と同様の方法により、導電性酸化物を作製した。なお、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:0.8:1.8として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。
結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末と、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる仮焼粉末とを用いて、第3混合物におけるIn、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:1.2:1となるように、各仮焼粉末を混合し、第3混合物の焼結温度を1350℃とした以外は、実施例1と同様の方法により、導電性酸化物を作製した。ただし、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:0.95:0.75として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。
結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末と、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる仮焼粉末とを用いて、第3混合物におけるIn、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:1.5:1となるように、各仮焼粉末を混合し、第3混合物の焼結温度を1300℃とした以外は、実施例1と同様の方法により、導電性酸化物を作製した。ただし、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1.18:0.68として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。
結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末と、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる仮焼粉末とを用いて、第3混合物におけるIn、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1:2:1となるように、各仮焼粉末を混合し、第3混合物の焼結温度を1280℃とした以外は、実施例1と同様の方法により、導電性酸化物を作製した。ただし、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1.5:0.5として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。
実施例26および27において、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と結晶質Ga2ZnO4とからなる導電性酸化物であって、Znの原子濃度比を1とした場合のInの原子濃度比がそれぞれ異なる導電性酸化物を作製した。
結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末と、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる仮焼粉末とを用いて、第3混合物におけるIn、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=0.8:1:1となるように、各仮焼粉末を混合し、さらに、HfO2粉末を混合して第3混合物を作製し、第3混合物の焼結温度を1380℃とした以外は、実施例1と同様の方法により、導電性酸化物を作製した。ただし、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=0.8:0.7:1.7として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。
結晶質Ga2ZnO4からなる仮焼粉末と、InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)で表されるIn−Ga−Zn−Oの結晶質からなる仮焼粉末とを用いて、In、GaおよびZnの原子濃度比がIn:Ga:Zn=1.2:1:1となるように、これらの3種の仮焼粉末をそれぞれ混合し、さらに、TiO2粉末を混合して混合物を作製し、この混合物の焼結温度を1380℃とした以外は、実施例21と同様の方法で、導電性酸化物を作製した。ただし、ステップ2において、In2O3−Ga2O3−ZnO混合物における各化合物のmol混合比率を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1.2:0.7:1.7として、第2混合物としてのIn2O3−Ga2O3−ZnO混合物を作製した。
Claims (10)
- 結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と、結晶質Ga2ZnO4とを含む、導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物においてZnの原子濃度比を1とした場合に、Gaの原子濃度比が2未満である、請求項1に記載の導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物においてZnの原子濃度比を1とした場合に、Gaの原子濃度比が0.5以上である、請求項1または2に記載の導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物においてZnの原子濃度比を1とした場合に、Inの原子濃度比が0.8以上1.2以下である、請求項1から3のいずれかに記載の導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物の断面積に占める前記結晶質Ga2ZnO4の割合が、50%以下である請求項1から4のいずれかに記載の導電性酸化物。
- X線回折法を適用したときに、回折角2θが34°以上35°以下の範囲にあるピークのうち回折強度が最大のピークをaピークとし、回折角2θが37°以上38°以下の範囲にあるピークのうち回折強度が最大のピークをbピークとした場合に、前記aピークの前記bピークに対する回折強度比Ia/Ibが70以上200以下である、請求項1から5のいずれかに記載の導電性酸化物。
- N、Al、Si、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Sn、およびBiから選ばれた少なくとも1種の元素をさらに含む、請求項1から6のいずれかに記載の導電性酸化物。
- スパッタリング法のターゲットに用いられる、請求項1から7のいずれかに記載の導電性酸化物。
- 請求項1から8のいずれかに記載の導電性酸化物を製造するための方法であって、結晶質Ga2ZnO4からなる第1粒子を準備する工程と、結晶質InGa(1-m)Zn(1-q)O(4-p)(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる第2粒子を準備する工程と、前記第1粒子と前記第2粒子とを混合して焼成する工程と、を含む、導電性酸化物の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の導電性酸化物を用いたスパッタリング法によって成膜される、酸化物半導体膜。
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