JP2012510554A - Uv硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂及びその調製方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
(i)(a)第1のモノマー又は第1のモノマー混合物、ここで、該モノマーの1つ1つは金属アルコキシドである;(b)第2のモノマー又は第2のモノマー混合物、ここで、該モノマーの1つ1つは、少なくとも1つであるが全てではないアルコキシル基が非重合性基によって置換されている金属アルコキシドである;及び(c)第3のモノマー又は第3のモノマー混合物、ここで、該モノマーの1つ1つは、少なくとも1つであるが全てではないアルコキシル基が非加水分解性重合性基によって置換されている金属アルコキシドである、を準備する工程と、
(ii)水と加水分解触媒の存在下で、閉じた系で、高い温度と圧力で(a)、(b)及び(c)の該モノマー又はモノマー混合物の加水分解と重縮合を行ない、それにより共通溶媒として働くアルコールを放出させる一方で、該温度を該アルコールの沸点よりも高く、該モノマーの沸点よりも低く保ち、該溶媒と水の蒸気を除去し、それにより一定の圧力を保つ工程と、
(iii)該系の中の圧力を大気圧よりも低く下げ、それにより該溶媒と水の残存する蒸気を排出し、それにより無機−有機ハイブリッド樹脂を得る工程と
を含み、
ここで、光開始剤を工程(i)のモノマーもしくはモノマー混合物のうちの1つ又は工程(ii)の水に添加し、それにより工程(iii)の後に、UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂を得るか、あるいは
工程(iii)で得られる無機−有機ハイブリッド樹脂を、重合を妨げることができる溶媒と光開始剤とを含む溶液に溶解させ、場合によってはその後に濾過し、それにより重合させないで長期間保存できるUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の溶液を得る、方法に関する。
(i)テトラメトキシシラン(TMOS)、メチルトリメトキシシラン(MTMS)及びトリメトキシシリルプロピルメタクリラート(MATMS)を、それぞれ、約3:15:2の重量比で反応容器に導入する工程と、
(ii)水中の5mM塩酸の存在下で、TMOS、MTMS及びMATMSの加水分解と重縮合を行ない、それにより共通溶媒として働くメタノールを放出させ、ここで、該TMOS、MTMS及びMATMSの総量と水の重量比は、それぞれ、約20:3.85であり、温度は65℃よりも高く、102℃よりも低く保たれ、メタノールと水の蒸気は除去され、それにより約2.5〜3.5atmの一定の圧力が保たれる、工程と、
(iii)反応容器内の圧力をまず大気圧まで、その後、0.5atmよりも低くまで下げ、それによりメタノールと水の残存する蒸気を排出し、それにより4%未満の揮発性物質を含有するゲル化前の無機−有機ハイブリッド樹脂を得る工程と
(iv)得られた無機−有機ハイブリッド樹脂を、約1:1の重量比で、2%イルガキュア819のテトラヒドロフラン(THF)溶液に希釈し、その後、得られた溶液を0.2μmフィルターを用いて濾過し、それにより重合させないで長期間保存できる所望のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の溶液を得る工程と
を含み、
ここで、工程(i)〜(iv)が、該反応容器を加熱することと、該反応容器内の内容物を撹拌することと、弁を開口すること及び排出ポンプを用いて揮発性成分を排出することにより該反応容器内の圧力を制御することとが可能な装置内で実施され、かつ工程(iii)で得られる無機−有機ハイブリッド樹脂が、工程(i)で導入される該TMOS、MTMS及びMATMSの総重量の60%未満、好ましくは47〜53%の範囲の重量を有する、方法に関する。
UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂(本明細書で同定されるハイブリッド樹脂N−2)を、前駆体のテトラメトキシシラン(TMOS)、メチルトリメトキシシラン(MTMS)及び3−トリメトキシシリルプロピルメタクリラート(MATMS)と水とを、約3:15:2:3.85(TMOS:MTMS:MATMS:H2O)の重量比で用いて調製した。この水に塩酸を加水分解触媒として0.005Mの濃度で添加し、反応溶液中0.0008Mの濃度にした。全ての成分を半解析的天秤(±0.001g)で計量し、その後、50ml反応瓶(Schott)中で混合した。
本実験では、実施例1に記載の樹脂とは異なる、UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂(本明細書で同定されるハイブリッド樹脂E−2)を、前駆体のテトラメトキシシラン(TMOS)、メチルトリメトキシシラン(MTMS)及び3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(GLYMO)と水とを約3:15:2:3.85(TMOS:MTMS:GLYMO:H2O)の重量比で用いて調製した。この水に塩酸を0.005Mの濃度で添加し、反応溶液中0.0008Mの濃度にした。この製造プロセスを実施例1に記載されたように実施した。
以下のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂を、前駆体と水の様々な組合せから、以下に規定されるような重量比で、実施例1に記載されたように調製し、その場合、塩酸を加水分解触媒として用いる。
(i)テトラメトキシシラン(TMOS)、メチルトリメトキシシラン(MTMS)及び3−トリメトキシシリルプロピルメタクリラート(MATMS)、重量比約3:14:3:3.85(TMOS:MTMS:MATMS:H2O)。
(ii)TMOS、MTMS及びMATMS、重量比約3:16:1:3.85(TMOS:MTMS:MATMS:H2O)。
(iii)TMOS、MTMS及びMATMS、重量比約5:13:2:3.85(TMOS:MTMS:MATMS:H2O)。
(iv)TMOS、MTMS及びMATMS、重量比約6:9:2:3.85(TMOS:MTMS:MATMS:H2O)。
(v)TMOS、MTMS、ジメチルジメトキシシラン(DMDMS)及びMATMS、重量比約3:12:3:2:3.85(TMOS:MTMS:DMDMS:MATMS: H2O)。
(vi)TMOS、MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約3:9:6:2:3.85(TMOS:MTMS:DMDMS:MATMS:H2O)。
(vii)TMOS、MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約3:6:9:2:3.85(TMOS:MTMS:DMDMS:MATMS:H2O)。
(viii)TMOS、オルトチタン酸テトラエチル(TEOT)、MTMS及びMATMS、重量比約2:1:15:2:3(TMOS:TEOT:MTMS:MATMS:H2O)。
(ix)TMOS、TEOT、MTMS及びMATMS、重量比約1.5:1.5:15:2:3(TMOS:TEOT:MTMS:MATMS:H2O)。
(x)TMOS、TEOT、MTMS及びMATMS、重量比約1:3:15:2:3(TMOS:TEOT:MTMS:MATMS:H2O)。
(xi)TMOS、TEOT、MTMS及びMATMS、重量比約1:5:15:2:3(TMOS:TEOT:MTMS:MATMS:H2O)。
(xii)TMOS、オルトチタン酸テトラブチル(TBOT)、MTMS、及びMATMS、重量比約2:1:15:2:3(TMOS:TBOT:MTMS:MATMS:H2O)。
(xiii)TMOS、TEOT、MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約1.5:1.5:14:3:2:3.5(TMOS:TEOT:MTMS:DMDMS:MATMS:H2O)。
(xiv)TMOS、ジルコニウムテトラプロポキシド(TPOZ)、MTMS及びMATMS、重量比約3:1:14:2:3.6(TMOS:TPOZ:MTMS:MATMS:H2O)。
(xv)TMOS、TPOZ、MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約2:1:12:3:2:2.9(TMOS:TPOZ:MTMS:DMDMS:MATMS:H2O)。
(xvi)TMOS、トリメトキシボラン(TMOB), MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約1.5:1:12:3:2:3(TMOS:TMOB:MTMS:DMDMS: MATMS:H2O)。
(xvii)TMOS、TMOB、MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約1.5:2:12:3:2:3(TMOS:TMOB:MTMS:DMDMS:MATMS:H2O)。
(xviii)TMOS、TMOB、MTMS、DMDMS及びMATMS、重量比約1.5:1:12:3:3:3(TMOS:TMOB:MTMS:DMDMS:MATMS:H2O)。
実施例1に記載されたように調製されたハイブリッド樹脂N−2を、テトラヒドロフラン(THF)を用いて1:1(wt)の比で希釈して、約5センチポイズ(cPs)の粘度を達成したが、このとき、0.5〜1%の濃度の光開始剤イルガキュア819を希釈液溶液に添加した。得られた溶液を、スピンコーティング技術を用いてシリコン基板上にコーティングし、次いで20mW/cm2のUVランプを用いて、リソグラフマスクを通して60秒間UVに曝露し、現像液、特に、金属イオンフリー(MIF)−319を用いて重合していない部分を2分間洗浄した。
実施例1に記載されたように調製されたハイブリッド樹脂N−2を熱で硬化させ、ガラス様生成物の最終組成物、即ち、材料中のSi、O及びCの画分を、X線光電子スペクトロメトリー(XPS)を用いて試験した。次に、得られた結果を、最終的なガラス組成と有機残渣パーセンテージの抽出に用いた。Si、O及びCについて得られた値は、それぞれ、40.0w%、37.5w%及び22.5w%で、1:1.64:1.31の原子比となり、これは、28.93w%の有機残渣を含むSiO1.5(CH3)0.8(C7H11O2)0.07の単位分子構造に一致する。最初の前駆体からの有機残渣パーセンテージを概算すると、約27%の値が得られた。
本研究では、UV硬化プロセスの完了を、重合の進行の目安となる3400cm−1のOH−ピークを見ることにより、フーリエ変換赤外(FTIR)スペクトルを用いて試験した。
本研究では、実施例1に記載されたように調製され、実施例6に記載されたように3つの異なる光開始剤、イルガキュア184、イルガキュア819及びイルガキュア369を含有するTHFで希釈されたハイブリッド樹脂N−2を用いて実施された接合の光学的品質を、UV可視NIRスペクトロメーターを用いて調べた。
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Claims (32)
- 約4%又は4%未満の揮発性物質と30%未満の有機残渣とを含有するUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の調製方法であって、
(i)(a)第1のモノマー又は第1のモノマー混合物、ここで、前記モノマーの1つ1つは金属アルコキシドである;(b)第2のモノマー又は第2のモノマー混合物、ここで、前記モノマーの1つ1つは、少なくとも1つであるが全てではないアルコキシル基が非重合性基によって置換されている金属アルコキシドである;及び(c)第3のモノマー又は第3のモノマー混合物、ここで、前記モノマーの1つ1つは、少なくとも1つであるが全てではないアルコキシル基が非加水分解性重合性基によって置換されている金属アルコキシドである、を準備する工程と、
(ii)水と加水分解触媒の存在下で、閉じた系で、高い温度と圧力で(a)、(b)及び(c)の前記モノマー又はモノマー混合物の加水分解と重縮合を行ない、それにより共通溶媒として働くアルコールを放出させる一方で、前記温度を前記アルコールの沸点よりも高く、前記モノマーの沸点よりも低く保ち、前記溶媒と水の蒸気を除去し、それにより一定の圧力を保つ工程と、
(iii)前記系の中の圧力を大気圧よりも低く下げ、それにより前記溶媒と前記水の残存する蒸気を排出し、それにより無機−有機ハイブリッド樹脂を得る工程と
を含み、
ここで、光開始剤を工程(i)のモノマーもしくはモノマー混合物のうちの1つ又は工程(ii)の前記水に添加し、それにより工程(iii)の後に、前記UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂を得るか、あるいは
工程(iii)で得られる無機−有機ハイブリッド樹脂を、重合を妨げることができる溶媒と光開始剤とを含む溶液に溶解させ、場合によってはその後に濾過し、それにより重合させないで長期間保存できる前記UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の溶液を得る、方法。 - 前記UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂が、3%未満、好ましくは2%未満、より好ましくは1%未満の揮発性物質と、25%未満、好ましくは20%未満、より好ましくは15%未満の有機残渣とを含有する、請求項1に記載の方法。
- 前記金属アルコキシドが、Ti、V、YもしくはZrなどの遷移金属、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbもしくはLuなどのランタニド金属、Alから選択される金属、又はSiもしくはBなどの元素とC1−C10の直鎖又は分岐アルキルとのアルコキシドであり;前記非重合性基がH又はC1−C10、好ましくはC1−C6、より好ましくはC1−C2の直鎖又は分岐アルカノールであり;かつ前記非加水分解性重合性基が、メタクリラート、好ましくはプロピルメタクリラートなどのアクリラート、グリシドキシプロピルなどのエポキシド、ビニルトリエトキシシラン及びビニルトリイソプロポキシシランなどのビニル基、又はスチリルエチルトリメトキシシランなどのスチレン基である、請求項1に記載の方法。
- 前記金属アルコキシドが、Si、Ti、Zr又はB、好ましくはSiとC1−C6、好ましくはC1−C2の直鎖アルキルのアルコキシドである、請求項3に記載の方法。
- 前記金属アルコキシドが、テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラエトキシシラン(TEOS)、オルトチタン酸テトラエチル(TEOT)、オルトチタン酸テトラブチル(TBOT)、ジルコニウムテトラプロポキシド(TPOZ)、ジルコニウムテトラエトキシド(TEOZ)、アルミニウムエトキシド(TEOA)又はトリメトキシボラン(TMOB)、好ましくはTMOSであり;少なくとも1つであるが全てではないアルコキシル基が非重合性基によって置換されている前記金属アルコキシドがメチルトリメトキシシラン(MTMS)又はジメチルジメトキシシラン(DMDMS)であり;かつ少なくとも1つであるが全てではないアルコキシル基が非加水分解性重合性基によって置換されている前記金属アルコキシドが、3−トリメトキシシリルプロピルメタクリラート(MATMS)、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(GLYMO)又はビニルシランである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 工程(ii)の間に放出されるアルコールが、メタノール、エタノール又はそれらの混合物である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記アルコールがメタノールであり、温度が65〜102℃、好ましくは80〜102℃の範囲であり、かつ圧力が2.5〜4atm、好ましくは2.5〜3.5atmの範囲である、請求項6に記載の方法。
- 前記第1のモノマー又は第1のモノマー混合物:前記第2のモノマー又は第2のモノマー混合物:前記第3のモノマー又は第3のモノマー混合物の重量比が、それぞれ、10〜50:50〜90:最大20の範囲、好ましくは20〜50:50〜75:最大10の範囲、より好ましくは30〜45:50〜65:最大5の範囲であり;かつ前記第1のモノマー又はモノマー混合物、前記第2のモノマー又はモノマー混合物、及び前記第3のモノマー又はモノマー混合物:水のモル比が、それぞれ1:1.5〜2.5の範囲、好ましくはそれぞれ1:1.8〜2である、請求項1に記載の方法。
- (i)前記第1のモノマーがTMOSであり、前記第2のモノマーがMTMSであり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;(ii)前記第1のモノマーがTMOSであり、前記第2のモノマーがMTMSであり、かつ前記第3のモノマーがGLYMOであるか;(iii)前記第1のモノマーがTMOSであり、前記第2のモノマー混合物がMTMSとDMDMSの混合物であり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;(iv)前記第1のモノマー混合物がTMOSとTEOTの混合物であり、前記第2のモノマーがMTMSであり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;(v)前記第1のモノマー混合物がTMOSとTBOTの混合物であり、前記第2のモノマーがMTMSであり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;(vi)前記第1のモノマー混合物がTMOSとTEOTの混合物であり、前記第2のモノマー混合物がMTMSとDMDMSの混合物であり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;(vii)前記第1のモノマー混合物がTMOSとTPOZの混合物であり、前記第2のモノマーがMTMSであり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;(viii)前記第1のモノマー混合物がTMOSとTPOZの混合物であり、前記第2のモノマー混合物がMTMSとDMDMSの混合物であり、かつ前記第3のモノマーがMATMSであるか;又は(ix)前記第1のモノマー混合物がTMOSとTMOBの混合物であり、前記第2のモノマー混合物がMTMSとDMDMSの混合物であり、かつ前記第3のモノマーがMATMSである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のモノマーがTMOSであり、前記第2のモノマーがMTMSであり、かつ前記第3のモノマーがMATMS又はGLYMOであり、前記第1のモノマー:前記第2のモノマー:前記第3のモノマー:水の重量比が、それぞれ、約3:15:2:3.85、3:14:3:3.85又は3:13:4:3.85であり、工程(ii)の間に放出されるアルコールがメタノールであり、温度が65℃よりも高く、102℃よりも低く保たれ、メタノールと水の蒸気が約2.5〜3.5atmの圧力を超えると除去され、それにより一定の圧力が保たれ、かつ工程(iii)で得られる無機−有機ハイブリッド樹脂が、工程(i)で準備されるTMOSと、MTMSと、MATMS又はGLYMOのどちらかの総重量の60%未満、好ましくは47〜53%の範囲の重量を有する、請求項9に記載の方法。
- 該加水分解触媒が、塩酸、硝酸、硫酸もしくはメタクリル酸、好ましくは塩酸などの酸、又は水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニアもしくはフッ素イオンなどの塩基である、請求項1に記載の方法。
- 前記光開始剤がイルガキュア184、イルガキュア819又はイルガキュア369(Ciba Geigy)であり;かつ前記重合を妨げることができる溶媒が、テトラヒドロフラン(THF)、アセトン、塩化メチレン又は四塩化エチレンなどの極性有機溶媒、好ましくはTHF又はアセトンである、請求項1に記載の方法。
- 前記光開始剤がイルガキュア184、イルガキュア819又はイルガキュア369であり、前記重合を妨げることができる溶媒がTHF又はアセトンであり、かつ前記重合を妨げることができる溶媒中の前記光開始剤の濃度が、0.1〜2.5%、好ましくは0.5〜1.8%、より好ましくは0.5〜1.2%の範囲である、請求項12に記載の方法。
- 前記加水分解/重縮合工程(ii)の進行が、温度又は圧力の変化をモニタリングすることにより制御される、請求項1に記載の方法。
- 反応容器を加熱することと、前記反応容器内の溶液を撹拌することと、弁を開口すること及び排出ポンプを用いて揮発性成分を排出することにより前記反応容器内の圧力を制御することとが可能な装置内で実施される、請求項14に記載の方法。
- 前記光開始剤を工程(i)のモノマーもしくはモノマー混合物のうちの1つ又は工程(ii)の水に添加し、工程(iii)の後に、UV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂を得るか;あるいは
工程(iii)で得られる無機−有機ハイブリッド樹脂を、前記重合を妨げることができる溶媒と前記光開始剤とを含む前記溶液に溶解させ、場合によってはその後に濾過し、それにより重合させないで長期間保存できるUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の溶液を得る、請求項1に記載の方法。 - 前記溶液中の前記無機−有機ハイブリッド樹脂の濃度が、最大ほぼ100%(wt)、好ましくは約50%(wt)であり;前記溶液の粘度が約0.5センチポイズ(cP)〜約5000cP、好ましくは約5cPであり;かつ濾過が0.2μmフィルターを用いて行なわれる、請求項16に記載の方法。
- 約4%又は4%未満の揮発性物質と30%未満の有機残渣とを含み、重合させないで長期間保存できるUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の調製方法であって、
(i)テトラメトキシシラン(TMOS)、メチルトリメトキシシラン(MTMS)及びトリメトキシシリルプロピルメタクリラート(MATMS)を、それぞれ、約3:15:2の重量比で反応容器に導入する工程と、
(ii)水中の5mM塩酸の存在下で、TMOS、MTMS及びMATMSの加水分解と重縮合を行ない、それにより共通溶媒として働くメタノールを放出させ、ここで、前記TMOS、MTMS及びMATMSの総量と水の重量比は、それぞれ、約20:3.85であり、温度は65℃よりも高く、102℃よりも低く保たれ、メタノールと水の蒸気は除去され、それにより約2.5〜3.5atmの一定の圧力が保たれる、工程と、
(iii)反応容器内の圧力をまず大気圧まで、その後、0.5atmよりも低くまで下げ、それによりメタノールと水の残存する蒸気を排出し、それにより4%未満の揮発性物質を含有するゲル化前の無機−有機ハイブリッド樹脂を得る工程と
(iv)得られた無機−有機ハイブリッド樹脂を、約1:1の重量比で、2%イルガキュア819のテトラヒドロフラン(THF)溶液に希釈し、その後、得られた溶液を0.2μmフィルターを用いて濾過し、それにより重合させないで長期間保存できる所望のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂の溶液を得る工程と
を含み、
ここで、工程(i)〜(iv)が、前記反応容器を加熱することと、前記反応容器内の内容物を撹拌することと、弁を開口すること及び排出ポンプを用いて揮発性成分を排出することにより前記反応容器内の圧力を制御することとが可能な装置内で実施され、かつ
工程(iii)で得られる無機−有機ハイブリッド樹脂が、工程(i)で導入されるTMOS、MTMS及びMATMSの総重量の60%未満、好ましくは47〜53%の範囲の重量を有する、方法。 - 硬化させると、約4%又は4%未満の揮発性物質と30%未満の有機残渣とを含有する透明なガラス様生成物を形成することができるUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂。
- 3%未満、好ましくは2%未満、より好ましくは1%未満の揮発性物質と、25%未満、好ましくは20%未満、より好ましくは15%未満の有機残渣とを含有する、請求項19に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂。
- 前記生成物が、(i)可視領域における0.1dB/cmよりも低い、好ましくは0.01dB/cmよりも低い、より好ましくは0.001dB/cmよりも低い光学損失;(ii)少なくとも7MPa、好ましくは少なくとも9MPa、より好ましくは少なくとも10MPaのガラス−ガラス接合の接着強度;及び(iii)200℃を上回る、好ましくは275℃を上回る、より好ましくは350℃を上回る熱安定性を有する、請求項19又は20に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂。
- 重合を妨げることができる溶媒中に溶解していて、重合させないで長期間保存できる、請求項19に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂。
- 請求項1〜18のいずれか一項に記載の方法により得られる、請求項19〜22のいずれか一項に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂。
- 可視領域における0.1dB/cmよりも低い、好ましくは0.01dB/cmよりも低い、より好ましくは0.001dB/cmよりも低い光学損失を有するガラス様の平面又は三次元構造の製造方法であって、請求項19〜23のいずれか一項に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂を成形することと、存在する場合は、重合を妨げることができる溶媒を蒸発させることと、その後、前記樹脂を硬化させることと、を含む方法。
- フォトリソグラフィーによる製造技術、二光子吸収製造技術、インプリンティング技術又はインクジェット様プリンティング技術を用いて、マイクロ又はナノスケール構造を製造するための、請求項24に記載の方法。
- レンズ、鏡、プリズム及び回折格子などの光学要素を製造するための、請求項24に記載の方法。
- 前記硬化が、熱硬化、蒸発硬化又はUV硬化、好ましくはUV硬化である、請求項24〜26のいずれか一項に記載の方法。
- 2つの部材を光学接合する方法、ここで、前記部材のうちの少なくとも1つは、ガラス、半導体材料又は透明な材料でできていることが好ましい、であって、請求項19〜23のいずれか一項に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂を前記部材上に塗布し、存在する場合は、重合を妨げることができる溶媒を蒸発させ、前記部材を物理的に接触させ、前記樹脂をUV硬化させることを含む、方法。
- 2つのファイバー、ここで、前記2つのファイバー間で形成される接合の屈折率は、前記2つのファイバーの屈折率に近いことが好ましい、を接合させるための、又はファイバーを光学部材、検出器又はセンサーに接合させるための、請求項28に記載の方法。
- ダイオード、検出器、センサー、又はレンズ、鏡、プリズム及び回折格子などの光学要素から選択される部材をコーティングする、好ましくは前記部材を湿気、機械的損傷又は放射線による損傷から保護するための、方法であって、前記部材を請求項19〜23のいずれか一項に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂でコーティングし、存在する場合は、重合を妨げることができる溶媒を蒸発させ、前記樹脂をUV硬化させることを含む、方法。
- 光学素子又は電子素子を封入する方法であって、前記光学素子又は電子素子を請求項19〜23のいずれか一項に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂でコーティングし、存在する場合は、重合を妨げることができる溶媒を蒸発させ、前記樹脂をUV硬化させることを含む、方法。
- 無機材料又は有機材料、好ましくは化学的材料、薬学的材料又は化粧材料を封入する方法であって、前記無機材料又は有機材料を請求項19〜23のいずれか一項に記載のUV硬化性無機−有機ハイブリッド樹脂でコーティングし、存在する場合は、重合を妨げることができる溶媒を蒸発させ、前記樹脂をUV硬化させることを含む、方法。
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