JP2012256637A - 膜成長装置および太陽電池の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板を使わないで金属基板の上に半導体膜を積層して、安価で堅牢な太陽電池を製作する。そのために、鉄板をリング状の突起で押さえて機密なCVD反応室を作り半導体シリコン膜を成長させる第1の発明をした。鉄板を切断するとき接合の端が外部に露出しないように接合を絶縁膜で分離して膜を積層する第2の発明をした。高温で塗布材料を印刷する本発明によれば、鉄板の上の結晶半導体の太陽電池の連続製造が可能である。
【選択図】図10
Description
錆びや汚れを取るために200℃以上、好ましくは300℃以上の高温のスチームで基板表面を洗浄すると、薬品を使用せずに清浄表面の連続した金属板を用意できる。
高温加熱パタンを埋め込んだ回転加熱スタンプR4が鉄板900に接触しながら回転する。回転加熱スタンプR4のパタンと回転スタンプR2のパタンは重なるように設計した。SOGは回転加熱スタンプR4の高温加熱パタン1004で加熱されて焼成される。加熱温度は700℃である。
9 p型シリコン層
10 アルミ電極層
11 金属製基盤
200 連続金属板
201 突起領域
202 突起領域周辺の平坦領域
203 突起領域内部の平坦領域
204 1番目のセル
205 2番目のセル
206 機密線
207 機密線
208 機密線押し歯突起
209 受け面
210 CVDフランジ
211 CVDプレート
212 ヒーター
213 ヒーターフランジ
214 CVD排気
300 連続基板
301 リング状絶縁膜領域
302 リング状加熱領域
400 塗布材料スタンプ
401 塗布材料導入パイプ
402 スポンジ
403 連続基板表面1
404 スタンプ受け
501 回転スタンプ
502 リング状スポンジ
503 回転スタンプ
504 島状スポンジ
600 高温加熱スタンプ
601 加熱スタンプパタン
602 ヒーター
603 吸引パイプ
604 連続基板表面2
606 塗布材料膜
607 塗布材料膜と重なる加熱パタン領域
608 断熱材
609 ガスパイプ
610 シャワープレート
700 回転加熱スタンプ
701 リング状加熱パタン
801 島パターン
802 リングパタン
803 魚の骨島パタン
804 島パタンの外周
900 0.1mm厚の鉄板
901 CVD反応室
902 リング状排気
903 CVDガス供給管
905 位置決め孔
906 基板裏面室
907 断熱材
1001 塗布材料
1002 スポンジ
1003 パタンスポンジ
1004 高温加熱パタン
Claims (14)
- 基板の表面と裏面に当該基板を挟む2つの加熱したフランジがあり、当該フランジにループ状の突起が備えてあり、当該突起が当該基板を押し付けることで突起の外と機密遮断された突起内の当該基板に膜を成長させる装置。
- 前記基板が金属基板であることを特徴とする請求項1記載の膜成長装置。
- 機密遮断された前記基板にガスまたは液体または液体のミストまたは液体の蒸気を吹き付けて膜を成長させることを特徴とする請求項1、2記載の膜成長装置。
- 前記膜がシリコン、ゲルマニュームを含む半導体膜とカーボン、ガリューム、カドミューム、亜鉛、銅、インジューム、チタン、イオウ、セレンいずれか、または複数を含む化合物半導体膜、またはそれらの積層膜であることを特徴とする請求項1〜3記載の膜成長装置。
- 表面にパタンを有するスタンプと金属板またはガラス板を接触させ、前記パタン表面に付着させた塗布材料を転写して塗布膜の転写パタン膜を形成し、当該転写パタン膜を焼成する機構を備えた膜成長装置。
- 前記スタンプのパタンがリング状または島状または線状であることを特徴とする請求項5記載の膜成長装置。
- 前記パタンに重なる形状の加熱パタンで加熱する加熱機構を備えたことを特徴とする請求項5、6記載の膜成長装置。
- 前記加熱機構が加熱パタンの加熱スタンプと前記金属板の接触であることを特徴とする請求項5〜7記載の膜成長装置。
- 前記スタンプが前記パタンを表面に備えた回転する円筒または円柱であることを特徴とする請求項1〜8記載の膜成長装置。
- 前記基板が金属板であり、それが巻きつけられたロールから供給する機構を備えたことを特徴とする請求項1〜9記載の膜成長装置。
- 前記基板が金属板であり、当該金属板に突起を形成するプレス機構を備えたことを特徴とする請求項1〜10記載の膜成長装置
- 前記基板が金属板であり、シャー切断またはレーザーを用いる切断機構を備えたことを特徴とする請求項1〜11記載の膜成長装置。
- 前記基板の表面に、低くとも200℃以上のスチームを吹き付ける機構を備えたことを特徴とする請求項1〜12記載の膜成長装置。
- 太陽電池を製造することを特徴とする請求項1〜13記載の膜成長装置。
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