JP2012253353A

JP2012253353A - ボールグリッドアレイ提示装置、被加工物提示装置および方法

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Publication number: JP2012253353A
Application number: JP2012125962A
Authority: JP
Inventors: Niandong Liu; リュー・ニアンドン; A Nelson William; ウィリアム・エイ・ネルソン; O Anderson James; ジェイムズ・オウ・アンダーソン
Original assignee: Seagate Technology LLC
Current assignee: Seagate Technology LLC
Priority date: 2011-06-03
Filing date: 2012-06-01
Publication date: 2012-12-20
Anticipated expiration: 2032-06-01
Also published as: US20120304456A1; US8813350B2; JP5615320B2

Abstract

【課題】小型な半田ボールを自動的につかみ、配置することが可能なボールグリッドアレイ提示装置、被加工物提示装置および方法を提供する。
【解決手段】装置１００は、第１の通路を規定する静止ガード１２０を有する。コア１１２は、静止ガード１２０に隣接し、アンロード位置と第２の位置との間で移動可能である。コア１１２は、第２の通路を規定し、ボールグリッドアレイを動作可能に保持する被加工物固定具１１６を支持する。コア１１２のアンロード位置は、第２の通路を第１の通路に対して動作可能に位置合わせし、ボールグリッドアレイを被加工物固定具１１６からアンロードするためにアクセス可能とする。コア１１２の第２の位置は、第２の通路を第１の通路から動作可能に位置ずれさせ、第１の通路では、コア１１２および静止ガード１２０は、ボールグリッドアレイに保持されないボールの供給を含む被加工物固定具１１６の周りに囲いを協働して形成する。
【選択図】図１

Description

発明の詳細な説明
概要
いくつかの実施形態においては、第１の通路を規定する静止ガードを有するボールグリッドアレイ提示装置が提供される。コアは、静止ガードに隣接して設けられ、アンロード位置と第２の位置との間で動作可能に移動可能である。コアは、第２の通路を規定し、ボールグリッドアレイを動作可能に保持する被加工物固定具を支持する。コアのアンロード位置は、第２の通路を第１の通路に対して動作可能に位置合わせし、位置合わせされた通路は、ボールグリッドアレイを被加工物固定具からアンロードするためのアクセスを可能にするサイズを有する。コアの第２の位置は、第２の通路を第１の通路から動作可能に位置ずれさせることにより、コアおよび静止ガードが、ボールグリッドアレイに保持されていないボールの供給を含む被加工物固定具の周りに囲いを協働して形成する。

いくつかの実施形態においては、複数の被加工物を保持して、被加工物アレイを規定するように配列される受け特徴部を有するプラテンを有する被加工物提示装置が提供される。コアは、アンロード回転位置と第２の回転位置との間での選択的回転の際に、プラテンを支持する。アンロード回転位置では、プラテンの平面は重力と実質的に直交する。第２の回転位置では、プラテンの平面は重力とほぼ平行である。モータは、複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とするアーチ状の動きをプラテンに付与するように、コアを可変に加速させることによって、コアをアンロード回転位置から第２の回転位置に向かって回転させる。

いくつかの実施形態においては、方法であって、静止ガードに隣接するコアを回転させるステップを含み、コアは、貯槽を規定し、かつ、受け特徴部を有するプラテンを支持し、方法はさらに、貯槽に複数のボールを配置するステップと、複数のボールが貯槽から分散してプラテンをわたる際に、コアの一部を静止ガードと密接して嵌め合う係合状態にし、複数のボールを含む囲いを形成するように、コアを第１の回転方向に回転させるステップとを含み、回転させるステップは、ボールがプラテンをわたる際にボールを十分に励起させるために、複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とする態様でプラテンを移動させるようにコアを可変に加速させて、ボールがコア、プラテン、および他のボールと接触する際の動摩擦および静摩擦を解消することを特徴とする、方法が提供される。

本発明の実施形態に従って構築されるボールグリッド形成装置の等角図である。ボールグリッドアレイのボールを作業表面から除去している、つかみおよび配置装置を示す図１の部分拡大図である。アンロード回転位置における図１のボールグリッド形成装置を示す図である。図１のボールグリッド形成装置の作業表面部分の拡大上面図である。ボールグリッドアレイのボールを保持する作業表面のアパーチャの拡大図である。図３に類似するが、コアが時計回り方向に回転した後の図である。本発明の例示的な実施形態に従って使用される、例示的な加速度プロファイルを示す図である。本発明の例示的な実施形態に従って使用される、例示的な加速度プロファイルを示す図である。本発明の実施形態に従ってコアを可変に加速させる制御システムの機能的ブロック図である。

詳細な説明
現代の製造システムの大部分は、プロセッサをベースにして自動化された装置のプラットフォーム上に成り立っている。このような技術解決策は、製造中の被加工物の処理の仕方において、処理能力および処理効率の両方を高める要求を満たすために重要である。このような技術解決策の適用の一例は、プリント回路基板アセンブリ（ＰＣＢＡｓ）などの電子製品を製造する際の、半田材料を処理する仕方における発展に見られる。少し前までは、ほとんど手作業で人間の作業員が個々の半田片をつかみ、それぞれの指定された場所に配置しており、その後の処理により永続的な電気接続を作成することが可能となっていた。本発明の実施形態は、大量の供給から半田材料片を繰返しつかんで配置する作業に対する自動化された解決策について、以下に説明する。しかし、当業者であれば、ここに説明される原理は、同等な代替の実施形態において、半田以外の種類の材料を処理するのに代替的に使用され得ることが容易に認識されるため、説明される実施形態は単に例示に過ぎず、クレームされる発明の範囲を限定するものではない。

消費者電子品の小型化に付随して、ＰＣＢＡを小型化する要求が生じ、そのため、永続的な電気接続を行うのに用いられる半田片などの、ＰＣＢＡを作製するために用いられる部品を小型化する要求も生じた。小さな球状の半田ボールなど、より小型な半田片の使用により、従来は些細なものとして無視され得たいくつかの処理変数が活用されている。特に、より小さな半田ボールは、比較的より低い質量を有するため、各半田ボールと作業表面または他の半田ボールとの間の動摩擦または静摩擦のために、作業表面上でより塊になりやすく、好ましくない。

図１は、より小型な半田ボールを自動的につかみ、配置することに関連する問題を解決するために、本実施形態に従って構築されたボールグリッドアレイ提示装置１００の等角図である。装置１００は、全体的に、フランジ１０４から垂下して、フランジ１０４のホールパターンを介して通される留め具の使用により、製造装置またはセル（図示せず）に装置１００を直接取付けるための回転ステージ１０２を含む。回転ステージ１０２は、一般的に、エンコーダもしくは他の位置的な印を備える電気モータ、磁気モータ、または気圧モータなどの選択的に制御可能な回転式位置決め装置であり、予め決められた所望の方向および速度に従って、かつ、予め決められたフィードバックの組に応答して回転するように、記憶装置に記憶されたプログラミング指令の実行を制御する。回転動作を中心に説明するが、当業者であれば、直線動作ならびに、回転および直線動作の組合せなど、他の種類の動作も同様に、クレームされる実施形態の範囲内として企図されることが認識されるため、説明される実施形態は例示的であり、限定的ではない。

１対のユーティリティ配管である真空管１０６および不活性ガス管１０８は、以下に説明するように、回転ステージ１０２に侵入し、流体を導入して、回転ステージ１０２の動作を向上させる。回転ステージ１０２は、選択的な回転動作の際に、回転可能なコア１１２のジャーナルとなる静止外側ハウジング１１０を有する。提示アセンブリ１１４は、回転可能なコア１１２に取付けられているため、選択された回転の際にコア１１２と固定されている。なお、重要なのは、これらの図示した実施形態において、提示アセンブリ１１４が、複数の半田ボールが保持されている作業表面１１６（ここで、「プラテン」または「被加工物固定具」とも呼ぶ）への、図１の鉛直なアクセス方向におけるアクセスを可能にすることである。１対の流体ブラシ１１７（一部図示する）は、提示アセンブリ１１４側に向けられて、半田ボールが作業表面１１６をわたる際に、加圧された流体の流れを選択的に付与してボールをかき回す。せいぜい、流体ブラシ１１７は、流体ブラシ１１７の一方または両方を選択的に動作させるためのインプットを与える、視覚または真空フィードバックシステムによって自動的に検出され得るなどの、観察されたボールの塊を緩和するために、ほんの時々必要であるに過ぎない。

図２は、ここでボールグリッドアレイと呼ばれるものを定義するために、予め決められたパターン（この場合、８０個の半田ボールのパターン）に複数の半田ボールが如何に保持されるかについての例示的な実施形態を図示する。好ましくは、ボールグリッドアレイへのアクセスは、自動式つかみおよび配置システムのエンドエフェクタ１１８部分によって、作業表面１１６から半田ボールをつかむことを可能にする程度に充分に大きい。図示されるエンドエフェクタ１１８は、一度に１個だけの半田ボールをつかむが、有利な代替の実施形態においては、複数の、またはすべての半田ボールさえも作業表面１１６から同時につかみ出される。

一時的に図１に戻って、コア１１２は、静止ガード１２０に隣接して設置され、静止ガード１２０は、コア１１２の、図１および図３に図示されるアンロード回転位置（保持されたボールが作業表面１１６上のグリッドアレイからつかみ出される）と、図６に図示される別の回転位置（次のボールグリッドアレイが作業表面１１６上に保持される）との間の動作と協働する。図示しないが、代替の同等な実施形態においては、静止ガード１２０は、回転動作の際にコア１１２のジャーナルとなる静止ハウジング１１０の一部として形成され得る。

図３は、図１に図示するように、アンロード回転位置にあるコア１１２を図示する。このアンロード回転位置は、作業表面１１６が重力と実質的に直交するということにより、ボールグリッドアレイを所定の位置に保持する際に重力を最大限に活用する点において有利である。エンドエフェクタ１１８による作業表面１１６へのアクセスは、アーチ状の突出部分１２２，１２４の間に規定される静止ガード１２０における第１の通路を介している。このアクセスはまた、アーチ状の突出部分１２６，１２８の間に規定されるコア１１２における第２の通路も介する。

対向する貯槽１３０，１３２は、半田ボールが最終的にボールグリッドアレイに保持されることになる次の処理のために、半田ボール１３３の過剰供給を収容する。ここでも、ここでクレームされる実施形態は、専ら分かり易さのためのみに図示される。貯槽１３０，１３２の図示されるサイズに関する、半田ボール１３３の図示されるサイズの図による寸法は、実際には、貯槽１３０，１３２の一つに、約１００万個もの半田ボール１３３が存在し得ることをうまく伝えていない。しかし、当業者が、説明およびクレームしたような実施形態の範囲を理解するために、設けた図示以外の他の開示は必要ない。

表面１２９，１３１は、それぞれの貯槽１３０，１３２から作業表面１１６へのスムーズな移行を可能にし、貯槽１３０，１３２から半田ボール１３３を作業表面１１６にわたって均一に分散させるために必要な励起エネルギを最小限にする。１つ以上の直立した、また、図４においては対向するガイド表面１３５は、分散したボール１３３を貯槽１３０，１３２から作業表面１１６にわたって均一に詰込むために、有利に用いることができる。

図３に戻って、不活性ガス管１０８は、それが如何に遠隔の供給から窒素などの不活性ガスを各貯槽１３０，１３２へと注入するかについて図示される。それにより、大気湿度の凝結が防がれるが、さもなければ、大気環境中で半田ボール１３３がともに塊となる可能性があり、好ましくない。真空管１０６は、それが如何に遠隔の真空源から作業表面１１６に保持力を提示するかについて図示される。たとえば、真空管１０６は、図５に図示するように、作業表面１１６のアパーチャ１１７のパターンに真空を伝えることができる。それにより、ボール１３３を受け特徴部（アパーチャ１１７など）へと付勢し、ボール１３３は、そこでボールグリッドアレイを型作るように保持される。なお、アパーチャ１１７は、ボール１３３を確実に受けるように嵌めるサイズに穴ぐりされることが好ましい。

ここでも、コア１１２は、図６に図示される時計回り方向の回転動作の最大限範囲の近くなど、図１および図３のアンロード位置と第２の回転位置との間で動作可能に移動可能である。後者の回転位置は、作業表面１１６がここでは重力に対してほぼ平行であるおかげで、作業表面１１６から過剰なボール１３３を落とす際に重力を最大限に活用する。

なお、図６の第２の回転位置においては、コア１１２によって規定される第２の通路は、静止ガード１２０によって規定される第１の通路と位置をずらされている。この位置ずれの効果は、コアのアーチ状の突出部分１２６がガードのアーチ状の突出部分１２４と密接して嵌め合う係合状態へと回転し、作業表面１１６の周りに封止された囲いを形成することである。この囲いは、ボール１３３が提示アセンブリ１１４からこぼれ出すリスクを排除することによって、このような囲いがない場合よりもずっと大きな程度までボール１３３を励起させることを可能にする点で有利である。より高い励起により、さもなければボール１３３が作業表面１１６をわたる際に生じる動摩擦および静摩擦力が解消される。

本実施形態によって与えられる増加した励起エネルギは、コア１１２が選択的に回転される仕方および程度の両方に付与され得る。すなわち、下記のように、コア１１２は、作業表面１１６を振動させるように、つまり、震わすように回転されて、付与する励起エネルギの大きさを増加させることができる。しきい値の所望の励起は、ボールが作業表面１１６をわたる際に、連続動作のまま保つことを目的とする。囲われた作業表面１１６は、同様に、囲われていない場合に許容されるより速い速度でコア１１２を加速させ、また、囲われていない場合に許容されるより大きな範囲の回転動作にわたってコア１１２を加速させることを可能にする。

クリアランスノッチ１３６，１３８は、ガードのそれぞれのアーチ状突出部分１２２，１２４の遠位端に規定され得る。ノッチ１３６，１３８は、コアのアーチ状突出部分１２６，１２８が、ガードのそれぞれのアーチ状突出部分１２２，１２４内に確実に重なり合って係合することを促す点において有利である。なお、ノッチ１３６，１３８は、提示アセンブリ１１４の本体から垂下するコア突出部分１２８の片持ち構成のため、図６の時計回り回転中のコアのアーチ状突出部分１２８などの、コアのアーチ状突出部分の先端が確実に入るためには必要ない。すなわち、コアのアーチ状突出部分１２６，１２８の反対側の貯槽１３０，１３２の封止された先端は、ノッチ１３６，１３８の効果にも拘らず、ガード１２０によって規定される穴から明らかに分離する（clearly disengage）サイズを有し得る。

先述のとおり、本発明の実施形態は、ボール１３３が、受け特徴部の１つへと付勢されるか、または対向する貯槽１３０，１３２へと作業表面１１６を完全にわたるまで、ボール１３３への励起を増加させてそれらを連続動作のまま保つために、回転動作がコア１１２に付与される仕方を有利に操作する。図７は、複数の順次の個別のアーチ状の動き１５２_nによって規定される動きを作業表面１１６に付与するための、本実施形態によって企図される例示的な鋸歯状加速度曲線１５０を図示する。すなわち、開始から時間ｔ₁まで、コア１１２に一定の正の（時計方向など）加速度が付与されて、個別のアーチ状の動き１５２₁において、非直線変位応答に従って回転させる。複数の順次の個別のアーチ状の動き１５２₁から１５２₅によって規定される、結果として生じる非直線応答は、多くの急な開始および一時的な停止を含む。それにより、開始から時間Ｔ₅までのコア１１２の一定の加速度と比較して、作業表面１１６に、より著しく多い励起が付与される。図８は、振動的な（振るえると呼ぶこともある）動きを付与するために、正（時計回り）および負（反時計回り）の両方の加速度から構成される、代替の例示的な鋸歯状加速度曲線１５０′を図示する。図中、個別のアーチ状の動き１５２₁′から１５２₅′の各々は、双方向である。図８の加速度曲線の双方向動作は、図７よりも比較的大きな励起エネルギを与える。

ボール１３３が作業表面１１６をわたる間、ボール１３３を励起するための、上述のコア１１２の回転のされ方および程度に加えて、図６は、作業表面１１６に近接して提示装置１１４に設置されるバイブレータ装置１５６によって、さらなる励起を如何にして与え得るかについて図示する。バイブレータ装置１５６は、圧電シェーカー装置などであり得る。

図９は、本発明の実施形態に従う装置１００のモータ速度制御システムの機能的ブロック図を図示する。コントローラ１６０は、プロセッサをベースにする計算装置であり、記憶装置に記憶されたプログラミング指令を実行して、加速度プロファイルＰをモータ１６２に与え、モータ１６２は、コア１１２を回転させる。コントローラ１６０は、図７および図８に記載されるプロファイルなど、記憶された複数の異なるプロファイルＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃、…Ｐ_nから選択されるプロファイルを実施し得る。回転位置信号ＰＯＳは、どのプロファイルを実行するかの選択を行なう際に用いられ得る。たとえば、コントローラ１６０は、比較的より積極性の低い加速度プロファイルを有するアンロード位置（図３）から回転を有利に開始してもよい。なぜなら、露出される開口のサイズが最大限であり、過剰な励起は、ボール１３３をコア１１２から追い出してしまう可能性が高いことを意味するためである。しかし、回転が進むにつれて、ＰＯＳフィードバックによって、またはおそらく、回転が開始してからの時間の観点から監視され得るように、露出される開口のサイズは徐々に減少する。当然ながら、コア１１２が、封止された囲いを形成するのに十分な程度回転される（図６）時間までには、コントローラ１６０は、反復的な振るえる動きなど、より積極的な加速度プロファイルに有利に切換えて、最小限の時間量でボールグリッドアレイに含まれるボール以外のすべてのボールを作業表面１１６から取除く。

コントローラ１６０は、それが選択して実行するプロファイルを変更し得るエラーＥの表示を受けることもできる。エラーは、作業表面１１６を、ボールグリッドアレイに含まれていない過剰なボール１３３がないかどうか監視する視覚システムを含み得る。このような事象において、コントローラ１６０は、過剰なボール１３３を取除こうとしてコア１１２のさらなる動作を実行するなどの対応策を取ることができる。コントローラ１６０は、コア１１２のさらなる動作とともに、流体ブラシ１１７の一方または両方を作動させるなど、他の対応策も実行することができるであろう。コントローラ１６０は、検出されたエラーの発症率に基づいて、現在選択されている１つ以上のプロファイルの有効性を経験的に評価することができる。しきい値エラー率を超えると、コントローラ１６０は、別のプロファイルもしくは別のプロファイルの組合せを実行するように切換える、および／または現在のプロファイルのタイミングを修正することを伴う対応策を実行できる。代替的に、エラーＥは、ボールグリッドアレイを完全に埋めるのに必要な周期時間に関して、真空管１０６内の真空圧を監視することから生じるフィードバック信号であり得る。すなわち、満杯のボールグリッドアレイからデッドヘッド真空圧を達成するために掛かる時間をコントローラによって監視および用いることができ、監視される時間が予想を超えて異なるときにどのプロファイルを実行するかを選択できる。

本発明の実施形態は、上記の装置に対応する方法も企図する。方法の例示的な実施形態は、静止ガードに隣接するコアを回転させるステップを含み、コアは、貯槽を規定し、かつ、受け特徴部を有するプラテンを支持する。次に、貯槽に複数のボールを配置する。次に、複数のボールが貯槽から分散してプラテンをわたる際に、コアの一部を静止ガードと密接して嵌め合う係合状態にし、複数のボールを含む囲いを形成するように、コアを第１の回転方向に回転させる。回転させるステップは、ボールがプラテンをわたる際にボールを十分に励起させるために、複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とする態様でプラテンを移動させるようにコアを可変に加速させて、ボールがコア、プラテン、および他のボールと接触する際の動摩擦および静摩擦を解消することを特徴とする。

コアを回転させるステップは、順次の個別のアーチ状の動きがすべて、第１の回転方向であることを特徴とする。代替的には、順次の個別のアーチ状の動きの少なくとも１つ以上が、双方向である。さらに、コアを回転させるステップは、高周波一定振幅励起エネルギをプラテンに付与することを特徴とし得る。

コアを回転させるステップは、コアが第１の回転位置に来たときに完了するとみなされ、第１の回転位置では、プラテンの表面は重力とほぼ平行である。該回転位置では、複数のボールは既にボールグリッドアレイに保持されており、残りのボールは、プラテンをわたって、対向する第２の貯槽に着地している。方法は次に、静止ガードによって規定される第１の通路が、アンロード回転位置でコアによって規定される第２の通路と位置合わせされるまで、コアを対向する回転方向に回転させるステップを含む。位置合わせされた通路によって設けられるアクセスにより、ボールグリッドアレイをプラテンから除去することができる。

コアのアンロード回転位置でボールグリッドアレイをプラテンから除去した後、方法はさらに、複数のボールが第２の貯槽から分散してプラテンをわたる際に、コアの別の一部を静止ガードの別の一部と密接して嵌め合う係合状態にし、複数のボールを含む囲いを形成するように、コアを対向する回転方向に回転させるステップを含む。回転させるステップはここでも、ボールがプラテンをわたる際にボールを十分に励起させるために、複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とする態様でプラテンを移動させるようにコアを可変に加速させて、ボールがコア、プラテン、および他のボールと接触する際の動摩擦および静摩擦を解消することを特徴とする。

コアを対向する回転方向に回転させるステップは、コアが第２の回転位置に来たときに完了し、第２の回転位置では、プラテンの表面はここでも、重力とほぼ平行である。該位置では、別の複数のボールは既に、別のボールグリッドアレイを規定する受け特徴部に保持されており、別のボールグリッドアレイに保持されていない残りのボールは、既にプラテンをわたって第１の貯槽に着地している。

上記の説明において、構造および機能の詳細とともに、さまざまな局面の数多くの特徴および利点を記載したが、この開示は例示によるものに過ぎず、特に構造および配列の事項においては、添付の請求項が表わされる表現の広く一般的な意味によって示される完全な範囲まで、詳細に変更を行なうことができることが理解されるべきである。

Claims

ボールグリッドアレイ提示装置であって、
第１の通路を規定する静止ガードと、
前記静止ガードに隣接して設けられ、アンロード位置と第２の位置との間で動作可能に移動可能なコアとを備え、
前記コアは、第２の通路を規定し、前記ボールグリッドアレイを動作可能に保持する被加工物固定具を支持し、
前記コアの前記アンロード位置は、前記第２の通路を前記第１の通路に対して動作可能に位置合わせし、
前記位置合わせされた通路は、前記ボールグリッドアレイを前記被加工物固定具からアンロードするためにアクセスを可能にするサイズを有し、
前記コアの前記第２の位置は、前記第２の通路を前記第１の通路から動作可能に位置ずれさせることにより、前記コアおよび前記静止ガードが、前記ボールグリッドアレイに保持されていないボールの供給を含む前記被加工物固定具の周りに囲いを協働して形成する、ボールグリッドアレイ提示装置。
前記静止ガードは、前記第１の位置と前記第２の位置との間の動作の際に前記コアを支持するハウジングによって規定される、請求項１に記載の装置。
前記第２の通路を規定する前記コアの突出部分は、前記第１の通路を規定する前記静止ガードの突出部分と密接して嵌め合う関係で係合し、前記コアの前記第２の位置で前記囲いを協働して形成する、請求項１に記載の装置。
前記第２の通路を規定する前記コアのアーチ状部分は、前記第１の通路を規定する前記静止ガードのアーチ状部分と密接して嵌め合う関係で係合し、前記コアの前記第２の回転位置で前記囲いを協働して形成する、請求項３に記載の装置。
前記密接して嵌め合う関係は、前記コアの前記第２の回転位置にある前記コアの前記アーチ状部分の遠位端部分を密接に受けるサイズを有する、前記静止ガードの前記アーチ状部分のノッチを特徴とする、請求項４に記載の装置。
貯槽をさらに備え、前記貯槽は、前記被加工物固定具に隣接して複数の前記ボールを含み、かつ、第１の回転方向における前記コアの回転の結果、前記複数のボールを前記貯槽から前記被加工物固定具にわたって分散させるサイズを有する、請求項１に記載の装置。
前記被加工物固定具は、複数のアパーチャを規定し、各アパーチャは、前記被加工物固定具にわたって分散された前記複数のボールの１つを受けるように嵌めることによって保持するサイズを有し、前記保持されたボールは、前記ボールグリッドアレイの一部を形成する、請求項６に記載の装置。
前記アパーチャに真空力を伝えて、前記アパーチャへとボールを付勢させる真空源をさらに備える、請求項７に記載の装置。
分散された前記複数のボールを、前記貯槽から前記複数のアパーチャへと導く直立表面を有するガイドをさらに備える、請求項７に記載の装置。
前記貯槽は、第１の貯槽として特徴付けられ、かつ、前記第１の貯槽に対向し、前記第１の回転方向における前記コアの回転の結果、前記被加工物固定具をわたった後に保持されないボールが溜まる第２の貯槽を備える、請求項７に記載の装置。
前記貯槽の少なくとも１つは、不活性ガスに富む環境を維持する、請求項１０に記載の装置。
前記コアを前記アンロード位置から前記第２の位置に向けて移動させるモータをさらに備え、
前記モータは、複数の順次の個別のアーチ状の動きによって規定される動きを前記被加工物固定具に付与する、請求項１に記載の装置。
前記順次の個別のアーチ状の動きはすべて、第１の回転方向である、請求項１２に記載の方法。
前記順次の個別のアーチ状の動きの少なくとも１つ以上は、双方向である、請求項１２に記載の装置。
高周波一定振幅励起エネルギを前記被加工物固定具に付与するバイブレータをさらに備える、請求項１２に記載の装置。
被加工物提示装置であって、
複数の被加工物を保持して、被加工物アレイを規定するように配列される受け特徴部を有するプラテンと、
アンロード回転位置と第２の回転位置との間での選択的回転の際に、前記プラテンを支持するコアとを備え、前記アンロード回転位置では、前記プラテンの平面は重力と実質的に直交し、前記第２の回転位置では、前記プラテンの前記平面は重力とほぼ平行であり、前記被加工物提示装置はさらに、
複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とするアーチ状の動きを前記プラテンに付与するように、前記コアを可変に加速させることによって、前記コアを前記アンロード回転位置から前記第２の回転位置に向かって回転させるモータを備える、被加工物提示装置。
前記順次の個別のアーチ状の動きはすべて、第１の回転方向である、請求項１６に記載の装置。
前記順次の個別のアーチ状の動きの少なくとも１つ以上は、双方向である、請求項１６に記載の装置。
前記コアは、第１の通路を規定する静止ガードに隣接して回転し、前記コアは、第２の通路を規定し、前記コアの前記アンロード回転位置は、前記第２の通路を前記第１の通路に対して動作可能に位置合わせし、前記位置合わせされた通路は、前記プラテンから前記被加工物アレイをアンロードするためにアクセスを可能にするサイズを有し、前記コアの前記第２の回転位置は、前記第２の通路を前記第１の通路から動作可能に位置ずれさせることにより、前記コアおよび前記静止ガードが、前記被加工物アレイに保持されていない前記被加工物の供給を含む前記プラテンの周りに囲いを協働して形成する、請求項１６に記載の装置。
前記第２の通路を規定する前記コアのアーチ状部分は、前記第１の通路を規定する前記静止ガードのアーチ状部分と密接して嵌め合う関係で係合し、前記コアの前記第２の回転位置で前記囲いを協働して形成する、請求項１９に記載の装置。
貯槽をさらに備え、前記貯槽は、前記プラテンに隣接して複数の前記被加工物を含み、かつ、第１の回転方向における前記コアの回転の結果、前記複数の被加工物を前記プラテンにわたって分散させるサイズを有する、請求項１６に記載の装置。
前記貯槽は、第１の貯槽として特徴付けられ、かつ、前記第１の貯槽に対向し、前記第１の回転方向における前記コアの回転の結果、前記プラテンをわたった後に保持されない被加工物が溜まる第２の貯槽を備える、請求項２１に記載の装置。
方法であって、
静止ガードに隣接するコアを回転させるステップを含み、前記コアは、貯槽を規定し、かつ、受け特徴部を有するプラテンを支持し、前記方法はさらに、
前記貯槽に複数のボールを配置するステップと、
前記複数のボールが前記貯槽から分散して前記プラテンをわたる際に、前記コアの一部を前記静止ガードと密接して嵌め合う係合状態にし、前記複数のボールを含む囲いを形成するように、前記コアを第１の回転方向に回転させるステップとを含み、
前記回転させるステップは、前記ボールが前記プラテンをわたる際に前記ボールを十分に励起させるために、複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とする態様で前記プラテンを移動させるように、前記コアを可変に加速させて、前記ボールが前記コア、前記プラテン、および他のボールと接触する際の動摩擦および静摩擦を解消することを特徴とする、方法。
前記コアを回転させるステップは、前記順次の個別のアーチ状の動きがすべて、前記第１の回転方向であることを特徴とする、請求項２３に記載の方法。
前記コアを回転させるステップは、前記順次の個別のアーチ状の動きの少なくとも１つ以上が、双方向であることを特徴とする、請求項２３に記載の方法。
前記コアを回転させるステップは、前記コアが第１の回転位置に来たときに完了し、前記第１の回転位置では、前記プラテンの表面は重力とほぼ平行であり、複数のボールは、ボールグリッドアレイを規定する前記受け特徴部に保持され、前記貯槽は、第１の貯槽であることを特徴とし、前記ボールの残りは、前記プラテンをわたって、対向する第２の貯槽に配置されるため、前記ボールグリッドアレイには保持されない、請求項２３に記載の方法。
前記静止ガードによって規定される第１の通路が、アンロード回転位置で前記コアによって規定される第２の通路と位置合わせされるまで、前記コアを対向する回転方向に回転させるステップをさらに含み、前記位置合わせされた通路は、前記ボールグリッドアレイを前記プラテンから除去するためにアクセスを可能にするサイズを有する、請求項２６に記載の方法。
前記コアの前記アンロード回転位置で前記ボールグリッドアレイを前記プラテンから除去した後、前記方法はさらに、前記複数のボールが前記第２の貯槽から分散して前記プラテンをわたる際に、前記コアの別の一部を前記静止ガードの別の一部と密接して嵌め合う係合状態にし、ここでも、前記複数のボールを含む囲いを形成するように、前記コアを前記対向する回転方向に回転させるステップを含み、前記回転させるステップは、ここでも、前記ボールが前記プラテンをわたる際に前記ボールを十分に励起させるために、複数の順次の個別のアーチ状の動きを特徴とする態様で前記プラテンを移動させるように、前記コアを可変に加速させて、前記ボールが前記コア、前記プラテン、および他のボールと接触する際の動摩擦および静摩擦を解消することを特徴とする、請求項２７に記載の方法。
前記コアを前記対向する回転方向に回転させるステップは、前記コアが第２の回転位置に来たときに完了し、前記第２の回転位置では、前記プラテンの表面はここでも、重力とほぼ平行であり、別の複数のボールが、別のボールグリッドアレイを規定する前記受け特徴部に保持され、前記ボールの残りは、前記プラテンをわたって、前記第１の貯槽に着地するため、前記ボールグリッドアレイに保持されない、請求項３１に記載の方法。