JP2012507146A - 処理中の基板の分光モニタリングにおける適合度 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- その場光学モニタリングシステムを用いて現在のスペクトルの系列を入手することであって、前記現在のスペクトルの系列からの各現在のスペクトルが研磨を受けている最外層および少なくとも1層の下地層を有する基板から反射した光のスペクトルである、入手することと、
第1の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルに対して各現在のスペクトルを比較して、第1のベストマッチ参照スペクトルの第1の系列を生成するために、前記第1のベストマッチ参照スペクトルを決定することと、
前記第1の系列についての第1の適合度を決定することと、
前記第1の系列および前記第1の適合度に基づいて研磨終点を決定することと
を含む、コンピュータ実装方法。 - 第2の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと各現在のスペクトルを比較して、第2のベストマッチ参照スペクトルの第2の系列を生成するために、前記第2のベストマッチ参照スペクトルを決定することと、前記第2の系列についての第2の適合度を決定することとをさらに含み、前記終点が前記第1の系列、前記第2の系列、前記第1の適合度および前記第2の適合度に基づいて決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記研磨終点を決定することが、前記第1のベストマッチ参照スペクトルが終点を指示するか否かを決定することと、もしそうであれば、前記第1の適合度が前記第2の適合度よりも良いか否かを決定することと、もしそうであれば、終点を宣言することとを含む、請求項2に記載の方法。
- 第1のインデックスの系列に第1の線形関数をフィッティングすることと、第2のインデックス値の系列を生成するために、各第2のベストマッチ参照スペクトルについての第2のインデックス値を決定することと、前記第2のインデックス値の系列に第2の線形関数をフィッティングすることとを含み、第1のインデックス値の系列を生成するために、各第1のベストマッチ参照スペクトルについての第1のインデックス値を決定することをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記第1の適合度を決定することが、前記第1の関数に対する前記第1のインデックス値の系列の適合度を決定することを含み、前記第2の適合度を決定することが、前記第2の関数に対する前記第2のインデックス値の系列の適合度を決定することを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記第1の系列についての前記第1の適合度が前記第2の系列についての前記第2の適合度よりも良いか否かを決定することをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 基板の第1のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第1の系列を受け取ることと、
前記基板の第2のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第2の系列を受け取ることと、
ベストマッチ参照スペクトルの複数の第1の系列を生成するために、第1の複数の参照スペクトルライブラリからの第1の複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第1の系列からの各現在のスペクトルを比較することと、
ベストマッチ参照スペクトルの複数の第2の系列を生成するために、第2の複数の参照スペクトルライブラリからの第2の複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第2の系列からの各現在のスペクトルを比較することと、
前記ベストマッチ参照スペクトルの複数の第1の系列についての複数の第1の適合度を決定することと、
前記ベストマッチ参照スペクトルの複数の第2の系列についての複数の第2の適合度を決定することと
を含む、コンピュータ実装方法。 - 前記ベストマッチ参照スペクトルの複数の第1の系列を生成することが、
第1の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第1の系列からの各現在のスペクトルを比較して、第1の中間適合度を決定することと、
第2の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第1の系列からの各現在のスペクトルを比較して、第2の中間適合度を決定することと、
前記第2の中間適合度と前記第1の中間適合度を比較することと、
前記第2の中間適合度と前記第1の中間適合度の前記比較に基づいて前記第1の参照スペクトルライブラリまたは前記第2の参照スペクトルライブラリのうちの1つを選択することと、
第1の選択に基づいてベストマッチ参照スペクトルの第1の系列を決定することと
を含み、
前記ベストマッチ参照スペクトルの複数の第2の系列を生成することが、
前記第1の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第2の系列からの各現在のスペクトルを比較して、第3の中間適合度を決定することと、
前記第2の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第2の系列からの各現在のスペクトルを比較して、第4の中間適合度を決定することと、
前記第4の中間適合度と前記第3の中間適合度を比較することと、
前記第4の中間適合度と前記第3の中間適合度の前記比較に基づいて前記第1の参照スペクトルライブラリまたは前記第2の参照スペクトルライブラリのうちの1つを第2の選択することと、
前記第2の選択に基づいてベストマッチ参照スペクトルの第2の系列を決定することと
を含む、
請求項7に記載の方法。 - 前記ベストマッチ参照スペクトルの第1の系列および対応する第1の適合度に基づいて前記第1のゾーンについての第1の研磨終点を決定することと、
前記ベストマッチ参照スペクトルの第2の系列および対応する第2の適合度に基づいて前記第2のゾーンについての第2の研磨終点を決定することと
をさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 基板の第1のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第1の系列を受け取ることと、
前記基板の第2のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第2の系列を受け取ることと、
ベストマッチ参照スペクトルの第1の系列を生成するために、第1の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第1の系列からの各現在のスペクトルを比較することと、
ベストマッチ参照スペクトルの第2の系列を生成するために、第2の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第2の系列からの各現在のスペクトルを比較することであって、前記第2の参照スペクトルライブラリが前記第1の参照スペクトルライブラリとは異なる、比較することと
を含む、コンピュータ実装方法。 - その場光学モニタリングシステムを用いて現在のスペクトルの系列を入手することであって、前記現在のスペクトルの系列からの各現在のスペクトルが研磨を受けている最外層および少なくとも1層の下地層を有する基板から反射した光のスペクトルである、入手することと、
複数の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと各現在のスペクトルを比較することと、
どのライブラリが前記現在のスペクトルの系列に対するベストフィットを与えるかを決定することと、
前記現在のスペクトルの系列および前記現在のスペクトルの系列に対するベストフィットを与える前記ライブラリに基づいて研磨終点を決定することと
を含む、コンピュータ実装方法。 - コンピュータプログラム製品であって、コンピュータ可読媒体上に有形にエンコードされ、データ処理装置に、
その場光学モニタリングシステムを用いて現在のスペクトルの系列を入手することであって、前記現在のスペクトルの系列からの各現在のスペクトルが研磨を受けている最外層および少なくとも1層の下地層を有する基板から反射した光のスペクトルである、入手することと、
第1の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと各現在のスペクトルを比較して、第1のベストマッチ参照スペクトルの第1の系列を生成するために、前記第1のベストマッチ参照スペクトルを決定することと、
前記第1の系列についての第1の適合度を決定することと、
前記第1の系列および前記第1の適合度に基づいて研磨終点を決定することと
を含む動作を実行させるように動作可能な、コンピュータプログラム製品。 - コンピュータプログラム製品であって、コンピュータ可読媒体上に有形にエンコードされ、データ処理装置に、
その場光学モニタリングシステムを用いて現在のスペクトルの系列を入手することであって、前記現在のスペクトルの系列からの各現在のスペクトルが研磨を受けている最外層および少なくとも1層の下地層を有する基板から反射した光のスペクトルである、入手することと、
複数の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと各現在のスペクトルを比較することと、
どのライブラリが前記現在のスペクトルの系列に対するベストフィットを与えるかを決定することと、
前記現在のスペクトルの系列および前記現在のスペクトルの系列に対するベストフィットを与える前記ライブラリに基づいて研磨終点を決定することと
を含む動作を実行させるように動作可能な、コンピュータプログラム製品。 - コンピュータプログラム製品であって、コンピュータ可読媒体上にエンコードされ、データ処理装置に、
基板の第1のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第1の系列を受け取ることと、
前記基板の第2のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第2の系列を受け取ることと、
ベストマッチ参照スペクトルの複数の第1の系列を生成するために、第1の複数の参照スペクトルライブラリからの第1の複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第1の系列からの各現在のスペクトルを比較することと、
ベストマッチ参照スペクトルの複数の第2の系列を生成するために、第2の複数の参照スペクトルライブラリからの第2の複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第2の系列からの各現在のスペクトルを比較することと、
前記ベストマッチ参照スペクトルの複数の第1の系列についての複数の第1の適合度を決定することと、
前記ベストマッチ参照スペクトルの複数の第2の系列についての複数の第2の適合度を決定することと
を含む動作を実行させるように動作可能な、コンピュータプログラム製品。 - コンピュータプログラム製品であって、コンピュータ可読媒体上にエンコードされ、データ処理装置に、
基板の第1のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第1の系列を受け取ることと、
前記基板の第2のゾーンからの反射光の現在のスペクトルの第2の系列を受け取ることと、
ベストマッチ参照スペクトルの第1の系列を生成するために、第1の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第1の系列からの各現在のスペクトルを比較することと、
ベストマッチ参照スペクトルの第2の系列を生成するために、第2の参照スペクトルライブラリからの複数の参照スペクトルと前記現在のスペクトルの第2の系列からの各現在のスペクトルを比較することであって、前記第2の参照スペクトルライブラリが前記第1の参照スペクトルライブラリとは異なる、比較することと
を含む動作を実行させるように動作可能な、コンピュータプログラム製品。
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