JP2012244024A - ダイ供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイ供給装置1は、負圧ライン2と、大気圧ライン3と、負圧ライン2と大気圧ライン3とを切替可能なバルブ4と、バルブ4に連通し、負圧ライン2の負圧により、ダイシングフィルム91のうち、取出対象となるダイ93が表面に貼着された領域C1の裏面を吸着する吸着孔53と、領域C1が吸着された状態で領域C1の一部C2を表側に突出させ、吸着ノズル95によりダイ93が取り出される位置まで、ダイシングフィルム91から剥がしながらダイ93を突出させるピン54と、を有する吸着ステージ5と、バルブ4の切替動作と、ピン54の進退動作と、を所定のタイミングで連動させる共用の駆動部6と、を備える。
【選択図】図3
Description
[ダイ供給装置の構成]
まず、本実施形態のダイ供給装置の構成について説明する。図1に、本実施形態のダイ供給装置の透過斜視図を示す。図2に、同ダイ供給装置のX方向移動テーブルより上の部分の透過斜視図を示す。図3に、同部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。図4に、同部分の負圧供給状態の前後方向断面図を示す。
図1に示すように、ベース80は、長方形板状を呈してる。ベース80の上面には、一対のY方向ガイドレール800が配置されている。一対のY方向ガイドレール800は、各々、前後方向に延在している。一対のY方向ガイドレール800は、左右方向に対向している。
図1に示すように、Y方向移動テーブル81は、長方形板状を呈してる。Y方向移動テーブル81は、ベース80の上面に配置されている。Y方向移動テーブル81は、一対のX方向ガイドレール810と、一対のY方向被ガイド凹部811と、を備えている。
図1に示すように、X方向移動テーブル82は、長方形板状を呈してる。X方向移動テーブル82は、Y方向移動テーブル81の上面に配置されている。X方向移動テーブル82の下面には、一対のX方向被ガイド凹部821が配置されている。一対のX方向被ガイド凹部821は、各々、左右方向に延在している。一対のX方向被ガイド凹部821は、前後方向に対向している。一対のX方向被ガイド凹部821には、一対のX方向ガイドレール810が挿入されている。X方向駆動モータ(図略)により、一対のX方向被ガイド凹部821(つまりX方向移動テーブル82)は、一対のX方向ガイドレール810(つまりY方向移動テーブル81)に対して、左右方向に移動可能である。
図1〜図4に示すように、カム収容ケース72は、下方に開口する箱状を呈している。カム収容ケース72は、X方向移動テーブル82の上面に伏設されている。図3、図4に示すように、カム収容ケース72の上壁には、シャフト挿通孔720と、バルブ挿通孔721と、が穿設されている。
図2〜図4に示すように、吸着ステージ5は、大径部50と、小径部51と、カムフォロア52と、四つの吸着孔53と、ピン54と、を備えている。大径部50は、円柱状を呈している。大径部50は、カム収容ケース72の上面に立設されている。大径部50には、シャフト収容室501と、バルブ収容室502と、負圧供給通路503と、大気圧供給通路504と、が区画されている。
図2〜図4に示すように、バルブ4は、上下方向に延在する、丸棒状を呈している。バルブ4は、バルブ収容室502に収容されている。バルブ4の下端は、バルブ挿通孔721を介して、カム収容ケース72の内部に進入している。バルブ4の下端は、バルブ用カム71に摺接している。
図3、図4に示すように、負圧ライン2は、真空ポンプ21と、負圧配管20と、負圧供給通路503と、シャフト収容室501と、ヘッド収容室510と、を備えている。大気圧ライン3は、大気圧配管30と、大気圧供給通路504と、シャフト収容室501と、ヘッド収容室510と、を備えている。大気圧配管30の外端は、大気開放されている。
図1、図3、図4に示すように、ウェハ固定ステージ83は、円環状であって、吸着ステージ5の上方に配置されている。ウェハ固定ステージ83の上面には、円環状のウェハリング90が配置されている。ウェハリング90には、ダイシングフィルム91が張設されている。ダイシングフィルム91は、ウェハリング90の開口を覆っている。ダイシングフィルム91の上面には、多数の個片状のチップ93が貼り付けられている。多数の個片状のチップ93は、全体として円形を呈している。多数の個片状のチップ93は、円板状のウェハ92が格子状に裁断されることにより、形成されている。
次に、本実施形態のダイ供給装置1の吸着ステージ5、ピン54、バルブ4の動きについて説明する。まず、吸着ステージ5の動きについて説明する。図1に示すように、吸着ステージ5を前後方向に移動させる場合は、制御装置(図略)がY方向駆動モータを駆動する。そして、一対のY方向被ガイド凹部811を一対のY方向ガイドレール800で案内しながら、ベース80に対して、Y方向移動テーブル81つまり吸着ステージ5を、前後方向に移動させる。
次に、本実施形態のダイ供給装置1のチップ93供給時の動きについて説明する。図5に、本実施形態のダイ供給装置のチップ供給時のタイミングチャートを示す。まず、図3に示す大気圧ライン3が連通している状態で、図1に示すように、吸着ステージ5を、取出対象であるチップ93の真下まで移動させる。図3に示すように、ダイシングフィルム91における、当該チップ93が貼着された領域C1の下面に、小径部51の上面は当接している。
大気圧ライン3の連通とピン54の進入とが完了したら、図1に示すように、次の取出対象であるチップ93の真下まで、吸着ステージ5を移動させる。このように、ダイ供給装置1は、次々とチップ93を吸着ノズル95に受け渡す。
次に、本実施形態のダイ供給装置1の作用効果について説明する。図3に示すように、本実施形態のダイ供給装置1には、バルブ4用およびピン54用として、共用の駆動部6が配置されている。このため、バルブ4の切替動作と、ピン54の進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させることができる。したがって、チップ93の取出作業を迅速に行うことができる。
本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、負圧ライン、大気圧ラインに加えて、正圧ラインが配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、バルブが回転軸のスプライン溝により駆動されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、バルブが負圧供給通路および大気圧供給通路の下流端に配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
以上、本発明のダイ供給装置1の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
20:負圧配管、21:真空ポンプ、30:大気圧配管、40:切替連通孔、41:立壁部、42:天壁部、50:大径部、51:小径部、52:カムフォロア、53:吸着孔、54:ピン、60:回転軸、61:カム駆動モータ、70:ピン用カム、71:バルブ用カム、72:カム収容ケース、80:ベース、81:Y方向移動テーブル、82:X方向移動テーブル、83:ウェハ固定ステージ、85:正圧ライン、90:ウェハリング、91:ダイシングフィルム、92:ウェハ、93:チップ、95:吸着ノズル。
501:シャフト収容室、502:バルブ収容室、503:負圧供給通路、504:大気圧供給通路、505:正圧供給通路、510:ヘッド収容室、511:ピン挿通孔、520:シャフト、521:ヘッド、521a:連通孔、600:スプライン溝、720:シャフト挿通孔、721:バルブ挿通孔、800:Y方向ガイドレール、810:X方向ガイドレール、811:Y方向被ガイド凹部、821:X方向被ガイド凹部、850:正圧配管、851:ポンプ。
A1:高度、A2:高度、B1:高度、B2:高度、C1:領域、C2:領域、P1:大気圧、P2:所定値、P3:最低圧、T1:増圧時間。
Claims (5)
- 負圧を供給する負圧ラインと、
大気圧を供給する大気圧ラインと、
該負圧ラインと該大気圧ラインとを切替可能なバルブと、
該バルブに連通し、該負圧ラインから供給される負圧により、複数のダイが貼着されたダイシングフィルムのうち、取出対象となる該ダイが表面に貼着された領域の裏面を吸着する吸着孔と、表裏方向に進退可能であって該領域が吸着された状態で該領域の一部を表側に突出させ、吸着ノズルにより該ダイが取り出される位置まで、該ダイシングフィルムから剥がしながら該ダイを突出させるピンと、を有する吸着ステージと、
該バルブの切替動作と、該ピンの進退動作と、を所定のタイミングで連動させる共用の駆動部と、
を備えてなるダイ供給装置。 - 前記バルブの切替動作を行うバルブ用カムと、前記ピンの進退動作を行うピン用カムと、を備え、
前記駆動部は、該バルブ用カムと該ピン用カムとが環装される回転軸を有する請求項1に記載のダイ供給装置。 - 前記駆動部は、
前記吸着孔に負圧を供給するために、前記バルブを前記負圧ラインに切り替える負圧切替動作と、
該負圧切替動作により該負圧が所定値まで到達した後に、前記吸着ノズルにより取り出される位置まで前記ダイを表側に突出させるために、前記ピンを表側に進行させる進行動作と、
を前後して行う請求項1または請求項2に記載のダイ供給装置。 - 前記駆動部は、
前記吸着ノズルにより前記ダイが取り出された後に、前記吸着孔に大気圧を供給するために、前記バルブを前記大気圧ラインに切り替える大気圧切替動作と、
前記ピンを裏側に退出させる退出動作と、
を同期して行う請求項3に記載のダイ供給装置。 - 前記ダイは、ウェハのチップである請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のダイ供給装置。
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