JP5857775B2 - 導電性酸化物およびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の導電性酸化物の製造方法の一例を説明する。本発明の導電性酸化物の製造方法は、結晶質Al2ZnO4からなる第1粒子を準備する工程と、結晶質InAl1-mZn1-qO4-p(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる第2粒子を準備する工程と、第1粒子と第2粒子とを混合して焼結する工程とを含むことを特徴とする。以下に各工程を説明する。
まず、通常のボールミル、遊星ボールミル、ビーズミル等を用いて、乾式または湿式のいずれかの混合方式によって、酸化アルミニウム(Al2O3)粉末と酸化亜鉛(ZnO)粉末とを混合することにより第1混合物を作製する。湿式の混合方式を用いる場合、第1混合物を自然乾燥やスプレードライヤなどの乾燥方法を用いて乾燥することが好ましい。また、酸化アルミニウムの粉末および酸化亜鉛の粉末は、99.9%以上の高純度の粉末であることが好ましい。
次に、通常のボールミル、遊星ボールミル、ビーズミル等を用いて、乾式または湿式のいずれかの混合方式によって、酸化インジウム(In2O3)の粉末と、酸化ガリウム(Al2O3)の粉末と、酸化亜鉛(ZnO)の粉末とを混合することにより第2混合物を作製する。これらの各原料粉末は、99.9%以上の高純度であることが好ましい。
次に、第1粒子と第2粒子とを所定の混合比率で混合することにより、第3混合物を作製する。第1粒子と第2粒子との混合比率は、作製する導電性酸化物に含まれるIn、AlおよびZnの原子濃度比、および第2粒子を構成するIn、AlおよびZnの原子濃度比に基づいて決定する。
(実施例1)
実施例1では、以下の各工程によって、結晶質InAl1-mZn1-qO4-pおよび結晶質Al2ZnO4を含む導電性酸化物を作製した。
まず、Al2O3粉末(純度:99.99%、BET比表面積:11m2/g)と、ZnO粉末(純度:99.99%、BET比表面積:4m2/g)とを等モル混合比で混合した。この混合物に対し、分散溶媒として水を加えてビーズミル装置で30分間粉砕混合することにより、Al2O3−ZnO混合物(第1混合物)を作製した。
次に、In2O3粉末(純度:99.99%、BET:比表面積5m2/g)と、Al2O3粉末(純度:99.99%、BET比表面積:5m2/g)と、ZnO粉末(純度:99.99%、BET比表面積:4m2/g)とを、In2O3:Al2O3:ZnO=0.5:0.25:0.75のモル混合比で混合した。次に、これらの混合物に対し、分散溶媒として水を加えてビーズミル装置で30分間粉砕混合することにより、In2O3−Al2O3−ZnO混合物(第2混合物)を作製した。
上記で作製した第1粒子および第2粒子に対し、分散溶媒として水を加えて、ビーズミル装置で30分間粉砕することにより、第3混合物を作製した。このとき、第3混合物のIn、AlおよびZnの原子濃度比がIn:Al:Zn=1:1:1となるように第1粒子と第2粒子との混合比率を調製した。この第3混合物の粒径を光散乱法で測定したところ、第3混合物の平均粒径は0.8μmであった。
実施例1に対し、第2粒子を準備する工程において、混合するIn2O3粉末、Al2O3粉末、およびZnO粉末のモル混合比を表2のようにし、第3混合物を焼結するときの温度が、表1の「焼結温度」の欄に示すように異なる他は、実施例1と同様の方法により、実施例2〜4の導電性酸化物を作製した。
本比較例では、Al2O3粉末(純度:99.99%、BET比表面積:5m2/g)と、ZnO粉末(純度:99.99%、BET比表面積:4m2/g)と、In2O3粉末(純度:99.99%、BET:比表面積5m2/g)とを、In2O3:Al2O3:ZnO=0.5:0.5:1のモル比で混合した。次に、この混合物に対し、分散溶媒として水を加えてビーズミル装置で30分間粉砕混合することにより、In2O3−Al2O3−ZnO混合物を作製した。
本実施例では、結晶質InAl1-mZn1-qO4-pおよび結晶質Al2ZnO4とを含み、さらに窒素を含む導電性酸化物を作製した。以下に本実施例の導電性酸化物の製造方法を具体的に説明する。
実施例6〜19では、結晶質InAl1-mZn1-qO4-pおよび結晶質Al2ZnO4を含み、さらに添加元素(Ga、Zn、Si、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Sn、Bi)を含む導電性酸化物を作製した。
実施例20においては、Zn:In:Alの原子濃度比が1:0.92:0.85の割合の導電性酸化物を作製した。以下に実施例20の導電性酸化物の製造方法を説明する。
実施例21においては、Zn:In:Alの原子濃度比が1:1.1:1.1となる導電性酸化物を作製した。以下に実施例21の導電性酸化物の製造方法を説明する。
実施例1〜19の導電性酸化物に対し、ICP分析を用いて原子濃度比を算出したところ、In:Al:Znの原子濃度比が1:1:1であった。一方、実施例1〜19の導電性酸化物に対し、X線回折を行なったところ、InAlZnO4およびAl2ZnO4の存在が確認された。以上のICP分析およびX線回析による結果から、実施例1〜19の導電性酸化物は、結晶質Al2ZnO4と結晶質InAl1-mZn1-qO4-p(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)とを含むと判断した。ICP分析およびX線回析に基づく結晶相の組成の分析の結果を表1および表3の「焼結体中の結晶相」の欄に示す。
各実施例および比較例1の導電性酸化物に対し、エネルギー分散型蛍光X線分析を付帯した走査電子顕微鏡を用いて蛍光X線分析を行なうことにより、導電性酸化物の断面積に占める結晶質Al2ZnO4の断面積の割合を算出した。その結果を表1および表3の「断面積中のAl2ZnO4割合」の欄に示す。
各実施例および比較例1の導電性酸化物に対し、ICP発光分析を行なうことにより、導電性酸化物に含まれるIn、AlおよびZnの原子濃度比(単位:at.%)を測定した。そして、Znの原子濃度比を1としたときのInおよびAlの原子濃度比を算出した。その結果を表1および表3の「Zn=1としたときの元素比」の欄に示す。
各実施例および比較例1の導電性酸化物を用いて、TFTのチャネル層となる酸化物半導体膜を作製し、さらにTFTのS値を評価することによって、各実施例および比較例1の導電性酸化物の性能を評価した。
S=ln(10)・dVgs/{d[ln(Ids)]}・・・式(1)
また、各TFTのゲート電極とソース電極との間に10Vの電圧を印加し、そのときのドレイン電流をオン電流(Ion)とした。その結果を表1および表3の「ON電流」の欄に示す。
Claims (8)
- 結晶質InAl1-mZn1-qO4-p(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)と、結晶質Al2ZnO4とを含む、導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物において、Znの原子濃度比を1とした場合に、Alの原子濃度比が1.1以下である、請求項1に記載の導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物において、Znの原子濃度比を1とした場合に、Alの原子濃度比が0.9以上である、請求項1または2に記載の導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物において、Znの原子濃度比を1とした場合に、Inの原子濃度比が0.9以上1.1以下である、請求項1〜3のいずれかに記載の導電性酸化物。
- 前記導電性酸化物の断面積に占める前記結晶質Al2ZnO4の割合が、50%以下である、請求項1〜4のいずれかに記載の導電性酸化物。
- N、Ga、Mg、Si、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、Sn、およびBiから選ばれた少なくとも1種の元素をさらに含む、請求項1〜5のいずれかに記載の導電性酸化物。
- スパッタリング法のターゲットに用いられる、請求項1〜6のいずれかに記載の導電性酸化物。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の導電性酸化物の製造方法であって、
結晶質Al2ZnO4からなる第1粒子を準備する工程と、
結晶質InAl1-mZn1-qO4-p(0<m<1、0<q<1、0≦p≦3m/2+q)からなる第2粒子を準備する工程と、
前記第1粒子と前記第2粒子とを混合して焼結する工程と、を含む、導電性酸化物の製造方法。
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